CN109385612A - 一种真空室内传输机构定位装置 - Google Patents
一种真空室内传输机构定位装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN109385612A CN109385612A CN201811536957.2A CN201811536957A CN109385612A CN 109385612 A CN109385612 A CN 109385612A CN 201811536957 A CN201811536957 A CN 201811536957A CN 109385612 A CN109385612 A CN 109385612A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- transmission mechanism
- vacuum chamber
- block
- cylinder
- stationary positioned
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 title claims abstract description 42
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims abstract description 5
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 12
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 230000002035 prolonged effect Effects 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/50—Substrate holders
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
- C23C14/568—Transferring the substrates through a series of coating stations
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
本发明公开了一种真空室内传输机构定位装置,包括传输机构、传输机构驱动马达、PLC,PLC通过控制传输机构驱动马达的速度和时间定位传输机构的位置,在定位位置处的真空室箱体上设有通孔,气缸通过密封座固定在通孔处,在靠近真空侧一端密封座内部安装有导向套,气缸的活塞杆沿导向套移动,在活塞杆末端安装有活动定位块,活动定位块上设有倒V型凸起,传输机构上安装有固定定位块,固定定位块上设有与倒V型凸起匹配的倒V型定位槽,PLC控制气缸动作。本发明的定位装置通过在定位位置处的真空室箱体上设置气缸,由设置在气缸上的活动定位块与设置在传输机构上的固定定位块配合来保证每一次的精准定位。
Description
技术领域
本发明涉及真空镀膜技术领域,具体为一种真空室内传输机构定位装置。
背景技术
基片架在真空室内传送时,要求传输机构能够精准定位。现有技术中的定位是单纯的依靠PLC通过控制马达的速度和时间来计算出传输机构的位置,长时间的运行中需要定期进行校正处理,才能保证位置的精准度要求,从而增加了工作负担影响工作效率。
发明内容
本发明提供一种真空室内传输机构定位装置,通过增加机械式的定位装置能有效的确保每次的定位精准度。
本发明采用的技术方案如下:一种真空室内传输机构定位装置,包括传输机构、传输机构驱动马达、PLC,PLC通过控制传输机构驱动马达的速度和时间定位传输机构的位置,在定位位置处的真空室箱体上设有通孔,气缸通过密封座固定在通孔处,在靠近真空侧一端密封座内部安装有导向套,气缸的活塞杆沿导向套移动,在活塞杆末端安装有活动定位块,活动定位块上设有倒V型凸起,传输机构上安装有固定定位块,固定定位块上设有与倒V型凸起匹配的倒V型定位槽,PLC控制气缸动作。
进一步地,在真空室内壁上安装有导向座,所述活动定位块沿导向座移动。
进一步地,所述气缸与密封座之间通过双层或多层油封密封。
进一步地,所述固定定位块通过固定座安装在传输机构上,固定定位块与固定座之间通过螺栓连接,设置在固定固定块上的螺栓孔为腰型孔。
本发明的定位装置通过在定位位置处的真空室箱体上设置气缸,由设置在气缸上的活动定位块与设置在传输机构上的固定定位块配合来保证每一次的精准定位,首先,PLC通过控制传输机构驱动马达的速度和时间控制传输机构运行到定位位置,然后,启动气缸由活动定位块和固定定位块的配合保障传输机构的精准定位。
气缸直接固定在密封座上通过双层或多层油封密封的方式来保证整个装置在运动过程中的密封性要求,靠近真空侧一端密封座内部安装导向套用以保证气缸的直线度要求,在真空室内部相应位置安装导向座确保活动定位块能上下灵活移动而不会左右晃动,固定固定块通过腰型孔及螺栓固定在固定座上,可弥补在装配过程中产生的误差。
附图说明
图1是本发明的结构示意图。
具体实施方式
为了便于理解本发明,下文将结合说明书附图和较佳的实施例对本发明作更全面、细致地描述,但本发明的保护范围并不限于以下具体的实施例。
如图1所示,本实施例的一种真空室内传输机构定位装置,包括传输机构9、传输机构驱动马达、PLC,PLC通过控制传输机构驱动马达的速度和时间定位传输机构的位置,在定位位置处的真空室箱体上设有通孔,气缸1通过密封座2固定在通孔处,气缸1与密封座2之间通过双层或多层油封6密封,在靠近真空侧一端密封座内部安装有导向套3,气缸的活塞杆沿导向套移动,在活塞杆末端安装有活动定位块4,在真空室内壁上安装有导向座7,所述活动定位块4沿导向座7移动,活动定位块4上设有倒V型凸起,固定定位块5通过固定座8安装在传输机构9上,固定定位块5与固定座8之间通过螺栓连接,设置在固定固定块5上的螺栓孔为腰型孔,固定定位块5上设有与倒V型凸起匹配的倒V型定位槽,PLC控制气缸动作。
本发明的定位装置通过在定位位置处的真空室箱体上设置气缸,由设置在气缸上的活动定位块与设置在传输机构上的固定定位块配合来保证每一次的精准定位,首先,PLC通过控制传输机构驱动马达的速度和时间控制传输机构运行到定位位置,然后,启动气缸由活动定位块和固定定位块的配合保障传输机构的精准定位。气缸直接固定在密封座上通过双层或多层油封密封的方式来保证整个装置在运动过程中的密封性要求,靠近真空侧一端密封座内部安装导向套用以保证气缸的直线度要求,在真空室内部相应位置安装导向座确保活动定位块能上下灵活移动而不会左右晃动,固定固定块通过腰型孔及螺栓固定在固定座上,可弥补在装配过程中产生的误差。
在前述说明书与相关附图中存在的教导的帮助下,本发明所属领域的技术人员将会想到本发明的许多修改和其它实施方案。因此,要理解的是,本发明不限于公开的具体实施方案,修改和其它实施方案被认为包括在所附权利要求的范围内。尽管本文中使用了特定术语,它们仅以一般和描述性意义使用,而不用于限制。
Claims (4)
1.一种真空室内传输机构定位装置,包括传输机构、传输机构驱动马达、PLC,PLC通过控制传输机构驱动马达的速度和时间定位传输机构的位置,其特征在于:在定位位置处的真空室箱体上设有通孔,气缸通过密封座固定在通孔处,在靠近真空侧一端密封座内部安装有导向套,气缸的活塞杆沿导向套移动,在活塞杆末端安装有活动定位块,活动定位块上设有倒V型凸起,传输机构上安装有固定定位块,固定定位块上设有与倒V型凸起匹配的倒V型定位槽,PLC控制气缸动作。
2.如权利要求1所述的一种真空室内传输机构定位装置,其特征在于:在真空室内壁上安装有导向座,所述活动定位块沿导向座移动。
3.如权利要求1所述的一种真空室内传输机构定位装置,其特征在于:所述气缸与密封座之间通过双层或多层油封密封。
4.如权利要求1所述的一种真空室内传输机构定位装置,其特征在于:所述固定定位块通过固定座安装在传输机构上,固定定位块与固定座之间通过螺栓连接,设置在固定固定块上的螺栓孔为腰型孔。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201811536957.2A CN109385612A (zh) | 2018-12-15 | 2018-12-15 | 一种真空室内传输机构定位装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201811536957.2A CN109385612A (zh) | 2018-12-15 | 2018-12-15 | 一种真空室内传输机构定位装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN109385612A true CN109385612A (zh) | 2019-02-26 |
Family
ID=65430490
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201811536957.2A Pending CN109385612A (zh) | 2018-12-15 | 2018-12-15 | 一种真空室内传输机构定位装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN109385612A (zh) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20140102852A1 (en) * | 2012-10-17 | 2014-04-17 | Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. | Substrate transfer system and substrate positioning device |
CN204639618U (zh) * | 2015-04-23 | 2015-09-16 | 广州先导自控专用设备有限公司 | 一种精准定位装置 |
CN205184808U (zh) * | 2015-11-23 | 2016-04-27 | 广东长盈精密技术有限公司 | 定位装置 |
CN105668219A (zh) * | 2016-03-14 | 2016-06-15 | 湖州中辰建设有限公司 | 一种保温装饰板的输送定位装置 |
CN209456560U (zh) * | 2018-12-15 | 2019-10-01 | 湖南玉丰真空科学技术有限公司 | 一种真空室内传输机构定位装置 |
-
2018
- 2018-12-15 CN CN201811536957.2A patent/CN109385612A/zh active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20140102852A1 (en) * | 2012-10-17 | 2014-04-17 | Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. | Substrate transfer system and substrate positioning device |
CN204639618U (zh) * | 2015-04-23 | 2015-09-16 | 广州先导自控专用设备有限公司 | 一种精准定位装置 |
CN205184808U (zh) * | 2015-11-23 | 2016-04-27 | 广东长盈精密技术有限公司 | 定位装置 |
CN105668219A (zh) * | 2016-03-14 | 2016-06-15 | 湖州中辰建设有限公司 | 一种保温装饰板的输送定位装置 |
CN209456560U (zh) * | 2018-12-15 | 2019-10-01 | 湖南玉丰真空科学技术有限公司 | 一种真空室内传输机构定位装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20090032275A1 (en) | Electric Hammer | |
US20100175903A1 (en) | Electric hammer | |
CN209456560U (zh) | 一种真空室内传输机构定位装置 | |
US5284411A (en) | Conveyor for conveying workpieces in a vacuum chamber | |
US9630278B2 (en) | Method for machining metallic member using lathing and scraping | |
CN109385612A (zh) | 一种真空室内传输机构定位装置 | |
CN101637978A (zh) | 一种纵梁液压机纠偏控制系统 | |
CN102085660A (zh) | 一种三自由度解耦混联机器人 | |
KR101434671B1 (ko) | 오토도어의 개폐장치 | |
CN108466252A (zh) | 环形导轨 | |
KR101724055B1 (ko) | 공작 기계용 도어 개폐 장치 | |
CN105383251A (zh) | 一种基于液压传动的板簧减震器发电机构 | |
CN110819987B (zh) | 一种激光熔覆机用送粉装置 | |
KR200383077Y1 (ko) | 고정도 리니어 가이드 실린더의 비틀림 방지장치 | |
CN208556079U (zh) | 一种斜床身套类打孔机的传动机构 | |
CN208231635U (zh) | 一种精定位机构 | |
CN203489653U (zh) | 一种回转窑数控液压挡轮装置 | |
KR101336414B1 (ko) | 공작 기계 | |
JP5199826B2 (ja) | 変形機の作業室を通してワークをステップバイステップ式に搬送する装置 | |
CN201276160Y (zh) | 受限空间使用的小零件定位装置 | |
KR20080002159U (ko) | 양단 스트로크 조절 실린더 | |
JPS61142031A (ja) | 取付作業用ロボツト | |
CN210879976U (zh) | 异步双工位pp板钻孔机 | |
CN210218265U (zh) | 一种用于液压缸的行程动态控制系统 | |
JPH05200685A (ja) | 加工機 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination |