CN109211707B - 环境试验装置 - Google Patents

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Abstract

本发明的课题在于，提供能够直接设定环境的变化率，而且难以引起输入的错误的环境试验装置。能够输入关于总变化量的变化量信息和关于每单位时间的变化量的变化率信息。根据通过变化量信息和变化率信息的组合来设定变化的目标轨迹的变化量‑变化率设定方法，能够设定变化的目标轨迹。在通过变化量‑变化率设定方法设定变化的目标轨迹的情况下，不能进行时间信息的输入。

Description

环境试验装置
技术领域
本发明涉及环境试验装置。本发明适合用作进行在每个步骤中设定环境且使环境变化，而对被试验物赋予热应力等的试验的环境试验装置。本发明还涉及控制环境形成装置的空气调节设备等的环境形成装置用控制装置和计算机程序。本发明还涉及热处理装置。
背景技术
作为使环境变化而进行的环境试验之一，具有热循环试验。热循环试验是如下试验，例如对内置有电子部件或电子设备的产品等施加热应力，而进行功能和性能的确认。
热循环试验中，将例如被试验物设置于试验室中，花费一定的时间使试验室的温度上升。然后，将被试验物在高温环境中暴露一定时间。而且，之后将试验室的温度恢复成常温。另外，有时也在低温环境下暴露被试验物，或反复进行高温环境和低温环境。
而且，将这些一连串的环境变化反复进行一定次数，对被试验物施加热应力。
例如专利文献1中公开有进行热循环试验的环境试验装置。
另外，还具有在以规定的条件变化的环境下暴露被试验物，进行被试验物的功能和性能的确认的试验。
另外，作为进行高温试验或生产线中的热处理/干燥的装置，已知有热处理装置。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本国特开2007-183126号公报
发明内容
发明要解决的课题
市场中，具有想要设定使试验室内的温度变化时的变化的目标轨迹的需求。例如具有要使试验室内的温度从作为开始温度的摄氏20度花费10分钟到达作为高温环境的摄氏80度的请求。换而言之，有时要描绘特定的温度变化曲线以从开始温度到达目标温度。
于是，本申请人试制能够设定直到到达目标温度的时间的环境试验装置。试制的环境试验装置中具有输入装置，使用者对该输入装置输入作为最终的到达温度的摄氏80度和上升所花费的时间(10分钟)。其结果，试验室内的温度从当初的摄氏20度花费10分钟的时间到达目标的摄氏80度。
在此，使用环境试验装置时的试验条件各式各样，例如也有时要使试验室内的温度从作为开始温度的摄氏20度以5度/分钟的温度变化率到达作为高温环境的摄氏80度。
在这种情况下，使用上述的环境试验装置的操作者通过温度差除以温度上升率，运算从摄氏20度到达摄氏80度的时间，并将该时间输入到输入装置。根据上述的设定例，温度差为“80度－20度＝60 度”，所以温度上升所需要的时间成为“60度/5度＝12(分钟)”。因此，操作者对上述的输入装置输入作为最终到达温度的摄氏80度和通过计算得到的上升所花费的时间(12分钟)。其结果，试验室内的温度从摄氏20度起以5度/分钟的温度上升率进行上升，在12分钟后到达摄氏 80度。
根据试制的环境试验装置，操作者计算温度变化所花费的时间，并输入该时间，由此，能够实质上进行温度变化率的设定。
但是，基于温度变化率计算温度变化所花费的时间比较麻烦，存在应改善的意见。
本发明的第一课题在于，开发能够直接设定环境的变化率的环境试验装置。
本发明人等为了解决上述的课题，进行了改良，以能够变更控制装置的程序，并直接输入温度变化率。
改良后的环境试验装置中，对输入装置输入作为最终的到达温度的摄氏80度和希望的温度变化率(例如5度/分钟)。其结果，试验室内的温度从摄氏20度起以5度/分钟的温度上升率进行上升。结果，试验室内的温度在12分钟后到达作为目标温度的摄氏80度。
改良后的环境试验装置中，在要从试验室的当前的温度起花费一定时间变化至目标温度的情况下，在输入装置中输入设定温度和需要时间。另一方面，在要从试验室的当前的温度起以一定的温度变化率变化至目标温度的情况下，在输入装置中输入设定温度和温度变化率。
但是，根据该输入方法，操作者有可能要将目标温度、需要时间、温度变化率三项全部输入。
在此，在要从开始温度的摄氏20度起以5度/分钟的温度变化率到达至目标的摄氏80度的情况下，如果操作者输入作为目标温度的摄氏 80度、作为需要时间的12分钟、作为温度变化率的5度/分钟，则环境试验装置如操作者的希望那样进行动作，试验室内的温度以5度/分钟的温度上升率进行上升，在12分钟后到达作为目标温度的摄氏80 度。
但是，假定将目标温度错误地设定为摄氏100度，且注意到错误并修正为80度时，也需要同时修正温度变化率或需要时间。如果不是输入者就不能判断输入哪一项，当未进行修正时，有时会陷入不能工作的状态。另外，如果控制装置具有再运算功能或应用近似式的功能，则还存在操作者要描绘非预期的温度轨迹来改变试验室内的温度的可能性。
另外，确认输入中是否没有错误的操作比较麻烦，进而有时操作者会担心可能具有错误从而感到心理压力。
本发明的第二课题在于，提供一种环境试验装置，能够直接设定环境的变化率，进而难以引起输入的错误。
即，本发明的课题在于，开发能够直接设定环境的变化率的环境试验装置。
另外，本发明提供一种难以引起输入的错误的环境试验装置。
本发明的又一课题在于，提供能够解决同样课题的环境形成装置用控制装置、环境形成装置用计算机程序和热处理装置。
用于解决课题的方法
用于解决上述课题的方式是一种环境试验装置，其能够将被试验物置于想要的试验环境下进行环境试验，所述环境试验装置的特征在于：能够在环境试验的实施中使试验环境变化，能够输入关于每单位时间的环境因子的变化量的变化率信息，并能够将变化率信息作为输入信息之一来设定变化的目标轨迹。
作为“环境因子”，有例如温度、湿度等在通常的环境试验装置中设定的环境因子。另外，试验室内的压力也能够用作“环境因子”之一
而且，对被试验物赋予的外部振动和负载也是“环境因子”之一。例如，施加于被试验物的电压和电流、照射于被试验物的光线的量和频率、磁场、放射线均为环境因子之一。另外，臭氧浓度、二氧化碳浓度等的气体浓度也是“环境因子”之一。
“关于每单位时间的环境因子的变化量的变化率信息”是例如摄氏5度/分钟的具体的数值、和表示温度变化的曲线图的斜率等。
上述的方式和下述记载的方式中优选能够输入关于环境变化所要花费的时间的时间信息，在将变化率信息作为输入信息之一来设定变化的目标轨迹时，不能进行时间信息的输入。
本方式的环境试验装置中，能够输入关于环境变化所要花费的时间的时间信息。但是，在将变化率信息作为输入信息之一来设定变化的目标轨迹时，不能进行时间信息的输入。因此，难以发生因为加上时间信息而导致的不一致。
“关于环境变化所要花费的时间的时间信息”是变化所需的时间 (例如12分钟)、和变化的开始时刻和结束时刻。在已知开始时刻的情况下，也可以仅输入结束时刻。
上述的方式和下述记载的方式中优选能够输入关于环境变化所要花费的时间的时间信息，能够将时间信息作为输入信息之一来设定变化的目标轨迹，在将时间信息作为输入信息之一来设定变化的目标轨迹时，不能进行变化率信息的输入。
本方式的环境试验装置中，也能够通过时间信息来设定变化的目标轨迹。在该情况下，不能进行变化率信息的输入。因此，难以发生因为加上变化率信息而导致的不一致。
用于解决同样课题的另一方式是一种环境试验装置，其特征在于：能够输入关于总变化量的变化量信息、关于环境变化所要花费的时间的时间信息、关于每单位时间的环境因子的变化量的变化率信息，能够通过变化量-时间设定方法和变化量-变化率设定方法来设定变化的目标轨迹，其中，所述变化量-时间设定方法通过变化量信息和时间信息的组合来设定变化的目标轨迹，所述变化量-变化率设定方法通过变化量信息和变化率信息的组合来设定变化的目标轨迹，在通过变化量- 变化率设定方法来设定变化的目标轨迹的情况下，不能进行时间信息的输入。
“关于总变化量的变化量信息”是例如变化前的环境状态和目标的环境状态，根据上述的设定例，是开始温度的摄氏20度和作为目标温度的摄氏80度。大多情况下已知开始温度，所以也可以仅输入目标温度。另外，也可以输入作为两者的偏差的60度。
另外，本方式的环境试验装置中，能够通过变化量信息和变化率信息的组合来设定变化的目标轨迹。在该情况下，不能进行时间信息的输入。因此，难以发生因为加上时间信息而导致的不一致。
另外，本方式的环境试验装置中，也能够通过变化量信息和时间信息的组合来设定变化的目标轨迹。
优选使其变化的环境因子为温度。
上述的方式和下述记载的方式中优选能够将变化率信息作为输入信息之一来设定变化的目标轨迹，在将变化率信息作为输入信息之一来设定变化的目标轨迹的情况下，计算变化所需的时间并将其显示。
上述的方式和下述记载的方式中优选能够将环境变化所要花费的时间作为输入信息之一来设定变化的目标轨迹，在将环境变化所要花费的时间作为输入信息之一来设定变化的目标轨迹的情况下，计算环境因子的变化率并将其显示。
关于控制装置的方式，是一种使包括环境调节设备的环境形成装置动作的环境形成装置用控制装置，其特征在于：能够输入关于每单位时间的环境因子的变化量的变化率信息，基于变化率信息设定变化的目标轨迹，并控制环境调节设备以使得遵从所述目标轨迹。
在此，“环境形成装置”是例如环境试验装置等创建温度、湿度、压力、光等试验环境的装置、或烤炉等创建温度环境的装置的总称。
关于控制程序的方式是一种环境形成装置用计算机程序，其使包括环境调节设备的环境形成装置的控制装置动作，所述环境形成装置用计算机程序的特征在于：能够输入关于每单位时间的环境因子的变化量的变化率信息，基于变化率信息设定变化的目标轨迹，控制环境调节设备以使得遵从所述目标轨迹。
优选上述的计算机程序记录于非暂时性记录介质中。
关于热处理装置的方式是一种热处理装置，其具有载置被处理物的热处理室和使热处理室内升温的加热装置，对热处理室内的被处理物进行加热处理，所述热处理装置的特征在于：能够在加热处理的实施期间使热处理室内的温度变化，能够输入关于每单位时间的温度的变化量的变化率信息，能够将变化率信息作为输入信息之一来设定热处理室内的温度变化的目标轨迹。
发明效果
本发明的环境试验装置、环境形成装置用控制装置和环境形成装置用计算机程序，能够直接输入环境的变化率，并设定环境变化的目标轨迹。
本发明的热处理装置也能够期待同样的效果，能够直接输入加热温度的变化率，并设定温度变化的目标轨迹。
另外，本发明的环境试验装置具有难以引起输入错误的效果。
附图说明
图1(a)是概念性地表示本实施方式的环境试验装置的机械结构的截面图，(b)是该控制装置和输入装置的概念图。
图2是表示图1的环境试验装置中应设定的环境变化的目标轨迹的曲线图，(a)表示基于变化量-变化率设定方法的情况，(b)表示基于变化量-时间设定方法的情况。
图3是图1的环境试验装置的输入装置的输入画面的正面图。
图4是基于变化量-变化率设定方法设定时的步骤1的输入画面的正面图。
图5是基于变化量-变化率设定方法设定试验条件时的步骤2的输入画面的正面图，(a)表示输入之后的状态，(b)表示设定确定后的状态。
图6是基于变化量-变化率设定方法设定试验条件时的步骤3的输入画面的正面图。
图7是基于变化量-变化率设定方法设定试验条件时的步骤4的输入画面的正面图，(a)表示输入之后的状态(b)表示设定确定后的状态。
图8是基于变化量-变化率设定方法设定试验条件时的步骤5的输入画面的正面图。
图9是基于变化量-时间设定方法设定试验条件时的步骤2的输入画面的正面图，(a)表示输入之后的状态(b)表示设定确定后的状态。
图10是基于变化量-时间设定方法设定试验条件时的步骤4的输入画面的正面图，(a)表示输入之后的状态(b)表示设定确定后的状态。
图11是本发明的另一实施方式的环境试验装置的输入装置的初始画面的正面图。
图12是基于图11所示的输入装置的变化量-时间设定方法设定时的输入画面的正面图。
图13(a)(b)是表示环境试验装置中应设定的环境变化的目标轨迹的一例的曲线图。
图14(a)是概念性地表示本实施方式的热处理装置的机械结构的截面图，(b)是该控制装置和输入装置的概念图。
附图标记说明
1 环境试验装置
5 试验室
17 空气调节设备(环境调节设备)
28 键盘
30 控制装置(环境形成装置用控制装置)
31 输入装置
32 输入画面
33 步骤显示部
35 设定项目显示部
36 温度设定部
37 温度梯度选择部
38 变化率输入部
43 时间设定部
44 初始画面
60 计算机程序
70 热处理装置
具体实施方式
以下，进一步说明本发明的实施方式。
如图1所示，本实施方式的环境试验装置1的基本结构具有由隔热壁2覆盖的隔热槽3。而且，该在隔热槽3的一部分形成有试验室5。试验室5是设置被试验物18的空间。
环境试验装置1还包括空气调节设备(环境调节设备)17和风机 10。空气调节设备17由加湿装置6、冷却装置7和加热装置8构成。
环境试验装置1中，具有与试验室5环状地连通的空气调节通风路15，在该空气调节通风路15中内置有上述的空气调节设备17和风机10。
空气调节通风路15形成于隔热槽3的一部分，利用空气吹出部16 和空气导入部25的两个部位与试验室5连通。
因此，当起动风机10时，试验室5内的空气从空气导入部25导入到空气调节通风路15内。而且，空气调节通风路15成为通风状态，空气与空气调节设备17接触进行热交换和湿度调整，从空气吹出部16 向试验室5内吹出调整后的空气。
另外，在空气调节通风路15的空气吹出部16的附近设置有温度传感器12和湿度传感器13。
温度传感器12和湿度传感器13的信号输入控制装置(环境形成装置用控制装置)30。而且，利用控制装置30比较温度传感器12和湿度传感器13的各检测值和各设定值。
在使用环境试验装置1时，运转风机10使空气调节通风路15内处于通风状态，并控制空气调节设备17以使得温度传感器12和湿度传感器13的检测值接近设定环境的温度和湿度。
即，通过运转风机10，试验室5内的空气从空气导入部25导入到空气调节通风路15，通过空气调节通风路15内的空气调节设备17来调整温度/湿度。然后，调整了温度/湿度的空气从空气吹出部16返回试验室5，在试验室5内创造出期望的温度/湿度的环境。
本实施方式的环境试验装置1能够在试验室5内人工地创造出温度变化的环境，对于被试验物18，在该环境下赋予热等的环境因子产生的应激，并观察被试验物的变化。
本实施方式的环境试验装置1中，能够设定改变试验室5内的温度时的变化的目标轨迹。即，本实施方式的环境试验装置1中，作为试验条件之一，能够设定试验室5内的温度的变化的轨迹。
试验条件被输入到控制装置(环境形成装置用控制装置)30。另外，控制装置30中保存有，用于控制空气调节设备17来描绘设定试验室5内的环境的温度曲线并使其变化的环境形成装置用计算机程序 60。
环境形成装置用计算机程序60记录于控制装置30内的硬盘等的非暂时性记录介质。
环境形成装置用计算机程序60也有时保存于CDROM或USB存储器等的公知的非暂时性记录介质中进行买卖。
以下，说明其结构。
本实施方式的环境试验装置1中，能够设定试验室5内的温度环境，且在每一步骤中切换设定温度和升降的条件、维持时间等。
温度变化的目标轨迹(曲线)没有限定，作为设定例，说明以表1 表示的条件改变设定温度、温度变化的梯度设定、设定时间的情况。设定例中，不进行试验室5内的湿度设定。
【表1】
步骤 温度(℃) 梯度 时间
1 20 无 5小时
2 80 有(变化率)5℃/分钟 根据梯度决定
3 80 无 5小时
4 20 有(变化率)5℃/分钟 根据梯度决定
5 20 无 5小时
根据表1所示的条件描绘温度变化曲线时，如图2(a)所示。
试验开始之后的设定温度为摄氏20度，不改变设定温度，使该设 定温度维持5小时的时间(步骤1)。
当经过5小时时，转移至步骤2，设定温度变更为摄氏80度。从 初始温度的摄氏20度到新的目标温度的摄氏80度的期间，使温度以5 度/分钟的比例上升。在使温度以5度/分钟的比例上升的情况下，从初 始温度的摄氏20度到设定温度的摄氏80度所需要的时间为12分钟。
当试验室5内的温度到达摄氏80度时，转移至步骤3，将设定温 度维持成摄氏80度，使该环境维持5小时的时间。
当经过5小时时，转移至步骤4，设定温度变更为摄氏20度。从 初始温度(开始温度)的摄氏80度到设定温度的摄氏20度的期间， 以5度/分钟的比例降低温度。在以5度/分钟的比例降低温度的情况下， 从初始温度的摄氏80度到设定温度的摄氏20度所需要的时间为12分 钟。
试验室5的环境设定使用附属于图1的控制装置30的显示面板(操 作画面)或另一个输入装置31进行。输入装置31为例如个人计算机， 通过LAN或因特网等公知的通信方式与环境试验装置1连接。输入装 置31如上述那样为个人计算机，作为使用键盘28等进行规定的输入 的情况进行说明，但也可以采用触摸面板或声音等其它输入方法。
另外，也可以在环境试验装置1本身的操作画面(显示面板)进 行设定。
通过操作输入装置31等，调出图3所示的输入画面32。
输入画面32具有步骤显示部33和设定项目显示部35。另外，具 有与设定项目显示部35对应的设定部36～43。输入画面32中还具有 曲线图显示部50和设定显示部51。
步骤显示部33显示当前设定的步骤。通过规定的操作改变应设定 的步骤，切换输入画面32。
设定项目显示部35是显示应设定的项目名的部分。本实施方式中， 作为设定项目，具有：“温度设定”“梯度控制”“变化率”“湿度设定” “梯度控制”“湿度控制”“暴露时间控制”“□时□分□秒”。
对于“温度设定”的温度设定部36，是操作键盘28等将设定温度 以数字输入的部分。
对于“梯度控制”的温度梯度选择部37，是设定是否使设定温度以一定的变化率变化，并进一步选择其温度变化的目标轨迹的设定方法的部分。
本实施方式的环境试验装置1中，作为设定温度变化的目标轨迹的方法，能够选择变化量-时间设定方法的设定和变化量-变化率设定方法的设定。
在此，前者的变化量-时间设定方法是将时间信息作为输入信息之一来设定变化的目标轨迹的方法，是通过到达目标温度(设定温度) 和至到达目标温度所需要的时间的组合来设定温度变化的目标轨迹的方案。后者的变化量-变化率设定方法是将变化率信息作为输入信息之一来设定变化的目标轨迹的方法，是通过到达目标温度(设定温度) 和变化率信息的组合来设定温度变化的目标轨迹的方案。
对于“梯度控制”的温度梯度选择部37，构成为通过操作键盘28 等来切换“无”、“有”、“有(变化率)”的3种显示。
在采用变化量-时间设定方法的情况下，在温度梯度选择部37中显示为“有”。在采用变化量-变化率设定方法的情况下，在温度梯度选择部37中显示为“有(变化率)”。在改变设定温度但温度变化所花费的时间未指定的情况，和将设定温度保持成一定温度而未变化的情况下，显示为“无”。
对于“变化率”的变化率输入部38，是操作键盘28等而将每一分钟的温度变化等的变化率以数字进行输入的部分。
本实施方式的环境试验装置1中，作为温度变化的目标轨迹的输入方法，采用变化量-变化率设定方法，仅在温度梯度选择部37中显示为“有(变化率)”的情况下能够设定“变化率”，在选择了其它方法的情况下，键盘28等变为无效，不能设定“变化率”。
即，如上所述，在采用了利用对于“梯度控制”的温度梯度选择部37将设定温度保持成一定温度而未变化的方案的情况，或采用了变化量-时间设定方法的情况下，键盘28等进行的输入对于变化率输入部 38无效，不能进行设定。
对于“湿度设定”的湿度设定部39，是操作键盘28等而将设定湿度以数字输入的部分。
对于“梯度控制”的湿度梯度选择部40，构成为设定是否将设定湿度以一定的变化率进行变化，并进一步选择该设定方法。
本实施方式中，关于湿度，能够进行仅变化量-时间设定方法的设定，没有采用变化量-变化率设定方法的设定方式，但作为变形例，也可以采用变化量-变化率设定方法的设定方式。
对于“梯度控制”的湿度梯度选择部40，构成为通过操作键盘28 等来切换“无”、“有”的2种显示。
在采用变化量-时间设定方法的情况下，在湿度梯度选择部40中显示为“有”。在改变设定湿度但未指定湿度变化所花费的时间的情况，或将设定湿度保持成一定湿度而未变化的情况下，显示为“无”。
对于“湿度控制”的湿度控制开启关闭部41，是选择是否进行湿度控制的部分。湿度控制开启关闭部41中具有“ON”“OFF”的显示，而选择任一项。
对于“暴露时间控制”的计时条件选择部42，通过操作键盘28 等而能够选择“ON”“OFF”。但是，在梯度控制为“有”或“有(变化率)”的情况下，“暴露时间控制”不能设为“ON”。在计时条件选择部42为“ON”的情况下，判定为试验室5内的检测温度到达设定温度，之后开始步骤的计时。在计时条件选择部42为“OFF”的情况下，开始进行步骤，同时开始计时。
对于“□时间□分□秒”的时间设定部43，是通过操作键盘28 等而将设定时间以数值进行输入的部分。时间设定部43是设定执行步骤的时间的部分。
另外，本实施方式中，时间设定部43也是作为温度变化的目标轨迹的输入方法采用了变化量-时间设定方法的情况下，设定从初始温度到目标温度所花费的时间的栏。
本实施方式的环境试验装置1中，在采用变化量-时间设定方法，且利用温度梯度选择部37选择了“有”的情况下，能够将变化所花费的时间设定到时间设定部43。
如上所述，对于“梯度控制”的温度梯度选择部37，设定是否使设定温度以一定的变化率进行变化，能够进一步选择用于输入其目标轨迹的设定方法，但在选择了变化量-变化率设定方法的情况下，对于时间设定部43，键盘28等的输入成为无效，不能在时间设定部43设定时间。
另外，本实施方式中，作为输入目标轨迹的方法，当选择变化量- 变化率设定方法，且在变化率输入部38中输入变化率时，自动计算到达目标温度所需要的时间，并显示于时间设定部43。但是，在该情况下，即使操作键盘28等，也不能改变时间设定部43的显示。
曲线图显示部50是自动地曲线图显示与设定的条件对应的环境变化的轨迹的部分。
设定显示部51是显示已设定的步骤的设定值的部分。本实施方式中，具有3个栏的显示栏52、53、55，显示3个步骤的设定。
接着，沿着上述的表1的条件具体地说明输入的顺序。
首先，显示图4所示的步骤1的画面。根据表1的条件，试验开始之后的设定温度为摄氏20度，不改变设定温度，使该设定温度维持 5小时的时间。
因此，步骤1中，如图4，在对于“温度设定”的温度设定部36 中输入数字20。
步骤1中，不改变设定温度，所以对于“梯度控制”的温度梯度选择部37，选择“无”。
在对于“变化率”的变化率输入部38中没有任何输入。另外，即使操作键盘28等，也成为输入无效，不能在变化率输入部38中输入数值。
设定例中，不进行湿度控制，所以在对于“湿度设定”的湿度设定部39和对于“梯度控制”的湿度梯度选择部40中没有任何输入。另外，在对于“湿度控制”的湿度控制开启关闭部41中，选择“OFF”。在湿度控制开启关闭部41中选择“OFF”时，如图4所示，在对于“湿度设定”的湿度设定部39的栏中显示“OFF”。此外，其它步骤中也同样，在对于“湿度设定”的湿度设定部39和对于“梯度控制”的湿度梯度选择部40中没有任何输入，在对于“湿度控制”的湿度控制开启关闭部41中，选择“OFF”。
在对于“暴露时间控制”的计时条件选择部42中，选择“OFF”。对于“□时间□分□秒”的时间设定部43，作为步骤的时间在“时间”栏中输入5，在“分”栏和“秒”栏中输入00。
当选择“确定下一项”时，在曲线图显示部50中显示与所设定的条件对应的环境变化的目标轨迹，画面切换成步骤2的画面。
当画面变更为步骤2时，在设定显示部51的第一显示栏52中显示已设定的步骤1的设定值。
根据表1的条件，步骤2的条件是将当前的温度变更为摄氏80度，且在从开始温度的摄氏20度到目标温度的摄氏80度的期间使温度以5 度/分钟的比例进行上升的条件。
因此，步骤2中，如图5所示，在对于“温度设定”的温度设定部36中输入数字80。
步骤2中，以5度/分钟的比例接近设定温度，所以设定目标轨迹的方案应采用变化量-变化率设定方法，并利用对于“梯度控制”的温度梯度选择部37选择“有(变化率)”。
当在对于“变化率”的变化率输入部38中输入数字5时，在变化率输入部38中显示为5.0℃/min。
对于“暴露时间控制”的计时条件选择部42和时间设定部43，键盘28等的操作变为无效，不能进行“ON”“OFF”的选择。另外，也不能进行时间的设定。
但是，当确定各设定条件时，直到到达目标温度所需要的时间进行自动计算，且如图5(b)那样显示于时间设定部43。具体而言，进行12分钟的显示。
当选择“确定下一项”时，在曲线图显示部50中显示与设定的条件对应的环境变化的目标轨迹，在曲线图显示部50中显示接着步骤1 的步骤2的环境变化的目标轨迹。另外，画面切换成步骤3的画面。
当画面变更至步骤3时，如图6所示，在设定显示部51的第二显示栏53中显示已设定的步骤2的设定值。
根据表1的条件，步骤3的条件将设定温度维持为摄氏80度并将该状态保持5小时的时间。
因此，步骤3中，如图6那样，在对于“温度设定”的温度设定部36中输入数字80。
步骤3中，不使设定温度变化，所以对于“梯度控制”的温度梯度选择部37中，选择“无”。
在对于“变化率”的变化率输入部38中没有任何输入。另外，即使操作键盘28等，也成为输入无效，不能在变化率输入部38中输入数值。
在“暴露时间控制”的计时条件选择部42中，选择“OFF”。在时间设定部43中，作为时间，在“时间”栏中输入5，在“分”栏和“秒”栏中输入0。
当选择“确定下一项”时，画面变更到步骤4。
当画面变更为步骤4时，如图7(a)所示，在设定显示部51的第二显示栏53中显示已设定的步骤3的设定值。
在曲线图显示部50中显示接着步骤2的步骤3的环境变化的目标轨迹。
根据表1的条件，步骤4的条件为将当前的温度变更为摄氏20度，且在从开始温度的摄氏80度到目标温度的摄氏20度的期间使温度以5 度/分钟的比例降低。
因此，步骤4中，如图7(a)那样在对于“温度设定”的温度设定部36中输入数字20。
步骤4中，以5度/分钟的比例接近设定温度，所以在对于“梯度控制”的温度梯度选择部37中，选择“有(变化率)”。
当在对于“变化率”的变化率输入部38中输入数字5时，在变化率输入部38中显示为5.0℃/min。
在“暴露时间控制”的计时条件选择部42中，键盘28等的操作变为无效，不能进行“ON”“OFF”的选择。另外，也不能进行时间设定部43的时间的设定。
但是，当确定各设定条件时，直到到达目标温度所需要的时间进行自动计算，且如图7(b)那样显示于时间设定部43。具体而言，进行12分钟的显示。
当选择“确定下一项”时，在曲线图显示部50中显示接着步骤3 的步骤4的环境变化的目标轨迹。
然后，画面变更到步骤5。
当画面变更为步骤5时，设定显示部51的显示偏离，在第一显示部52中显示步骤3的设定值，在第二显示部53中显示步骤4的设定值。而且，在第三显示栏55中显示步骤5的框。
根据表1的条件，步骤5的设定温度为摄氏20度，没有温度变化且使该设定温度维持5小时的时间。
因此，步骤5中，如图8那样，在对于“温度设定”的温度设定部36中输入数字20。
对于“梯度控制”的温度梯度选择部37，选择“无”。
在对于“变化率”的变化率输入部38中没有任何输入。另外，即使操作键盘28等，也成为输入无效，不能在变化率输入部38中输入数值。
在“暴露时间控制”的计时条件选择部42中，选择“OFF”。在时间设定部43中，作为维持设定温度的时间，在“时间”栏中输入5，在“分”栏和“秒”栏中输入00。
在结束上述的设定后，操作规定的开始开关时，描绘根据表1所示的条件和图2(a)的曲线图的温度曲线，试验室5内的环境变化。即，作为环境形成装置用控制装置的控制装置30，控制作为环境调节设备的空气调节设备17，描绘根据图2(a)的曲线图的温度曲线并改变试验室5内的环境。
接着，作为变化量-时间设定方法，说明以表2所示的条件改变设定温度、梯度设定、设定时间的情况。
【表2】
步骤 温度(℃) 梯度 时间
1 20 无 5小时
2 80 有(用12分钟到达目标) 12分钟(变化所需的时间)
3 80 无 5小时
4 20 有(用12分钟到达目标) 12分钟(变化所需的时间)
5 20 无 5小时
根据表2所示的条件描绘温度变化曲线时，如图2(b)所示。
与上述的表1的条件的不同是步骤2、步骤4。在表2的条件中，使试验室5内的温度花费规定的时间进行变化。
步骤1、3、5，与表1的情况相同，所以省略说明。
在表2所示的条件中，步骤2中设定温度变更为摄氏80度。从初始温度的摄氏20度到目标温度的摄氏80度，花费12分钟的时间进行变化。步骤4也同样，从摄氏80度到目标温度的摄氏20度，花费12 分钟的时间进行变化。
因此，步骤2中，如图9(a)那样，在对于“温度设定”的温度设定部36中输入数字80。
步骤2中，用12分钟接近设定温度，所以设定目标轨迹的方案应采用变化量-时间设定方法，并在对于“梯度控制”的温度梯度选择部 37中选择“有”。
关于对于“变化率”的变化率输入部38，键盘28等的操作变为无效，不能输入数值。
“暴露时间控制”的计时条件选择部42，选择“OFF”。在时间设定部43中输入12分钟。
如上述那样，在对于“变化率”的变化率输入部38中成为不能用键盘28等进行输入的状态，但当确定各设定条件时，变化率进行自动计算，并如图9(b)那样显示于变化率输入部38。具体而言，进行5.0℃ /min的显示。但是，也可以是不自动计算变化率的情况或不显示的情况。
接着，说明步骤4的输入方法。根据表2的条件，步骤4的条件中，将当前的温度变更为摄氏20度，且从初始温度的摄氏80度到目标温度的摄氏20度用12分钟降低温度。
因此，步骤4中，如图10(a)那样，在对于“温度设定”的温度设定部36中输入数字20。
步骤4中，用12分钟接近设定温度，所以对于“梯度控制”的温度梯度选择部37应采用变化量-时间设定方法，并在温度梯度选择部 37中选择“有”。
在对于“变化率”的变化率输入部38中，键盘28等的操作变为无效，不能输入数值。
“暴露时间控制”的计时条件选择部42，选择“OFF”。在时间设定部43中输入12分钟。
如上述那样，对于“变化率”的变化率输入部38中成为不能用键盘28等输入的状态，但当确定各设定条件时，变化率进行自动计算，且如图10(b)那样显示于变化率输入部38。具体而言，进行5.0℃/min 的显示。另外，也可以是不自动计算变化率的情况或不在变化率输入部38中显示变化率的情况。
上述的实施方式中，在各步骤的设定画面中选择通过变化量信息和时间信息的组合来设定变化的目标轨迹的变化量-时间设定方法、和通过变化量信息和变化率信息的组合来设定变化的目标轨迹的变化量- 变化率设定方法，但也可以在初始画面等中预先选择任一方法。
例如可以在图11所示的初始画面44中创建“新建方案1”“新建方案2”的选择项目，在选择了一方的情况下，各步骤画面成为变化量 -时间设定方法专用，在选择了另一方的情况下，成为变化量-变化率设定方法。
图12是表示在图11所示的初始画面44中选择“新建方案1”，基于变化量-时间设定方法设定时的输入画面的例子的图。在基于变化量- 时间设定方法设定时的输入画面中，没有“变化率”的项目名和相对于其的变化率输入部，不能输入“变化率”。
当选择“新建方案2”时，成为基于变化量-变化率设定方法设定时的输入画面。此时的输入画面与图3的输入画面32相同。另外，作为另一例选择了“新建方案2”时的画面也可以是没有变化量/时间设定的栏，且不能进行它们的设定的画面。
根据以上说明的实施方式，在通过变化量-时间设定方法设定变化的目标轨迹的情况下，不能进行变化率信息的输入。另外，在通过变化量-变化率设定方法设定变化的目标轨迹的情况下，不能进行时间信息的输入。因此，能够防止设定矛盾的设定条件，并防止成为非预期的设定条件。
上述的实施方式中，能够进行变化量-时间设定方法的变化的目标轨迹的设定和变化量-变化率设定方法的变化的目标轨迹的设定双方。即，上述的实施方式中，能够以关于每单位时间的环境因子的变化量的变化率信息为输入信息之一来设定变化的目标轨迹，并且也能够以关于环境变化所要花费的时间的时间信息为输入信息之一来设定变化的目标轨迹。
但是，本发明不限定于该结构，也可以仅通过变化量-变化率设定方法来设定变化的目标轨迹。
图3～图12所示的输入画面和输入顺序终究只不过为一例，并不限定于此。
例如，即使在温度梯度选择部37中选择“有(变化率)”的情况下，在接着在变化率输入部38中输入作为变化率的“0”的情况下，也能够进行时间信息的输入。通过这样的方式，也能够采用实质上能够通过变化量-时间设定方法来设定变化的目标轨迹那样的结构，也能够在“有(变化率)”的设定的状态下设定图2的步骤1、3、5那样的不进行梯度设定的条件。
另外，上述的实施方式中，在例如步骤1和步骤3中将试验室5 内的温度保持成设定温度，并将该温度保持一定时间的期间，但也可以进行不保持这种一定时间的期间、一定环境的设定。例如也可以仅设定图13(a)的曲线图所示例那样的折线状的设定轨迹，也可以不进行将一定的环境保持一定时间的设定。
此外，图13(a)的曲线图表示了以按每个步骤改变温度变化梯度同时在多个步骤中进行温度上升或下降的方式设定时的温度变化的目标轨迹。
另外，也可以如图13(b)所示，在连续的步骤中设定相同的变化率，且执行连续的步骤的期间以相同的变化率改变环境。
当然，也可以在一方的步骤中通过变化量-时间设定方法来设定变化的目标轨迹，在前后任一步骤中通过变化量-变化率设定方法来设定变化的目标轨迹，在结果性地连续的步骤中以相同的变化率改变环境。
以上说明的环境试验装置1具有空气调节设备17作为环境调节设备，并能够设定试验室5内的温度变化的目标轨迹。
环境调节设备不仅限定于空气调节设备17，也可以具有其它施加的环境变更功能。另外，也可以不具有空气调节功能，而具有其它环境变更功能。
例如也可以在上述的结构的基础上，作为环境调节设备的空气调节设备17也能够设定试验室5内的湿度变化的目标轨迹，进而目标轨迹也能够选择作为设定方法的变化量-时间设定方法、变化量-变化率设定方法。在通过变化量-时间设定方法设定湿度变化的目标轨迹的情况下，不能输入湿度的变化率。另外，在通过变化量-变化率设定方法设定湿度变化的目标轨迹的情况下，不能进行时间信息的输入。
另外，也能够将本发明应用于能够设定压力变化的目标轨迹的环境试验装置。
也能够在例如具有密闭的试验室，且能够将试验室内的气压保持成一定的环境试验装置，且能够设定从当前的压力到目标的压力的时间和变化率的装置中应用本发明。
环境调节设备可以为对被试验物18施加电压或电流的设备，或对被试验物18照射光线或放射线的设备、形成磁场的设备等，也可以是能够变更这些强度和频率等的设备。
环境调节设备也可以是能够向试验室5导入臭氧或二氧化碳浓度等的气体，并变更其浓度的设备。
以上说明的环境试验装置是具有试验室5且调整试验室5内的气温和湿度的装置，但在温度调节后的液体中设置被试验物那样结构的装置、和在温度调节后的热板上载置被试验物的结构的环境试验装置中也能够应用本发明。
另外，能够在图14所示的热处理装置70中应用本发明。热处理装置70是具有与上述的环境试验装置1类似的结构的装置，对实现相同功能的部件标注相同的编号。
热处理装置70是进行高温试验、或被处理物71的加热、被处理物71的干燥等的烤炉。
热处理装置70具有载置被处理物71的热处理室72。热处理装置 70具有作为空气调节设备17的加热装置8，但没有冷却装置。
热处理装置70的温度控制和控制装置30的结构、功能与上述的环境试验装置1相同，作为设定温度变化的目标轨迹的方法，能够选择基于变化量-时间设定方法的设定和基于变化量-变化率设定方法的设定。另外，与上述的环境试验装置1同样，能够进行暴露时间控制。
上述的实施方式的环境试验装置1中，在梯度控制为“有”或“有 (变化率)”的情况下，成为不能将“暴露时间控制”设为“ON”的设定。但是，本发明不限定于该结构，也可以是能够并用梯度控制和暴露时间控制的结构。热处理装置70也同样。

Claims (18)

1.一种环境试验装置，其能够将被试验物置于想要的试验环境下进行环境试验，所述环境试验装置的特征在于：
能够在环境试验的实施期间使试验环境变化，
能够输入关于每单位时间的环境因子的变化量的变化率信息，并能够将变化率信息作为输入信息之一来设定变化的目标轨迹，
能够输入关于环境变化所要花费的时间的时间信息，
在将变化率信息作为输入信息之一来设定变化的目标轨迹时，不能进行时间信息的输入。
2.如权利要求1所述的环境试验装置，其特征在于：
在将时间信息作为输入信息之一来设定变化的目标轨迹时，不能进行变化率信息的输入。
3.一种环境试验装置，其能够将被试验物置于想要的试验环境下进行环境试验，所述环境试验装置的特征在于：
能够在环境试验的实施期间使试验环境变化，
能够输入关于每单位时间的环境因子的变化量的变化率信息，并能够将变化率信息作为输入信息之一来设定变化的目标轨迹，
能够输入关于环境变化所要花费的时间的时间信息，
能够将时间信息作为输入信息之一来设定变化的目标轨迹，
在将时间信息作为输入信息之一来设定变化的目标轨迹时，不能进行变化率信息的输入。
4.一种环境试验装置，其特征在于：
能够输入关于总变化量的变化量信息、关于环境变化所要花费的时间的时间信息、关于每单位时间的环境因子的变化量的变化率信息，
能够通过变化量-时间设定方法和变化量-变化率设定方法来设定变化的目标轨迹，其中，所述变化量-时间设定方法通过变化量信息和时间信息的组合来设定变化的目标轨迹，所述变化量-变化率设定方法通过变化量信息和变化率信息的组合来设定变化的目标轨迹，
在通过变化量-变化率设定方法来设定变化的目标轨迹的情况下，不能进行时间信息的输入。
5.如权利要求1～4中任一项所述的环境试验装置，其特征在于：
要使其变化的环境因子为温度。
6.一种环境试验装置，其能够将被试验物置于想要的试验环境下进行环境试验，所述环境试验装置的特征在于：
能够在环境试验的实施期间使试验环境变化，
能够输入关于每单位时间的环境因子的变化量的变化率信息，并能够将变化率信息作为输入信息之一来设定变化的目标轨迹，
能够将变化率信息作为输入信息之一来设定变化的目标轨迹，在将变化率信息作为输入信息之一来设定变化的目标轨迹的情况下，计算变化所需的时间并将其显示。
7.如权利要求1～4中任一项所述的环境试验装置，其特征在于：
能够将变化率信息作为输入信息之一来设定变化的目标轨迹，在将变化率信息作为输入信息之一来设定变化的目标轨迹的情况下，计算变化所需的时间并将其显示。
8.一种环境试验装置，其能够将被试验物置于想要的试验环境下进行环境试验，所述环境试验装置的特征在于：
能够在环境试验的实施期间使试验环境变化，
能够输入关于每单位时间的环境因子的变化量的变化率信息，并能够将变化率信息作为输入信息之一来设定变化的目标轨迹，
能够将环境变化所要花费的时间作为输入信息之一来设定变化的目标轨迹，在将环境变化所要花费的时间作为输入信息之一来设定变化的目标轨迹的情况下，计算环境因子的变化率并将其显示。
9.如权利要求1～4中任一项所述的环境试验装置，其特征在于：
能够将环境变化所要花费的时间作为输入信息之一来设定变化的目标轨迹，在将环境变化所要花费的时间作为输入信息之一来设定变化的目标轨迹的情况下，计算环境因子的变化率并将其显示。
10.一种环境形成装置用控制装置，使包括环境调节设备的环境形成装置动作，其特征在于：
能够输入关于每单位时间的环境因子的变化量的变化率信息，能够基于变化率信息设定变化的目标轨迹，并控制环境调节设备以使得遵从所述目标轨迹，
能够输入关于环境变化所要花费的时间的时间信息，
在将变化率信息作为输入信息之一来设定变化的目标轨迹时，不能进行时间信息的输入。
11.一种环境形成装置用控制装置，使包括环境调节设备的环境形成装置动作，其特征在于：
能够输入关于每单位时间的环境因子的变化量的变化率信息，能够基于变化率信息设定变化的目标轨迹，并控制环境调节设备以使得遵从所述目标轨迹，
能够输入关于环境变化所要花费的时间的时间信息，
能够将时间信息作为输入信息之一来设定变化的目标轨迹，
在将时间信息作为输入信息之一来设定变化的目标轨迹时，不能进行变化率信息的输入。
12.如权利要求10所述的环境形成装置用控制装置，其特征在于：
能够将时间信息作为输入信息之一来设定变化的目标轨迹，
在将时间信息作为输入信息之一来设定变化的目标轨迹时，不能进行变化率信息的输入。
13.一种计算机存储介质，存储有使包括环境调节设备的环境形成装置的控制装置动作的环境形成装置用计算机程序，其特征在于：
所述环境形成装置用计算机程序，
能够输入关于每单位时间的环境因子的变化量的变化率信息，能够基于变化率信息设定变化的目标轨迹，控制环境调节设备以使得遵从所述目标轨迹，
能够输入关于环境变化所要花费的时间的时间信息，
在将变化率信息作为输入信息之一来设定变化的目标轨迹时，不能进行时间信息的输入。
14.一种计算机存储介质，存储有使包括环境调节设备的环境形成装置的控制装置动作的环境形成装置用计算机程序，其特征在于：
所述环境形成装置用计算机程序，
能够输入关于每单位时间的环境因子的变化量的变化率信息，能够基于变化率信息设定变化的目标轨迹，控制环境调节设备以使得遵从所述目标轨迹，
能够输入关于环境变化所要花费的时间的时间信息，
能够将时间信息作为输入信息之一来设定变化的目标轨迹，
在将时间信息作为输入信息之一来设定变化的目标轨迹时，不能进行变化率信息的输入。
15.如权利要求13所述的计算机存储介质，其特征在于：
所述环境形成装置用计算机程序，
能够将时间信息作为输入信息之一来设定变化的目标轨迹，
在将时间信息作为输入信息之一来设定变化的目标轨迹时，不能进行变化率信息的输入。
16.一种热处理装置，其具有载置被处理物的热处理室和使热处理室内升温的加热装置，对热处理室内的被处理物进行加热处理，所述热处理装置的特征在于：
能够在加热处理的实施期间使热处理室内的温度变化，
能够输入关于每单位时间的温度的变化量的变化率信息，能够将变化率信息作为输入信息之一来设定热处理室内的温度变化的目标轨迹，
能够输入关于环境变化所要花费的时间的时间信息，
在将变化率信息作为输入信息之一来设定变化的目标轨迹时，不能进行时间信息的输入。
17.一种热处理装置，其具有载置被处理物的热处理室和使热处理室内升温的加热装置，对热处理室内的被处理物进行加热处理，所述热处理装置的特征在于：
能够在加热处理的实施期间使热处理室内的温度变化，
能够输入关于每单位时间的温度的变化量的变化率信息，能够将变化率信息作为输入信息之一来设定热处理室内的温度变化的目标轨迹，
能够输入关于环境变化所要花费的时间的时间信息，
能够将时间信息作为输入信息之一来设定变化的目标轨迹，
在将时间信息作为输入信息之一来设定变化的目标轨迹时，不能进行变化率信息的输入。
18.如权利要求16所述的热处理装置，其特征在于：
能够将时间信息作为输入信息之一来设定变化的目标轨迹，
在将时间信息作为输入信息之一来设定变化的目标轨迹时，不能进行变化率信息的输入。
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