CN109423693A

CN109423693A - 用于制造结晶膜的方法

Info

Publication number: CN109423693A
Application number: CN201810948015.9A
Authority: CN
Inventors: 大岛佑; 大岛佑一; 河原克明; 四户孝; 松田时宜; 人罗俊实
Original assignee: Liu Hui Plant; National Institute for Materials Science
Current assignee: Liu Hui Plant; National Institute for Materials Science
Priority date: 2017-08-21
Filing date: 2018-08-20
Publication date: 2019-03-05
Anticipated expiration: 2038-08-20
Also published as: JP2019034882A; CN109423693B; JP7163540B2; CN114836833A; US20190055646A1

Abstract

根据本发明的方面，用于制造结晶膜的方法包括气化金属源以将金属源转化为含金属的原料气体；将含金属的原料气体和含氧的原料气体供应到反应室中到基板上；以及将反应气体供应到反应室中到基板上，以在反应气体的气流下形成结晶膜。

Description

用于制造结晶膜的方法

相关申请的交叉引用

本申请要求2017年8月21日提交的日本专利申请第2017-158305号的优先权权益，其公开内容通过引用以其整体并入本文。

技术领域

本公开涉及用于制造结晶膜的方法。

背景技术

作为背景，已报道了氧化镓(Ga₂O₃)具有五种不同的多晶型物，包括α相、β相、γ相、δ相和ε相(参见NPL1：Rustum Roy等，“Polymorphism of Ga₂O₃and the System Ga₂O₃-H₂O”。在这五种多晶型物中，β-Ga₂O₃被认为是热力学上最稳定的，并且α-Ga₂O₃和ε-Ga₂O₃被认为是亚稳定的。氧化镓(Ga₂O₃)表现出宽带隙并且作为半导体装置的潜在半导体材料吸引较多的关注。

根据NPL 2，建议氧化镓(Ga₂O₃)的带隙能够通过与铟和/或铝形成混合晶体来控制(参见NPL 2：Kentaro KANEKO，“Fabrication and physical properties of corundum-structured alloys based on gallium oxide”，论文，京都大学，2013年3月，概述和内容于2014年1月31日对公众开放)。其中，由In_XAl_YGa_ZO₃(0≤X≤2，0≤Y’≤2，0≤Z’≤2，X+Y+Z＝1.5至2.5)表示的InAlGaO类半导体是极具吸引力的材料(参见PCT国际公开号WO2014/050793A1)。

然而，由于β相是氧化镓的最稳定的相，因此难以在不使用合适的成膜方法的情况下形成亚稳定刚玉结构的氧化镓的结晶膜。而且，由熔融生长获得的块状基板不能用于为刚玉结构且亚稳定的α-Ga₂O₃。因此，具有与刚玉结构α-Ga₂O₃相同结构的蓝宝石基板用于在蓝宝石基板上形成α-Ga₂O₃，但是，蓝宝石和α-Ga₂O₃的晶格失配不小(△a/a～4.5％，△c/c～3.3％)，因此，在蓝宝石基板上异质外延生长的α-Ga₂O₃结晶膜倾向于包括高密度的位错。此外，还存在对加速成膜速度、提高α-相氧化镓的结晶膜和/或α-相氧化镓的混合晶体的结晶膜的质量、抑制晶体缺陷(包括发生裂缝、异常生长、晶体孪晶和/或结晶膜的弯曲)的进一步挑战。在这样的情况下，不间断地进行对刚玉结构的结晶半导体膜的研究。

公开了一种使用镓和/或铟的溴化物或碘化物通过雾化化学气相沉积(CVD)来制造的氧化物结晶膜(参见日本专利公开号5397794)。而且，公开了多层结构包括刚玉结构的基板上的刚玉结构的半导体层和刚玉结构的绝缘层(参见日本专利公开号5343224和公开号5397795以及未审查的日本专利公开号JP2014-72533)。此外，公开了使用ELO基板通过雾化CVD法成膜和形成空隙(参见未审查的日本专利公开号2016-100592、公开号2016-98166、公开号2016-100593和公开号2016-155714)。而且，公开了通过卤化物气相外延(HVPE)方法形成刚玉结构的氧化镓膜。然而，在成膜速率或速度方面存在改进的空间，并且需要一种以足够的速度制造结晶膜的方法。

而且，考虑到α-Ga₂O₃是亚稳定的，与具有稳定相的稳定的β-Ga₂O₃的情况相比，在抑制缺陷密度的情况下更加难以形成α-Ga₂O₃膜和含有镓和一种或多种金属的结晶金属氧化物的结晶膜。因此，为了获得α-Ga₂O₃膜和含有镓和一种或多种金属的结晶金属氧化物的结晶膜，仍然存在各种应对挑战。

发明内容

根据本发明主题的第一方面，用于制造结晶膜的方法包括：气化金属源以将金属源转化为含金属的原料气体；将含金属的原料气体和含氧的原料气体供应到反应室中到基板上；以及将反应气体供应到反应室中到基板上，以在反应气体的气流下形成结晶膜。

而且，建议反应气体是蚀刻气体。

根据本发明主题的用于制造结晶膜的方法的实施方式，反应气体可含有选自卤化氢和含有卤素和氢的基团中的至少一种。

建议基板包括布置在基板的表面上的不平坦部分。

根据本发明主题的用于制造结晶膜的方法的实施方式，不平坦部分可包括至少一个掩模。

而且，建议不平坦部分可包括至少一个开口。

根据本发明主题的用于制造结晶膜的方法的实施方式，基板可以是图案化的蓝宝石基板。

建议在400℃至700℃的范围内的温度下加热基板。

而且，根据本发明主题的用于制造结晶膜的方法的实施方式，金属源含有镓。

建议气化金属源通过卤化金属源来进行。

根据本发明主题的用于制造结晶膜的方法的实施方式，含氧的原料气体含有选自氧(O₂)、水(H₂O)和氧化亚氮(N₂O)中的至少一种。

而且，建议基板具有刚玉结构。

而且，建议结晶膜具有刚玉结构。

根据本发明主题的用于制造结晶膜的方法的实施方式，该方法可包括通过使用雾化化学气相沉积法在基板的至少一个表面上形成缓冲层。

根据本发明主题的第二方面，用于制造结晶膜的方法包括：在基板的表面上形成不平坦部分；气化金属源以将金属源转化为含金属的原料气体；将含金属的原料气体和含氧的原料气体供应到反应室中，到基板的表面上的不平坦部分上；以及将反应气体供应到反应室中，到基板的表面上的不平坦部分上，以在反应气体的气流下形成结晶膜。

建议该方法进一步包括：在作为第一结晶膜的结晶膜的表面上形成不平坦部分；以及气化金属源以将金属源转化为含金属的原料气体；将含金属的原料气体和含氧的原料气体供应到反应室中，到基板的表面上的不平坦部分上；将反应气体供应到反应室中，到基板的表面上的不平坦部分上，以在反应气体的气流下形成第二结晶膜。

根据本发明主题的第三方面，用于制造结晶膜的方法包括：通过使用雾化化学气相沉积法在基板的至少一个表面上形成缓冲层；在缓冲层的表面上形成不平坦部分；气化金属源以将金属源转化为含金属的原料气体；将含金属的原料气体和含氧的原料气体供应到反应室中，到基板的缓冲层的表面上的不平坦部分上；将反应气体供应到反应室中，到基板的缓冲层的表面上的不平坦部分上，以在反应气体的气流下形成结晶膜。

建议该方法可进一步包括：在作为第一结晶膜的结晶膜的表面上形成不平坦部分；以及气化金属源已将金属源转化为含金属的原料气体；将含金属的原料气体和含氧的原料气体供应到反应室中，到基板的表面上的不平坦部分上；以及将反应气体供应到反应室中，到基板的表面上的不平坦部分上，以在反应气体的气流下形成第二结晶膜。

附图说明

图1示出用于根据本发明主题的制造结晶膜的方法的实施方式中的卤化物气相外延(HVPE)设备的示意性透视图。

图2示出作为示例的根据本发明主题的实施方式的基板的示意性透视图，该基板具有形成在基板的表面上的不平坦部分。

图3示出作为示例的根据本发明主题的基板的示意性俯视图，该基板具有形成在基板的表面上的不平坦部分。

图4示出作为示例的根据本发明主题的基板的示意性透视图，该基板具有形成在基板表面上的不平坦部分。

图5示出作为示例的根据本发明主题的基板的俯视图，该基板具有形成在基板的表面上的不平坦部分。

图6A示出作为示例的根据本发明主题的基板的示意性透视图，该基板具有形成在基板的表面上的不平坦部分。

图6B示出图6A中所示的基板的示意性俯视图。

图7A示出作为示例的根据本发明主题的基板的示意性透视图，该基板具有形成在基板的表面上的不平坦部分。

图7B示出作为示例的根据本发明主题的基板的示意性俯视图，该基板具有形成在基板的表面上的不平坦部分。

图8示出雾化化学气相沉积(CVD)设备的示意图，该设备用于根据本发明主题的制造结晶膜的方法的实施方式中。

图9示出根据本发明主题的实施方式的结晶膜的扫描XRD测量结果。

图10示出根据实施例2作为本发明主题的实施方式的结晶膜的表面SEM图像。

图11示出根据本发明主题的实施方式的形成在基板上的结晶膜的图片。

图12示出根据本发明主题的实施方式获得的结晶膜的SIMS测量结果。

具体实施方式

本文使用的术语仅用于描述特定实施方式的目的，而不是意图限制本主题。如本文使用的，单数形式“一(a)”，“一(an)”和“所述(the)”也旨在包括复数形式，除非上下文另有明确说明。

如本文使用的，术语“和/或”包括一个或多个相关列出项目的任何和所有组合。

如随本文提交的附图中所图示的，出于说明的目的，一些结构或部分的尺寸可以相对于其他结构或部分被放大。比如“下方”或“上方”或“上”或“下”的相对术语在本文中可用于描述如图中所示的一个元件、层或区域与另一个元件、层或区域的关系。应当理解，除了图中描绘的取向之外，这些术语旨在涵盖层、装置和/或系统的不同取向。

(金属源)

金属源不受特别限制，只要金属源含有至少一种金属并且能够被气化即可。金属源可以是元素金属的金属源。而且，金属源可以是金属化合物的金属源。金属源中含有的金属的示例包括镓、铝、铟、铁、铬、钒、钛、铑、镍、钴和铱。金属源中可含有一种或多种金属。

在本发明主题的用于制造结晶膜的方法的实施方式中，金属源的金属可以是选自镓、铝和铟中的至少一种，但进一步优选地，金属源的金属含有镓。在本发明主题的用于制造结晶膜的方法的实施方式中，金属源最优选是镓源。

而且，金属源可以是气体源、液体源和固体源，但是，如果金属源的金属是镓，则优选镓的液体源。

气化金属源以将金属源转化为含金属的原料气体不受特别限制，只要不干扰本发明主题的目的并且可以通过已知方法进行即可。在本发明主题的实施方式中，气化金属源以将金属源转化为含金属的原料气体优选通过卤化金属源来进行。用于卤化金属源的卤化剂不受特别限制，只要金属源能够被卤化即可并且可以是已知的卤化剂。卤化剂可以是卤素和/或卤化氢。卤素的示例包括氟、氯、溴和碘。而且，卤化氢的示例包括氟化氢、氯化氢、溴化氢和碘化氢。在本发明主题的实施方式中，优选使用卤化氢卤化金属源，并且进一步优选使用氯化氢卤化金属源。在用于制造结晶膜的方法的实施方式中，卤化金属源优选通过向金属源供应卤素或卤化氢作为卤化剂并使金属源和卤化剂在金属卤化物的蒸发温度或高于金属卤化物的蒸发温度的温度下反应来进行。蒸发温度不受特别限制，但是，在金属源的金属是镓而卤化剂是氯化氢的实施方式中，蒸发温度优选为900℃或更低，进一步优选为700℃或更低。蒸发温度最优选在400℃至700℃的范围内。

含金属的原料气体不受特别限制，只要含金属的原料气体是含有金属源的金属的气体即可。含金属的原料气体的示例可以是卤化剂，比如氟化物、氯化物、溴化物和碘化物。

在本发明主题的实施方式中，在气化金属源以将金属源转化为含金属的原料气体之后，将含金属的原料气体和含氧的原料气体供应到反应室中到基板上。而且，在本发明主题的实施方式中，将反应气体供应到反应室中到基板上。含氧的原料气体的示例包括氧(O₂)气体、二氧化碳(CO₂)气体、一氧化氮(NO)气体、二氧化氮(NO₂)气体、氧化亚氮(N₂O)气体、H₂O气体和臭氧(O₃)气体。在本发明主题的实施方式中，含氧的原料气体优选为选自O₂气体、H₂O气体和(N₂O)气体中的至少一种，并且含氧的原料气体进一步优选含有O₂气体。根据用于制造结晶膜的方法的实施方式，含氧的原料气体可含有CO₂气体。反应气体(通常不同于含金属的原料气体和含氧的原料气体)不包括惰性气体。反应气体不受特别限制，只要不干扰本发明主题的目的即可，但是，将蚀刻气体作为示例。蚀刻气体不受特别限制，只要不干扰本发明主题的目的即可，并且可以是已知的蚀刻气体。在用于制造结晶膜的方法的实施方式中，反应气体优选为卤素气体、卤化氢气体和/或氢气。卤素气体的示例包括氟气、氯气、溴气和碘气。卤化氢气体的示例包括氢氟酸气体、盐酸气体、溴化氢气体和碘化氢气体。

反应气体可以是含有上述两种或更多种气体的混合气体，并且反应气体优选含有卤化氢气体，且最优选含有氯化氢。

而且，含金属的原料气体、含氧的原料气体和反应气体可分别含有载气。作为示例，载气可以是惰性气体。惰性气体的示例包括氮和氩。

此外，含金属的原料气体的分压不受特别限制，但是在本发明主题的方法的实施方式中，含金属的原料气体的分压优选在0.5Pa至1kPa的范围内，且进一步优选在5Pa至0.5kPa的范围内。而且，含氧的原料气体的分压不受特别限制，但是在本发明主题的方法的实施方式中，含氧的原料气体的分压优选在含金属的原料气体的分压的0.5至100倍的范围内，且进一步优选在含金属的原料气体的分压的1至20倍的范围内。另外，反应气体的分压不受特别限制，但是在本发明主题的方法的实施方式中，反应气体的分压优选在含金属的原料气体的分压的0.1至5倍的范围内，且进一步优选在0.2至3倍的范围内。

在本发明主题的方法的实施方式中，进一步优选将含掺杂剂的原料气体供应到反应室中到基板上。含掺杂剂的原料气体不受特别限制，只要含掺杂剂的原料气体含有掺杂剂即可。掺杂剂也不受特别限制，但是在本发明主题的方法的实施方式中，掺杂剂可含有选自锗、硅、钛、锆、钒、铌和锡中的一种或多种元素。根据本发明主题的实施方式，掺杂剂优选含有锗、硅和/或锡，且最优选含有锗。通过在用于制造结晶膜的方法中使用含掺杂剂的原料气体，能够容易地控制待获得的结晶膜的导电率。含掺杂剂的原料气体优选含有化合物形式的掺杂剂。化合物形式的掺杂剂的示例包括卤化物和氧化物。含掺杂剂的原料气体进一步优选含有卤化物作为掺杂剂。含掺杂剂的原料气体的分压不受特别限制，但是在本发明主题的方法的实施方式中，含掺杂剂的原料气体的分压优选在1×10^-7至0.1倍的范围内，且进一步优选在2.5×10^-6至7.5×10^-2倍的范围内。此外，在本发明主题的方法的实施方式中，含掺杂剂的原料气体优选与反应气体一起供应到反应室中到基板上。

(基板)

基板不受特别限制，只要基板包括在基板的表面上的不平坦部分并且能够支撑将在基板上生长的结晶膜即可。基板的表面上的不平坦部分可包括至少一个掩膜和/或至少一个开口。基板可以是已知的基板。基板可以是电绝缘基板。基板可以是导电基板。而且，基板可以是半导体基板。在本发明主题的用于制造结晶膜的方法的实施方式中，基板优选是结晶基板。

(结晶基板)

结晶基板不受特别限制，只要基板含有晶体作为主要组分即可，并且可以是已知的基板。结晶基板可以是电绝缘基板。而且，结晶基板可以是半导体基板。结晶基板可以是单晶基板。而且，结晶基板可以是多晶基板。结晶基板的示例包括含有刚玉结构的晶体作为主要组分的基板、含有β氧化镓结构的晶体作为主要组分的基板和六方结构的基板。此处的术语“主要组分”意为结晶基板中晶体的组成比为50％或更高，优选70％或更高，且进一步优选90％或更高。

含有刚玉结构晶体作为主要组分的基板的示例包括蓝宝石(α-Al₂O₃)基板和α相氧化镓(α-Ga₂O₃)基板。含有β氧化镓结构的晶体作为主要组分的基板的示例包括β相氧化镓(β-Ga₂O₃)基板和含有β-Ga₂O₃和α-Al₂O₃的混合晶体的基板。作为含有β-Ga₂O₃和α-Al₂O₃的混合晶体的基板，以原子比计，其中含有Al₂O₃的混合晶体的基板在超过0％至60％或更少的范围内。而且，六方结构的基板的示例包括碳化硅(SiC)基板、氧化锌(ZnO)基板、氮化镓(GaN)基板。另一种结晶基板的示例是例如硅(Si)基板。

在本发明主题的实施方式中，结晶基板优选是蓝宝石基板。蓝宝石基板的示例包括c面蓝宝石基板、m面蓝宝石基板和a面蓝宝石基板。蓝宝石基板可包括偏角。蓝宝石基板的偏角不受特别限制，但是，优选在0°至15°的范围内。而且，结晶基板的厚度不受特别限制，但是优选在50μm至2000μm的范围内，并且进一步优选在200μm至800μm的范围内。

在本发明主题的实施方式中，由于基板包括含有至少一个掩膜和/或两个或更多个开口的不平坦部分，因此能够有效地制造结晶膜。基板的不平坦部分不受特别限制，只要基板的不平坦部分包括选自掩膜和开口中的至少一个即可。基板的不平坦部分可以是两个或更多个掩膜。而且，基板的不平坦部分可以是两个或更多个开口。此外，基板的不平坦部分可以是掩膜和开口的组合。基板的不平坦部分可包括规则布置的掩膜和/或开口。而且，基板的不平坦部分可包括不规则布置的掩膜和/或开口。在本发明主题的实施方式中，不平坦部分的掩膜和/或开口以规则间隔布置。例如，规则间隔可以被设定为第一掩膜的中心和邻近第一掩膜定位的第二掩膜的中心之间的距离，或者第一开口的中心与邻近第一开口定位的第二开口的中心之间的距离。在本发明主题的实施方式中，不平坦部分的掩膜和/或开口优选规则且重复地布置为规则图案。掩膜的规则图案的示例包括条纹图案、点图案和格子图案。在本发明主题的实施方式中，不平坦部分的掩膜和/或开口优选以条纹图案或点图案布置，并且进一步优选以点图案布置。可以布置在平面图中各自为多边形形状的掩膜和/或开口。在平面图中多边形的示例包括三角形、四边形、五边形和六边形。而且，四边形的示例包括正方形、矩形和梯形。此外，掩膜和/或开口可以被规则地和重复地布置为图案。不平坦部分的掩膜的示例看起来是在如图3所示的俯视图中以规则间隔以网格图案布置的圆，在如图5所示的俯视图中以规则间隔的规则正方形、三角形。

至少一个掩膜的材料组分不受特别限制并且可以是已知的材料组分。不平坦部分的掩膜可以是电绝缘的。而且，不平坦部分的掩膜可以是导电的。不平坦部分的掩膜可以是半导电的。不平坦部分的掩膜的材料组分可以是非晶的。不平坦部分的掩膜的材料组分可以是单晶的。而且，不平坦部分的掩膜的材料组分可以是多晶的。不平坦部分的掩膜的材料组分的示例包括氧化物、氮化物、碳化物、碳、金刚石、金属，以及选自氧化物、氮化物、碳化物、碳、金刚石和金属中的至少两种的混合物。氧化物的示例包括硅(Si)氧化物、锗(Ge)氧化物、钛(Ti)氧化物、锆(Zr)氧化物、铪(Hf)氧化物、钽(Ta)氧化物和锡(Sn)氧化物。更具体地，不平坦部分的掩膜的材料组分可以是含有选自SiO₂、SiN和多晶硅中的至少一种作为主要组分的含硅化合物，以及熔点高于结晶膜(其是结晶氧化物半导体膜)的晶体生长温度的金属。熔点高于结晶膜的晶体生长温度的金属的示例包括铂、金、银、钯、铑、铱和钌。而且，不平坦部分的掩膜的主要组分以组成比计占50％或更多，优选70％或更多，最优选90％或更多。

可通过已知方法形成不平坦部分的掩膜。已知方法的示例包括光刻、电子束光刻、激光照射和蚀刻(比如干法蚀刻和湿法蚀刻)。在本发明主题的实施方式中，脊形状的掩膜优选平行布置，并且脊形状的掩膜进一步优选以规则间隔以网格图案布置。在本发明主题的用于制造结晶膜的方法的实施方式中，结晶基板优选是图案化的蓝宝石基板(PSS)。不平坦部分的掩膜的形状可以形成为图案。图案的形状包括圆锥形、半球形、圆顶形、四棱柱形和四角锥形。而且，掩膜的每个形状之间的距离不受特别限制，但是，在本发明主题的实施方式中，该距离优选为5μm或更小，并且进一步优选在1μm至3μm的范围内。

不平坦部分的开口不受特别限制，并且在开口中可以暴露基板的表面。不平坦部分的开口中的表面可含有与掩膜的材料组分相同或相似的材料组分。而且，根据本发明主题的实施方式，不平坦部分的开口优选是位于基板的表面上的开口。而且，根据本发明主题的实施方式，不平坦部分的开口仅是基板的表面。此外，根据本发明主题的实施方式，不平坦部分的开口可以是形成在掩膜中的通孔。而且，根据本发明主题的实施方式，不平坦部分的开口可以是形成在基板的表面中的凹陷部分。开口可以通过已知方法形成。而且，应用与上述掩膜的已知方法相同和相似的技术，包括光刻、电子束光刻、激光照射和蚀刻(比如干法蚀刻和湿法蚀刻)以形成开口。不平坦部分的开口可以是凹槽。凹槽的宽度和深度以及在凹槽中暴露的平坦部分的上表面的尺寸不受特别限制，只要不干扰本发明主题的目的即可。由凹槽围绕的平坦部分可以是基板的表面或掩膜。根据本发明主题的实施方式，结晶膜可包括至少一个具有两个或更多个开口的掩膜。在开口中，可以含有空气或惰性气体。

根据本发明主题的用于制造结晶膜的方法的实施方式，基板包括布置在基板的表面上的不平坦部分，如图2所示。在该实施方式中，基板的表面上的不平坦部分是布置在基板1的表面上的掩膜2a。图3示出基板的示意性俯视图，其中不平坦部分形成在基板1的表面1a上。如图2和图3所示，掩膜2a以规则间隔“a”布置。规则间隔“a”可以被设定为第一掩膜的中心与邻近第一掩膜定位的第二掩膜的中心之间的距离。在该实施方式中，多个掩膜2a彼此间隔开且彼此分开。规则间隔“a”不受特别限制，但在本实施方式中，优选在0.5μm至10μm的范围内。本实施方式中的规则间隔“a”进一步优选在1μm至5μm的范围内，最优选在1μm至3μm的范围内。本实施方式中的掩膜2a的形状的示例是圆锥形和半球形。掩膜2a例如可以通过光刻形成。

图4示出作为示例的根据本发明主题的基板的示意性透视图，该基板具有形成在基板的表面上的不平坦部分。图5示出基板的俯视图，该基板具有形成在基板的表面上的不平坦部分。该实施方式的不平坦部分具有与图2和图3所示的不平坦部分的形状不同的形状。图4所示的不平坦部分是布置在基板的表面上的掩膜。该实施方式中的掩膜2a的形状是三棱锥。三棱锥的掩膜以规则的间隔布置，其可以设定为第一三棱锥的中心和邻近第一三棱锥定位的第二三棱锥的中心之间的规则距离“a”。如图5所示，该实施方式中的三棱锥可以横向和倾斜地平行布置。而且，两个或更多个三棱锥可以在三棱锥的顶点处与相邻的三棱锥相接触。规则间隔“a”不受特别限制，但在本实施方式中，优选在0.5μm至10μm的范围内。该实施方式中的规则间隔进一步优选在1μm至5μm的范围内，并且最优选在1μm至3μm的范围内。在该实施方式中，掩膜在平面图中具有规则的三角形形状，并且开口在平面图中具有规则的三角形形状。

图6A示出根据本发明主题的基板的示意性透视图，该基板具有形成在基板的表面上的不平坦部分。图6B示出基板的示意性俯视图，该基板具有在图6A所示的基板的表面上形成的不平坦部分。

该实施方式的不平坦部分是片状掩膜2a，其具有布置在基板1的表面上的两个或更多个开口2b。在掩膜2a的开口2b中，基板的表面1a露出，如图6A和图6B所示。在该实施方式中，掩膜2a看起来是具有三角形开口2b的格子。在平面图中开口2b的形状的示例包括圆形、三角形、四边形、五边形和/或六边形。

掩膜2a可以由与基板相同的材料制成。而且，掩膜可以由含硅化合物制成，其可以是SiO₂。此外，掩膜2a例如可以通过光刻形成。规则间隔“a”可以设定为第一开口的中心和邻近第一开口定位的第二开口的中心之间的距离。规则间隔“a”不受特别限制，但在本实施方式中，优选在0.5μm至10μm的范围内。该实施方式中的规则间隔进一步优选在1μm至5μm的范围内，最优选在1μm至3μm的范围内。

图7A示出作为示例的根据本发明主题的基板的示意性透视图，该基板具有形成在基板的表面上的不平坦部分。在该实施方式中，开口2b是形成在基板1中的凹陷部分。

图7B示出作为示例的根据本发明主题的基板的示意性俯视图，该基板具有形成在基板的表面上的不平坦部分。在该实施方式中，基板的不平坦部分是围绕基板的上表面的三角形形状的开口2b。例如，开口2b可以通过激光照射形成。该实施方式中的三角形开口可以与相邻三角形开口在三角形开口的顶点处连接，并且顶点可以设定为规则间隔a。规则间隔a不受特别限制，但在本实施方式中，优选在0.5μm至10μm的范围内。该实施方式中的规则间隔进一步优选在1μm至5μm的范围内。

不平坦部分的开口可以是凹槽。凹槽的宽度和深度以及由凹槽围绕的基板的上表面的尺寸不受特别限制，只要不干扰本发明主题的目的即可。由凹槽围绕的平坦部分可以是凸起部分或掩膜。根据本发明主题的实施方式，结晶膜可包括不平坦部分，该不平坦部分包括至少一个掩膜和至少一个开口。至少一个掩膜可包括多个掩膜。而且，至少一个开口可包括多个开口。相邻掩膜之间和/或相邻开口之间的距离不受特别限制，但是，根据本发明主题的实施方式，该距离可以在例如10nm至1mm的范围内。在本发明主题的一些实施方式中，相邻掩膜之间和/或相邻开口之间的距离优选在10nm至300μm的范围内，进一步优选在10nm至1μm的范围内，最优选在100nm至1μm的范围内。

根据本发明主题的实施方式，基板可包括在基板顶部的缓冲层。而且，如果基板包括缓冲层，则基板上的缓冲层可包括缓冲层的表面上的不平坦部分。不平坦部分可包括至少一个掩膜和至少一个开口。缓冲层可包括在缓冲层的整个表面上的不平坦部分。形成缓冲层的方法的示例包括喷涂法、雾化化学气相沉积(CVD)法、卤化物气相外延(HVPE)法、分子束外延(MBE)法、金属有机化学气相沉积(MOCVD)法和溅射法。缓冲层可以通过已知方法形成。在本发明主题的用于制造结晶膜的方法的实施方式中，缓冲层优选通过使用雾化CVD法形成，该雾化CVD法能够提高待形成在具有不平坦部分的缓冲层上的结晶膜的质量。通过雾化CVD法在基板上形成的缓冲层可用于抑制晶体缺陷中包括的倾斜的发生。下面详细说明在通过使用雾化CVD法形成的缓冲层上制造结晶膜的方法的实施方式。

根据通过使用雾化CVD方法形成缓冲层的实施方式，优选通过以下形成缓冲层：将原料溶液转化为雾化液滴，通过使用载气将雾化液滴运载到基板上，并调节空气和/或基板的温度来引起邻近基板的雾化液滴的热反应，以在基板上形成缓冲层。

<从原料溶液形成雾化液滴>

原料溶液转化为漂浮在雾发生器的容器的空间中的雾化液滴。原料溶液可通过已知方法转化为雾化液滴，并且该方法不受特别限制，但是，根据本发明主题的实施方式，原料溶液优选通过超声振动转化为雾化液滴。包括雾颗粒的且通过使用超声振动获得的并在空间中漂浮的雾化液滴初始速度为零。由于漂浮在空间中的雾化液滴可作为气体运载，因此漂浮在空间中的雾化液滴是优选的，以避免由碰撞能量引起的损坏，而无需像喷雾那样被吹出。液滴的尺寸不限于特定尺寸，并且可以是几毫米，但是，雾化液滴的尺寸优选为50μm或更小。液滴的尺寸优选在0.1μm至10μm的范围内。

(原料溶液)

原料溶液不受特别限制，只要能够通过雾化CVD法由原料溶液形成缓冲层即可。原料溶液的示例包括金属的有机金属络合物溶液和卤化物溶液。有机金属络合物溶液的示例包括乙酰丙酮络合物溶液。卤化物溶液的示例包括氟化物溶液、氯化物溶液、溴化物溶液和碘化物溶液。有机金属络合物的金属的示例包括镓、铟和/或铝。根据本发明主题的实施方式，有机金属络合物的金属优选至少含有镓。原料溶液中含有的金属的量不受特别限制，只要不干扰本发明主题的目的即可，但是，原料溶液中含有的金属的量优选为0.001mol％至50mol％。原料溶液中含有的金属的量进一步优选为0.01mol％至50mol％。

而且，根据本发明主题的实施方式，原料溶液可含有掺杂剂。例如，通过在原料溶液中引入掺杂剂，能够在没有离子注入的情况下控制结晶层或结晶膜的导电性，从而，能够在不破坏半导体层的结晶结构的情况下形成半导体层。因此，该方法能够用于形成结晶膜作为半导体层或半导体膜。n型掺杂剂的示例包括锡、锗、硅和铅。n型掺杂剂优选为锡或锗，最优选为锡。p型掺杂剂的示例包括镁、钙和锌。掺杂剂浓度通常可以在1×10¹⁶/cm³至1×10²²/cm³的范围内。掺杂剂浓度可以是较低浓度，例如约1×10¹⁷/cm³或更低，掺杂剂浓度也可以是例如1×10²⁰/cm³或更高的高浓度。根据本发明主题的实施方式，掺杂剂浓度优选为1×10²⁰/cm³或更低，且进一步优选为5×10¹⁹/cm³或更低。

根据本发明主题的实施方式，原料溶液的溶剂不受特别限制，并且可以是包括水的无机溶剂。而且，根据实施方式，原料溶液的溶剂可以是包括醇的有机溶剂。此外，根据本发明主题的实施方式，可以使用水和醇的混合溶剂。根据本发明主题的实施方式，原料溶液的溶剂优选含有水，并且进一步优选使用水和醇的混合溶剂，并且最优选地，原料溶液的溶剂是水，其可以包括，例如，纯水、超纯水、自来水、井水、矿泉水、温泉水、泉水、淡水和海水。根据本发明主题的实施方式，超纯水优选作为原料溶液的溶剂。

(将雾化液滴运载到成膜室中)

漂浮在用于形成雾化液滴的容器的空间中的雾化液滴通过载气被运载到成膜室中。载气不受限制，只要不干扰本发明主题的目的即可，因此，载气的示例可以是惰性气体，比如氮和氩，可以是氧化气体，比如氧和臭氧，并且可以是还原性气体，比如氢气和合成气体。可以使用示例的一种或多种载气，并且可以使用降低流速的稀释气体(例如，10倍稀释气体)作为第二载气。而且，载气可以从一个或多个位置供应。尽管载气的流速不受特别限制，但载气的流速可以在0.01至20L/min的范围内。根据本发明主题的实施方式，载气的流速可以优选在1至10L/min的范围内。当使用稀释气体时，稀释气体的流速优选在0.001至2L/min的范围内，并且进一步优选在0.1至1L/min的范围内。

(形成缓冲层)

为了形成缓冲层，通过载气运载到成膜室中的雾化液滴进行热反应(通过“热反应”)以在基板的表面上形成缓冲层。此处，“热反应”覆盖只要雾化液滴通过热进行反应的范围，因此，本文的术语“热反应”可包括化学反应和/或物理反应。本文的“热反应”可包括另一种反应，并且反应条件不受特别限制，只要不干扰本发明主题的目的即可。根据本发明主题的实施方式，热反应在原料溶液的溶剂的蒸发温度或高于蒸发温度的温度下进行，但是，“热反应”的温度范围不是太高并且例如，可以低于1000℃。热反应优选在低于650℃的温度下进行，最优选在400℃至650℃的温度下进行。而且，热反应可以在真空、非氧气氛、还原气体气氛和氧化气体气氛的任何气氛中进行。而且，热反应可以在大气压、增压和减压的任何条件下进行，但是，根据本发明主题的实施方式，热反应优选在大气压下进行。而且，能够通过调节成膜时间来设定缓冲层的厚度。

如上所述，缓冲层可以形成在基板的表面的至少一部分上。还能够在基板的整个表面上形成缓冲层。在基板上形成的缓冲层上形成的结晶膜能够减少晶体缺陷，比如倾斜。因此，能够获得具有较少缺陷的良好质量的结晶膜。

缓冲层不受特别限制，但是，在本发明主题的实施方式中，缓冲层优选含有金属氧化物作为主要组分。金属氧化物的示例包括铝(Al)氧化物、镓(Ga)氧化物、铟(In)氧化物、铁(Fe)氧化物、铬(Cr)氧化物、钒(V)氧化物、钛(Ti)氧化物、铑(Rh)氧化物、镍(Ni)氧化物、钴(Co)氧化物和铱(Ir)氧化物，并且金属氧化物的示例中的至少一个可以作为主要组分包含在缓冲层中。当然，在缓冲层中可含有选自Al、Ga、In、Fe、Cr、V、Ti、Rh、Ni、Co和Ir中的两种或更多种金属的组合的氧化物作为主要组分。在本发明主题的实施方式中，缓冲层优选含有选自In、Al和Ga中的至少一种作为主要组分。在本发明主题的实施方式中，缓冲层进一步优选含有In和/或Ga，最优选含有Ga。作为用于制造本发明主题的结晶膜的方法的实施方式，缓冲层可含有金属氧化物作为主要组分，并且该金属氧化物含有的镓和铝的量少于结晶膜的金属氧化物中含有的镓的量。而且，根据本发明主题的用于制造结晶膜的方法的实施方式，缓冲层可包括超晶格结构。在本发明主题的实施方式中，术语“主要组分”在本文中意为作为主要组分的金属氧化物以原子比计占缓冲层中含有的全部组分的50％或更多。在本发明主题的实施方式中，缓冲层进一步优选含有金属氧化物作为主要组分，其占缓冲层中含有的全部组分的70％或更多，更优选90％或更多。这意味着金属氧化物可占缓冲层的100％。

结晶膜的晶体结构不受特别限制，但在本发明主题的实施方式中，结晶膜优选具有刚玉结构和/或β氧化镓结构。结晶膜进一步优选具有刚玉结构。只要不干扰本发明主题的目的，结晶膜的主要组分可以与缓冲层的主要组分不同，但是，根据本发明主题的实施方式，结晶膜优选含有金属氧化物作为主要组分，其与作为缓冲层的主要组分的金属氧化物相同。

在用于制造结晶膜的方法的实施方式中，该方法包括将含金属的原料气体、含氧的原料气体和反应气体供应到基板上。基板可包括在基板的顶部上的缓冲层。而且，如果需要，除了供应含金属的原料气体、含氧的原料气体和反应气体之外，该方法还可包括供应含掺杂剂的原料气体。在该实施方式中，在反应气体的气流下形成含有金属氧化物作为主要组分的结晶膜。优选的是，结晶膜形成在被加热的基板上或加热的基板上的缓冲层上。成膜温度不受特别限制，只要不妨碍本发明主题的目的即可，但是，在本发明主题的方法的实施方式中，成膜温度优选为900℃或更低。成膜温度进一步优选为700℃或更低，最优选在400℃至700℃的范围内。而且，可以在真空、非真空环境、还原气体气氛、惰性气体气氛和氧化气体气氛的任何气氛中进行成膜。而且，可以在大气压、增压和减压的任何条件下进行成膜。根据本发明主题的实施方式，成膜优选在大气压下进行。而且，能够通过调节成膜时间来设定结晶氧化物半导体膜的膜厚度。

根据本发明主题的结晶膜的实施方式，结晶膜含有结晶金属氧化物作为主要组分。结晶金属氧化物的示例包括Al氧化物、Ga氧化物、In氧化物、Fe氧化物、Cr氧化物、V氧化物、Ti氧化物、Rh氧化物、Ni氧化物、Co氧化物和Ir氧化物。当然，在结晶膜中可包含选自Al、Ga、In、Fe、Cr、V、Ti、Rh、Ni、Co和Ir中的两种或更多种金属的组合的氧化物作为主要组分。在本发明主题的实施方式中，结晶膜优选含有选自In、Al和Ga中的至少一种作为主要组分。在本发明主题的实施方式中，结晶膜进一步优选含有In和/或Ga。根据本发明主题的结晶膜的实施方式，结晶膜最优选含有结晶氧化镓作为主要组分或氧化镓的混合晶体作为主要组分。在本发明主题的结晶膜的实施方式中，术语“主要组分”在本文中意为作为主要组分的结晶金属氧化物以原子比计占结晶膜中含有的全部组分的50％或更多。在本发明主题的实施方式中，结晶膜进一步优选含有金属氧化物作为主要组分，该金属氧化物以原子比计占结晶膜中含有的全部组分的70％或更多，更优选90％或更多。这意味着金属氧化物可占结晶膜的100％。结晶膜的结晶结构不受特别限制，但在本发明主题的实施方式中，结晶膜优选具有刚玉结构和/或β氧化镓结构。结晶膜进一步优选具有刚玉结构。结晶膜最优选是包括刚玉结构的晶体生长膜。结晶膜中含有的结晶金属氧化物可以是单晶的。而且，结晶膜中含有的结晶金属氧化物可以是多晶的。在本发明主题的结晶膜的实施方式中，结晶金属氧化物优选是单晶的。结晶膜的膜厚度不受特别限制，但结晶膜的膜厚度优选为3μm或更大。进一步优选地，结晶膜的厚度为10μm或更大，最优选为20μm或更大。

通过本发明主题的实施方式的用于制造结晶膜的方法获得的结晶膜用于包括功率装置的半导体装置。例如，预期使用本发明主题的结晶膜的功率装置为实现高的耐受电压的开关装置。而且，预期这样的装置获得高的热阻。半导体装置的示例包括晶体管(诸如高电子迁移率晶体管(HEMT))、金属绝缘体半导体(MIS)、薄膜晶体管(TFT)、半导体装置、肖特基势垒二极管(SBD)、p-n结二极管、PIN二极管、发光元件和光检测器装置。根据本发明主题的实施方式，与基板分离的结晶膜可用于半导体装置中。而且，根据本发明主题的实施方式，形成在基板上的结晶膜可用在半导体装置中。

更详细地解释实施方式。

(实施例1)

1.形成缓冲层

1-1.雾化CVD设备

作为形成结晶层的方法的实施方式，可以使用雾化化学气相沉积(CVD)法。图8示出在该实施方式中使用的雾化CVD设备19。雾化CVD设备19包括具有容器的雾发生器24、含有水25a的容器25以及附接在容器25的底部的超声换能器26。雾化CVD设备19进一步包括载气供应22a、载气的流量控制阀23a。此外，雾化CVD设备19可包括稀释载气供应装置22b和稀释载气的流量控制阀23b。雾化CVD设备19包括成膜室27(其可以是内径为40mm的石英管)、加热器28和支架21(用于在成膜室27中支撑物体20)。可以在成膜室27的周边布置加热器28。将在物体上形成膜，并且该物体可以是基板。支架21由石英制成并包括倾斜表面，物体放置在该倾斜表面上。支架21的倾斜表面可以向水平面倾斜。都由石英制成的成膜室27和台21倾向于抑制源自部件和装置的材料的杂质进入要在物体上形成的膜中。

1-2.原料溶液的制备

通过将溴化镓和溴化锡混合到超纯水中来制备原料溶液，使得锡与镓的原子比为1:0.08，并且镓为0.1mol/L，而且，原料溶液中含有氢溴酸的体积比为20％。

1-3.膜(层)形成制备

在以上1-2.原料溶液的制备中获得的原料溶液24a设置在雾发生器24的容器中。而且，将图案化的蓝宝石基板(PSS)(其为具有0.2°的偏角的c面蓝宝石基板)和包括掩膜的不平坦部分放置在成膜室27中。不平坦部分的掩膜是其中顶点在三角形格子中以1μm的规则间隔布置的三棱锥。将PSS置于支架21上，并启动加热器以将成膜室的温度升高至460℃。打开第一流量控制阀23a和第二流量控制阀23b，以将载气从作为载气源的载气装置22a和稀释载气装置22b供应到成膜室27中，以将成膜室27中的气氛充分置换为载气。在将成膜室27中的气氛充分置换为载气之后，将来自载气源22a的载气的流速调节为2.0L/min，并且来自稀释载气源22b的稀释载气被调节为0.1L/min。在该实施方式中，使用氮作为载气。

1-4.膜的形成

然后启动超声换能器26来以2.4MHz振动，并且振动通过容器中的水25a传播到原料溶液24a，以将原料溶液24a转化为雾化液滴。用载气将雾化液滴引入成膜室27中。通过加热器28将成膜室27加热至460℃，并且雾化液滴在成膜室27中热反应，以在物体20上形成膜。所获得的膜用作缓冲层。成膜时间为5分钟。

2.结晶膜的形成

2-1.HVPE设备

参考图1，描述了用于制造结晶膜的方法的该实施方式中的HVPE设备。HVPE设备50包括反应室51、用于加热金属源57的加热器52a和用于加热物体的加热器52b，该物体可以是由基板座56保持的基板。在反应室51中，HVPE设备50进一步包括含氧的原料气体的供应管55b、反应气体的供应气体管54b和基板座56，基板放置在该基板座56上。此外，含金属的原料气体的供应管53b布置在反应气体的供应气体管54b中以具有双管结构。含氧的原料气体的供应管55b与含氧的原料气体的供应装置55a连接，以形成含氧的原料气体的流动路径，使得含氧的原料气体被供应到由基板座56保持的基板。含金属的原料气体的供应管53b与含卤素的原料气体的供应装置53a连接，使得含卤素的原料气体供应到金属源以形成含金属的原料气体。然后含金属的原料气体被供应到由基板座56保持的基板。反应室51进一步包括用于排出用过的气体的气体排出部分59和布置在反应室51的内表面上的保护片58。

2-2膜(层)形成制备

在含金属的原料气体的供应管53b中布置镓(Ga)金属源57(99.99999％或更高的纯度)，并且在反应室51中的基板座56上放置PSS基板，在该PSS基板的表面上具有(在上述1中得到的)缓冲层。之后，启动加热器52a和加热器52b，以将反应室51的温度升高到510℃。

3.膜的形成

从含卤素的原料气体的供应装置53a向布置在含金属的原料气体的供应管53b中的Ga金属源57供应氯化氢(HCl)气体(99.999％或更高的纯度)，以通过Ga金属和HCl的化学反应形成氯化镓(GaCl/GaCl₃)。将通过含金属的原料气体的供应管53b供应的所获得的氯化镓(GaCl/GaCl₃)和通过含氧的原料气体的供应装置55a的供应管55b供应的O₂气体(99.99995％或更高的纯度)供应到基板上。在HCl气流(99.999％或更高的纯度)下，氯化镓(GaCl/GaCl₃)和O₂气体在510℃和大气压下反应，以在基板上形成结晶膜。成膜时间为25分钟。这里，各自地，从含卤素的原料气体的供应装置53a供应的HCl气体的气体流速维持在10sccm，反应气体的供应装置54a的气体流速维持在5.0sccm，并且含氧的原料气体的供应装置55a的气体流速维持在20sccm。

4.评价

在3.处获得的膜是没有裂缝和异常生长的结晶膜，并且通过使用X射线衍射(XRD)分析以15度至95度的角度的XRD2θ/ω扫描进行表征。通过使用CuKα辐射进行测量。发现所得膜是α-Ga₂O₃膜。而且，图9示出XRD扫描的结果。如图9所示，在3.处获得的膜是没有孪晶的具有良好质量的结晶膜。该膜的厚度为10μm。在3.处获得的膜具有9μm²或更大的表面积和小于5×10⁶cm^-2的位错密度。

(实施例2)

除了以下两个条件之外，在与实施例1的条件相同的条件下获得结晶膜：使用具有3μm的规则间隔的PSS基板代替使用实施例1的具有1μm的规则间隔的缓冲层的PSS基板，并且实施例2的成膜时间为75分钟。以与实施例1中的情况类似的方式表征实施例2中获得的膜，并且发现其与实施例1中获得的结晶膜的情况类似，是具有良好质量的α-Ga₂O₃的结晶膜。通过使用SEM观察结晶膜的表面，如图10中所示。该结晶膜的厚度为30μm。

(实施例3)

除了以下四个条件之外，通过与实施例1的条件相同的条件获得结晶膜：使用c面蓝宝石基板代替使用实施例1的具有1μm的规则间隔的缓冲层的PSS基板，将从含卤素的原料气体的供应装置53a供应的HCl气体的流速设定为5sccm，将四氯化锗气体以10sccm的流速作为含掺杂剂的原料气体与反应气体(HCl气体)一起供应到基板，在HCl气体和四氯化锗气体的气流下形成结晶膜，在形成结晶膜的同时将成膜室内的温度设定为550℃，并且成膜时间为7分钟。在实施例3中获得的结晶膜没有裂缝，如图11中所示。以与实施例1中的膜类似的方式鉴定结晶膜，并且发现其与实施例1中获得的结晶膜类似，是具有良好质量的α-Ga₂O₃结晶膜。而且，通过二次离子质谱法(SIMS)分析结晶膜，并且使用Cameca SIMS仪器进行分析，初级离子是铯(Cs)离子，并且第一加速电压是14.5kV。图12示出结果，显示锗均匀地掺杂在结晶膜中，从结晶膜的表面到2.0μm的深度。此外，通过范德堡方法测量结晶膜的霍尔效应。结果，结晶膜的载流子浓度为9.1×10¹⁸/cm³，且电子迁移率为20cm²/Vs.

(比较例1)

除了以下一个条件之外，通过与实施例1的条件相同的条件获得结晶膜：不向基板供应反应气体(HCl气体)。结果，与实施例1至3中的成膜速率相比，成膜速率变为十分之一或更小。而且，比较例1中获得的膜在表面平坦度的膜质量方面变差，并且膜不具有镜面。

(比较例2和比较例3)

除了以下一个条件之外，在与实施例2的条件相同的条件下获得结晶膜：不向基板供应反应气体(HCl气体)。结果，与实施例1至3的成膜速率相比，成膜速率变为十分之一或更小。而且，比较例2中获得的膜在表面平坦度的膜质量方面变差，并且膜不具有镜面。

而且，除了以下一个条件之外，在与实施例3的条件相同的条件下获得结晶膜：不向基板供应反应气体(HCl气体)。结果，与实施例1至3的成膜速率相比，成膜速率变为十分之一或更小。而且，比较例3中获得的膜在表面平坦度的膜质量方面变差，并且膜不具有镜面。

此外，虽然已经参考要素的特定组合说明本发明主题的某些实施方式，但是在不脱离本发明主题的教导的情况下，还可以提供各种其他组合。因此，本发明主题不应被解释为限于本文描述的和附图中图示的特定示例性实施方式，而是还可包含各种所示的实施方式的要素的组合。

在不脱离本发明主题的精神和范围的情况下，考虑到本公开的利益，本领域普通技术人员可以进行许多改变和修改。因此，必须理解的是，所示的实施方式仅是出于示例的目的而提出，并且不应将其视为限制由权利要求限定的本发明主题。因此，权利要求应理解为不仅包括字面上陈述的要素的组合，而且包括用于以基本上相同的方式执行基本上相同的功能以获得基本上相同的结果的所有等同要素。因此，权利要求应理解为包括上面具体说明和描述的内容、概念上等同的内容以及并入本发明主题的基本思想的内容。

根据本发明主题的实施方式的用于制造结晶膜的方法能够应用于制造各种装置的方法，该装置包括半导体装置、包括变换器的功率装置、电子装置、光学装置、电源和电力系统。

参考数字说明

a 规则间隔

1 基板

1a 基板1的表面

2a 掩膜

2b 开口

3 结晶膜

4 掩膜层

5 缓冲层

19 雾化CVD设备

20 要在其上形成膜的物体

21 支撑物体的支架

22a 载气供应装置

22b 稀释载气供应装置

23a 载气的流量控制阀

23b 稀释载气的流量控制阀

24 雾发生器

24a 原料溶液

25 容器

25a 水

26 超声换能器

27 成膜室

28 加热器

50 卤化物气相外延(HVPE)装置

52a 加热器

52b 加热器

53a 含卤素的原料气体的供应装置

53b 含金属的原料气体的供应管

54a 反应气体的供应装置

54b 反应气体的供应管

55a 含氧的原料气体的供应装置

55b 含氧的原料气体的供应管

56 基板座

57 金属源

58 保护片

59 气体排放部分

60 结晶膜

60a 结晶膜的第一面

60b 结晶膜的第二面

61a 第一电极

61b 第二电极

70 掩膜部分

71 基板部分

101 第二结晶膜

102 掩膜

103 第一结晶膜

104 基板

550 掩膜

560 蓝宝石基板

1000 半导体装置

Claims

1.一种用于制造结晶膜的方法，包括：

气化金属源以将所述金属源转化为含金属的原料气体；

将所述含金属的原料气体和含氧的原料气体供应到反应室中到基板上；以及

将反应气体供应到所述反应室中到所述基板上，以在所述反应气体的气流下形成结晶膜。

2.如权利要求1所述的方法，其中，

所述反应气体是蚀刻气体。

3.如权利要求1所述的方法，其中，

所述反应气体包括选自卤化氢和包括卤素和氢的基团中的至少一种。

4.如权利要求1所述的方法，其中，

所述反应气体包括卤化氢。

5.如权利要求1所述的方法，其中，

所述基板包括布置在所述基板的表面上的不平坦部分。

6.如权利要求1所述的方法，其中，

所述不平坦部分包括至少一个掩模。

7.如权利要求1所述的方法，其中，

所述不平坦部分包括两个或更多个开口。

8.如权利要求1所述的方法，其中，

所述基板是图案化的蓝宝石基板。

9.如权利要求1所述的方法，其中，

在400℃至700℃的范围内的温度下加热所述基板。

10.如权利要求1所述的方法，其中，

所述金属源包括镓。

11.如权利要求1所述的方法，其中，

所述气化所述金属源通过卤化所述金属源来进行。

12.如权利要求1所述的方法，其中，

所述含氧的原料气体包括选自氧(O₂)、水(H₂O)和氧化亚氮(N₂O)中的至少一种。

13.如权利要求1所述的方法，其中，

所述基板包括刚玉结构。

14.如权利要求1所述的方法，其中，

所述结晶膜具有刚玉结构。

15.如权利要求1所述的方法，其中，

所述基板进一步包括在所述基板的至少一个表面上的缓冲层。

16.如权利要求1所述的方法，进一步包括：

通过使用雾化化学气相沉积法在所述基板的至少一个表面上形成缓冲层。

17.一种用于制造结晶膜的方法，包括：

在基板的表面上形成不平坦部分；

气化金属源以将所述金属源转化为含金属的原料气体；

将所述含金属的原料气体和含氧的原料气体供应到反应室中，到所述基板的所述表面上的所述不平坦部分上；以及

将反应气体供应到所述反应室中，到所述基板的所述表面上的所述不平坦部分上，以在所述反应气体的气流下形成结晶膜。

18.如权利要求17所述的方法，进一步包括：

在作为第一结晶膜的结晶膜的表面上形成不平坦部分；以及

气化金属源以将所述金属源转化为含金属的原料气体；

将所述反应气体供应到所述反应室中，到所述基板的所述表面上的所述不平坦部分上，以在所述反应气体的气流下形成第二结晶膜。

19.一种用于制造结晶膜的方法，包括：

通过使用雾化化学气相沉积法在基板的至少一个表面上形成缓冲层；

在所述缓冲层的表面上形成不平坦部分；

气化金属源以将所述金属源转化为含金属的原料气体；

将所述含金属的原料气体和含氧的原料气体供应到反应室中，到所述基板的所述缓冲层的所述表面上的所述不平坦部分上；以及

将反应气体供应到所述反应室中，到所述基板的所述缓冲层的所述表面上的所述不平坦部分上，以在所述反应气体的气流下形成结晶膜。

20.如权利要求19所述的方法，进一步包括：

在作为第一结晶膜的结晶膜的表面上形成不平坦部分；以及

气化金属源以将所述金属源转化为含金属的原料气体；

将反应气体供应到所述反应室中，到所述基板的表面上的所述不平坦部分上，以在所述反应气体的气流下形成第二结晶膜。