CN109252213A - 一种匀气冷却装置用内部水路检测机构 - Google Patents
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Abstract
一种匀气冷却装置用内部水路检测机构，包括匀气冷却装置，匀气冷却装置的内部设置有若干冷却水路，匀气冷却装置边缘设置有进水柱和出水柱，进水柱与出水柱对称设置，所述的匀气冷却装置设置在基座上，基座内部设置有加热模块，并通过导线与温控模块相连接，温控模块设置在基座的外部下方；所述的基座设置在其下方的支撑工作台上，水冷装置设置在支撑工作台的左侧或右侧，水冷装置通过连接水管与匀气冷却装置相连接；所述的匀气冷却装置的上方设置有热成像仪；本发明结构简单，稳定性好，易于操作，适用于在零件发给客户前进行检测，可以很容易检测内部的水路是否有堵塞，便于及时维修；有效保证了出货产品的合格率；大大提高了生产效率。
Description
技术领域
本发明涉及水路检测的领域，尤其涉及一种匀气冷却装置用内部水路检测机构。
背景技术
MOCVD金属有机化学气相沉积法将II 或III 族金属有机化合物的气体，与含IV或V 族元素的氢化物气体引入MOCVD 设备的反应腔内，使两者的混合气体送到放置于反应腔内底部基座上的基片表面时，能够在基片表面发生热分解反应，从外延生长形成化合物单晶薄膜。MOCVD匀气及冷却装置使输送的有机金属气体与氢化物气体在基座上及在各基片上都能够均匀分布，工艺时需要使用冷却剂在匀气及冷却装置中流动，使进气装置的温度保持在适当水平，保证MOCVD设备长期稳定工作。由于MOCVD匀气及冷却装置是使用真空钎焊焊接起来，内部有很多冷却水路，由于钎焊料的流动性太好，焊接时有可能造成局部水路堵塞，且常规检测很难检查出水路是否有堵塞，在客户端使用会造成局部气体温度无法冷却，导致工艺不稳定，严重时水路附近开裂，严重影响生产。
发明内容
本发明目的是提供一种匀气冷却装置用内部水路检测机构，结构简单，操作方便，保证了出货前水路通畅，增加了产品合格率，解决了以上技术问题。
为了实现上述技术目的，达到上述的技术要求，本发明所采用的技术方案是：一种匀气冷却装置用内部水路检测机构，包括匀气冷却装置，匀气冷却装置的内部设置有若干冷却水路，匀气冷却装置边缘设置有进水柱和出水柱，进水柱与出水柱对称设置，其特征在于：所述的匀气冷却装置设置在基座上，基座内部设置有加热模块，并通过导线与温控模块相连接，温控模块设置在基座的外部下方；所述的基座设置在其下方的支撑工作台上，水冷装置设置在支撑工作台的左侧或右侧，水冷装置通过连接水管与匀气冷却装置相连接；所述的匀气冷却装置的上方设置有热成像仪。
优选的：所述的连接水管为进水管和出水管，进水管与四个进水柱相连接，出水管与四个出水柱相连接，形成循环水回路。
优选的：所述的支撑工作台设置为内部中空的框架式长方体。
优选的：所述的热成像仪在基座温度达到100℃时开始成像。
优选的：所述的基座设置为圆形。
本发明的有益效果；一种匀气冷却装置用内部水路检测机构，与传统结构相比：匀气冷却装置设置在基座上，基座内部设置有加热模块，并通过导线与温控模块相连接，温控模块设置在基座的外部下方；所述的基座设置在其下方的支撑工作台上，水冷装置设置在支撑工作台的左侧或右侧，水冷装置通过连接水管与匀气冷却装置相连接；匀气冷却装置的上方设置有热成像仪；本发明结构简单，稳定性好，易于操作，适用于在零件发给客户前进行检测，可以很容易检测内部的水路是否有堵塞，便于及时维修；有效保证了出货产品的合格率；大大提高了生产效率。
附图说明
图1为本发明结构示意图；
在图中：1.匀气冷却装置；2.基座；3.支撑工作台；4.水冷装置；5.温控模块；6.热成像仪；7.进水管；8.出水管；9.进水柱；10.出水柱。
具体实施方式
为了使本发明的发明目的、技术方案及其有益技术效果更加清晰，以下结合附图和具体实施方式，对本发明进行进一步详细说明；
在附图中：一种匀气冷却装置用内部水路检测机构，包括匀气冷却装置1，匀气冷却装置1的内部设置有若干冷却水路，匀气冷却装置1边缘设置有进水柱9和出水柱10，进水柱9与出水柱10对称设置，其特征在于：所述的匀气冷却装置1设置在基座2上，基座2内部设置有加热模块，并通过导线与温控模块5相连接，温控模块5设置在基座2的外部下方；所述的基座2设置在其下方的支撑工作台3上，水冷装置4设置在支撑工作台3的左侧或右侧，水冷装置4通过连接水管与匀气冷却装置1相连接；所述的匀气冷却装置1的上方设置有热成像仪6。
所述的连接水管为进水管7和出水管8，进水管7与四个进水柱9相连接，出水管8与四个出水柱10相连接，形成循环水回路；所述的支撑工作台3设置为内部中空的框架式长方体；所述的热成像仪6在基座温度达到100℃时开始成像；所述的基座2设置为圆形。
本发明的具体实施： 使用时，按照下列步骤进行安装操作，步骤一，将加热功能的基座2安装在支撑工作台3上；步骤二，将MOCVD匀气冷却装置1安装到带加热功能的基座2上；步骤三，将水冷装置4通过进水管、出水管与MOCVD匀气冷却装置1连接起来；步骤四，将温控系统5通过导线与基座2相连接；步骤五，开启基座2对MOCVD匀气冷却装置加热，直至加热温度升高至70摄氏度，开启水冷装置4，保证冷却水温度维持在30摄氏度；步骤六，继续对基座2进行加热，直至温度升高至100摄氏度，使用便携式热成像仪6对MOCVD匀气冷却装置1进行成像，以检测每个水路是否畅通，如果发现同一水路有部分区域温度不一样，说明此处是有堵塞，需要进行维修；如果温度一致，则说明内部水路正常。
上述实施例仅仅是为清楚地说明本发明所作的描述，而并非对实施方式的限定，对于所属领域的技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动，这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举，而由此所引申出的显而易见的变化或变动仍处于本发明的保护范围之中。
Claims (5)
1.一种匀气冷却装置用内部水路检测机构，包括匀气冷却装置（1），匀气冷却装置（1）的内部设置有若干冷却水路，匀气冷却装置（1）边缘设置有进水柱（9）和出水柱（10），进水柱（9）与出水柱（10）对称设置，其特征在于：所述的匀气冷却装置（1）设置在基座（2）上，基座（2）内部设置有加热模块，并通过导线与温控模块（5）相连接，温控模块（5）设置在基座（2）的外部下方；所述的基座（2）设置在其下方的支撑工作台（3）上，水冷装置（4）设置在支撑工作台（3）的左侧或右侧，水冷装置（4）通过连接水管与匀气冷却装置（1）相连接；所述的匀气冷却装置（1）的上方设置有热成像仪（6）。
2.根据权利要求1所述的，其特征在于：所述的连接水管为进水管（7）和出水管（8），进水管（7）与四个进水柱（9）相连接，出水管（8）与四个出水柱（10）相连接，形成循环水回路。
3.根据权利要求1所述的，其特征在于：所述的支撑工作台（3）设置为内部中空的框架式长方体。
4.根据权利要求1所述的，其特征在于：所述的热成像仪（6）在基座温度达到100℃时开始成像。
5.根据权利要求1所述的，其特征在于：所述的基座（2）设置为圆形。
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