CN109387951A - 光学器件装校平台及单口径电光开关的装校工艺 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种光学器件装校平台及单口径电光开关的装校工艺,支撑架的上端安装有支撑台,支撑台的中部设有具有导向通孔的导向柱,导向通孔的下端安装有调节螺栓,支撑台上设有晶体调节块,晶体调节块的一端设有滑动安装在所述导向通孔内的延伸部;支撑台上还固定安装有沿晶体调节块周向环绕的定位框,将晶体真片放置在晶体调节块上,再将普克尔盒放置在支撑台上,调整所述调节螺栓使晶体真片与普克尔盒平面处于同一平面上,并锁紧止锁螺钉,然后在间隙中填充有机弹性硅胶,并固化24小时,固化完成后装配密封圈和玻璃并旋紧金属压框,在填充有机弹性硅胶时晶体真片没有移动,因此不会产生内应力。

Description

光学器件装校平台及单口径电光开关的装校工艺
技术领域
本发明属于电光元件装校技术领域,具体涉及一种光学器件装校平台及单口径电光开关的装校工艺。
背景技术
单口径开关属于高功率激光装置上的关键部件之一,在单口径开关的研制和生产过程中,为保证单口径开关具有较好的开关转换效率,根据其特性,单口径开关的装校过程必须保证:一、晶体是低应力装校;二、放电室密封;三、整个装校过程洁净。
此外,对于单口径开关的装校,在装配工艺上如何保证上述三点要求,我国还没有成熟的装配工艺能够借鉴,甚至是在光电开关研制的技术领域也暂无可靠的装校工艺能够参考。
发明内容
有鉴于此,本发明提供一种光学器件装校平台,借助该平台装校晶体真片能够有效地避免晶体真片产生装校应力,保证晶体真片与晶体框之间的密封性。
为实现上述目的,本发明技术方案如下:
一种光学器件装校平台,其要点在于:包括支撑架,所述支撑架的上端安装有支撑台,支撑台的中部设有向下延伸的导向柱,导向柱具有导向通孔,导向通孔的下端螺纹安装有调节螺栓,所述支撑台上设有晶体调节块,该晶体调节块的一端设有滑动安装在所述导向通孔内的延伸部,且该延伸部与所述调节螺栓抵接;所述支撑台上还固定安装有沿晶体调节块周向环绕的定位框。
采用上述结构,该装校平台可以用来装配电光开关的晶体真片,在装配时,先将晶体真片放置在晶体调节块上,再将普克尔盒放置在支撑台上,调整所述调节螺栓使晶体真片与普克尔盒平面处于同一平面上,再调整两者之间的间隙,然后在间隙中填充有机弹性硅胶即可完成晶体真片的安装。此种装配方式能够避免晶体真片在装校时产生应力,保证晶体真片与普克尔盒内晶体框之间的密封性。
作为优选:所述导向柱上安装有沿其径向设置的止锁螺钉,用于限制所述延伸部在导向通孔内滑动。采用上述结构,可防止在装配晶体真片时,晶体调节块晃动。
作为优选:所述晶体调节块截面的上部为矩形,下部为三角形。
作为优选:所述晶体调节块的上端外沿设有向上延伸的凸出部。采用上述结构,保证晶体真片放置的平稳性。
作为优选:所述调节螺栓的端部转动安装有支撑柱,支撑柱在远离调节螺栓的一端与所述延伸部抵接。采用上述结构,可方便调节,减小调节螺栓转动时其与延伸部的摩擦,保证在调节时晶体调节块只会上升不会转动。
作为优选:所述支撑架的上下两端均设有稳定块。采用上述结构,可增加装校晶体真片时平台的稳定性。
基于上述光学器件装校平台,本发明还提供了一种单口径电光开关的装校工艺,该工艺方法具有低应力、密封以及洁净装校的优点。工艺步骤如下所述:
一种单口径电光开关的装校工艺,包括以下工序:
工序一:将普克尔盒放在洁净平台上,采用环氧胶将电极杆和气嘴粘接在晶体框上,粘接固化时间不少于24小时;
工序二:采用环氧胶将金属压框粘接在晶体框上,粘接固化时间不少于24小时;
工序三:将晶体检验片粘接到普克尔盒上,固化不少于24小时,固化完成后装配密封圈和玻璃并旋紧金属压框,再将普克尔盒从100级洁净室移送至开关实验平台进行真空实验,检验普克尔盒的密封性能;
工序四:将检验合格的普克尔盒送回100级洁净室,拆除晶体检验片,并用酒精对普克尔盒进行洁净处理;
工序五:平台装校,利用上述装校平台进行单口径电光开关的装校,先将晶体真片放置在所述晶体调节块上,再将普克尔盒放置在支撑台上,调整所述调节螺栓使晶体真片与普克尔盒平面处于同一平面上,再调整两者之间的间隙,然后在间隙中填充有机弹性硅胶,并固化不少于24小时,固化完成后装配密封圈和玻璃并旋紧金属压框;
工序六:采用工序五的方法装配另一侧的晶体真片;
工序七:将装配完成的电光开关用洁净袋封存。
采用上述工艺,本发明的工艺流程主要是在100级实验室内完成安装的,可以保证装校的洁净度要求。在工序三中,用晶体检验片代替晶体真片对普克尔盒进行密封性检查,能够保证装校后电光开关的密封性。在工序五中,通过光学器件装校平台来装校晶体真片,先将晶体真片放置在晶体调节块上,再将普克尔盒放置在支撑台上,调整所述调节螺栓使晶体真片与普克尔盒平面处于同一平面上,再调整两者之间的间隙,然后在间隙中填充有机弹性硅胶即可完成晶体真片的安装,此种装配方式能够避免晶体真片在装校时产生应力。
作为优选:在所述工序一中,先粘接同一侧上的电极杆和气嘴,待固化完成后,再粘接另一侧上的电极杆和气嘴。
与现有技术相比,本发明的有益效果是:
采用本发明提供的光学器件装校平台及单口径电光开关的装校工艺,能够有效地避免晶体真片产生装校应力,保证整个装校过程的密封性以及洁净度要求。
附图说明
图1为光学器件装校平台的剖视图;
图2为电光开关装校完成后的主视图;
图3为电光开关装校完成后的左视图。
具体实施方式
以下结合实施例和附图对本发明作进一步说明。
如图1所示,一种光学器件装校平台及单口径电光开关的装校工艺,其中装校平台包括支撑架1,支撑架1的上端安装有支撑台2,支撑台2的中部设有向下延伸的导向柱2a,导向柱2a具有导向通孔2b,导向通孔2b的下端螺纹安装有调节螺栓4,所述支撑台2上设有晶体调节块3,该晶体调节块3的一端设有滑动安装在所述导向通孔2b内的延伸部3a,且该延伸部3a与所述调节螺栓4抵接,导向柱2a上还安装有沿其径向移动的止锁螺钉6,用于限制所述延伸部3a在导向通孔2b内滑动;支撑台2上还固定安装有沿晶体调节块3周向环绕的定位框5。
如图2、3所示,单口径电光开关在装配中主要涉及的部件有:普克尔盒A、电极杆7、气嘴8、密封圈9、玻璃10、金属压框12以及晶体真片11,这些部件的装配均是在100级实验室内完成的,其目的是为了保证装校的洁净度。
如图1至3所示,上述部件的装校步骤为:
1、将普克尔盒A放在洁净平台上,采用环氧胶将电极杆7和气嘴8粘接在晶体框7上,粘接固化时间为24小时,固化完成后,将普克尔盒A翻转一面再以同样的方法粘接另一侧的电极杆7和气嘴8。
2、采用环氧胶将金属压框12粘接在晶体框7上,粘接固化时间为24小时。
3、将晶体检验片粘接到普克尔盒A上,固化为24小时,固化完成后装配密封圈9和玻璃10并旋紧金属压框12,再将普克尔盒A从100级洁净室移送至开关实验平台进行真空实验,检验普克尔盒A的密封性能。
4、将检验合格的普克尔盒A送回100级洁净室,拆除晶体检验片,并用酒精对普克尔盒A进行洁净处理。
5、先将晶体真片11放置在所述晶体调节块3上,再将普克尔盒A放置在支撑台2上,调整所述调节螺栓4使晶体真片11与普克尔盒A平面处于同一平面上,并锁紧止锁螺钉6,再调整晶体真片11与普克尔盒A之间的间隙,然后在间隙中填充有机弹性硅胶,并固化24小时,固化完成后装配密封圈9和玻璃10并旋紧金属压框12,在填充有机弹性硅胶时晶体真片11没有移动,因此不会产生内应力。此过程仅装校了普克尔盒A一侧的晶体真片11,另一侧晶体真片11的装校过程也是如此。在填充有机弹性硅胶时,为防止有机弹性硅胶流动,可事先在缝隙内填充聚四氟乙烯绳,然后再注入机弹性硅胶,待机弹性硅胶固化之后将聚四氟乙烯绳去掉即可。
6、将装配完成的电光开关用洁净袋封存。
如图1所示,晶体调节块3截面的上部为矩形,下部为三角形。
如图1所示,为保证晶体真片11放置的平稳性,晶体调节块3的上端外沿设有向上延伸的凸出部3b。
如图1所示,为方便调节,减小调节螺栓4转动时其与延伸部3a的摩擦,保证在调节时晶体调节块3只会上升不会转动,在调节螺栓4的端部转动安装有支撑柱4a,支撑柱4a在远离调节螺栓4的一端与所述延伸部3a抵接。
如图1所示,为增加装校晶体真片11时平台的稳定性,在支撑架1的上下两端设有稳定块1a。
最后需要说明的是,上述描述仅仅为本发明的优选实施例,本领域的普通技术人员在本发明的启示下,在不违背本发明宗旨及权利要求的前提下,可以做出多种类似的表示,这样的变换均落入本发明的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种光学器件装校平台,其特征在于:包括支撑架(1),所述支撑架(1)的上端安装有支撑台(2),支撑台(2)的中部设有向下延伸的导向柱(2a),导向柱(2a)具有导向通孔(2b),导向通孔(2b)的下端螺纹安装有调节螺栓(4),所述支撑台(2)上设有晶体调节块(3),该晶体调节块(3)的一端设有滑动安装在所述导向通孔(2b)内的延伸部(3a),且该延伸部(3a)与所述调节螺栓(4)抵接;所述支撑台(2)上还固定安装有沿晶体调节块(3)周向环绕的定位框(5)。
2.根据权利要求1所述的光学器件装校平台,其特征在于:所述导向柱(2a)上安装有沿其径向设置的止锁螺钉(6),用于限制所述延伸部(3a)在导向通孔(2b)内滑动。
3.根据权利要求1或2所述的光学器件装校平台,其特征在于:所述晶体调节块(3)截面的上部为矩形,下部为三角形。
4.根据权利要求1所述的光学器件装校平台,其特征在于:所述晶体调节块(3)的上端外沿设有向上延伸的凸出部(3b)。
5.根据权利要求1所述的光学器件装校平台,其特征在于:所述调节螺栓(4)的端部转动安装有支撑柱(4a),支撑柱(4a)在远离调节螺栓(4)的一端与所述延伸部(3a)抵接。
6.根据权利要求1所述的光学器件装校平台,其特征在于:所述支撑架(1)的上下两端均设有稳定块(1a)。
7.一种单口径电光开关的装校工艺,其方法在于,包括以下工序:
工序一:将普克尔盒(A)放在洁净平台上,采用环氧胶将电极杆(7)和气嘴(8)粘接在晶体框(7)上,粘接固化时间不少于24小时;
工序二:采用环氧胶将金属压框(12)粘接在晶体框(7)上,粘接固化时间不少于24小时;
工序三:将晶体检验片粘接到普克尔盒(A)上,固化不少于24小时,固化完成后装配密封圈(9)和玻璃(10)并旋紧金属压框(12),再将普克尔盒(A)从100级洁净室移送至开关实验平台进行真空实验,检验普克尔盒(A)的密封性能;
工序四:将检验合格的普克尔盒(A)送回100级洁净室,拆除晶体检验片,并用酒精对普克尔盒(A)进行洁净处理;
工序五:平台装校,利用权利要求1至6中任一项所述的装校平台进行单口径电光开关的装校,先将晶体真片(11)放置在所述晶体调节块(3)上,再将普克尔盒(A)放置在支撑台(2)上,调整所述调节螺栓(4)使晶体真片(11)与普克尔盒(A)平面处于同一平面上,再调整两者之间的间隙,然后在间隙中填充有机弹性硅胶,并固化不少于24小时,固化完成后装配密封圈(9)和玻璃(10)并旋紧金属压框(12);
工序六:采用工序五的方法装配另一侧的晶体真片(11);
工序七:将装配完成的电光开关用洁净袋封存。
8.根据权利要求7所述的单口径电光开关的装校工艺,其方法在于:在所述工序一中,先粘接同一侧上的电极杆(7)和气嘴(8),待固化完成后,再粘接另一侧上的电极杆(7)和气嘴(8)。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112558288A (zh) * 2020-11-23 2021-03-26 山东大学 一种基于压电驱动的时分复用多窗口叶片式快速机械光开关

Citations (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4252442A (en) * 1978-05-22 1981-02-24 Bbc Brown, Boveri & Company Limited Adjusting method and apparatus for positioning planar components
JPS5961817A (ja) * 1982-10-01 1984-04-09 Nec Corp ポツケルスセル
US4615588A (en) * 1984-10-19 1986-10-07 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Transparent electrode for optical switch
JPH02304519A (ja) * 1989-05-19 1990-12-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd 光結合部品の製造方法
DE19533426A1 (de) * 1994-11-15 1996-05-23 Leica Ag Mechanisches Befestigungssystem für ein modular gefaßtes mikrooptisches Element
JP2004240220A (ja) * 2003-02-06 2004-08-26 Seiko Epson Corp 光モジュール及びその製造方法、混成集積回路、混成回路基板、電子機器、光電気混載デバイス及びその製造方法
WO2005054954A2 (en) * 2003-11-28 2005-06-16 Carl Zeiss Smt Ag Microlithography projection system and device manufacturing method
CN1698007A (zh) * 2003-03-10 2005-11-16 精工爱普生株式会社 光学部件定位夹具以及光学装置的制造装置
CN2912017Y (zh) * 2006-06-14 2007-06-13 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 大口径等离子体电极普克尔盒
CN2917037Y (zh) * 2006-06-14 2007-06-27 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 等离子体电极普克尔盒
US20080018977A1 (en) * 2005-12-22 2008-01-24 Bme Messgeraete Entwicklung Kg Controlling pockels cells
US20080239197A1 (en) * 2007-03-29 2008-10-02 Nec Lcd Technologies, Ltd. Liquid crystal module and liquid crystal display device including the same
CN201332213Y (zh) * 2008-12-30 2009-10-21 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 一种封离型等离子体电极普克尔盒
CN101819336A (zh) * 2010-01-05 2010-09-01 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 反射式等离子体电光开关
JP2011154071A (ja) * 2010-01-26 2011-08-11 Seiko Epson Corp 電気光学装置の製造方法、及び電気光学装置の製造装置
JP2012230255A (ja) * 2011-04-26 2012-11-22 Joyo Kogaku Kk 封止装置および封止方法
CN103235418A (zh) * 2013-04-28 2013-08-07 哈尔滨工业大学 楔形透镜大口径光学聚焦与频率转换系统的离线装校平台
CN103268022A (zh) * 2013-04-28 2013-08-28 哈尔滨工业大学 楔形透镜大口径光学聚焦与频率转换系统的离线装校方法
CN203300948U (zh) * 2013-06-26 2013-11-20 福州高意通讯有限公司 一种电光调q器件
JP2015046778A (ja) * 2013-08-28 2015-03-12 日本電波工業株式会社 振動子パッケージ及び発振器
CN204989582U (zh) * 2015-08-20 2016-01-20 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 一种大口径光学元件装调装置
CN107505736A (zh) * 2017-10-13 2017-12-22 上海交通大学 基于周期性极化铌酸锂脊型波导结构的电光偏振旋转器
CN107807431A (zh) * 2017-12-11 2018-03-16 清华大学 一种大口径高功率激光倍频晶体边缘自锁夹持装置和方法
RU2663274C1 (ru) * 2017-09-27 2018-08-03 Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" (Госкорпорация "Росатом") Юстировочный механизм элементов оптических схем
CN108871737A (zh) * 2018-07-23 2018-11-23 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 多功能光学元件装校平台
CN208984893U (zh) * 2018-12-07 2019-06-14 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 光学器件装校平台

Patent Citations (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4252442A (en) * 1978-05-22 1981-02-24 Bbc Brown, Boveri & Company Limited Adjusting method and apparatus for positioning planar components
JPS5961817A (ja) * 1982-10-01 1984-04-09 Nec Corp ポツケルスセル
US4615588A (en) * 1984-10-19 1986-10-07 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Transparent electrode for optical switch
JPH02304519A (ja) * 1989-05-19 1990-12-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd 光結合部品の製造方法
DE19533426A1 (de) * 1994-11-15 1996-05-23 Leica Ag Mechanisches Befestigungssystem für ein modular gefaßtes mikrooptisches Element
JP2004240220A (ja) * 2003-02-06 2004-08-26 Seiko Epson Corp 光モジュール及びその製造方法、混成集積回路、混成回路基板、電子機器、光電気混載デバイス及びその製造方法
CN1698007A (zh) * 2003-03-10 2005-11-16 精工爱普生株式会社 光学部件定位夹具以及光学装置的制造装置
WO2005054954A2 (en) * 2003-11-28 2005-06-16 Carl Zeiss Smt Ag Microlithography projection system and device manufacturing method
US20080018977A1 (en) * 2005-12-22 2008-01-24 Bme Messgeraete Entwicklung Kg Controlling pockels cells
CN2912017Y (zh) * 2006-06-14 2007-06-13 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 大口径等离子体电极普克尔盒
CN2917037Y (zh) * 2006-06-14 2007-06-27 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 等离子体电极普克尔盒
US20080239197A1 (en) * 2007-03-29 2008-10-02 Nec Lcd Technologies, Ltd. Liquid crystal module and liquid crystal display device including the same
CN201332213Y (zh) * 2008-12-30 2009-10-21 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 一种封离型等离子体电极普克尔盒
CN101819336A (zh) * 2010-01-05 2010-09-01 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 反射式等离子体电光开关
JP2011154071A (ja) * 2010-01-26 2011-08-11 Seiko Epson Corp 電気光学装置の製造方法、及び電気光学装置の製造装置
JP2012230255A (ja) * 2011-04-26 2012-11-22 Joyo Kogaku Kk 封止装置および封止方法
CN103235418A (zh) * 2013-04-28 2013-08-07 哈尔滨工业大学 楔形透镜大口径光学聚焦与频率转换系统的离线装校平台
CN103268022A (zh) * 2013-04-28 2013-08-28 哈尔滨工业大学 楔形透镜大口径光学聚焦与频率转换系统的离线装校方法
CN203300948U (zh) * 2013-06-26 2013-11-20 福州高意通讯有限公司 一种电光调q器件
JP2015046778A (ja) * 2013-08-28 2015-03-12 日本電波工業株式会社 振動子パッケージ及び発振器
CN204989582U (zh) * 2015-08-20 2016-01-20 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 一种大口径光学元件装调装置
RU2663274C1 (ru) * 2017-09-27 2018-08-03 Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" (Госкорпорация "Росатом") Юстировочный механизм элементов оптических схем
CN107505736A (zh) * 2017-10-13 2017-12-22 上海交通大学 基于周期性极化铌酸锂脊型波导结构的电光偏振旋转器
CN107807431A (zh) * 2017-12-11 2018-03-16 清华大学 一种大口径高功率激光倍频晶体边缘自锁夹持装置和方法
CN108871737A (zh) * 2018-07-23 2018-11-23 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 多功能光学元件装校平台
CN208984893U (zh) * 2018-12-07 2019-06-14 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 光学器件装校平台

Non-Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
刘小波 等: ""一种光机洁净精密装校设备设计与研究"", 《中国机械工程》, vol. 2, no. 5 *
庄令平 等: ""薄膜电极重频电光开关的热管理"", 《红外与激光工程》, vol. 45, no. 9 *
张君;张雄军;吴登生;田晓琳;郑建刚;段文涛;李明中;: "高能重复频率运转条件下等离子体普克尔盒热效应及其控制理论分析", 中国激光, no. 01 *
朱筱春, 曹根娣, 刘玉(王美), 张影华: "光电开关和普克尔盒组合器件", 量子电子学报, no. 01 *
葛良清: ""一种晶体基座快速装配装置"", 《科技成果》 *
长祥;: "普克尔盒入门", 激光与红外, no. 01 *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112558288A (zh) * 2020-11-23 2021-03-26 山东大学 一种基于压电驱动的时分复用多窗口叶片式快速机械光开关
CN112558288B (zh) * 2020-11-23 2021-09-03 山东大学 一种基于压电驱动的时分复用多窗口叶片式快速机械光开关

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