CN109415674A

CN109415674A - 细胞过滤滤除器

Info

Publication number: CN109415674A
Application number: CN201880002664.8A
Authority: CN
Inventors: 山本航; 万寿优; 近藤孝志
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2017-03-10
Filing date: 2018-02-16
Publication date: 2019-03-01
Anticipated expiration: 2038-02-16
Also published as: US20180353881A1; WO2018163757A1; JPWO2018163757A1; US10960331B2; JP6443604B1; CN109415674B

Abstract

过滤细胞的细胞过滤滤除器具备金属性多孔膜，该金属性多孔膜具有贯通相互对置的第1主面和第2主面的多个贯通孔，金属制多孔膜具有配置了多个贯通孔的过滤部、和配置为包围过滤部的外周的框部，在过滤部内，所述过滤部的中心处的所述金属制多孔膜的膜厚形成为小于比所述过滤部的中心更靠近所述框部的位置处的所述金属制多孔膜的膜厚。

Description

细胞过滤滤除器

技术领域

本发明涉及过滤细胞的细胞过滤滤除器。

背景技术

近年来，作为过滤并捕捉流体中的细胞的细胞过滤滤除器，已知具备金属制多孔膜的滤除器(例如，参照专利文献1)。

这种现有的细胞过滤滤除器具备金属性多孔膜，该金属性多孔膜具有贯通相互对置的作为平坦面的主面的多个贯通孔。通过从金属制多孔膜的一个主面侧供给包含作为过滤对象物的细胞的流体，从而能够在通过各个贯通孔使流体通过的同时在主面上捕捉细胞。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：JP特表2010-520446号公报

发明内容

发明要解决的课题

在这种现有的细胞过滤滤除器中，在要对金属制多孔膜的一个主面上所捕捉的细胞进行分析的情况下，需要使金属制多孔膜移动到分析装置来进行。但是，在金属制多孔膜的主面上几乎不残留培养液等流体，被捕捉的细胞有可能干燥从而受到损伤，存在不能进行细胞分析的情况。

因此，本发明的目的在于解决上述现有的课题，提供一种能够提高由金属制多孔膜捕捉到的细胞的操作性的细胞过滤滤除器。

用于解决课题的手段

本发明的一个方式的细胞过滤滤除器是过滤细胞的细胞过滤滤除器，具备金属性多孔膜，该金属性多孔膜具有贯通相互对置的第1主面和第2主面的多个贯通孔，所述金属制多孔膜具有配置了所述多个贯通孔的过滤部、和配置为包围所述过滤部的外周的框部，在所述过滤部内，所述过滤部的中心处的所述金属制多孔膜的膜厚小于比所述过滤部的中心更靠近所述框部的位置处的所述金属制多孔膜的膜厚。

发明效果

根据本发明，能够提供一种能够提高由金属制多孔膜捕捉到的细胞的操作性的细胞过滤滤除器。

附图说明

图1是本发明的一个实施方式所涉及的滤除器的概略结构图。

图2是图1的滤除器中的金属制多孔膜的部分放大图。

图3是图1的滤除器的金属制多孔膜的部分放大图。

图4是示出图1的滤除器的金属制多孔膜的构造的示意图，(A)是滤除器的示意俯视图，(B)是示意剖视图。

图5是本发明的一个实施方式所涉及的滤除器的制造方法的流程图。

图6是说明图5的滤除器的制造方法中的各工序的示意剖视图。

图7是在本发明的变形例所涉及的滤除器的制造方法中同时制造多个金属制多孔膜的情况下的抗蚀剂像的俯视图。

具体实施方式

根据这种结构，在金属制多孔膜的过滤部中，因为中心的膜厚被设定为小于比中心更靠近框部的位置处的膜厚，所以能够在过滤部中的第1主面以及第2主面的至少任一表面的一部分形成凹面。在形成有凹面的一侧捕捉细胞这样的情况下，通过流体的表面张力，在凹面容易形成流体积存，所以能够抑制被捕捉到的细胞的干燥。因此，能够提高由金属制多孔膜捕捉到的细胞的操作性。

此外，也可以使得在所述过滤部内，所述金属制多孔膜的膜厚从所述过滤部的中心向所述框部连续性地或阶段性地增加。

根据这种结构，能够在金属制多孔膜的第1主面或第2主面形成平滑的凹面。通过在形成了平滑的凹面的状态下，使表面张力作用于凹面上的流体，从而能够使得在凹面容易形成流体积存，能够提高由金属制多孔膜捕捉到的细胞的操作性。另外，表面张力能够通过按照流体的粘性来变更金属制多孔膜的表面状态、贯通孔的形状、开口面积来进行控制。

此外，也可以使得所述金属制多孔膜的所述第2主面是平坦面，所述第1主面中的相当于所述过滤部的面是所述过滤部的中心侧变低并且所述框部侧变高这样的凹面。

在想要利用利用了凹面的流体积存的情况下，能够在作为凹面的第1主面侧捕捉细胞，另一方面，在想要不形成流体积存而使流体通过性变好的情况下，能够在作为平坦面的第2主面侧捕捉细胞。通过像这样按照目的来区分使用第1主面和第2主面，能够提高细胞过滤滤除器的操作性。

此外，也可以使得在沿所述金属制多孔膜的第2主面的方向上，所述框部的宽度大于所述过滤部中的相邻的所述贯通孔间的距离。

通过像这样设置框部的宽度与相邻的贯通孔间的距离的大小关系，从而例如通过使用了抗蚀剂像的镀敷处理，能够设置过滤部中的膜厚的大小。因此，能够提供能提高由金属制多孔膜捕捉到的细胞的操作性的细胞过滤滤除器。

以下，参照附图来说明本发明所涉及的实施方式。此外，在各图中，为了使说明变得容易，夸大地示出了各要素。

(实施方式1)

(滤除器的整体结构)

图1是示出本发明所涉及的实施方式1的细胞过滤滤除器1(以后，称为滤除器1)的概略图。图2示出滤除器1的部分放大图。此外，在图3中示出滤除器1的周缘附近的部分放大俯视图。图2中的X、Y方向分别是沿着滤除器1的表面的方向，并且是相互正交的方向，Z方向是滤除器1的厚度方向，是与X方向以及Y方向正交的方向。

如图1以及图3所示，滤除器1具备金属制多孔膜10，金属制多孔膜10具有在厚度方向上贯通的多个贯通孔11。金属制多孔膜10具有：配置了多个贯通孔11的区域即过滤部R1；和配置为包围过滤部R1的区域即框部R2。在本实施方式1中，过滤部R1是圆形的区域，框部R2是圆环状的区域，框部R2是从周缘侧保持过滤部R1这样的区域。此外，在框部R2没有形成贯通孔11。此外，在滤除器1中，也可以具备夹持金属制多孔膜10的框部R2这样的构件，使得提高滤除器1的操控性。另外，在本实施方式1中，将一体地形成了过滤部R1和框部R2的情况作为示例，但是也可以是将过滤部R1和框部R2彼此形成为单体、并且框部R2保持过滤部R1这样的情况。此外，过滤部R1的形状不局限于圆形，也可以是正方形、长方形、椭圆形等其他形状。

金属制多孔膜10使包含过滤对象物的流体在贯通孔11通过，由此从流体中分离过滤对象物。在本说明书中，“过滤对象物”是指由金属制多孔膜10进行过滤的对象物。作为过滤对象物的示例，包括来源于生物的物质、PM2.5等。“来源于生物的物质”是指细胞(真核生物)、细菌(真细菌)、病毒等来源于生物的物质。作为细胞(真核生物)，例如包括人工多能干细胞(iPS细胞)、ES细胞、干细胞、间充质干细胞、单核细胞、单细胞、细胞团块、浮游细胞、黏附细胞、神经细胞、白血球、再生医疗用细胞、自体细胞、癌细胞、血液循环癌细胞(CTC)、HL-60、HELA、菌类。作为细菌(真细菌)，例如包括大肠杆菌、结核菌。

如图1所示，金属制多孔膜10是圆形的金属网。此外，如图2所示，金属制多孔膜10是具有相互对置的第1主面PS1和第2主面PS2并具有贯通两主面的多个贯通孔11的构造体。多个贯通孔11在金属制多孔膜10的过滤部R1中周期性地配置在第1主面PS1以及第2主面PS2上。例如，以镍为主材料来形成金属制多孔膜10。金属制多孔膜10的主材料只要是金属即可，例如可以是金、银、铜、镍、不锈钢、钯、钛以及它们的合金。尤其，作为金属制多孔膜10的主材料，在捕捉来源于生物的物质的情况下，从与来源于生物的物质的生物体亲和性的观点出发，优选金、镍、不锈钢、钛。

如图2以及图3所示，金属制多孔膜10是呈矩阵状以固定间隔配置了多个贯通孔11的板状构造体(格子状构造体)。从金属制多孔膜10的第1主面PS1侧观察，即，在Z方向上观察，多个贯通孔11具有正方形的形状。在与正方形的各边平行的两个排列方向上，即，在图2中的X方向和Y方向上，以相等的间隔设置多个贯通孔11。另外，贯通孔11不限定于正方形，例如也可以是长方形、圆、椭圆等。此外，孔的排列也不限定于正方格子排列，例如若是方形排列，则也可以是两个排列方向的间隔不等的长方形排列，还可以是三角格子排列、准周期排列等。

贯通孔11的形状、尺寸，根据过滤的过滤对象物的大小、形状来适当设计。在本实施方式1中，贯通孔11例如从金属制多孔膜10的第1主面PS1侧观察、即从Z方向观察为正方形，并且被设计为纵0.1μm以上且50μm以下、横0.1μm以上且50μm以下。贯通孔11间的间隔例如为大于贯通孔11的1倍且为10倍以下，更优选为贯通孔11的3倍以下。或者，对于开口率而言优选为10％以上。此外，在沿金属制多孔膜10的第2主面PS2的方向上，框部R2的宽度被设定为大于过滤部R1中的相邻的贯通孔11间的距离(贯通孔11的端缘间的距离)。

这里，在图4中示出表示本实施方式1的滤除器1的构造的示意图。在图4中，(A)是滤除器1的示意俯视图，(B)是滤除器1的示意剖视图。

如图4的(B)所示，滤除器1的金属制多孔膜10并非具有均匀的膜厚，而是形成为中央侧的膜厚比周缘侧小。具体而言，在金属制多孔膜10的过滤部R1内，过滤部R1的中心处的膜厚小于比过滤部R1的中心更靠近框部R2的位置处的金属制多孔膜10的膜厚。

如图4的(A)所示，过滤部R1的整体成为将中心设为P1的半径D3的圆形的区域。在过滤部R1中，相对于中心P1，描画半径D1、半径D2的虚拟圆C1、C2。这里，半径D1是半径D3×1/3，半径D2是半径D3×2/3。在过滤部R1中，将由虚拟圆C1包围的圆形的区域设为中央侧区域R11，将由虚拟圆C1和虚拟圆C2夹着的圆环状的区域设为中间区域R12，将虚拟圆C2的外周侧的圆环状的区域设为周缘侧区域R13。进而，在过滤部R1的俯视下，在描画了通过过滤部R1的中心P1的虚拟直线L时，将虚拟直线L与虚拟圆C1的交点(第1位置)设为P2，将虚拟直线L与虚拟圆C2的交点(第2位置)设为P3。

图4的(B)是图4的(A)所示的金属制多孔膜10中的虚拟直线L的示意剖视图。如图4的(B)所示，在金属制多孔膜10的过滤部R1内，从框部R2远离的中央侧区域R11中的膜厚形成为小于比中央侧区域R11更靠近框部R2的周缘侧区域R13中的膜厚。进而，在过滤部R1内，位于中央侧区域R11与周缘侧区域R13之间的中间区域R12中的膜厚形成为大于中央侧区域R11的膜厚、并且小于周缘侧区域R13的膜厚。具体而言，在将中心P1处的膜厚设为T1，将交点P2处的膜厚设为T2，将交点P3处的膜厚设为T3的情况下，各个膜厚满足T1＜T2＜T3的关系。即，在金属制多孔膜10的过滤部R1内，膜厚被设定为从过滤部R1的中心P1向辐射方向(即，框部R2)而膜厚增加。此外，膜厚也可以连续性地或阶段性地增加。

此外，如图4所示，金属制多孔膜10的第2主面PS2形成为平坦面，第1主面PS1中的相当于过滤部R1的面形成为框部R2侧比过滤部R1的中心P1侧更高的凹面。金属制多孔膜10的框部R2的膜厚T0形成为大概固定的厚度，膜厚T0为周缘侧区域R13中的交点P3的膜厚T3以上。

这种本实施方式1的金属制多孔膜10形成为例如直径8mm(框部R2的外形)、框部R2的宽度尺寸1mm、相邻的贯通孔11的间隔为1μm以上且500μm以下。此外，过滤部R1为直径6mm，在过滤部R1中，靠近框部R2的交点P3处的膜厚T3形成为1.1μm，中央P1处的膜厚T1形成为0.8μm。

另外，使用了图4的(A)以及(B)所示的区域R11、R12、R13的说明的目的在于，说明膜厚从过滤部R1的中心P1向框部R2增加。因此，不局限于虚拟圆C1的半径D1为半径D3×1/3、虚拟圆C2的半径D2为半径D3×2/3的情况。例如，使用各自的半径具有D1＜D2＜D3的关系的虚拟圆也能够进行同样的说明。

(滤除器的制造方法)

接下来，说明本实施方式1的滤除器1的制造方法的一例。在图5中示出滤除器1的制造方法的流程图，在图6的(A)～图6的(F)中示出滤除器1的制造方法中的各个制造过程的剖视图。

首先，在图5的步骤S21(铜薄膜的形成)中，进行金属膜的形成。如图6的(A)所示，在硅等的基板31上形成金属膜。作为形成金属膜的金属，例如，使用铜，在基板31上形成铜薄膜32。铜薄膜32例如能够通过蒸镀或溅射来形成。相较于通过蒸镀而形成的情况，通过溅射而形成能够使表面膜质更良好。该铜薄膜32在后述的镀敷处理时被用作供电电极。此外，也可以在基板31与铜薄膜32之间以确保粘接性为目的而形成中间层(例如，Ti膜)。

接下来，如图6的(B)所示，在铜薄膜32上形成抗蚀剂膜33(步骤S22：抗蚀剂膜的形成)。具体而言，在铜薄膜32上，例如通过旋涂而进行抗蚀剂的涂敷，并进行干燥处理，由此形成抗蚀剂膜33。抗蚀剂膜33例如形成为2μm左右的厚度。

接下来，如图6的(C)所示，对抗蚀剂膜33进行曝光以及显影处理，形成具有从抗蚀剂膜33除去了相当于金属制多孔膜10的部分而成的槽部34、35的抗蚀剂像36(步骤S23：曝光、显影(抗蚀剂像形成))。槽部34是形成在金属制多孔膜10的过滤部R1的槽部分，槽部35是形成在框部R2的槽部分。槽部34的开口宽度W1相当于金属制多孔膜10中的相邻的贯通孔11间的距离，槽部35的开口宽度W2相当于框部R2的宽度。即，槽部34的开口宽度W1比槽部35的开口宽度W2小。此外，在槽部34、35的底，成为露出了铜薄膜32的状态。

接下来，如图6的(D)所示，在抗蚀剂像36中，在槽部34以及槽部35内使金属作为主材料而析出，从而在槽部34、35内形成金属制多孔膜10(步骤S24：镀敷处理)。金属制多孔膜10例如通过将铜薄膜32作为供电电极进行电镀法而形成，使用镍作为使其析出的金属。

如上所述，在抗蚀剂像36中，槽部34的开口宽度W1形成为比槽部35的开口宽度W2小。此外，在抗蚀剂像36中，在中央侧密集地设置有槽部34，并且圆环状地设置有槽部35使得包围这些槽部34。若对这种抗蚀剂像36进行镀敷处理，则镀敷液容易进入开口宽度较大的槽部35，另一方面，镀敷液难以进入开口宽度较小的槽部34。此外，即使是配置有槽部34的区域，在处于槽部34的周围被其他槽部34包围的状态的相当于过滤部R1的中央侧区域R11的部分中，相较于位于框部R2的附近的相当于周缘侧区域R13的部分，镀敷液也难以进入槽部34内。这被认为是，由于形成槽部34的抗蚀剂像36的凸状部分密集，从而妨碍了镀敷液进入槽部34内。此外，将镀敷速度设定得越大，越能够使这种镀敷液的进入难易度的差异变得显著。

若如此进行镀敷处理，则进入槽部34、35内的镀敷液析出，形成与镀敷液的进入量成比例的膜厚的析出金属所形成的膜。如图6的(D)所示，形成于槽部35的金属制多孔膜10的膜厚T0变得最大。对于槽部34，膜厚也按照周缘侧区域R13与中间区域R12的边界(交点P3)的膜厚T3、中间区域R12与中央侧区域R11的边界(交点P2)的膜厚T2、中央侧区域R11中的中心P1的膜厚T1的顺序而变小。

接下来，如图6的(E)所示，进行向溶剂(例如，丙酮等)的浸渍，将抗蚀剂像36溶解，从而使其从铜薄膜32剥离(步骤S25：抗蚀剂像的除去)。

之后，如图6的(F)所示，进行铜薄膜32以及基板31的除去(步骤S26：基板、铜薄膜的除去)。具体而言，使用蚀刻液，通过蚀刻而除去铜薄膜32，由此从基板31剥离金属制多孔膜10。

通过这样的过程，形成具有形成有多个贯通孔11的过滤部R1、和配置在过滤部R1的周围的框部R2的金属性多孔膜10。此外，第1主面PS1成为凹面，使得膜厚按照金属制多孔膜10中的框部R2的膜厚T0、过滤部R1的交点P3的膜厚T3、交点P2的膜厚T2、中心P1的膜厚T1的顺序而变小。另一方面，金属制多孔膜10的第2主面PS2因为是与铜薄膜32相接的面所以成为平坦面。通过以上的制造方法，制造具备使一个主面为凹面、使另一个主面为平坦面的金属制多孔膜10的滤除器1。

这种滤除器1的制造方法，不局限于从一片基板31制造一片金属制多孔膜10的情况。例如，如图7所示，也可以是在一片基板131上形成与多片金属制多孔膜10对应的抗蚀剂像36的集合体即抗蚀剂像136，来同时制造多个金属制多孔膜10的情况。

根据本实施方式1的滤除器1，将第1主面PS1形成为凹面，使得在金属制多孔膜10的过滤部R1中，过滤部R1的中心P1的膜厚T1小于比中心P1更靠近框部R2的位置处的膜厚T2、T3。由此，在利用形成有凹面的第1主面PS1来捕捉细胞这样的情况下，通过流体的表面张力，在凹面容易形成流体积存。例如，通过对在将培养液作为积液而积存于凹面的状态下捕捉到的细胞进行处理，从而能够在抑制细胞的干燥的同时进行分析等处理。因此，能够使由金属制多孔膜10捕捉到的细胞的操作性提高。

此外，通过使得在过滤部R1内金属制多孔膜10的膜厚从过滤部R1的中心P1向框部R1连续性地或阶段性地增加，从而能够在金属制多孔膜10形成平滑的凹面。由此，通过表面张力的作用能够在凹面容易形成流体积存，能够使由金属制多孔膜10捕捉到的细胞的操作性进一步提高。

此外，金属制多孔膜的第2主面PS2为平坦面，第1主面PS1设为了凹面。由此，例如，在想要利用利用了凹面的流体积存的情况下，能够在作为凹面的第1主面PS1侧捕捉细胞。另一方面，在想要不形成流体积存而使流体通过性变好的情况下，能够在作为平坦面的第2主面PS2侧捕捉细胞。通过像这样按照目的来区分使用第1主面PS1和第2主面PS2，能够提高细胞过滤滤除器的操作性。

此外，在金属制多孔膜10中，框部R2的宽度形成为大于过滤部R1中的相邻的贯通孔间11的距离。通过像这样设置框部R2的宽度与相邻的贯通孔11间的距离之间的大小关系，从而例如在使用了抗蚀剂像36的镀敷处理中，能够对镀敷液向槽部34、35的进入难易度设置差异。因此，能够设置膜厚的大小使得过滤部R1成为凹面，能够提供可以使由金属制多孔膜10捕捉到的细胞的操作性提高的滤除器1。

另外，在上述实施方式的说明中，以如下情况为例，即，在金属制多孔膜10的过滤部R1内，形成凹面，使得膜厚从过滤部R1的中心P1向框部R2连续性地或阶段性地增加。但是，本发明不仅仅局限于这种情况。例如，也可以是在过滤部R1内在一部分包含膜厚从框部R2侧向过滤部R1的中心P1增加的部位这样的情况。即使在这样的情况下，只要作为过滤部R1整体而中央侧区域R11中的平均膜厚小于周缘侧区域R13中的平均膜厚，则也能够实现本发明的效果。

以下，说明本发明的滤除器的制造方法的实施例。

(实施例)

在本实施例中，通过实施图5的步骤S21至S26的步骤从而制作了滤除器1。

首先，在步骤S21中，使用溅射装置在硅制的基板的上表面形成了铜薄膜。使用氩气作为溅射气体，在溅射装置中的真空度5.0×10^-4Pa、施加功率DC500W下，形成了铜薄膜。溅射时间设为27分钟，形成了铜薄膜。

接下来，在步骤22中，使用旋涂机，在铜薄膜上形成了给定的膜厚的抗蚀剂膜。具体而言，在铜薄膜上涂敷了抗蚀剂后，在氮气氛下以130℃使溶剂挥发后进行冷却，由此形成了抗蚀剂膜。作为抗蚀剂，使用酚醛清漆系树脂和有机溶剂，在旋涂机的转速1130rpm下，形成了2μm的膜厚的抗蚀剂膜。

接下来，在步骤S23中，对抗蚀剂膜进行曝光以及显影处理，形成了在抗蚀剂膜形成有与金属制多孔膜对应的槽部的抗蚀剂像。通过对抗蚀剂膜照射0.25秒钟的包含波长365nm的能量密度2500J/m²的光线，从而进行了曝光。之后，通过使抗蚀剂膜中的曝光部分接触碱性溶液，从而除去曝光部分而形成了槽部。在抗蚀剂像中，使相当于金属制多孔膜的框部的部分处的槽部的开口宽度为0.8mm，使相当于过滤部的部分处的槽部的开口宽度为0.8μm。

接下来，在步骤S24中，将之前形成的铜薄膜作为供电电极，利用电镀法，在抗蚀剂像的槽部内形成了由以镍材料为主材料的镀敷膜构成的金属制多孔膜。首先，作为预处理，使形成了铜薄膜以及抗蚀剂像的基板在稀硫酸中浸渍60秒钟，进行了在抗蚀剂像的槽部的底露出的铜薄膜的表面的活性化。之后，使基板在氨基磺酸镍镀敷液(液温55℃、pH4.0)中摇动的同时，将铜薄膜作为供电电极来施加电压而进行了电镀处理。镀敷速度为0.5μm/min。

接下来，在步骤S25中，进行向溶剂的浸渍，使抗蚀剂像溶解而从铜薄膜剥离。通过使用丙酮溶液作为溶剂，并在丙酮溶液中施加15分钟超声波，从而促进了抗蚀剂像的溶解、剥离。

接下来，在步骤S26中，进行了铜薄膜以及基板的除去。具体而言，作为蚀刻液，在将60％过氧化氢水、醋酸和纯水以1∶1∶20的体积比混合制作的水溶液中，在25℃的环境下浸渍48小时，从而进行了对铜薄膜的蚀刻。由此，除去铜薄膜以及基板，完成了具备实施例所涉及的金属制多孔膜的滤除器。

对本实施例所涉及的金属制多孔膜进行测量的结果，框部R2的外形(即，金属制多孔膜的直径)为8mm，过滤部R1的直径为6mm，过滤部R1的中心P1的膜厚为0.7μm，周缘侧区域R13与中间区域R12的边界(交点P3)的膜厚为1.2μm。

另外，通过适当组合上述各种实施方式中的任意实施方式，能够实现各自具有的效果。

产业上的可利用性

本发明在滤除器的过滤部中的第1主面以及第2主面的至少任一表面的一部分形成有凹面，在形成有凹面的一侧捕捉细胞这样的情况下，通过流体的表面张力能够在凹面容易形成流体积存。由此，能够抑制被捕捉到的细胞的干燥，能够提高由金属制多孔膜捕捉到的细胞的操作性、以及金属制多孔膜的操作性。因此，向利用这种滤除器的各种技术领域的应用是有用的，例如，化学分析、药物开发/制药、临床检查、公共卫生管理、环境测量等领域。

附图标记说明：

1 滤除器；

10 金属制多孔膜；

11 贯通孔；

31 基板；

32 铜薄膜；

33 抗蚀剂膜；

34、35 槽部；

36 抗蚀剂像；

PS1 第1主面；

PS2 第2主面；

R1 过滤部；

R2 框部；

R11 中央侧区域；

R12 中间区域；

R13 周缘侧区域；

C1、C2 虚拟圆；

D1、D2、D3 半径；

L 虚拟直线；

P1 中心：

P2、P3 交点；

T0、T1、T2、T3 膜厚；

W1、W2 开口宽度。

Claims

1.一种细胞过滤滤除器，对细胞进行过滤，

所述细胞过滤滤除器具备金属性多孔膜，所述金属性多孔膜具有贯通相互对置的第1主面和第2主面的多个贯通孔，

所述金属制多孔膜具有：配置了所述多个贯通孔的过滤部；和配置为包围所述过滤部的外周的框部，

在所述过滤部内，所述过滤部的中心处的所述金属制多孔膜的膜厚小于比所述过滤部的中心更靠近所述框部的位置处的所述金属制多孔膜的膜厚。

2.根据权利要求1所述的细胞过滤滤除器，其中，

在所述过滤部内，所述金属制多孔膜的膜厚从所述过滤部的中心向所述框部连续性地或阶段性地增加。

3.根据权利要求1或2所述的细胞过滤滤除器，其中，

所述金属制多孔膜的所述第2主面是平坦面，所述第1主面中的相当于所述过滤部的面是所述过滤部的中心侧变低并且所述框部侧变高的凹面。

4.根据权利要求1至3中的任一项所述的细胞过滤滤除器，其中，

在沿所述金属制多孔膜的第2主面的方向上，所述框部的宽度大于所述过滤部中的相邻的所述贯通孔间的距离。