CN109211920A - 用于载板玻璃的紫外光透过率测试装置及设备 - Google Patents

Abstract

本发明实施例提供一种用于载板玻璃的紫外光透过率测试装置及设备，属于材料性能测试领域。所述装置包括：光源探头，该光源探头上设置有第一挡板，该第一挡板上设置有出光孔，由所述光源探头发出的紫外光从所述出光孔射出；以及接收探头，该接收探头上设置有第二挡板，该第二挡板上设置有接收孔，所述接收探头用于接收从所述接收孔入射的紫外光。其能够实现精确、快速、便捷的对被测载板玻璃的不同测试区域进行测试。

Description

用于载板玻璃的紫外光透过率测试装置及设备

技术领域

本发明涉及材料性能测试领域，具体地，涉及一种用于载板玻璃的紫外光透过率测试装置及设备。

背景技术

在柔性LTPS OLED的制备过程中，塑料基板刚度低，一般用载板玻璃作为衬底。在载板玻璃上进行以下过程：PI膜制备、TFT制备、沉积有机物、封装等，最后通过激光剥离将塑料基板从载板玻璃上剥离。

在激光剥离过程中，一般采用特定波长的紫外光。紫外光从载板玻璃无PI膜的一侧穿过载板玻璃，进而作用在载板玻璃另一侧的PI膜。高且均匀的紫外光透过率是激光剥离良率的关键，如果片间的紫外光透过率不一致，则需调整各片紫外光功率，这将造成额外成本，如果片内紫外光透过率不一致，造成剥离失败或mura。对于大尺寸载板玻璃成品或半成品，紫外光透过率测量及均匀性统计与计算尤为重要。

目前紫外光透过率测试多采用分光光度计(实验室用)或便携式测量仪，但本申请发明人发现其存在以下缺陷：

(1)实验室利用分光光度计进行测试时，选取的样品一般为无缺陷的玻璃片，而生产的成品或半成品玻璃存在微小缺陷，该类在可接受范围内的微小缺陷会造成紫外光的路径偏差。如图1所示，欲测量样品的C区域110的紫外光透过率，当样品内部存在夹杂或条纹时，少部分垂直入射的紫外光发生路径改变(如图1示出的最左侧或最右侧光束)。现有的紫外光透过率测试装置的接收孔112远远大于出光孔111，路径改变的紫外光可以被接收。但是该部分改变路径的紫外光不在对应C区域110，无法作用到C区域110的工作面(例如，紫外光可能在载板玻璃与PI膜的界面)上，由此将造成测量精度差。

(2)在激光玻璃过程中，可能涉及非垂直入射(如专利CN 107414289A所揭露)，而目前的紫外光透过率测试装置一般为垂直入射。

(3)目前的设备仅适于测量小样品或小区域的透过率，当载板玻璃成品或半成品的尺寸较大(例如，G6液晶玻璃尺寸为1500mm×1850mm)时，其难以对该大尺寸成品或半成品的不同区域进行测量与统计。

发明内容

本发明实施例的目的是提供一种用于载板玻璃的紫外光透过率测试装置及设备，用于解决或至少部分解决上述技术问题。

为了实现上述目的，本发明实施例提供一种用于载板玻璃的紫外光透过率测试装置，所述装置包括：光源探头，该光源探头上设置有第一挡板，该第一挡板上设置有出光孔，由所述光源探头发出的紫外光从所述出光孔射出；以及接收探头，该接收探头上设置有第二挡板，该第二挡板上设置有接收孔，所述接收探头用于接收从所述接收孔入射的紫外光。

可选地，所述出光孔的尺寸和所述接收孔的尺寸均能够被调节。

可选地，所述出光孔的尺寸和所述接收孔的尺寸满足以下条件：

R₂≥R₁+r，

其中，R₁为所述出光孔的半径，R₂为所述接收孔的半径，r＝h×tanθ，h为所述接收孔到被测载板玻璃的垂直距离，θ为在所述被测载板玻璃中路径被改变的透射光束偏离垂直透射光束的角度。

可选地，所述出光孔的半径的取值范围是0.05mm至5mm，所述θ的取值范围是0至10°。

可选地，所述光源探头和所述接收探头能够组成以下任意一者：点式探头组、排式探头组或面式探头组。

相应地，本发明实施例还提供一种用于载板玻璃的紫外光透过率测试设备，其特征在于，所述设备包括：上述的用于载板玻璃的紫外光透过率测试装置、载台和处理器，所述光源探头和所述接收探头分别设置于所述载台的上下两侧，被测载板玻璃被放置于所述载台的台面上，所述处理器与所述接收探头相连接，用于计算所述被测载板玻璃的紫外光透过率。

可选地，所述设备还包括移动机构，与所述光源探头和所述接收探头连接，用于控制所述光源探头和所述接收探头在水平方向上移动，并使得所述出射孔的中心与所述接收孔的中心竖直对齐。

可选地，所述移动机构还用于控制所述光源探头和所述接收探头定位于所述被测载板玻璃的特定区域，以对所述特定区域执行紫外光透过率测试。

可选地，所述载台的台面间隔开孔，开孔的内切圆直径不小于所述接收孔的直径。

可选地，所述载台的台面设置为网格式，每一网格的内切圆直径不小于所述接收孔的直径。

可选地，所述载台的台面上设置有一个或多个限位块，用于对所述被测载板玻璃进行限位。

可选地，所处理器还用于执行以下任意一者或多者：绘制所述被测载板玻璃的紫外光透过率的二维分布图或三维分布图；绘制所述被测载板玻璃的紫外光透过率的正态分布图；计算所述被测载板玻璃的紫外光透过率的偏差、标准差；和/或计算多个所述被测载板玻璃的紫外光透过率间的偏差。

通过上述技术方案，能够精确、快速、便捷的对被测载板玻璃的不同测试区域进行测试。

本发明实施例的其它特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。

附图说明

附图是用来提供对本发明实施例的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本发明实施例，但并不构成对本发明实施例的限制。在附图中：

图1示出了现有技术中紫外光透过率测试示意图；

图2示出了根据本发明一实施例的用于载板玻璃的紫外光透过率测试装置的结构示意图；

图3示出了出光孔半径与接收孔半径的关系示意图；

图4示出了根据本发明一实施例的用于载板玻璃的紫外光透过率测试设备的结构示意图；

图5示出了根据本发明一实施例的载台台面的示意图；

图6示出了根据本发明另一实施例的载台台面的示意图；

图7示出了根据本发明一实施例的紫外光透过率二维分布图的示意图；以及

图8示出了根据本发明一实施例的排式探头测试示意图。

具体实施方式

以下结合附图对本发明实施例的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本发明实施例，并不用于限制本发明实施例。

需要说明的是，为了避免因不必要的细节而模糊了本发明，在附图中仅仅给出了与根据本发明的方案密切相关的结构和/或处理步骤，而省略了与本发明关系不大的其他细节。

图2示出了根据本发明一实施例的用于载板玻璃的紫外光透过率测试装置的结构示意图。如图2所示，本发明实施例提供一种用于载板玻璃的紫外光透过率测试装置，该装置可以包括光源探头211和接收探头221。光源探头211上设置有第一挡板212，该第一挡板212上设置有出光孔213，由光源探头211发出的紫外光从出光孔213射出。接收探头221上设置有第二挡板222，该第二挡板222上设置有接收孔223，接收探头221用于接收从接收孔223入射的紫外光。

光源探头211可提供均匀且平行的特定波长的紫外光，例如可以提供波长为308nm的紫外光。在对载板玻璃进行测试时，被测载板玻璃被放置于出光孔213与接收孔223之间。从出光孔213出射的紫外光入射到被测载板玻璃，并经载板玻璃透射后入射至接收孔223以由接收探头221接收。接收探头221例如可以将入射的紫外光转换成电信号，以便于后续对透过率进行测试。

出光孔213和接收孔223的尺寸均可以被任意调节，以便能够控制光源能量的大小。可选地，出光孔213可以是设置在第一挡板212的中心位置处的开孔，接收孔223可以是设置在第二挡板222的中心位置处的开孔。

假设出光孔213的半径为R₁，接收孔223的半径为R₂，则在出光孔213半径R₁确定的情况下，可以设置接收孔223的半径R₂≥R₁+r，其中r＝h×tanθ，h为接收孔223到被测载板玻璃的垂直距离，θ为在被测载板玻璃中路径被改变的透射光束偏离垂直透射光束的角度，θ值可根据被测载板玻璃的样品要求进行设定。在一些情况下，出光孔213到被测载板玻璃的距离可以大致等于接收孔223到被测载板玻璃的距离，因此，h也可以认为是出光孔213到被测载板玻璃的距离。

图3示出了出光孔半径与接收孔半径的关系示意图。如图3所示，出光孔213的半径为R₁，接收孔223的半径为R₂，接收孔223到被测载板玻璃的测试区域310的距离为h。垂直入射至被测载板玻璃的测试区域310的大部分光从待测载板玻璃的测试区域310垂直出射，并进一步垂直入射至接收孔223，但是由于待测玻璃载板的测试区域310可能存在可接受范围内的微小缺陷，这类微小缺陷可能使得光束在被测载板玻璃的测试区域310内的路径被改变，从而不再垂直透射出被测载板玻璃的测试区域310。在被测载板玻璃的测试区域310中路径被改变的透射光束与垂直透射的光束之间存在偏离。接收孔223的半径R₂≥R₁+r，其中r＝h×tanθ，则θ可以取在被测载板玻璃的测试区域310中路径被改变的透射光束偏离垂直透射光束的最大角度。接收孔223的半径R₂的设置可以使得接收孔223可以将从被测玻璃载板的测试区域310透射的全部光束完全接收。

在可选实施例中，出光孔213的半径R₁的取值范围可以是0.05mm至5mm。在被测载板玻璃中路径被改变的透射光束偏离垂直透射光束的角度θ可以预先设定为一个固定的值，θ的取值范围可以是0至10°。

光源探头211和接收探头221可以设置为水平方向可移动的，例如，可以通过设置移动机构来控制光源探头211和接收探头221在水平方向移动，所述移动机构例如可以是电机等。光源探头211和接收探头221到被测载板玻璃的垂直距离可以是固定的或者可变的。

探头可以为点式探头组、排式探头组或面式探头组。点式探头组仅一组光源探头/接收探头，用于对被测载板玻璃的测试区域进行逐点测试。排式探头组为多组光源探头/接收探头，该多组光源探头/接收探头排为一列，沿在水平方向的X轴或垂直于X轴的Y轴进行测试。面式探头组为多组光源探头/接收探头组合成一体，例如可以组合成多列探头，每列具有多个光源探头/接收探头，面式探头组可以对多个测试区域进行快速测试。

本发明实施例提供的用于载板玻璃的紫外光透过率测试装置能够精确、快速、便捷的对被测载板玻璃的不同测试区域进行测试。可以理解，本发明实施例中对载板玻璃的紫外光透过率测试仅为示例性的，本发明实施例提供的测试装置还可以适用于其他超薄玻璃，且可以适用于测量任意类型的光的透过率。

图4示出了根据本发明一实施例的用于载板玻璃的紫外光透过率测试设备的结构示意图。如图4所示，本发明实施例还提供一种用于载板玻璃的紫外光透过率测试设备，该设备可以包括：本发明任意实施例所述的用于载板玻璃的紫外光透过率测试装置410、载台420、移动机构430和处理器440。

测试装置410的光源探头和接收探头分别放置在载台420的上下两侧。移动机构430连接测试装置410的光源探头和接收探头，使二者在载台两侧水平方向上随意移动，并能精确置于载台上方特定位置。移动机构430可以包括控制器，控制器可以控制光源探头和接收探头移动，并使得光源探头处设置的出光孔和接收探头处设置的接收孔的中心竖直对齐，并实现逐点、逐列或逐面测试。在可选实施例中，也可以保持光源探头和接收探头固定，而使用移动机构来移动被测载板玻璃，以使得被测载板玻璃的各区域的紫外光透光率均被测量。

处理器440与接收探头相连接，用于从接收探头接收数据，并对数据进行处理以对紫外光透过率进行计算，例如可以将接收探头接收的紫外光的能量和光源探头出射的紫外光的能量的比值作为紫外光透过率。进一步地，处理器440可以统计各区域被测载板玻璃的紫外光透过率并进行均匀性评估，例如可以使用载板玻璃的紫外光透过率的偏差来评估被测载板玻璃的均匀性。

如图5所示，载台的台面也可以间隔开孔，并且开孔510的形状可以是矩形、圆形或其他任意形状，包含开孔510的区域即为测试区域，载台开孔510的内切圆直径可以大于或等于接收孔的直径。本发明实施例中“间隔开孔”是指载台的台面上的孔与孔之间的距离大于一定值。被测载板玻璃500可以放置在载台上，被测载板玻璃500中放置在载台的开孔部分的区域为被测载板玻璃的测试区域。载台420上可以设置有限位块520，用于限定被测载板玻璃500的位置。可以选择将限位块520固定于载台420的任意位置处，例如，可以在载台420的四个角上分别设置有限位块520，或者可选地，可在载台420的任意其它位置设置限位块520。本发明实施例并不限制于此，在可选实施例中，限位块也可以设置为是可移动的。

通常载板玻璃的边缘位置处是无效区，在实际测试时要保证测试位置不落于无效区内，即要保证光源探头和接收探头的移动范围不处于放置于载台上的被测载板玻璃的无效区内。为此，可以设置X轴限距和Y轴限距，用来限定光源探头和接收探头的在水平方向的X轴移动和Y轴移动的范围。光源探头和接收探头在水平方向的移动范围不应处于X轴限距和Y轴限距内，而被测载板玻璃的无效区可以位于X轴限距和Y轴限距内。如图5所示，对于间隔开孔的台面，X轴限距可以是从限位块开始朝向开孔的横向距离，Y轴限距可以是从限位块开始朝向开孔的纵向距离。设置X轴限距和Y轴限距均不小于载板玻璃的无效区宽度，有助于载板玻璃被放置在载台上时，保证测试位置不落于无效区内。

如图6所示，载台的台面也可以设置为网格式，例如，可以由高强度低弹性的线构成网格，包含网格610的区域即为测试区域。网格610的内切圆直径可以大于或等于接收孔的直径。被测载板玻璃600可以放置在载台上，被测载板玻璃600中放置在载台的网格部分的区域为被测载板玻璃的测试区域。载台上可以设置有限位块620，用于限定被测载板玻璃600的位置。可以选择将限位块620固定于载台420的任意位置处，例如，可以在载台420的四个角上分别设置有限位块620，或者可选地，在载台420的任意其它位置设置限位块620。本发明实施例并不限制于此，在可选实施例中，限位块也可以设置为是可移动的。如图6所示，对于网格式的台面，X轴限距可以是从限位块开始朝向网格的横向距离，Y轴限距可以是从限位块开始朝向网格的纵向距离。设置X轴限距和Y轴限距均不小于载板玻璃的无效区宽度，有助于载板玻璃被放置在载台上时，保证测试位置不落于无效区内。

在使用本发明实施例提供的用于载板玻璃的紫外光透过率测试设备执行紫外光透过率测试时，首先要选取被测载板玻璃。具体地可以从产线选取为成品或半成品的被测载板玻璃，所选取的被测载板玻璃应为合格的成品或半成品，即应当是满足柔性显示器要求的、具有低缺陷高品质的成品或半成品。可以将选取的被测载板玻璃放置于载台台面上，其中可以通过载台台面上的限位块固定被测载板玻璃的位置。

被测载板玻璃固定于载台台面上之后，可以开始执行测试。根据具体需要看可以选择逐点、逐列或逐面进行测试，并且根据具体需要可以选择合适的参数，这些参数例如可以包括紫外光入射角度、出光孔半径大小和/或接收孔半径大小等。

移动机构可以控制光源探头和接收探头定位于被测载板玻璃的特定区域，以对该特定区域执行紫外光透过率测试。所述特定区域可以是被测载板玻璃中具有缺陷的区域。例如，可以对被测载板玻璃进行检测，并对有缺陷的区域进行标记。标记完成后，可以对被测载板玻璃中所有标记的区域进行紫外光透过率测试。通过移动机构将光源探头和接收探头定位于第一个被标记的区域，对该区域执行点测试。之后对第二个被标记的区域、第三个被标记的区域……执行测试，直到完成所有被标记区域的测试。可选地，也可以对同一区域执行多次测试，将多次测试的紫外光透过率的平均值作为该区域的紫外光透过率。

进一步地，处理器可以绘制被测载板玻璃的紫外光透过率的二维分布图或三维分布图。可选地，可以对紫外光透过率的大小设定不同等级，例如，可以将紫外光透过率大于80％的划分为一级、将紫外光透过率处于75％至80％的划分为二级、将紫外光透过率处于70％至75％的划分为三级、可以将紫外光透过率低于70％的划分为四级。处理器可以采用不同图标或不同颜色标记不同等级，并可以获取被测载板玻璃的紫外光透过率的最大值、最大值区域、最小值、最小值区域。

进一步的，处理器可以绘制被测载板玻璃的紫外光透过率的正态分布图，其中正态分布图的横轴可以是紫外光透过率，纵轴可以是点数。处理器也可以计算被测载板玻璃的紫外光透过率的平均值、偏差和/或标准差等。此外，处理器也可以计算多个被测载板玻璃的紫外光透过率间的偏差。处理器也可以将所计算的数据以表格的方式输出到显示器进行显示，和/或可以将所绘制的二维分布图、三维分布图、正态分布图等输出到显示器进行显示，以供工作人员快速了解被测载板玻璃的相关测量数据。

下面结合一些实施例的描述来提供对本发明的更详细理解。

实施例一

本实施例是针对点式探头的紫外光透过率设备，被测载板玻璃为G5载板玻璃。一个光源探头和一个接收探头组成点式探头。出光孔的半径设置为0.05mm，接收孔的半径与出光孔的半径相等为0.05mm，接收孔到被测载板玻璃的距离为10mm。采用图5所示的间隔开孔的载台台面，开孔为矩形开孔，矩形大小为30mm×30mm，开孔共计12个，X轴方向4个，Y轴方向3个。载台台面的四个角分别设置有限位块，以限定被测载板玻璃的位置。X轴限距为15cm、Y轴限距为15cm，均大于被测载板玻璃的无效区宽度10cm。

将被测载板玻璃放置于载台台面上，并通过限位块进行固定，控制紫外光垂直入射到被测载板玻璃。通过测试设备对样品进行逐点测试。由处理器对测试数据进行处理，并绘制紫外光透过率的二维分布图。将紫外光透过率的大小设定不同等级，在二维分布图中并采用不同图标标记不同等级，并计算被测载板玻璃的紫外光透过率平均值和偏差(也称片内偏差)。在该实施例中可以对5个被测载板玻璃分别进行测试，并计算这5个被测载板玻璃间的紫外光透过率偏差(也称片间偏差)。

本实施例中绘制的一被测载板玻璃的紫外光透过率二维分布图如图7所示，其中采用了不同图标来标记不同等级，可选地，在二维分布图中也可以示出紫外光透过率的最大值、最小值、平均值和/或偏差等。

本实施例的测试结果统计如表1所示。表1中最大值区域或最小值区域XiYj是指被测载板玻璃放置在台面上时，从左上角开始第i行第j列的开孔所对应的被测载板玻璃的区域。

表1紫外光透过率测试结果

本实施例中，编号为3的被测载板玻璃的紫外光透过率最高，但均匀性较差；而编号为4的被测载板玻璃的紫外光透过率最小，但均匀性较好；5个被测载板玻璃紫外光透过率平均值的偏差较大。

本实施例通过逐点测试、统计计算，不仅高精度的测试出被测载板玻璃的紫外光透过率，并能够科学地评价其均匀性。

实施例二

本实施例是针对点式探头的紫外光透过率设备，被测载板玻璃为G5载板玻璃。本实施例中，被测载板玻璃经检测发现5个区域缺陷较多，分别对这5个特定区域的紫外光透过率进行测试。一个光源探头和一个接收探头组成点式探头。出光孔的半径设置为0.1mm，接收孔的半径与出光孔的半径相等为0.1mm，接收孔到被测载板玻璃的距离为15mm。载台的台面为网格式，台面的四个角分别设置有限位块，以限定被测载板玻璃的位置。X轴限距为12cm、Y轴限距为12cm，均大于被测载板玻璃的无效区宽度10cm。

测试时，可以首先对经过缺陷面检的被测载板玻璃的缺陷位置进行标记，例如，可以对缺陷位置的坐标进行标记，或可以对缺陷所在位置的区域进行标记。将被测载板玻璃放置于载台台面上，并通过限位块进行固定，控制紫外光垂直入射到被测载板玻璃，并对所标记的具有缺陷的5个特定区域的紫外光透过率分别进行测试。对每个特定区域的紫外光透过率可以执行多次测试以计算平均值。具体地，可以通过移动机构将光源探头和接收探头定位于第一个特定区域，对该特定区域进行点测试，之后通过移动机构将光源探头和接收探头依次定位于第二个特定区域、……第五个特定区域以分别对这些特定区域的紫外光透过率进行测试。测试结果统计计算如表2所示。

表2紫外光透过率测试结果

特定区域	1	2	3	4	5
						第一次测试	76.01	75.32	75.88	76.02	75.65
第二次测试	75.99	75.41	75.83	76.03	75.62
						第三次测试	75.97	75.38	75.82	75.99	75.54
平均值	75.99	75.37	75.84	76.01	75.60

本实施例通过点式探头测试了5个特定区域的紫外光透过率，且精度较高。

实施例三

本实施例是针对排式探头的紫外光透过率设备，被测载板玻璃为G5载板玻璃。由三个光源探头排成一排，并对应三个接收探头排成一排来组成排式探头。出光孔的半径设置为0.5mm，接收孔的半径为0.6mm，接收孔到被测载板玻璃的距离为15mm。采用图5所示的间隔开孔的载台台面，开孔为矩形开孔，矩形大小为100mm×100mm，开孔共计12个，X轴方向4个，Y轴方向3个。载台台面的四个角分别设置有限位块，以限定被测载板玻璃的位置。X轴限距为20cm、Y轴限距为20cm，均大于被测载板玻璃的无效区宽度10cm。

将被测载板玻璃放置于载台台面上，并通过限位块进行固定。如图8所示，控制紫外光以入射角5°入射到被测载板玻璃810上，通过测试设备对样品进行逐列测试。由处理器对测试数据进行处理，绘制紫外光透过率的三维分布图，并计算被测载板玻璃的紫外光透过率平均值和偏差(也称片内偏差)，其中，三维分布图的X轴和Y轴可以与载台的X轴和Y轴一致(如图5和6所示)，X轴和Y轴坐标可以用于表示任意被测点的位置，Z轴可以表示对应的任意被测点的紫外光透过率。在该实施例中可以对5个被测载板玻璃分别进行测试，并计算这5个被测载板玻璃间的紫外光透过率偏差(也称片间偏差)。

本实施例的测试结果统计如表3所示。表3中最大值区域或最小值区域XiYj是指被测载板玻璃放置在台面上时，从左上角开始第i行第j列的开孔所对应的被测载板玻璃的区域。

表3紫外光透过率测试结果

本实施例中，编号为2的被测载板玻璃的紫外光透过率最高，但均匀性较差；而编号为3的被测载板玻璃的紫外光透过率最小，但均匀性较好；5个被测载板玻璃紫外光透过率平均值的偏差较大。

本实施例通过排式探头测试、统计计算，不仅高精度的测试出样品的紫外光透过率，并能够科学地评价其均匀性。

实施例四

本实施例是针对面式探头的紫外光透过率设备，被测载板玻璃为G5载板玻璃。由四个光源探头设置成两排两列，并对应的四个接收探头设置成两排两列来最终组成面式探头。出光孔的半径设置为5mm，接收孔的半径为5mm，接收孔到被测载板玻璃的距离为30mm。采用图5所示的间隔开孔的载台台面，开孔为矩形开孔，矩形大小为100mm×100mm，开孔共计16个，X轴方向4个，Y轴方向4个。载台台面的四个角分别设置有限位块，以限定被测载板玻璃的位置。X轴限距为20cm、Y轴限距为20cm，均大于被测载板玻璃的无效区宽度10cm。

将被测载板玻璃放置于载台台面上，并通过限位块进行固定。控制紫外光垂直入射到被测载板玻璃上，通过测试设备对样品进行逐面扫描测试。由处理器对测试数据进行处理，绘制紫外光透过率的正态分布图，并计算被测载板玻璃的紫外光透过率平均值和偏差(也称片内偏差)。在该实施例中可以对5个被测载板玻璃分别进行测试，并计算这5个被测载板玻璃间的紫外光透过率偏差(也称片间偏差)。

本实施例的测试结果统计如表4所示。表4中最大值区域或最小值区域XiYj是指被测载板玻璃放置在台面上时，第i行第j列的开孔所对应的被测载板玻璃的区域。

表4紫外光透过率测试结果

本实施例中，编号为2的被测载板玻璃的紫外光透过率最高，均匀性最好；5个被测载板玻璃紫外光透过率平均值的偏差较小。

本实施例通过面式探头测试、统计计算，不仅高精度的测试出样品的紫外光透过率，并能够科学地评价其均匀性。

以上结合附图详细描述了本发明实施例的可选实施方式，但是，本发明实施例并不限于上述实施方式中的具体细节，在本发明实施例的技术构思范围内，可以对本发明实施例的技术方案进行多种简单变型，这些简单变型均属于本发明实施例的保护范围。

另外需要说明的是，在上述具体实施方式中所描述的各个具体技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何合适的方式进行组合。为了避免不必要的重复，本发明实施例对各种可能的组合方式不再另行说明。

本领域技术人员可以理解实现上述实施例方法中的全部或部分步骤是可以通过程序来指令相关的硬件来完成，该程序存储在一个存储介质中，包括若干指令用以使得单片机、芯片或处理器(processor)执行本申请各个实施例所述方法的全部或部分步骤。而前述的存储介质包括：U盘、移动硬盘、只读存储器(ROM，Read-Only Memory)、随机存取存储器(RAM，Random Access Memory)、磁碟或者光盘等各种可以存储程序代码的介质。

此外，本发明实施例的各种不同的实施方式之间也可以进行任意组合，只要其不违背本发明实施例的思想，其同样应当视为本发明实施例所公开的内容。

Claims (12)

1.一种用于载板玻璃的紫外光透过率测试装置，其特征在于，所述装置包括：

光源探头，该光源探头上设置有第一挡板，该第一挡板上设置有出光孔，由所述光源探头发出的紫外光从所述出光孔射出；以及

接收探头，该接收探头上设置有第二挡板，该第二挡板上设置有接收孔，所述接收探头用于接收从所述接收孔入射的紫外光。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述出光孔的尺寸和所述接收孔的尺寸均能够被调节。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述出光孔的尺寸和所述接收孔的尺寸满足以下条件：

R₂≥R₁+r，

其中，R₁为所述出光孔的半径，R₂为所述接收孔的半径，r＝h×tanθ，h为所述接收孔到被测载板玻璃的垂直距离，θ为在所述被测载板玻璃中路径被改变的透射光束偏离垂直透射光束的角度。

4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述出光孔的半径的取值范围是0.05mm至5mm，所述θ的取值范围是0至10°。

5.根据权利要求1至4中任一项权利要求所述的装置，其特征在于，所述光源探头和所述接收探头能够组成以下任意一者：点式探头组、排式探头组或面式探头组。

6.一种用于载板玻璃的紫外光透过率测试设备，其特征在于，所述设备包括：根据权利要求1至5中任一项所述的用于载板玻璃的紫外光透过率测试装置、载台和处理器，

所述光源探头和所述接收探头分别设置于所述载台的上下两侧，被测载板玻璃被放置于所述载台的台面上，所述处理器与所述接收探头相连接，用于计算所述被测载板玻璃的紫外光透过率。

7.根据权利要求6所述的设备，其特征在于，所述设备还包括移动机构，与所述光源探头和所述接收探头连接，用于控制所述光源探头和所述接收探头在水平方向上移动，并使得所述出射孔的中心与所述接收孔的中心竖直对齐。

8.根据权利要求7所述的设备，其特征在于，所述移动机构还用于控制所述光源探头和所述接收探头定位于所述被测载板玻璃的特定区域，以对所述特定区域执行紫外光透过率测试。

9.根据权利要求6所述的设备，其特征在于，所述载台的台面间隔开孔，开孔的内切圆直径不小于所述接收孔的直径。

10.根据权利要求6所述的设备，其特征在于，所述载台的台面设置为网格式，每一网格的内切圆直径不小于所述接收孔的直径。

11.根据权利要求6所述的设备，其特征在于，所述载台的台面上设置有一个或多个限位块，用于对所述被测载板玻璃进行限位。

12.根据权利要求6所述的设备，其特征在于，所处理器还用于执行以下任意一者或多者：

绘制所述被测载板玻璃的紫外光透过率的二维分布图或三维分布图；

绘制所述被测载板玻璃的紫外光透过率的正态分布图；

计算所述被测载板玻璃的紫外光透过率的偏差、标准差；和/或

计算多个所述被测载板玻璃的紫外光透过率间的偏差。