CN109070075A - 具有毛细腔室的微流体装置 - Google Patents

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Abstract

示例包括微流体装置。示例微流体装置包括微流体通道、毛细腔室以及流体致动器。所述微流体通道流体地连接到所述毛细腔室。所述毛细腔室限制从中通过的流体流动。所述流体致动器定位在所述毛细腔室附近。所述流体致动器致动以因此引发通过所述毛细腔室的流体流动。

Description

具有毛细腔室的微流体装置
背景技术
微制造涉及在基板(例如硅芯片、陶瓷芯片、玻璃芯片等)上形成结构和各种部件。微制造装置的示例包括微流体装置。微流体装置包括用于输送、处理和/或分析流体的结构和部件。
附图说明
图1提供了示例微流体装置的一些部件的框图。
图2A提供了示例微流体装置的一些部件的框图。
图2B提供了沿视图线2B-2B的图2A的示例微流体装置的部件的截面视图。
图3提供了示例微流体装置的一些部件的框图。
图4提供了示例微流体装置的一些部件的框图。
图5A-B提供了示例微流体装置的一些部件的操作的框图。
图6A-C提供了示例微流体装置的一些部件的操作的框图。
图7提供了示出可由示例微流体装置执行的操作序列的流程图。
贯穿附图，相同的附图标记表示类似但不一定相同的元件。附图不一定按比例绘制，并且某些部件的尺寸可被夸大以更清楚地示出所示示例。此外，附图提供了与描述一致的示例和/或实施方式；但是，描述不限于附图中提供的示例和/或实施方式。
具体实施方式
本文提供的示例包括用于微流体装置的装置、方法和过程。一些示例微流体装置包括芯片实验室(lab-on-a-chip)装置(例如聚合酶链式反应装置、化学传感器等)、流体喷射装置(例如喷墨打印头、流体分析装置等)和/或具有微流体结构和相关部件的其它此类微装置。在本文描述的示例微流体装置中，示例可包括至少一个微流体通道、至少一个毛细腔室以及定位在毛细腔室附近的至少一个流体致动器。
如将理解的，本文提供的示例可由在基板上执行各种微制造和/或微机械加工过程以形成和/或连接结构和/或部件来形成。基板可包括硅基晶片或用于微制造装置的其它此类类似材料(例如玻璃、砷化镓、塑料等)。如所讨论的，示例可包括微流体通道和/或容积腔室(其在本文中可称为毛细腔室)。微流体通道和/或腔室可由在基板中执行蚀刻或微机械加工过程来形成。相应地，微流体通道和/或腔室可由在微流体装置的基板中制造的表面限定。此外，本文描述的示例可包括至少一个流体致动器。可在本文描述的示例中实施的流体致动器可包括例如基于热电阻的致动器、基于压电薄膜的致动器、静电薄膜致动器、机械/冲击驱动薄膜致动器、磁致伸缩驱动致动器和/或其它此类部件。
在本文描述的示例中，微流体通道可流体地连接到毛细腔室。流体致动器可定位在毛细腔室附近。在此类示例中，由于毛细力(也称为毛细作用)，流体的被动泵送可发生在微流体通道中。
在本文描述的一些示例中，微流体通道和/或毛细腔室的至少一个尺寸因此具有足够小的尺寸(例如具有微米尺寸的量级)以助于毛细力。在一些示例中，由于毛细力，流体可被动泵送。在其它示例中，由于毛细力，流体流动可被限制。示例毛细腔室可被定尺寸使得流体流动由微流体装置中的毛细作用被停止/限制。因此，毛细腔室限制流体流动。如本文所用的，限制流体流动可包括停止/阻止流体流动。此外，如本文所用的，将理解的是，流体流动的限制可由流体致动器的致动克服，以因此引发流体流动。在本文描述的示例中，流体流动可通过流体致动器的致动引发，但是将理解的是，流体致动器可不被用作主动泵。相应地，能量使用(即，为流体致动器提供动力)与其中使用主动泵以助于流体流动的装置相比可更少。泵的示例包括惯性泵、毛细泵、热喷墨泵或气动泵。
在本文描述的示例中，毛细腔室可因此在微流体装置中实施以限制流体流动，使得毛细腔室可实施为阀门或流体止动件。此外，流体致动器可定位在毛细腔室附近，使得流体致动器可被致动以引发通过微流体装置(例如毛细腔室和/或微流体通道)的流体流动。在一些示例中，毛细腔室的出口可流体地连接到第二微流体通道，使得在致动流体致动器(以及引发通过毛细腔室的流体流动)之后，流体可由毛细作用被动泵送通过第二微流体通道。
现在转向附图，特别是图1，该图提供了示出示例微流体装置10的一些部件的框图。在该示例中，微流体装置10包括微流体通道12、毛细腔室14和定位在毛细腔室14附近的流体致动器16。在该示例中，流体可(由毛细作用)被动泵送通过微流体通道12到毛细腔室14，并且毛细腔室14可限制从中通过的流体流动。如将理解的，微流体通道12和毛细腔室14之间的过渡以及流体的表面张力可导致在微流体通道12和毛细腔室14之间的连接处发生流体的弯月面。因此，流体可被限制流动通过毛细腔室14。为了引发通过毛细腔室14的流体流动，可致动流体致动器16。如将理解的，流体致动器16的致动可在由毛细腔室14限制的流体中产生力，该力足以克服由于流体的弯月面引起的限制力。因此，在流体致动器16致动时，流体可开始流动通过毛细腔室14。在该示例中，在流体致动器16致动之后的流体流动方向由示例流动方向18示出。一旦一些流体已流动通过毛细腔室，毛细作用可进一步泵送流体。
如将理解的，流体致动器16的致动可具有相对短的持续时间。在一些示例中，流体致动器16可以特定频率脉动特定持续时间。在一些示例中，流体致动器的致动可在约0.1毫秒(mS)至约10mS的范围内。在本文描述的一些示例中，流体致动器16的致动包括电致动。在此类示例中，控制器可电连接到流体致动器16，使得电信号可由控制器传输到流体致动器16，以因此致动流体致动器16。
例如，流体致动器16可为基于热电阻的致动器。在该示例中，基于热电阻的致动器的致动可导致基于热电阻的致动器产生热量。由基于热电阻的致动器的热量产生可转而导致在基于热电阻的致动器附近的流体中形成气泡。所产生气泡的形成和/或坍塌可导致附近流体的位移。在该示例中，由此类产生气泡引起的附近流体位移可克服由毛细腔室导致的流体弯月面的基于表面张力的力，以因此导致通过毛细腔室14的流体流动。
作为另一示例，流体致动器可为基于压电薄膜的致动器。在该示例中，基于压电薄膜的致动器的电致动可导致基于压电薄膜的致动器的运动。基于压电薄膜的致动器的运动可转而导致基于压电薄膜的致动器附近的流体的位移。在该示例中，由此类基于压电薄膜的致动器引起的附近流体位移可克服由毛细腔室导致的流体弯月面的基于表面张力的力，以因此导致通过毛细腔室14的流体流动。
图2A提供了示出示例微流体装置50的一些部件的框图。在该示例中，装置50包括流体地连接到毛细腔室54的微流体通道52。流体致动器56定位在毛细腔室54附近。此外，在该示例中，示例装置包括限制部分58。微流体通道52和毛细腔室54可在由方向性箭头60所示的方向上处于背压下。因此，在该示例中，通过微流体通道52和/或毛细腔室54的流体流动可由于在毛细腔室54处发生的流体弯月面的表面张力而被限制。因此，由于施加的背压引起的施加在流体上的力可能不足以克服由在毛细腔室54处的弯月面的表面张力导致的限制力。
在该示例中，流体致动器56的致动可在示例方向性箭头60的方向上(即在背压的方向上)引发流体流动。然而，如将注意的，流体致动器56的致动还可导致流体的微滴在示例方向性箭头62所示的方向(与背压方向相反的方向)上从毛细腔室54喷射出。在流体致动器56致动之后，流体可在背压方向(即示例方向性箭头60)上流动通过毛细腔室54、微流体通道52和限制部分58。在该示例中，当流体在背压方向上流动时，流体可流动通过限制部分58。在预定体积的流体已流动通过毛细腔室54、微流体通道52和限制部分58之后，弯月面可发生在限制部分58处，使得在限制部分58处发生的弯月面的表面张力可限制通过微流体装置50的进一步流体流动。
图2B提供了沿图2A的示例微流体装置50的视图线2B-2B的截面视图。在该示例中，微流体通道52、毛细腔室54和限制部分58利用圆形截面区域示出。然而，将理解的是，各种其它几何因素可被实施。例如，矩形和/或梯形截面区域可用于各种微流体通道、毛细腔室和/或限制部分中。在图2A-2B的示例中将注意的是，微流体通道52具有的至少一个尺寸(例如直径、半径、宽度、高度等)大于毛细腔室54的至少一个尺寸。此外，限制部分58具有的至少一个尺寸小于微流体通道54的至少一个尺寸。如将理解的，不同的示例可具有不同尺寸和用于各种特征的相对尺寸。
图3提供了微流体装置100的一些部件的框图。在该示例中，微流体装置100包括第一微流体通道102和第二微流体通道104。如图所示，第一微流体通道102流体地连接到第一毛细腔室106，并且第二微流体通道104流体地连接到第一毛细腔室106和第二毛细腔室108。此外，微流体装置100包括定位在第一毛细腔室106附近的第一流体致动器110和定位在第二毛细腔室108附近的第二流体致动器112。因此，在该示例中，第一微流体通道104连接到第一毛细腔室106的入口，第二微流体通道104连接到第一毛细腔室106的出口，并且第二微流体通道104连接到第二毛细腔室108的入口。虽然未示出，但是第二毛细腔室108的出口可进一步连接到微流体装置100的另一微流体通道或其它部件。此外，将理解的是，该示例的微流体通道102、104和毛细腔室106、108的布置可被描述为串联布置。
相应地，在图3的示例中，流体可由毛细作用被动泵送通过第一微流体通道102到第一毛细腔室106。第一毛细腔室106可限制从中通过的此类流体流动。第一流体致动器110可被致动，以因此引发通过第一毛细腔室106到第二微流体通道104的流体流动。流体可由毛细作用被动泵送通过第二微流体通道104到第二毛细腔室108。第二毛细腔室108可限制从中通过的流体流动。第二流体致动器112可被致动，以因此引发通过第二毛细腔室108的流体流动。因此，如将理解的，流体的泵送可由微流体通道102、104中的毛细作用导致，并且流体致动器110、112可被致动，以导致通过毛细腔室106、108的流体流动发生。
图4提供了示出示例微流体装置150的一些部件的框图。在该示例中，微流体装置150包括基板152。如先前所讨论的，各种结构/部件(例如微流体通道、毛细腔室、流体输入、流体储存器等)可在一些示例中在基板中微制造。在该示例中，微流体装置150包括流体输入154和流体储存器156a、156b。第一微流体通道158流体地连接到流体输入154，第二微流体通道160流体地连接到第一储存器156a，并且第三微流体通道162连接到第二储存器156b。
在该示例中，微流体装置100可为芯片实验室实施方式，其中，装置可用以处理和/或分析流体样本。流体样本可经由流体输入154被输入用于处理/分析。如将理解的，用于处理分析的附加试剂可存储在流体储存器156a、156b中。如图所示，第一微流体通道158可流体地连接到第一毛细腔室164；第二微流体通道160可流体地连接到第二毛细腔室166；并且第三微流体通道可流体地连接到第三毛细腔室168。因此，将理解的是，流体可被动泵送：从流体输入154经由第一微流体通道158到毛细腔室164；从第一储存器156a经由第二微流体通道160到第二毛细腔室166；并且从第二储存器156b到第三毛细腔室168。将理解的是，该示例的微流体通道158-162和毛细腔室164-168的布置可被描述为并联布置。
如先前示例中描述，每个毛细腔室164-168可限制从中通过的流体流动。相应地，流体可从输入154、第一储存器156a和第二储存器156b流动通过微流体通道158-162到毛细腔室164-168，其中，流体流动可被毛细腔室164-168限制。在该示例中，每个毛细腔室164-168流体地连接到混合腔室170。微流体装置150还包括在每个毛细腔室164-168附近的流体致动器172-176。
在该示例中，第一流体致动器172可被致动以引发通过第一毛细腔室164的流体流动，以因此导致流体从输入154泵送到混合腔室170。类似地，第二流体致动器174可被致动以引发通过第二毛细腔室166的流体流动，以导致流体从第一储存器156a泵送到混合腔室170。此外，第三流体致动器176可被致动以引发通过第三毛细腔室168的流体流动，以导致流体从第二储存器156b泵送到混合腔室170。如图所示，微流体装置150可包括设置在混合腔室170中的附加部件178。附加部件178可包括设置在混合腔室中的混合致动器，其中，混合致动器可被致动以因此导致在混合腔室中的流体混合(例如来自输入154、第一储存器156a和/或第二储存器156b的流体)。在一些示例中，附加部件178可包括加热元件，其中，加热元件可被电致动以导致混合腔室170中的流体加热。
在该示例中，微流体装置150可包括设置在流体地连接到混合腔室170的微流体通道182中的检测器180。在一些示例中，检测器182可为用于分析流体样本和执行各种类型的测试(例如DNA测试、化学品存在测试等)的传感器。例如，检测器180可包括光学传感器系统(其可包括用于与集成或外部光源使用的光学传感器)。作为另一示例，检测器180可包括电阻抗传感器。在一些示例中，检测器180可包括温度传感器。在一个示例中，检测器180可包括电化学传感器。如将理解的，在公共基板上(也称为“芯片上”(on-chip))结合检测器的示例可被称为芯片实验室装置。基板可包括任何合适的材料，包括硅。基板可具有任何合适的几何因素，包括形状和尺寸。例如，形状可为平行四边形，例如正方形、矩形或任何其它形状。形状也可为不规则形状。基板的尺寸不需要具有任何特定值。在一些示例中，尺寸可在毫米范围内。术语“尺寸”可指宽度、长度等，取决于基板的形状。例如，基板的长度可在0.5mm和10mm之间-例如，在1mm和8mm之间、在2mm和6mm之间等。其它值也是可能的。在一个示例中，长度是2mm。例如，基板的宽度可在0.1mm和5mm之间-例如，在0.5mm和4mm之间、在1mm和2mm之间等。其它值也是可能的。
此外，在一些示例中，微流体装置的每个检测器可包括不同的传感器配置和组合。本文描述的一些示例可利用至少一个芯片上检测器180助于分析在流体输入154处提供的样本。
如图所示，微流体装置150可包括流体致动器184以致动以因此导致流体从混合腔室170泵送到其中可设置有检测器180的微流体通道182。相应地，在类似于图4的示例微流体装置150的示例中，来自混合腔室170的流体可被泵送进入微流体通道182，其中设置有检测器180，使得可利用检测器180分析此类流体。其中设置有检测器180的微流体通道182可输出到废弃流体输出186。
如将理解的，在类似于图4的微流体装置150的示例中，流体致动器172-176、附加部件178、流体致动器184和/或检测器180可电连接到控制器。相应地，控制器可电致动这些部件，并且控制器可以电信号的形式从这些部件接收数据。例如，控制器可从检测器180接收相应于流体分析的传感器数据。
虽然术语“控制器”可在本文中使用，但是将理解的是，控制器可包括各种类型的数据处理资源。控制器可包括例如至少一个基于硬件的处理器。类似地，控制器可包括一个或多个通用数据处理器和/或一个或多个专用数据处理器。例如，控制器可包括中央处理单元(CPU)、专用集成电路(ASIC)和/或用于数据处理的逻辑部件的其它此类配置。在一些示例中，控制器可包括存储可执行指令的存储器资源。指令的执行可导致控制器和/或装置执行本文描述的功能、过程和/或操作序列。此外，在示例中，存储器资源可包括机器可读存储介质，其可以被称为存储器。存储器资源可代表随机存取存储器(RAM)装置以及其它类型的存储器(例如高速缓冲存储器、非易失性存储器装置、只读存储器等)。存储器资源可包括RAM、ROM、可擦除可编程只读存储器(EPROM)、电可擦除可编程只读存储器、闪存或其它固态存储器技术、或可用于存储可执行指令和信息的任何其它介质。此外，存储器资源556可为非暂态的。
在一些示例中，控制器位于外部(例如在数据处理系统中)并且可经由微流体装置的电连接件和导电迹线电连接到示例微流体装置的部件。在其它示例中，微流体装置可包括控制器，其设置在公共基板上并且经由导电迹线电连接到微流体装置的部件。
此外，虽然图4的示例装置150示出了三个微流体通道172-176流体地连接到三个毛细腔室164-168，但是将理解的是，微流体通道和毛细腔室的各种其它组合可在其它示例中实施。例如，更多或更少的微流体通道可串联和/或并联到更多或更少的毛细腔室。此外，更多或更少的检测器180、输入154、储存器156a-b、流体致动器172-176和/或附加部件178可在类似示例中实施。
图5A-B提供了示出在示例微流体装置200中的流体流动的框图。在示例中，微流体装置200包括流体地连接到毛细腔室204的微流体通道202。此外，流体致动器206定位在毛细腔室204附近。如图所示，微流体通道202可将毛细腔室204流体地连接到流体储存器或输入208。如图5A所示，由于微流体通道202中的毛细作用，流体可从储存器/输入208被动泵送到毛细腔室204。在图5A中，流体的弯月面210发生在微流体通道202和毛细腔室204之间的连接处。因此，从微流体通道202到毛细腔室204的尺寸变化可导致弯月面210发生，使得通过毛细腔室204的流体流动可被限制。图5B示出了在由方向性箭头212所示的方向上引发通过毛细腔室204的流体流动。在该示例中，通过毛细腔室204的流体流动可由流体致动器206的致动引发。例如，如果流体致动器是基于压电薄膜的致动器，则流体致动器可为脉动的，以导致流体致动器附近的流体位移。流体致动器附近的流体位移可导致泵送力克服由于弯月面210引起的毛细腔室204的限制力。
如将在图5A-B的示例中理解，毛细腔室204具有的至少一个尺寸(例如半径、宽度、高度等)大于微流体通道202的相应尺寸。例如，微流体通道的直径小于毛细腔室204的直径。将理解的是，从微流体通道202到毛细腔室204的尺寸变化破坏了由微流体通道202在流体上导致的毛细作用。转而，流体形成弯月面210。
图6A-6C提供了示出示例微流体装置250中的流体流动的框图。在图6A-C中，示例微流体装置250包括毛细腔室252、其中形成有喷嘴孔256的喷嘴层254、微流体通道256、限制部分258和流体致动器260。在该示例中，在毛细腔室252、微流体通道256和限制部分258中的流体可在由示例方向性箭头262提供的方向上处于背压下，使得弯月面264在毛细腔室252处发生。如先前所讨论的，施加在毛细腔室252中的流体上的毛细力可限制在背压方向上的流体流动。在图6A-C的示例中，流体致动器260可为基于热电阻的流体致动器。
相应地，在图6B中，流体致动器260被致动，使得气泡280在流体致动器260附近的流体中形成。如图所示，气泡280使流体微滴282位移，使得流体微滴经由喷嘴层254的喷嘴孔256喷射。因此，流体致动器260的致动以因此形成气泡280可进一步导致在背压方向(示例方向性箭头262)上的流体流动。如图所示，流体微滴282从喷嘴孔256在与背压方向262相反的方向上喷射。
在图6C中，流体已在背压方向262上从毛细腔室252、微流体通道256和限制部分258流动。特别地，限定体积的流体可流动通过毛细腔室254、微流体通道256以及限制部分258，使得弯月面290在限制部分258处发生。由于弯月面290的表面张力和与限制部分258相关的毛细作用，进一步的流体流动可由限制部分258限制。如将理解的，可流动通过毛细腔室252的流体体积可相应于微流体通道256和毛细腔室252的体积尺寸。因此，可流动通过微流体通道256、毛细腔室252和限制部分258的流体量可至少部分地基于毛细腔室252和微流体通道256的体积尺寸而预先确定。
如将在图6A-C的示例中理解，毛细腔室252具有的至少一个尺寸(例如半径、宽度、高度等)小于微流体通道256的相应尺寸。例如，毛细腔室252的直径可小于微流体通道256的直径。将理解的是，毛细腔室252的至少一个尺寸可导致与背压方向262相反的毛细力。转而，流体形成弯月面264。类似地，限制部分258可具有的至少一个尺寸小于微流体通道256，使得在预定体积的流体在背压方向262上流动之后，弯月面290在限制部分258处发生以限制进一步的流体流动。
图7提供了示出可由示例微流体装置执行的操作序列的流程图300。在该示例中，流体可经由微流体通道被动泵送到毛细破坏通道(框302)。通过毛细破坏通道的流体流动可由毛细腔室限制(框304)。流体致动器可被致动，以引发通过毛细腔室的流体流动(框306)。在一些示例中，流体流动可在预定体积的流体流动之后由微流体装置的限制部分限制(框308)。
图7的流程图提供了可由示例微流体装置执行的示例操作序列，以执行如本文描述的示例过程和方法。在一些示例中，图7的流程图中公开的示例过程和/或方法的一些操作可由在微流体装置中实施的控制器执行。
相应地，本文描述的示例提供了微流体装置的示例，其中，至少一个毛细腔室可流体地连接到微流体通道。在这些示例中，毛细腔室可限制微流体装置中的流体流动。此外，流体流动可由定位在毛细腔室附近的流体致动器致动而被引发通过毛细腔室。此外，如本文描述的示例装置可助于操纵小体积的流体(例如约1nL至约1pL)。因为本文描述的示例助于此类小体积流体的被动泵送，所以示例可实施为微流体系统中的阀机构。
先前的描述已被呈现以示出和描述所描述原理的示例。该描述并非旨在穷举或将这些原理限制于所公开的任何精确形式。鉴于以上公开内容，许多修改和变化都是可能的。

Claims (15)

1.一种微流体装置，包括：
微流体通道；
毛细腔室，流体地连接到所述微流体通道，所述毛细腔室限制通过所述毛细腔室的流体流动；以及
流体致动器，设置在所述微流体通道中在所述毛细腔室附近，所述流体致动器致动并且因此引发通过所述毛细腔室的流体流动。
2.根据权利要求1所述的微流体装置，其中，所述流体致动器包括热电阻致动器、压电薄膜致动器或其组合。
3.根据权利要求1所述的微流体装置，其中，所述微流体通道具有的至少一个尺寸小于所述毛细腔室的相应尺寸，使得所述毛细腔室破坏由所述微流体通道导致的毛细力，以因此限制从中通过的流体流动。
4.根据权利要求1所述的微流体装置，其中，所述微流体装置包括限制部分，以在预定体积的流体流动之后限制由所述流体致动器引发的流体流动。
5.根据权利要求4所述的微流体装置，其中，所述毛细腔室具有的至少一个尺寸小于所述微流体通道的相应尺寸，并且所述限制部分具有的至少一个尺寸小于所述微流体通道的相应尺寸。
6.根据权利要求1所述的微流体装置，还包括：
喷嘴层，其中形成有喷嘴孔，所述喷嘴孔流体地连接到所述毛细腔室，其中，所述流体致动器的致动用以因此导致流体微滴经由所述喷嘴孔喷射。
7.根据权利要求1所述的微流体装置，其中，毛细腔室具有入口和出口，所述微流体通道是第一微流体通道，所述第一微流体通道流体地连接到所述毛细腔室的入口，并且所述微流体装置还包括：
流体地连接到毛细腔室的出口的第二微流体通道，
其中，毛细腔室用以限制通过所述毛细腔室到所述第二微流体通道的流体流动，并且所述流体致动器的致动用以引发通过所述毛细腔室到所述第二微流体通道的流体流动。
8.根据权利要求7所述的微流体装置，其中，所述毛细腔室是第一毛细腔室，所述流体致动器是第一流体致动器，并且所述微流体装置还包括：
第三微流体通道；
具有入口和出口的第二毛细腔室，所述第二毛细腔室的所述入口流体地连接到所述第二微流体通道，所述第二毛细腔室的所述出口流体地连接到所述第三微流体通道，所述第二毛细腔室限制通过所述第二毛细腔室到第三微流体通道的流体流动；以及
第二流体致动器，设置在所述第二微流体通道中在所述第二毛细腔室附近，所述第二流体致动器致动并且因此引发通过所述第二毛细腔室到所述第三微流体通道的流体流动。
9.根据权利要求1所述的微流体装置，其中，所述微流体通道是一组微流体通道中的第一微流体通道，所述毛细腔室是一组毛细腔室中的第一毛细腔室，并且所述流体致动器是一组流体致动器中的第一流体致动器，
其中，该组毛细腔室的每个毛细腔室具有相应入口和相应出口，该组微流体通道的每个相应微流体通道流体地连接到相应毛细腔室的相应入口，并且每个毛细腔室限制从中通过的流体流动，以及
其中，该组流体致动器的每个流体致动器设置在相应毛细腔室附近，每个相应流体致动器致动以因此引发通过相应毛细腔室的流体流动。
10.根据权利要求1所述的微流体装置，还包括：
储存器，经由微流体通道流体地连接到毛细腔室，使得流体由其被动泵送从所述储存器流动到所述毛细腔室。
11.一种微流体装置，包括：
微流体通道；
毛细腔室，流体地连接到所述微流体通道，并且所述毛细腔室限制从中通过的流体流动；
流体致动器，定位在毛细腔室附近，所述流体致动器致动以因此导致通过所述毛细腔室的流体流动；以及
限制部分，流体地连接到所述微流体通道和所述毛细腔室，所述限制部分在预定体积的流体流动之后限制由流体致动器的致动引发的流体流动。
12.根据权利要求11所述的微流体装置，
还包括喷嘴层，所述喷嘴层具有形成在其中的喷嘴孔，所述喷嘴孔流体地连接到毛细腔室，
其中，流体致动器致动用以进一步经由所述喷嘴孔喷射流体微滴。
13.根据权利要求12所述的微流体装置，其中，所述微流体通道和毛细腔室的流体在与所述流体微滴将喷射的方向相反的方向上处于背压下。
14.一种用于微流体装置的方法，包括：
经由流体地连接在储存器和毛细腔室之间的微流体通道将流体从储存器被动泵送到毛细腔室；
限制通过所述毛细腔室的流体流动；以及
致动定位在所述毛细腔室附近的流体致动器，以引发通过所述毛细腔室的流体流动。
15.根据权利要求14所述的方法，还包括：
在预定体积的流体已流动之后，利用流体地连接到所述微流体通道和毛细腔室的限制部分进一步限制流体流动。
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