CN109427640B - 吸附装置及吸附方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种吸附装置，包括：载台，所述载台包括至少2个吸附区域，每个吸附区域包括至少一个吸附通道，其中，所述吸附装置还包括与所述吸附区域对应的控制结构，所述控制结构用于控制所述吸附通道关闭和打开。本发明还涉及一种吸附方法。本发明的有益效果是：根据载台上的吸附区域是否被待吸附产品覆盖而控制相应的吸附通道的打开或关闭，使得待吸附产品紧密吸附于载台上，提高产品良率。

Description

吸附装置及吸附方法

技术领域

本发明涉及显示产品制作技术领域，尤其涉及一种吸附装置及吸附方法。

背景技术

在光电产品制造过程中，通常需要将基板或柔性膜等产品固定在某一载台上，以便于后续加工工艺，如在显示领域里将基板或柔性膜材等固定在吸附载台上进行激光切割工艺、或是印刷电路板的制造工艺中也需要将其固定于载台上才可进行后续加工工艺。目前，通过在载台上设置吸附孔并通过吸附孔向下的抽吸力将样品固定在载台上是较为常见的装置，然而，在实际应用中由于样品尺寸大小不一样，有的样品尺寸较大可将所有吸附孔覆盖住，有的样品尺寸较小仅能覆盖少部分吸附孔，由此造成样品之外区域的吸附孔处于暴露状态产生漏气，载台难以达到一定的真空度而无法吸附样品，造成后续工艺不良。如柔性有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode,OLED)制造中所涉及到的激光切割工艺，若柔性基板或膜材无法紧密吸附在载台上会发生翘曲而脱离激光切割焦点，造成切割不良，降低产品良率；印刷电路板制造工艺中，若其未被充分吸附于载台上会导致印刷电路板在工艺中产生破裂、损坏或无法对准的问题，造成工艺良率下降。因此，如何使吸附载台依据被吸附产品的大小而调节吸附区域是当前急需解决的问题。

现有技术中的设备结构复杂，且难以实现依据样品大小自动化调节吸附面积，也无法适应不同形状样品的吸附。

发明内容

为了解决上述技术问题，本发明提供一种吸附装置及吸附方法，解决待吸附产品面积小于吸附载台的面积，造成吸附不良的问题。

为了达到上述目的，本发明采用的技术方案是：一种吸附装置，包括：

载台，所述载台包括至少2个吸附区域，每个吸附区域包括至少一个吸附通道，其中，所述吸附装置还包括与所述吸附区域对应的控制结构，所述控制结构用于控制所述吸附通道关闭和打开。

进一步的，所述控制结构包括：

气流通道，所述气流通道的吸气端与至少一个所述吸附通道连通，气流通道的抽气端与抽气泵连通；

开关单元，设置于所述气流通道上，用于控制所述气流通道的开闭。

进一步的，所述开关单元包括：

分支通道，所述分支通道的第一端与所述气流通道连通；

封堵件，可移动的设置于所述气流通道与所述分支通道内，在第一状态时，所述封堵件位于所述气流通道内以关闭所述气流通道，在第二状态时，所述封堵件位于所述分支通道内，所述气流通道打开。

进一步的，所述开关单元还包括控制件，用于控制所述封堵件在第一状态和第二状态之间切换。

进一步的，所述分支通道上与所述第一端相对设置的第二端设置有弹性件，所述弹性件的一端固定于所述分支通道内，所述弹性件的另一端固定于所述封堵件上，在所述第二状态下，所述封堵件位于所述分支通道的第一端的端口处。

进一步的，所述弹性件为弹簧。

进一步的，所述封堵件为封堵球，在所述第二状态下，所述封堵球位于所述分支通道的所述第一端。

进一步的，所述封堵球的直径不小于所述气流通道的内径。

进一步的，所述气流通道上设有与所述分支通道相连通的通孔，部分所述气流通道的内壁向外侧凸起以在所述气流通道的内壁上形成一凹槽，该凹槽与所述通孔相对设置，在所述封堵球封堵所述气流通道时，所述凹槽远离所述气流通道的吸气端的侧壁与所述封堵球相切。

进一步的，所述气流通道的吸气端可拆卸的连接于所述载台上。

进一步的，所述载台的边缘设有至少一个定位器。

本发明还提供一种吸附方法，采用上述的吸附装置进行吸附，包括：

将待吸附产品放置于载台的吸附区域；

控制被待吸附产品覆盖的吸附区域的吸附通道打开，未被待吸附产品覆盖的吸附区域的吸附通道关闭。

进一步的，所述控制结构包括：

气流通道，所述气流通道的吸气端与至少一个所述吸附通道连通，气流通道的抽气端与抽气泵连通；

开关单元，设置于所述气流通道上，用于控制所述气流通道的开闭；

所述被待吸附产品覆盖的吸附通道打开，未被待吸附产品覆盖的吸附通道关闭，包括：

通过所述开关单元将对应于被待吸附产品覆盖的吸附通道的气流通道打开，将对应于未被待吸附产品覆盖的吸附通道的气流通道关闭。

进一步的，所述开关单元包括：

分支通道，所述分支通道的第一端与所述气流通道连通；

封堵件，可移动的设置于所述气流通道与所述分支通道内，在第一状态时，所述封堵件位于所述气流通道内以关闭所述气流通道，在第二状态下，所述封堵件位于所述分支通道内，所述气流通道打开；

所述通过所述开关单元将对应于被待吸附产品覆盖的吸附通道的气流通道打开，将对应于未被待吸附产品覆盖的吸附通道的气流通道关闭，包括：

控制封堵件移动至第一气流通道内，关闭第一气流通道；

控制封堵件移动至分支通道内，打开相应的第二气流通道；

其中，所述第一气流通道为对应于未被待吸附产品覆盖的吸附通道的气流通道，所述第二气流通道为对应于被待吸附产品覆盖的吸附通道的气流通道。

进一步的，所述通过开关单元将对应于被待吸附产品覆盖的吸附通道的气流通道打开，将对应于未被待吸附产品覆盖的吸附通道的气流通道关闭，包括：

抽气泵打开，在所述第一气流通道内的气流的作用下，封堵件移动至第一气流通道内，第一气流通道关闭；在第二气流通道对应的分支通道内的弹性件的作用下，封堵件位于分支通道内，第二气流通道打开。

本发明的有益效果是：根据载台上的吸附区域是否被待吸附产品覆盖而控制相应的吸附通道的打开或关闭，使得待吸附产品紧密吸附于载台上，提高产品良率。

附图说明

图1表示本发明实施例中吸附装置结构示意图；

图2表示本发明实施例中封堵件位于分支通道内结构示意图；

图3表示本发明实施例中封堵件位于B位置示意图；

图4表示本发明实施例中封堵件位于气流通道内，气流通道关闭示意图；

图5表示本发明实施例一实施方式中控制结构放大示意图；

图6表示本发明实施例另一实施方式中控制结构放大示意图；

图7表示本发明实施例中载台上的吸附通道分布示意图；

图8表示本发明实施例第一实施方式中载台上的吸附区域分布示意图；

图9表示本发明实施例第二实施方式中载台上的吸附区域分布示意图；

图10表示本发明实施例第三实施方式中载台上的吸附区域分布示意图；

图11表示本发明实施例中待吸附产品吸附于载台上的状态示意图；

图12表示本发明实施例中吸附方法流程图。

具体实施方式

以下结合附图对本发明的特征和原理进行详细说明，所举实施例仅用于解释本发明，并非以此限定本发明保护范围。

如图1-图11所示，本实施例提供一种吸附装置，包括：

载台1，所述载台1包括至少2个吸附区域10，每个吸附区域10包括至少一个吸附通道11，其中，所述吸附装置还包括与所述吸附区域10对应的控制结构2，所述控制结构2用于控制所述吸附通道11关闭和打开。

根据载台上的吸附区域10是否被待吸附产品覆盖而控制相应的吸附通道的打开或关闭，解决待吸附产品面积小于所述吸附区域10的面积、或者待吸附产品的形状不规则，以致于不能完全覆盖所有的所述吸附通道，造成漏气，从而造成吸附不良的问题。

图7-图10中,多条虚线交叉形成多个吸附区域10，待吸附产品放置于所述载台1上时，根据待吸附产品的尺寸，使得待吸附产品覆盖于相应的至少一个吸附区域10上，进行吸附时，被待吸附产品覆盖的吸附区域10的吸附通道打开，未被覆盖的吸附区域10的吸附通道关闭，分区域的设置便于对相应的吸附区域10内的吸附通道的开闭的控制，可快速的对相应的吸附通道进行开闭的控制，提高生产效率。

所述吸附区域的数量的设置、以及每个所述吸附区域内的所述吸附通道11的数量的设置均可以根据实际需要设定。

控制结构2的设置，控制相应的吸附区域内的吸附通道11的关闭和打开，在待吸附产品尺寸不小于载台1的吸附面积，即待吸附产品覆盖了全部的吸附区域时，在控制结构2的控制下，全部的吸附通道11打开；在待吸附产品的面积小于载台1的吸附面积，或者待吸附产品的形状不规则时，即载台1上包括被待吸附产品200覆盖的第一吸附区域100，和未被待吸附产品200覆盖的第二吸附区域101，如图11所示，此时，在相应的控制结构2的控制下，第一吸附区域100内的吸附通道11打开，提供抽吸力以吸附待吸附产品200，第二吸附区域101内的吸附通道11关闭，避免有气流从第二吸附区域101内的吸附通道11内通过而造成漏气，保证待吸附产品200被有效的紧密吸附于载台1上，提高后续工艺的产品良率。

所述控制结构2的具体结构形式可以有多种，可以是自动控制，也可以是手动控制，本实施例中，所述控制结构2包括：

气流通道21，所述气流通道21的吸气端与至少一个所述吸附通道11连通，气流通道21的抽气端与抽气泵连通；

开关单元，设置于所述气流通道21上，用于控制所述气流通道21的开闭。

与所述气流通道21连通的所述吸附通道11的数量的设置可以根据实际需要设定，根据所述气流通道21对应于连通的所述吸附通道11的数量，所述开关单元可以通过控制气流通道21的开闭，从而控制至少一个所述吸附通道11的开闭，所述开关单元可以一对一的控制相对应的所述吸附通道11的开闭，使得所述吸附通道11的开闭的控制更灵活，在载台1承载待吸附产品时，待吸附产品放置的位置也更灵活；但对于大尺寸的待吸附产品，所述气流通道21与多个所述吸附通道11连通，所述开关单元可以同时控制多个所述吸附通道11的开闭，操作简单、省时。

所述开关单元的具体结构形式可以有多种，只要实现控制所述气流通道21的开闭即可，本实施例中，所述开关单元包括：

分支通道22，所述分支通道22的第一端与所述气流通道21连通；

封堵件23，可移动的设置于所述气流通道21与所述分支通道22内，在第一状态时，所述封堵件23位于所述气流通道21内以关闭所述气流通道21，在第二状态下，所述封堵件23位于所述分支通道22内，所述气流通道21打开。

所述封堵件23的移动可以是手动的，也可以是自动的，本实施例中，所述开关单元还包括控制件，用于控制所述封堵件23在所述第一状态和所述第二状态之间切换。

所述分支通道22与所述气流通道21之间的角度可以根据实际需要设定，本实施例中，所述分支通道22与所述气流通道21之间的角度a为锐角，如图5和图6所示，即所述分支通道22斜向上设置。

所述气流通道21打开时，封堵件23位于所述分支通道22内，在关闭所述气流通道21时，封堵件23需要移动至所述气流通道21内以封堵所述气流通道21，所述分支通道22斜向上设置，使得所述封堵件23向所述气流通道21移动的移动方向为沿着所述分支通道22的延伸方向斜向下移动，在封堵件23自身的重力作用下，可以使得封堵件23更顺利的移动至所述气流通道21内，以封闭所述气流通道21。

所述封堵件23的具体结构形式可有多种，只要实现在所述分支通道22与所述气流通道21之间移动，且可以封堵所述气流通道21即可，本实施例中，所述封堵件23为封堵球，在所述第二状态下，所述封堵球位于所述分支通道22的所述第一端，所述分支通道22的所述第一端与所述气流通道21相连通。

为了便于所述封堵球的移动、以及所述封堵球对所述气流通道21的封堵，所述分支通道22与所述气流通道21的相接处为圆滑过渡。

需要说明的是，所述分支通道22与所述气流通道21可以是一体成型，也可以是分别制作完成后再连接在一起。

本实施例中，所述分支通道22上与所述第一端(所述分支通道22与所述气流通道21相连通的一端)相对设置的第二端(所述分支通道22远离所述气流通道21的一端)设置有弹性件24，所述弹性件24的一端固定于所述分支通道22内，所述弹性件24的另一端固定于所述封堵件23上，在所述第二状态下，所述封堵件23位于所述分支通道22的第一端的端口处。

本实施例优选的，所述弹性件24为弹簧。

相应的吸附区域被待吸附产品覆盖，则相应的所述吸附通道11被待吸附产品覆盖，抽气泵打开，封堵件23在弹簧的作用下，位于相应的分支通道22内，对应的气流通道21打开，提供抽吸力将待吸附产品紧密吸附于载台1上。

本实施例中，所述分支通道22为斜向上设置，所述气流通道21处于打开状态时，所述封堵件23位于所述分支通道22内，所述弹簧处于形变状态，以便将封堵件23固定于所述分支通道22内；所述气流通道21由打开状态转换为关闭状态时，所述封堵件23沿着所述分支通道22的延伸方向斜向下移动至所述气流通道21内，所述弹簧的形变量增大；所述气流通道21由关闭状态转化为打开状态时，使得封堵件23沿着所述分支通道22的延伸方向斜向下移动的力消失，在弹簧的作用下，所述封堵件23恢复原位。

当相应的所述吸附区域未被待吸附产品覆盖，即相应的所述吸附通道11未被待吸附产品覆盖，在抽气泵未打开时，封堵件23位于分支通道22内，即相应的吸附通道11处于打开状态，抽气泵打开时，与该吸附区域对应的控制结构2的气流通道21内具有高速气流流动时，由流体力学原理导致在封堵件23左下方的A处压强减小，使封堵件23向沿着所述分支通道22的延伸方向斜向下移动(沿着所述分支通道22的延伸方向、向靠近所述气流通道21的方向移动)(如图2所示，气流通道21内的箭头表示气流)，当封堵件23运动到B位置时(如图3所示，封堵件23内的箭头表示封堵件23的运动方向)由于封堵件23的移动而使得相应的气流通道21内可以供气流通过的空间减小，气体流速变大，导致在封堵件23下方的C点处压强变小，使得封堵件23沿着所述气流通道21的延伸方向向下(远离所述载台1的方向)运动，最终封堵件23完全将该气流通道21封堵(如图4所示)，则与该气流通道21连通的至少一个吸附通道11关闭，使得相应的控制结构2控制的至少一个所述吸附通道11不再有漏气现象。

当相应的吸附区域上覆盖有待吸附产品时，即该吸附区域内的所述吸附通道11被待吸附产品覆盖，抽气泵处于关闭状态时，封堵件23位于分支通道22内，即相应的吸附通道11处于打开状态；抽气泵打开时，对应于该吸附区域的控制结构2的气流通道21内没有高速气流通过，封堵件23周围不会有明显的压强变化，受弹簧拉力作用封堵件23位于所述分支通道22内保持静止状态，此时气流通道21处于开启状态，气流通道21内较大的抽吸力可将待吸附产品紧密吸附在载台1上。

将待吸附产品未覆盖的所述吸附通道11自动关闭，而只开启被待吸附产品覆盖的所述吸附通道11，最终实现依据待吸附产品的大小自动调节吸附面积的功能。

本实施例中，所述气流通道21上设有与所述分支通道22相连通的通孔，部分所述气流通道21的内壁向外侧凸起以在所述气流通道的内壁上形成一凹槽213，该凹槽213与所述通孔相对设置，在所述封堵球封堵所述气流通道21时，所述凹槽213远离所述气流通道21的吸气端的侧壁与所述封堵球相切。

本实施例中，所述凹槽213呈半球形结构，所述凹槽213的横截面可以是具有缺口的环形凹槽，所述分支通道位于所述缺口处，但并不以此为限。

如图5和图6所示，所述凹槽213将所述气流通道21划分为第一部分211和第二部分212，所述第一部分211包括作为所述吸气端的第三端和与所述吸气端相对设置的第四端，所述第四端的直径小于所述第三端的直径，所述第二部分212包括靠近所述凹槽213设置的第五端和远离所述凹槽213的第六端，所述第五端的直径小于所述第六端的直径，即在所述凹槽213的两侧的所述气流通道的管径缩小，通过所述气流通道21的管径的变化调节所述气流通道21内部的气流运动路径和气压变化，从而控制封堵件的运动，进而实现所述气流通道21的关闭状态。

所述凹槽213的大小可根据实际需要设定，图5和图6中所示的凹槽213的结构的设置为本实施例中的两种实施方式中的示意图，其中，图5中所示的凹槽213的设置更利于封堵件23的移动，但不以此为限。

本实施例中，所述封堵球的直径不小于所述气流通道21的内径，以使得所述封堵件23可以密封所述气流通道21，防止气流通道21漏气。

优选的，为了利于在所述封堵球在封堵所述气流通道后、顺利的返回所述分支通道内，所述封堵球的直径大于所述气流通道21的直径。在封堵球对所述气流通道21进行封堵时，封堵球位于所述凹槽213内。

本实施例中，所述气流通道21的吸气端可拆卸的连接于所述载台1上。便于所述控制结构2与载台1的安装与拆卸。

需要说明的是，本实施例中，所述吸附区域的数量的设置、以及每个所述吸附区域内的所述吸附通道11的数量的设置均可以根据实际需要设定，每个所述吸附区域内设置最少为一个所述吸附通道11，即每个控制结构2控制一个独立的所述吸附通道11，当相邻两个所述吸附通道11之间的间距较大时可采用此种方式，若所述吸附通道11数量密集，每个所述吸附区域内的吸附通道11的数量可增加，如图7所示，但不限于图7中所示的吸附通道11的数量，本实施例中最小吸附区域为1cm×1cm，但并不以此为限。

本实施例中，所述载台1上的所述吸附区域可灵活设定，所述吸附区域的大小的设置可以相同，也可以不同，所述控制结构2的气流通道21所对应的吸附通道11的数量可以相同，也可以不同。例如，如图8所示，在所述载台1上的A区域内设置多个吸附区域，而A区域内的每个吸附区域内的吸附通道11的数量少于A区域之外的每个吸附区域内吸附通道11的数量，如A区域内的每个吸附区域内设置一个吸附通道11，对应的控制结构2的气流通道21与一个吸附通道11连通，以控制该吸附通道11的开闭，而A区域之外的每个吸附区域的吸附通道11平均分配，且A区域之外的每个吸附区域内设置至少2个吸附通道11，对应的控制结构2的气流通道21与至少2个吸附通道11连通，从而同时控制至少2个吸附通道11的开闭，这样可在A区域内进行一些特殊尺寸及形状的待吸附产品的吸附，实现整个载台1的多功能化吸附。

本实施中，多个所述吸附区域的设置不限于连续区域，可以为有规则的间隔设置，每个所述吸附区域内的吸附通道11由一个单独的控制结构2控制，如图9和图10中所示，此种载台1适用于一些标准件的吸附，如半导体显示领域中，一块大基板中会有规则的排布一些尺寸一致的小基板，此种载台1既可以吸附整张大基板，也可将某一小基板放置于载台1上的预设位置(对应于至少一个吸附区域)进行吸附，而不会受其他吸附区域的干扰。应当理解的是，图9和图10中所述吸附区域的分布仅是本实施例的一个实施方式，并不以此为限。

本实施例中，所述载台1的边缘设有至少一个定位器3。本实施例中，所述定位器3的数量为3个，但并不以此为限。

所述定位器3的具体结构形式可以有多种，例如，距离传感器等，本实施例中，所述定位器3为设置于所述载台1边缘的柱状结构，3个所述定位器3的连线呈直角关系。

本实施例中，定位器3的设置，便于较大尺寸及标准尺寸的待吸附产品的定位，本实施例中，待吸附产品放置于所述载台上时，与所述定位器3抵接，避免待吸附产品发生左右和前后的偏移。

如图12所示，本实施例还提供一种吸附方法，采用上述的吸附装置进行吸附，包括以下步骤：

将待吸附产品放置于载台1的吸附区域；

控制被待吸附产品覆盖的吸附通道11打开，未被待吸附产品覆盖的吸附通道11关闭。

根据载台上的吸附区域10是否被待吸附产品覆盖而控制相应的吸附通道的打开或关闭，解决待吸附产品面积小于所述吸附区域10的面积、或者待吸附产品的形状不规则，以致于不能完全覆盖所有的所述吸附通道，造成漏气，从而造成吸附不良的问题。

在待吸附产品尺寸不小于载台1的吸附面积，即待吸附产品覆盖了全部的吸附区域时，在控制结构2的控制全部的吸附通道11打开；在待吸附产品的面积小于载台1的吸附面积，或者待吸附产品的形状不规则时，即载台1上包括被待吸附产品200覆盖的第一吸附区域100，和未被待吸附产品200覆盖的第二吸附区域101，如图11所示，此时，在相应的控制结构2的控制下，第一吸附区域100内的吸附通道11打开，提供抽吸力以吸附待吸附产品200，第二吸附区域101内的吸附通道11关闭，避免有气流从第二吸附区域101内的吸附通道11内通过而造成漏气，保证待吸附产品200被有效的紧密吸附于载台1上，提高后续工艺的产品良率。

控制所述吸附通道11打开和关闭的方法有多种，本实施例中通过一个开关单元的设置实现，具体的，所述被待吸附产品覆盖的吸附通道11打开，未被待吸附产品覆盖的吸附通道11关闭，包括：

通过所述开关单元将对应于被待吸附产品覆盖的吸附通道11的气流通道21打开，将对应于未被待吸附产品覆盖的吸附通道11的气流通道21关闭。

所述开关单元的具体结构形式不同，则相应的控制所述吸附通道11打开和关闭的方法不同，本实施例中，所述开关单元包括：

分支通道22，所述分支通道22的第一端与所述气流通道21连通；

封堵件23，可移动的设置于所述气流通道21与所述分支通道22内，在第一状态时，所述封堵件23位于所述气流通道21内以关闭所述气流通道21，在第二状态下，所述封堵件23位于所述分支通道22内，所述气流通道21打开；

所述通过所述开关单元将对应于被待吸附产品覆盖的吸附通道11的气流通道21打开，将对应于未被待吸附产品覆盖的吸附通道11的气流通道21关闭，包括：

控制封堵件23移动至第一气流通道21内，关闭第一气流通道21；

控制封堵件23移动至分支通道22内，打开相应的第二气流通道21；

其中，所述第一气流通道21为对应于未被待吸附产品覆盖的吸附通道11的气流通道21，所述第二气流通道21为对应于被待吸附产品覆盖的吸附通道11的气流通道21。

本实施例的一个实施方式中通过一个控制件实现封堵件23在所述分支通道22和所述气流通道21之间移动，从而实现所述气流通道21的打开和关闭。

本实施例的另一实施方式中，所述分支通道22上与所述第一端(与所述气流通道21相连通的一端)相对设置的第二端设置有弹簧，所述弹性件的一端固定于所述分支通道22内，所述弹簧的另一端固定于所述封堵件23上，在所述第二状态下，所述封堵件23位于所述分支通道22的第一端的端口处。所述封堵件23为封堵球。利于所述气流通道21内的压强变化、配合弹簧的弹力作用实现所述封堵件23在所述分支通道22和所述气流通道21之间移动，从而实现所述气流通道21的打开和关闭。具体的，所述通过开关单元将对应于被待吸附产品覆盖的吸附通道11的气流通道21打开，将对应于未被待吸附产品覆盖的吸附通道11的气流通道21关闭，包括：

抽气泵打开，在所述第一气流通道21内的气流的作用下，封堵件23移动至第一气流通道21内，第一气流通道21关闭；在第二气流通道21对应的分支通道22内的弹性件24的作用下，封堵件23位于分支通道22内，第二气流通道21打开。

当相应的所述吸附区域未被待吸附产品覆盖，即相应的所述吸附通道11未被待吸附产品覆盖，在抽气泵未打开时，封堵件23位于分支通道22内，即相应的吸附通道11处于打开状态，抽气泵打开时，与该吸附区域对应的控制结构2的气流通道21内具有高速气流流动时，由流体力学原理导致在封堵件23左下方的A处压强减小，使封堵件23向沿着所述分支通道22的延伸方向斜向下移动(沿着所述分支通道22的延伸方向、向靠近所述气流通道21的方向移动)(如图2所示，气流通道21内的箭头表示气流)，当封堵件23运动到B位置时(如图3所示，封堵件23内的箭头表示封堵件23的运动方向)由于封堵件23的移动而使得相应的气流通道21内可以供气流通过的空间减小，气体流速变大，导致在封堵件23下方的C点处压强变小，使得封堵件23沿着所述气流通道21的延伸方向向下(远离所述载台1的方向)运动，最终封堵件23完全将该气流通道21封堵(如图4所示)，则与该气流通道21连通的至少一个吸附通道11关闭，使得相应的控制结构2控制的至少一个所述吸附通道11不再有漏气现象。

当相应的吸附区域上覆盖有待吸附产品时，即该吸附区域内的所述吸附通道11被待吸附产品覆盖，抽气泵处于关闭状态时，封堵件23位于分支通道22内，即相应的吸附通道11处于打开状态；抽气泵打开时，对应于该吸附区域的控制结构2的气流通道21内没有高速气流通过，封堵件23周围不会有明显的压强变化，受弹簧拉力作用封堵件23位于所述分支通道22内保持静止状态，此时气流通道21处于开启状态，气流通道21内较大的抽吸力可将待吸附产品紧密吸附在载台1上。

以上所述为本发明较佳实施例，需要说明的是，对于本领域普通技术人员来说，在不脱离本发明所述原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明保护范围。

Claims (11)

1.一种吸附装置，其特征在于，包括：

载台，所述载台包括至少2个吸附区域，每个吸附区域包括至少一个吸附通道，其中，所述吸附装置还包括与所述吸附区域对应的控制结构，所述控制结构用于控制所述吸附通道关闭和打开；

所述控制结构包括：

气流通道，所述气流通道的吸气端与至少一个所述吸附通道连通，气流通道的抽气端与抽气泵连通；

开关单元，设置于所述气流通道上，用于控制所述气流通道的开闭；

所述开关单元包括：

分支通道，所述分支通道的第一端与所述气流通道连通，所述分支通道上与所述第一端相对设置的第二端向着靠近所述载台的方向倾斜延伸，所述分支通道与所述气流通道之间的夹角为锐角；

封堵件，可移动的设置于所述气流通道与所述分支通道内，在第一状态时，所述封堵件位于所述气流通道内以关闭所述气流通道，在第二状态时，所述封堵件位于所述分支通道内，所述气流通道打开；

所述分支通道上与所述第一端相对设置的第二端设置有弹性件，所述弹性件的一端固定于所述分支通道内，所述弹性件的另一端固定于所述封堵件上，在所述第二状态下，所述封堵件位于所述分支通道的第一端的端口处；

所述封堵件为封堵球；

所述气流通道上设有与所述分支通道相连通的通孔，部分所述气流通道的内壁向外侧凸起以在所述气流通道的内壁上形成一凹槽，该凹槽与所述通孔相对设置，在所述封堵球封堵所述气流通道时，所述凹槽远离所述气流通道的吸气端的侧壁与所述封堵球相切；

所述凹槽将所述气流通道划分为第一部分和第二部分，所述第一部分包括作为所述吸气端的第三端和与所述吸气端相对设置的第四端，所述第四端的直径小于所述第三端的直径，所述第二部分包括靠近所述凹槽设置的第五端和远离所述凹槽的第六端，所述第五端的直径小于所述第六端的直径。

2.根据权利要求1所述的吸附装置，其特征在于，所述开关单元还包括控制件，用于控制所述封堵件在第一状态和第二状态之间切换。

3.根据权利要求1所述的吸附装置，其特征在于，所述弹性件为弹簧。

4.根据权利要求1所述的吸附装置，其特征在于，所述封堵件为封堵球，在所述第二状态下，所述封堵球位于所述分支通道的所述第一端。

5.根据权利要求1所述的吸附装置，其特征在于，所述封堵球的直径不小于所述气流通道的内径。

6.根据权利要求1所述的吸附装置，其特征在于，所述气流通道的吸气端可拆卸的连接于所述载台上。

7.根据权利要求1所述的吸附装置，其特征在于，所述载台的边缘设有至少一个定位器。

8.一种吸附方法，其特征在于，采用权利要求1-7任一项所述的吸附装置进行吸附，包括：

将待吸附产品放置于载台的吸附区域；

控制被待吸附产品覆盖的吸附区域的吸附通道打开，未被待吸附产品覆盖的吸附区域的吸附通道关闭。

9.根据权利要求8所述的吸附方法，其特征在于，所述控制结构包括：

气流通道，所述气流通道的吸气端与至少一个所述吸附通道连通，气流通道的抽气端与抽气泵连通；

开关单元，设置于所述气流通道上，用于控制所述气流通道的开闭；

所述被待吸附产品覆盖的吸附通道打开，未被待吸附产品覆盖的吸附通道关闭，包括：

通过所述开关单元将对应于被待吸附产品覆盖的吸附通道的气流通道打开，将对应于未被待吸附产品覆盖的吸附通道的气流通道关闭。

10.根据权利要求9所述的吸附方法，其特征在于，所述开关单元包括：

分支通道，所述分支通道的第一端与所述气流通道连通；

封堵件，可移动的设置于所述气流通道与所述分支通道内，在第一状态时，所述封堵件位于所述气流通道内以关闭所述气流通道，在第二状态下，所述封堵件位于所述分支通道内，所述气流通道打开；

所述通过所述开关单元将对应于被待吸附产品覆盖的吸附通道的气流通道打开，将对应于未被待吸附产品覆盖的吸附通道的气流通道关闭，包括：

控制封堵件移动至第一气流通道内，关闭第一气流通道；

控制封堵件移动至分支通道内，打开相应的第二气流通道；

其中，所述第一气流通道为对应于未被待吸附产品覆盖的吸附通道的气流通道，所述第二气流通道为对应于被待吸附产品覆盖的吸附通道的气流通道。

11.根据权利要求10所述的吸附方法，其特征在于，所述通过开关单元将对应于被待吸附产品覆盖的吸附通道的气流通道打开，将对应于未被待吸附产品覆盖的吸附通道的气流通道关闭，包括：

抽气泵打开，在所述第一气流通道内的气流的作用下，封堵件移动至第一气流通道内，第一气流通道关闭；在第二气流通道对应的分支通道内的弹性件的作用下，封堵件位于分支通道内，第二气流通道打开。

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