CN109158762B - 一种复合激光去除金属氧化层再抛光方法 - Google Patents

一种复合激光去除金属氧化层再抛光方法 Download PDF

Info

Publication number
CN109158762B
CN109158762B CN201811178621.3A CN201811178621A CN109158762B CN 109158762 B CN109158762 B CN 109158762B CN 201811178621 A CN201811178621 A CN 201811178621A CN 109158762 B CN109158762 B CN 109158762B
Authority
CN
China
Prior art keywords
metal
laser
polishing
metal surface
oxide layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201811178621.3A
Other languages
English (en)
Other versions
CN109158762A (zh
Inventor
张�浩
陈蔚
张�杰
赵晓杰
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Changzhou Inno Machining Co ltd
Advanced Optowave Corp
Original Assignee
Changzhou Inno Machining Co ltd
Advanced Optowave Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Changzhou Inno Machining Co ltd, Advanced Optowave Corp filed Critical Changzhou Inno Machining Co ltd
Priority to CN201811178621.3A priority Critical patent/CN109158762B/zh
Publication of CN109158762A publication Critical patent/CN109158762A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN109158762B publication Critical patent/CN109158762B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/36Removing material

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)

Abstract

本发明提供了一种复合激光去除金属氧化层再抛光方法,包括以下步骤,利用飞秒红外激光对金属的表面进行扫描,去除金属表面的氧化层;利用飞秒红外激光对经过去除氧化层的金属表面进行扫描,对金属表面进行初步抛光;利用纳秒绿光激光对经过初步抛光后的金属表面进行扫描,对金属表面进行最终抛光。本发明先使用飞秒红外激光将金属表面的氧化层去掉后,再次使用飞秒红外激光对金属的表面进行初步抛光,初步抛光完成后,使用纳秒绿光激光对金属表面进行抛光,有效降低了金属表面的粗糙度,使金属表面能够呈现亮面的效果。

Description

一种复合激光去除金属氧化层再抛光方法
技术领域
本发明涉及一种抛光方法,尤其是指一种复合激光去除金属氧化层再抛光方法。
背景技术
现代制造业的发展,对金属制品表面的要求越来越高。一些金属制品,在使用前,还需要对其表面做进一的抛光处理。而金属产品表面的最后抛光,不仅占到产品总加工成本的30%,而且这项工作目前大多数还依赖手工抛光,抛光精度差、效率低,产品质量缺乏一致性和稳定性,选择和开发新的金属产品表面的抛光工艺尤为重要。
激光加工作为一种新型加工技术,具有高效率、高柔性等优点,它通过一个聚焦的激光束斑作用在粗糙的原始金属表面,造成金属材料表面凸起薄层的熔化和蒸发,熔化的材料,由于材料本身的表面张力和重力的作用发生流动,填补金属表面凹陷处并发生凝固,最终得到理想的抛光材料表面。激光在金属表面抛光应用具有其潜在的各种优势,其不仅具有可选择的抛光速度,无化学污染,抛光过程可检测性,而且是一种非接触加工方法,可以通过计算机来控制。对于复杂的金属表面几何,激光抛光也能快速实现微米尺度的抛光,并且对于不同的金属表面,激光可以选择不同的输出能量和频率特性,甚至对于有些高硬度金属材料,采用激光抛光也是最合适的方法,但是现有的对金属表面进行抛光的方法,得到的金属抛光面粗糙度比较高。
因此,有必要提出一种有效降低金属表面的粗糙度,使金属表面呈现更加平滑的激光抛光方法。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是:提供一种能有效降低金属表面粗糙度的抛光方法。
为了解决上述技术问题,本发明采用的技术方案为:一种复合激光去除金属氧化层再抛光方法,包括以下步骤,
S10、利用飞秒红外激光对金属的表面进行扫描,去除金属表面的氧化层;
S20、利用飞秒红外激光对经过去除氧化层的金属表面进行扫描,对金属表面进行初步抛光;
S30、利用纳秒绿光激光对经过初步抛光后的金属表面进行扫描,对金属表面进行最终抛光。
进一步的,所述步骤S10中的飞秒红外激光的参数为,红外波长:1030~1064nm,脉宽:50~900fs,频率:50~1000KHz,能量密度:4~6J/cm2
进一步的,所述步骤S10中,飞秒红外激光的扫描速度为280mm/s,填充间距为2~4μm,扫描次数为8次。
进一步的,所述步骤S20中的飞秒红外激光的参数为,红外波长:1030~1064nm,脉宽:50~900fs,频率:50~1000KHz,能量密度:0.2~0.3J/cm2
进一步的,所述步骤S20中,飞秒红外激光的扫描速度为200~400mm/s,填充间距为4~5μm,扫描次数为4次。
进一步的,所述步骤S30中纳秒绿光激光的参数为,绿光波长:515~532nm,脉宽:50~100ns,频率:100~300KHz,功率:7.7W。
进一步的,所述步骤S30中,纳秒绿光激光的扫描速度为1000mm/s,离焦:0.9mm,填充间距为5μm,扫描次数为8次。
进一步的,所述飞秒红外激光及纳秒绿光激光以20*20cm的范围大小对金属的表面进行扫描。
进一步的,在所述步骤S10之前还包括,将待抛光金属的表面进行清洗,去除待抛光金属表面的油渍。
本发明提供的一种复合激光去除金属氧化层再抛光方法,先使用飞秒红外激光将金属表面的氧化层去掉后,再次使用飞秒红外激光对金属的表面进行初步抛光,初步抛光完成后,使用纳秒绿光激光对金属表面进行抛光,有效降低了金属表面的粗糙度,使金属表面能够呈现亮面的效果。
附图说明
下面结合附图详述本发明的具体结构。
图1为本发明一种复合激光去除金属氧化层再抛光方法的流程图;
图2为本发明一种复合激光去除金属氧化层再抛光方法的抛光效果图;
图3为本发明一种复合激光去除金属氧化层再抛光方法的金属抛光对比SEM图。
具体实施方式
为详细说明本发明的技术内容、构造特征、所实现目的及效果,以下结合实施方式并配合附图详予说明。
请参阅图1,一种复合激光去除金属氧化层再抛光方法,包括以下步骤,
S10、利用飞秒红外激光对金属的表面进行扫描,去除金属表面的氧化层;
S20、利用飞秒红外激光对经过去除氧化层的金属表面进行扫描,对金属表面进行初步抛光;
S30、利用纳秒绿光激光对经过初步抛光后的金属表面进行扫描,对金属表面进行最终抛光。
本技术方案中的一种复合激光去除金属氧化层再抛光方法,先使用飞秒红外激光将金属表面的氧化层去掉后,再次使用飞秒红外激光对金属的表面进行初步抛光,初步抛光完成后,使用纳秒绿光激光对金属表面进行抛光,有效降低了金属表面的粗糙度,使金属表面能够呈现亮面的效果。
实施例一
在一具体实施例中,所述步骤S10中的飞秒红外激光的参数为,红外波长:1030~1064nm,脉宽:50~900fs,频率:50~1000KHz,能量密度:4~6J/cm2
进一步的,所述步骤S10中,飞秒红外激光的扫描速度为280mm/s,填充间距为2~4μm,扫描次数为8次。
参阅图2,本实施例中,由于金属表面的氧化层不导电,熔点高,因此需要先将氧化层去掉再对金属进行抛光操作,去除氧化层时,激光在极短的时间和极小的空间内与物质相互作用,作用区域内的温度在瞬间内急剧上升,并以等离子体向外喷发的形式将氧化层去除,热量来不及在材料内部扩散,热影响区非常小,不会产生重铸层,属于冷加工;
请参阅图3,从左往右分别为原金属材料表面、飞秒激光抛光后的金属表面、纳秒激光抛光后的金属表面;使用上述参数的激光,飞秒激光能够有效地将金属表面的氧化层去掉,提高金属表面的平整度,在金属表面形成微纳结构;纳秒激光将金属表面的微纳结构熔融,形成平整光滑的表面。
实施例二
在一具体实施例中,所述步骤S20中的飞秒红外激光的参数为,红外波长:1030~1064nm,脉宽:50~900fs,频率:50~1000KHz,能量密度:0.2~0.3J/cm2
进一步的,所述步骤S20中,飞秒红外激光的扫描速度为200~400mm/s,填充间距为4~5μm,扫描次数为4次。
参阅图2,图3,本实施例中,使用上述参数的飞秒红外激光对金属表面进行扫描,金属的表面熔融并发生流动,填充到凹陷区域,使金属的表面更加平滑,在金属的表面形成微纳结构。
实施例三
在一具体实施例中,所述步骤S30中纳秒绿光激光的参数为,绿光波长:515~532nm,脉宽:50~100ns,频率:100~300KHz,功率:7.7W。
进一步的,所述步骤S30中,纳秒绿光激光的扫描速度为1000mm/s,离焦:0.9mm,填充间距为5μm,扫描次数为8次。
参阅图2,图3,本实施例中,对初步抛光的金属表面进行再次的抛光,使用上述的纳秒绿光激光对金属的表面进行再次扫描,再次让金属的表面的微纳结构熔融并发生流动,填充到凹陷区域,使金属的表面更加平滑,抛光后,提高了金属表面平整度,金属表面的粗糙度在500nm以下,表面呈亮面效果。
实施例四
在一具体实施例中,所述飞秒红外激光及纳秒绿光激光以20*20cm的范围大小对金属的表面进行扫描。
本技术方案中,激光的大小为20*20cm,以该范围大小的激光对金属表面进行扫描,能够很好地对金属表面的金属进行融化抛光。
实施例五
在一具体实施例中,在所述步骤S10之前还包括,将待抛光金属的表面进行清洗,去除待抛光金属表面的油渍。
本实施例中,在金属抛光前,将金属表面的油渍清洗干净,防止抛光时,金属表面融化的金属跟油渍混在一起而影响抛光的效果。
综上所述,本发明提供的一种复合激光去除金属氧化层再抛光方法,先使用飞秒红外激光将金属表面的氧化层去掉后,再次使用飞秒红外激光对金属的表面进行初步抛光,初步抛光完成后,能够有效地将金属表面的氧化层去掉,提高金属表面的平整度,在金属表面形成微纳结构;使用纳秒绿光激光对金属表面进行抛光,将金属表面的微纳结构熔融,使金属的表面更加平滑,抛光后,提高了金属表面平整度,金属表面的粗糙度在500nm以下,表面呈亮面效果。
此处第一、第二……只代表其名称的区分,不代表它们的重要程度和位置有什么不同。
此处,上、下、左、右、前、后只代表其相对位置而不表示其绝对位置。
以上所述仅为本发明的实施例,并非因此限制本发明的专利范围,凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换,或直接或间接运用在其他相关的技术领域,均同理包括在本发明的专利保护范围内。

Claims (7)

1.一种复合激光去除金属氧化层再抛光方法,其特征在于:包括以下步骤,
S10、利用飞秒红外激光对金属的表面进行扫描,去除金属表面的氧化层;
S20、利用飞秒红外激光对经过去除氧化层的金属表面进行扫描,对金属表面进行初步抛光;
S30、利用纳秒绿光激光对经过初步抛光后的金属表面进行扫描,对金属表面进行最终抛光;纳秒绿光激光的参数为,绿光波长:515~532nm,脉宽:50~100ns,频率:100~300KHZ,功率:7.7W;纳秒绿光激光的扫描速度为1000mm/s,离焦:0.9mm,填充间距为5µm,扫描次数为8次。
2.如权利要求1所述的复合激光去除金属氧化层再抛光方法,其特征在于:所述步骤S10中的飞秒红外激光的参数为,红外波长:1030~1064nm,脉宽:50~900fs,频率:50~1000KHz,能量密度:4~6J/cm²。
3.如权利要求1所述的复合激光去除金属氧化层再抛光方法,其特征在于:所述步骤S10中,飞秒红外激光的扫描速度为280mm/s,填充间距为2~4µm,扫描次数为8次。
4.如权利要求1所述的复合激光去除金属氧化层再抛光方法,其特征在于:所述步骤S20中的飞秒红外激光的参数为,红外波长:1030~1064nm,脉宽:50~900fs,频率:50~1000KHz,能量密度:0.2~0.3J/cm²。
5.如权利要求1所述的复合激光去除金属氧化层再抛光方法,其特征在于:所述步骤S20中,飞秒红外激光的扫描速度为200~400mm/s,填充间距为4~5µm,扫描次数为4次。
6.如权利要求1~5任一项所述的复合激光去除金属氧化层再抛光方法,其特征在于:所述飞秒红外激光及纳秒绿光激光以20*20cm的范围大小对金属的表面进行扫描。
7.如权利要求1所述的复合激光去除金属氧化层再抛光方法,其特征在于:在所述步骤S10之前还包括,将待抛光金属的表面进行清洗,去除待抛光金属表面的油渍。
CN201811178621.3A 2018-10-10 2018-10-10 一种复合激光去除金属氧化层再抛光方法 Active CN109158762B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201811178621.3A CN109158762B (zh) 2018-10-10 2018-10-10 一种复合激光去除金属氧化层再抛光方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201811178621.3A CN109158762B (zh) 2018-10-10 2018-10-10 一种复合激光去除金属氧化层再抛光方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN109158762A CN109158762A (zh) 2019-01-08
CN109158762B true CN109158762B (zh) 2020-10-30

Family

ID=64877905

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201811178621.3A Active CN109158762B (zh) 2018-10-10 2018-10-10 一种复合激光去除金属氧化层再抛光方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN109158762B (zh)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109821823B (zh) * 2019-04-08 2021-11-02 哈尔滨工业大学 一种co2激光/纳秒脉冲激光复合清洗方法
CN110744205B (zh) * 2019-10-22 2022-06-14 大族激光科技产业集团股份有限公司 一种钛基多层复合材料激光深度标记方法
CN113070286A (zh) * 2020-01-03 2021-07-06 大族激光科技产业集团股份有限公司 去除表面油污的方法
CN111230604B (zh) * 2020-02-14 2021-04-20 深圳亿和模具制造有限公司 一种激光复合柔性抛光系统的除尘方法
CN111390392A (zh) * 2020-04-03 2020-07-10 北京航空航天大学 一种用于半导体材料抛光的激光加工技术
CN114505297A (zh) * 2020-11-17 2022-05-17 中国科学院沈阳自动化研究所 一种板式换热片的激光清洗强化复合除锈方法
CN112548343B (zh) * 2020-12-07 2024-02-23 上海智能制造功能平台有限公司 一种超快-连续激光异步抛光送粉增材制造金属表面工艺
CN113458611B (zh) * 2021-06-22 2023-01-17 武汉华工激光工程有限责任公司 一种铝合金高亮光加工的激光打标方法及装置
CN117001139B (zh) * 2023-10-07 2024-03-01 天蔚蓝电驱动科技(江苏)有限公司 金属基材表面激光处理方法及涂覆方法

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5499668A (en) * 1993-11-02 1996-03-19 Hitachi, Ltd. Process for making electronic device
KR20130121278A (ko) * 2012-04-27 2013-11-06 한국기계연구원 레이저를 이용한 금속 표면 폴리싱 방법
CN104002202A (zh) * 2014-05-30 2014-08-27 宝山钢铁股份有限公司 一种薄带连铸结晶辊高清洁度无缺陷毛化表面制备方法
CN204075512U (zh) * 2014-06-13 2015-01-07 宁波智天档案管理咨询有限公司 一种激光抛光设备
CN106624367A (zh) * 2017-03-11 2017-05-10 四川广正科技有限公司 一种激光焊前材料表面的预处理方法及系统
CN107225328A (zh) * 2017-04-14 2017-10-03 北京航空航天大学 一种针对金属表面的单步脉冲激光抛光方法
CN206605158U (zh) * 2017-03-17 2017-11-03 西安科技大学 一种激光抛光机
CN108044315A (zh) * 2017-12-13 2018-05-18 安徽宝泰特种材料有限公司 一种大口径双金属复合耐蚀无缝管材的制造方法
CN108080791A (zh) * 2017-12-13 2018-05-29 安徽宝泰特种材料有限公司 一种新型环保型激光烧洗法去稀贵金属氧化皮的加工方法

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5499668A (en) * 1993-11-02 1996-03-19 Hitachi, Ltd. Process for making electronic device
KR20130121278A (ko) * 2012-04-27 2013-11-06 한국기계연구원 레이저를 이용한 금속 표면 폴리싱 방법
CN104002202A (zh) * 2014-05-30 2014-08-27 宝山钢铁股份有限公司 一种薄带连铸结晶辊高清洁度无缺陷毛化表面制备方法
CN204075512U (zh) * 2014-06-13 2015-01-07 宁波智天档案管理咨询有限公司 一种激光抛光设备
CN106624367A (zh) * 2017-03-11 2017-05-10 四川广正科技有限公司 一种激光焊前材料表面的预处理方法及系统
CN206605158U (zh) * 2017-03-17 2017-11-03 西安科技大学 一种激光抛光机
CN107225328A (zh) * 2017-04-14 2017-10-03 北京航空航天大学 一种针对金属表面的单步脉冲激光抛光方法
CN108044315A (zh) * 2017-12-13 2018-05-18 安徽宝泰特种材料有限公司 一种大口径双金属复合耐蚀无缝管材的制造方法
CN108080791A (zh) * 2017-12-13 2018-05-29 安徽宝泰特种材料有限公司 一种新型环保型激光烧洗法去稀贵金属氧化皮的加工方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN109158762A (zh) 2019-01-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN109158762B (zh) 一种复合激光去除金属氧化层再抛光方法
WO2019140965A1 (zh) 一种集成双类型激光提高slm成型件表面质量的装置与方法
Finger et al. High power ultra-short pulse laser ablation of IN718 using high repetition rates
Zhao et al. Effect of high repetition rate on dimension and morphology of micro-hole drilled in metals by picosecond ultra-short pulse laser
CN107225328A (zh) 一种针对金属表面的单步脉冲激光抛光方法
JPH09207384A (ja) レーザインプリンティング方法
CN105983786B (zh) 一种采用激光实现玻璃加工的方法
US20130164457A1 (en) Method of manufacturing patterned x-ray optical elements
WO2023236394A1 (zh) 一种提升增材制造零件表面质量的方法及增材制造设备
Sun et al. Controllable dot-matrix marking on titanium alloy with anti-reflective micro-structures using defocused femtosecond laser
DE102011051198A1 (de) Verfahren zum Herstellen eines gewichtsoptimierten Ablenkspiegels
CN110744205A (zh) 一种钛基多层复合材料激光深度标记方法
CN112809196A (zh) 一种5g高频lcp材料外形切割方法
Lim et al. Evaluation of surface characteristics with pre-treatment polishing process in pulsed laser polishing AISI 4140 mold steel
Mingareev et al. Ultrafast laser deposition of powder materials on glass
CN114473214A (zh) 陶瓷表面双激光束耦合抛光方法
CN110475634A (zh) 三维造型物的制造方法
JP4203310B2 (ja) 防眩性反射防止フィルムの製造方法
CN104233291A (zh) 一种用于模具的智能化半导体激光制造再制造修复工艺
JP2011036865A (ja) 有底孔の形成方法
TWI577488B (zh) 表面加工方法
WO2020147170A1 (zh) 一种具有可表面改性的微纳结构的氮化硅陶瓷及其加工方法
CN111085782A (zh) 聚碳酸酯塑料的加工方法
JP6731642B2 (ja) 三次元形状造形物の製造方法
Knothe The Value of Metal Additve Manufacturing with Diode Lasers: How the use of an inexpensive beam source can influence the adaption of metal 3D printing

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant