CN218321634U - 一种加热腔 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种加热腔。所述加热腔包括腔体以及从上至下依次设置在腔体中的上加热器、载板载送模块、下加热器以及冷阱，所述下加热器以及冷阱之间还依次设置有反射板以及水冷挡板。本实用新型能保障冷阱正常工作，既减少加热器辐射到冷阱的热量，又保障冷阱与气体的接触吸附面积，提高冷阱的吸附效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池制造领域，特别涉及一种加热腔。
背景技术
异质结太阳能电池(HIT或HJT)会使用到将硅片进行加热的加热腔。HIT太阳能电池产线中的加热腔为提高抽气速率，保证工艺节拍，腔体结构紧凑。在类似可以镀膜的加热腔中，镀高质量的薄膜需要利用冷阱盘管的冷凝低温表面效应吸附腔体内水汽。如图1所示，现有技术中的加热腔1包括腔体10以及从上至下依次设置在腔体10中的上安装板11、上加热器12、载板载送模块13、下加热器14、下安装板15以及冷阱16。加热腔1内冷阱盘管16距下加热器1的距离很近，会造成冷阱16表面温度过高，对水汽的吸附效果降低。
因此，如何提供一种加热腔，以保障冷阱正常工作，既减少加热器辐射到冷阱的热量，又保障冷阱与气体的接触吸附面积，提高冷阱的吸附效率，已成为业内亟待解决的技术问题。
实用新型内容
针对现有技术的上述问题，本实用新型提出了一种加热腔，其包括腔体以及从上至下依次设置在腔体中的上加热器、载板载送模块、下加热器以及冷阱，所述下加热器以及冷阱之间还依次设置有反射板以及水冷挡板。
在一实施例中，所述反射板靠近所述下加热器设置，所述水冷挡板靠近所述冷阱设置。
在一实施例中，所述反射板上开设有第一通孔，所述水冷挡板上开设有第二通孔，所述第一通孔与第二通孔交错设置。
在一实施例中，所述冷阱设置有第一进入管和第一排出管，冷媒从所述第一进入管进入所述冷阱且从所述第一排出管排出。
在一实施例中，所述水冷挡板设置有第二进入管和第二排出管，冷却水从所述第二进入管进入所述水冷挡板且从所述第二排出管排出。
在一实施例中，所述反射板以及水冷挡板的长度范围为1.5米至2 米，宽度范围为1.5米至1.8米。
在一实施例中，所述反射板上设置有80-120个的第一通孔，所述水冷挡板上设置有80-120个的第二通孔，所述第一通孔以及第二通孔的直径均为8-12毫米。
在一实施例中，所述反射板、水冷挡板以及冷阱均为不锈钢板。
在一实施例中，所述上加热器、下加热器表面温度为200摄氏度，所述冷阱周边环境温度为50摄氏度，所述冷阱表面温度为负125摄氏度，所述水冷挡板表面温度为50摄氏度。
在一实施例中，所述上加热器通过上安装板安装在腔体中，所述下加热器通过下安装板安装在腔体中。
与现有技术中冷阱盘管与下加热器相邻使得冷阱盘管表面温度升温过高，对水汽的吸附效果降低相比，本实用新型的加热腔包括腔体以及从上至下依次设置在腔体中的上加热器、载板载送模块、下加热器以及冷阱，所述下加热器以及冷阱之间还依次设置有反射板以及水冷挡板。本实用新型能保障冷阱正常工作，既减少加热器辐射到冷阱的热量，又保障冷阱与气体的接触吸附面积，提高冷阱的吸附效率。
附图说明
在结合以下附图阅读本公开的实施例的详细描述之后，能够更好地理解本实用新型的上述特征和优点。在附图中，各组件不一定是按比例绘制，并且具有类似的相关特性或特征的组件可能具有相同或相近的附图标记。
图1为现有技术的加热腔的组成结构示意图。
图2为本实用新型的加热腔的组成结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本实用新型作详细描述，以便更清楚理解本实用新型的目的、特点和优点。应理解的是，以下结合附图和具体实施例描述的诸方面仅是示例性的，而不应被理解为对本实用新型的保护范围进行任何限制。除非上下文明确地另外指明，否则单数形式“一”和“所述”包括复数指代物。本说明书以及权利要求书中所使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。
参见图2，其为本实用新型的加热腔的组成结构示意图。如图2 所示，加热腔1”包括腔体10以及从上至下依次设置在腔体10中的上安装板11、上加热器12、载板载送模块13、下加热器14、下安装板 15以及冷阱16，所述下加热器14以及冷阱16之间还依次设置有反射板17以及水冷挡板18。所述上加热器12通过上安装板11安装在腔体 10中，所述下加热器14通过下安装板15安装在腔体10中。载板载送模块13用于承载其中放置有硅片的托盘(未图示)。
所述反射板17靠近所述下加热器14设置，所述水冷挡板18靠近所述冷阱16设置。所述反射板17上开设有第一通孔170，所述水冷挡板18上开设有第二通孔181，所述第一通孔170与第二通孔181交错设置。所述冷阱16设置有第一进入管160和第一排出管162，冷媒从所述第一进入管160进入所述冷阱16，且流经冷阱16的盘管(未图示) 后从所述第一排出管162排出。所述水冷挡板18设置有第二进入管180 和第二排出管182，冷却水从所述第二进入管180进入所述水冷挡板 18且从所述第二排出管182排出。
所述反射板17以及水冷挡板18的长度范围为1.5米至2米，宽度范围为1.5米至1.8米。所述反射板17上设置有80-120个的第一通孔170，所述水冷挡板18上设置有80-120个的第二通孔181，所述第一通孔170以及第二通孔181的直径均为8-12毫米。所述反射板17、水冷挡板18以及冷阱16均为不锈钢板。所述加热腔1”在正常工作时, 上加热器12、下加热器14表面温度为200摄氏度，所述冷阱16周边环境温度为50摄氏度，所述冷阱16表面温度为负125摄氏度，所述水冷挡板18表面温度为50摄氏度。
当使用本实用新型的加热腔1”对硅片进行预热时，先通过机械手或滚轮将承载有硅片的载板传送至载板载送模块13，然后开启上加热器12以及下加热器14进行加热，此时由于反射板17以及水冷挡板18 设置在下加热器14以及冷阱16之间，从而对冷阱16实现了隔离保护，防止冷阱16升温过高，保证冷阱正常工作，在载板进入到镀膜室前充分吸附水汽。
本实用新型的加热腔包括腔体以及从上至下依次设置在腔体中的上加热器、载板载送模块、下加热器以及冷阱，所述下加热器以及冷阱之间还依次设置有反射板以及水冷挡板。本实用新型能保障冷阱正常工作，既减少加热器辐射到冷阱的热量，又保障冷阱与气体的接触吸附面积，提高冷阱的吸附效率。
上述实施例是提供给熟悉本领域内的人员来实现或使用本实用新型的，熟悉本领域的人员可在不脱离本实用新型的实用新型思想的情况下，对上述实施例做出种种修改或变化，因而本实用新型的保护范围并不被上述实施例所限，而应该是符合权利要求书提到的创新性特征的最大范围。
Claims (10)
1.一种加热腔，其包括腔体以及从上至下依次设置在腔体中的上加热器、载板载送模块、下加热器以及冷阱，其特征在于，所述下加热器以及冷阱之间还依次设置有反射板以及水冷挡板。
2.根据权利要求1所述的加热腔，其特征在于，所述反射板靠近所述下加热器设置，所述水冷挡板靠近所述冷阱设置。
3.根据权利要求1所述的加热腔，其特征在于，所述反射板上开设有第一通孔，所述水冷挡板上开设有第二通孔，所述第一通孔与第二通孔交错设置。
4.根据权利要求1所述的加热腔，其特征在于，所述冷阱设置有第一进入管和第一排出管，冷媒从所述第一进入管进入所述冷阱且从所述第一排出管排出。
5.根据权利要求1所述的加热腔，其特征在于，所述水冷挡板设置有第二进入管和第二排出管，冷却水从所述第二进入管进入所述水冷挡板且从所述第二排出管排出。
6.根据权利要求1所述的加热腔，其特征在于，所述反射板以及水冷挡板的长度范围为1.5米至2米，宽度范围为1.5米至1.8米。
7.根据权利要求1所述的加热腔，其特征在于，所述反射板上设置有80-120个的第一通孔，所述水冷挡板上设置有80-120个的第二通孔，所述第一通孔以及第二通孔的直径均为8-12毫米。
8.根据权利要求1所述的加热腔，其特征在于，所述反射板、水冷挡板以及冷阱均为不锈钢板。
9.根据权利要求1所述的加热腔，其特征在于，所述上加热器、下加热器表面温度为200摄氏度，所述冷阱周边环境温度为50摄氏度，所述冷阱表面温度为负125摄氏度，所述水冷挡板表面温度为50摄氏度。
10.根据权利要求1所述的加热腔，其特征在于，所述上加热器通过上安装板安装在腔体中，所述下加热器通过下安装板安装在腔体中。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN202222187645.3U CN218321634U (zh) | 2022-08-19 | 2022-08-19 | 一种加热腔 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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Publications (1)
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| CN218321634U true CN218321634U (zh) | 2023-01-17 |
Family
ID=84884310
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN202222187645.3U Active CN218321634U (zh) | 2022-08-19 | 2022-08-19 | 一种加热腔 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
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2022
- 2022-08-19 CN CN202222187645.3U patent/CN218321634U/zh active Active
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