CN109270803B - 一种多版并列光刻的排版系统 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种多版并列光刻的排版系统，该系统包括：阵列光源，所述阵列光源设置在竖直板上；排版装置，所述排版装置包括排架、安装在所属排架上的与所述阵列光源一一对应的反射单元，所述反射单元中设置有反射镜、开闭装置，所述排架上连接有滑轨，所述滑轨中设置有用来滑动所述排架的驱动机构，所述反射单元在竖直高度上错开排放，使得每个所述反射单元能够得到对应所述阵列光源的照射；若干光学图像缩小装置，所述光学图像缩小装置排放在所述滑轨的移动方向的下方；若干待印刷板；以及控制器。本发明的有益效果为提高生产效率，且排版变化影响小，足以满足个性化生产。

Description

一种多版并列光刻的排版系统

技术领域

本发明属于光刻领域，具体涉及一种多版并列光刻的排版系统。

背景技术

光刻技术是指在光照作用下，借助光致抗蚀剂（又名光刻胶）将掩膜版上的图形转移到基片上的技术。其主要过程为：首先紫外光通过掩膜版照射到附有一层光刻胶薄膜的基片表面，引起曝光区域的光刻胶发生化学反应；再通过显影技术溶解去除曝光区域或未曝光区域的光刻胶（前者称正性光刻胶，后者称负性光刻胶），使掩膜版上的图形被复制到光刻胶薄膜上；最后利用刻蚀技术将图形转移到基片上。

传统的光刻技术只能应对大批量生产，个性化生产的成本是巨大的。

发明内容

针对现有技术中存在的问题，本发明提供一种多版并列光刻的排版系统，本发明能够通过一组光源以及一组排版装置实现多版并列光刻，高效率，且排版变化影响小，足以满足个性化生产。

为实现上述目的，本发明采用以下技术方案：

一种多版并列光刻的排版系统，该系统包括：

阵列光源，所述阵列光源设置在竖直板上；

排版装置，所述排版装置包括排架、安装在所属排架上的与所述阵列光源一一对应的反射单元，所述反射单元中设置有反射镜、开闭装置，所述排架上连接有滑轨，所述滑轨中设置有用来滑动所述排架的驱动机构，所述反射单元在竖直高度上错开排放，使得每个所述反射单元能够得到对应所述阵列光源的照射；

若干光学图像缩小装置，所述光学图像缩小装置排放在所述滑轨的移动方向的下方，所述光学图像缩小装置包括接收端、输出端，所述接收端用来接收所述排版装置的反射光；

若干待印刷板，所述待印刷板与所述光学图像缩小装置一一对应，所述待印刷板与所述输出端相对设置，所述待印刷板的上表面设置有能被所述阵列光源中光线分解的胶剂；以及

控制器，所述控制器与所述驱动机构、所述开闭装置电连接；

其中，

所述阵列光源中的光线经过所述反射镜照射向所述接收端形成光路径，所述开闭装置用来切断或者连通所述光路径。

所述系统还包括机械臂，用来取送所述待印刷板。

所述系统还包括定位装置，用来定位所述待印刷板。

所述定位装置上设有感应器，所述感应器与所述控制器电连接。

所述反射镜的反面设置有连接架，所述连接架上连接有撞击件，所述连接架中铰接设置有固定杆，所述固定杆上套设有固定弹簧，所述固定弹簧的一端固定连接在所述固定杆上，所述固定弹簧的另一端固定连接在所述连接架上。

所述开闭装置包括电动气缸、防干涉壳，所述固定杆固定在所述防干涉壳的内侧壁上，所述防干涉壳上设有用来接收所述阵列光源中光线的光线入口以及朝向所述接收端的光线出口，所述防干涉壳的内部竖直设置有滑槽，所述滑槽中设置有推板，所述推板的一侧与所述电动气缸的移动部固定连接，所述撞击件设置在所述推板的滑动路径上。

所述滑槽的底端高于所述连接架，所述防干涉壳的底部设置有限位板；

其中，

所述电动气缸处于缩短状态时，所述推板与所述撞击件不接触，所述反射镜水平设置；

所述电动气缸处于伸长状态时，所述推板带动所述撞击件旋转，所述反射镜转动至其一侧与所述限位板相抵靠，所述反射镜与水平面之间构成预定角度。

所述预定角度为45度。

所述电动气缸与所述控制器电连接。

所述阵列光源中的光线为激光。

与现有技术相比，本发明的有益效果为：

1、控制器对所有印刷版面做像素化处理，每个像素对应一个反射单元，每个像素点的光刻的深度则靠控制光照的时间来确定，对于不同的排版需要，只需要控制排版装置实现不同的光学反射图像即可实现，单件生产的成本与批量生产的成本趋于一致，从而可以实现个性化生产；

2、电动汽缸、滑槽、撞击件、固定弹簧和限位板的配合使得本发明中反射镜的角度位置十分稳定，防干涉壳则能使得反射单元之间不会发生光互涉现象，保证光刻质量；

3、一组阵列光源与一组排版装置即可实现同时多个待印刷板的光刻，在每个工位更换待印刷板的时间里，排版装置可以通过滑轨对另一个工位的待印刷板进行光刻，提高生产效率。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明的整体结构示意图。

图2为本发明的发射单元的结构示意图。

图3为本发明的不含防干涉壳的反射单元的示意图。

图4为本发明的防干涉壳的示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有付出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

如图1-4所示，本实施例提供一种多版并列光刻的排版系统，该系统包括：

阵列光源100，所述阵列光源100设置在竖直板200上；

排版装置300，所述排版装置300包括排架310、安装在所属排架310上的与所述阵列光源100一一对应的反射单元320，所述反射单元320中设置有反射镜1、开闭装置，所述排架310上连接有滑轨330，所述滑轨330中设置有用来滑动所述排架310的驱动机构，所述反射单元320在竖直高度上错开排放，使得每个所述反射单元320能够得到对应所述阵列光源100的照射；

若干光学图像缩小装置400，所述光学图像缩小装置400排放在所述滑轨330的移动方向的下方，所述光学图像缩小装置400包括接收端、输出端，所述接收端用来接收所述排版装置300的反射光；

若干待印刷板500，所述待印刷板500与所述光学图像缩小装置400一一对应，所述待印刷板500与所述输出端相对设置，所述待印刷板500的上表面设置有能被所述阵列光源100中光线分解的胶剂；以及

控制器，所述控制器与所述驱动机构、所述开闭装置电连接；

其中，

所述阵列光源100中的光线经过所述反射镜1照射向所述接收端形成光路径，所述开闭装置用来切断或者连通所述光路径。

作为优选，本实施例所述系统还包括机械臂，用来取送所述待印刷板500。

作为进一步优选，本实施例所述系统还包括定位装置，用来定位所述待印刷板500。

作为进一步优选，本实施例所述定位装置上设有感应器，所述感应器与所述控制器电连接。

作为进一步优选，本实施例所述反射镜1的反面设置有连接架11，所述连接架11上连接有撞击件12，所述连接架11中铰接设置有固定杆13，所述固定杆13上套设有固定弹簧2，所述固定弹簧2的一端固定连接在所述固定杆13上，所述固定弹簧2的另一端固定连接在所述连接架11上。

作为进一步优选，本实施例所述开闭装置包括电动气缸3、防干涉壳4，所述固定杆13固定在所述防干涉壳4的内侧壁上，所述防干涉壳4上设有用来接收所述阵列光源100中光线的光线入口41以及朝向所述接收端的光线出口42，所述防干涉壳4的内部竖直设置有滑槽43，所述滑槽43中设置有推板44，所述推板44的一侧与所述电动气缸3的移动部固定连接，所述撞击件12设置在所述推板44的滑动路径上。

作为进一步优选，本实施例所述滑槽43的底端高于所述连接架11，所述防干涉壳4的底部设置有限位板45；

其中，

所述电动气缸3处于缩短状态时，所述推板44与所述撞击件12不接触，所述反射镜1水平设置；

所述电动气缸3处于伸长状态时，所述推板44带动所述撞击件12旋转，所述反射镜1转动至其一侧与所述限位板45相抵靠，所述反射镜1与水平面之间构成预定角度。

作为进一步优选，本实施例所述预定角度为45度。

作为进一步优选，本实施例所述电动气缸3与所述控制器电连接。

作为进一步优选，本实施例所述阵列光源100中的光线为激光。

本实施例工作步骤为：

控制器接收排版信息，比如接收三个版面信息，分别准备光刻在对应的三个待印刷版上，排版装置按照每个版面需要，控制器控制排版装置中的部分电动气缸下行，使得排版装置中只有部分反射镜反射来自阵列光源的激光，从而形成了光学图案，该光学图案经过光学图像缩小装置按比例缩小后照射在待印刷板上，与待印刷板上的胶剂产生光化学反应，胶剂按照光学图像分解，从而形成需要的排版图像。第一个待印刷板完成后，机械臂取走待印刷板放上新印刷板时，同时排版装置经由控制器完成另一不同版面，在滑轨带动下照射第二位置处的待印刷板，从而完成多版并列印刷。

尽管上述实施例已对本发明作出具体描述，但是对于本领域的普通技术人员来说，应该理解为可以在不脱离本发明的精神以及范围之内基于本发明公开的内容进行修改或改进，这些修改和改进都在本发明的精神以及范围之内。

Claims (7)

1.一种多版并列光刻的排版系统，其特征在于，该系统包括：

阵列光源（100），所述阵列光源（100）设置在竖直板（200）上；

排版装置（300），所述排版装置（300）包括排架（310）、安装在所属排架（310）上的与所述阵列光源（100）一一对应的反射单元（320），所述反射单元（320）中设置有反射镜（1）、开闭装置，所述排架（310）上连接有滑轨（330），所述滑轨（330）中设置有用来滑动所述排架（310）的驱动机构，所述反射单元（320）在竖直高度上错开排放，使得每个所述反射单元（320）能够得到对应所述阵列光源（100）的照射；

若干光学图像缩小装置（400），所述光学图像缩小装置（400）排放在所述滑轨（330）的移动方向的下方，所述光学图像缩小装置（400）包括接收端、输出端，所述接收端用来接收所述排版装置（300）的反射光；

若干待印刷板（500），所述待印刷板（500）与所述光学图像缩小装置（400）一一对应，所述待印刷板（500）与所述输出端相对设置，所述待印刷板（500）的上表面设置有能被所述阵列光源（100）中光线分解的胶剂；以及

控制器，所述控制器与所述驱动机构、所述开闭装置电连接；

其中，

所述阵列光源（100）中的光线经过所述反射镜（1）照射向所述接收端形成光路径，所述开闭装置用来切断或者连通所述光路径；所述反射镜（1）的反面设置有连接架（11），所述连接架（11）上连接有撞击件（12），所述连接架（11）中铰接设置有固定杆（13），所述固定杆（13）上套设有固定弹簧（2），所述固定弹簧（2）的一端固定连接在所述固定杆（13）上，所述固定弹簧（2）的另一端固定连接在所述连接架（11）上；所述开闭装置包括电动气缸（3）、防干涉壳（4），所述固定杆（13）固定在所述防干涉壳（4）的内侧壁上，所述防干涉壳（4）上设有用来接收所述阵列光源（100）中光线的光线入口（41）以及朝向所述接收端的光线出口（42），所述防干涉壳（4）的内部竖直设置有滑槽（43），所述滑槽（43）中设置有推板（44），所述推板（44）的一侧与所述电动气缸（3）的移动部固定连接，所述撞击件（12）设置在所述推板（44）的滑动路径上；所述滑槽（43）的底端高于所述连接架（11），所述防干涉壳（4）的底部设置有限位板（45）；其中，所述电动气缸（3）处于缩短状态时，所述推板（44）与所述撞击件（12）不接触，所述反射镜（1）水平设置；所述电动气缸（3）处于伸长状态时，所述推板（44）带动所述撞击件（12）旋转，所述反射镜（1）转动至其一侧与所述限位板（45）相抵靠，所述反射镜（1）与水平面之间构成预定角度。

2.根据权利要求1所述的多版并列光刻的排版系统，其特征在于，所述系统还包括机械臂，用来取送所述待印刷板（500）。

3.根据权利要求1所述的多版并列光刻的排版系统，其特征在于，所述系统还包括定位装置，用来定位所述待印刷板（500）。

4.根据权利要求3所述的多版并列光刻的排版系统，其特征在于，所述定位装置上设有感应器，所述感应器与所述控制器电连接。

5.根据权利要求1所述的多版并列光刻的排版系统，其特征在于，所述预定角度为45度。

6.根据权利要求5所述的多版并列光刻的排版系统，其特征在于，所述电动气缸（3）与所述控制器电连接。

7.根据权利要求1所述的多版并列光刻的排版系统，其特征在于，所述阵列光源（100）中的光线为激光。

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