CN109037140A - 一种具备防碰撞功能的半导体搬运设备的抓取装置 - Google Patents

一种具备防碰撞功能的半导体搬运设备的抓取装置 Download PDF

Info

Publication number
CN109037140A
CN109037140A CN201810937565.0A CN201810937565A CN109037140A CN 109037140 A CN109037140 A CN 109037140A CN 201810937565 A CN201810937565 A CN 201810937565A CN 109037140 A CN109037140 A CN 109037140A
Authority
CN
China
Prior art keywords
turntable
semiconductor
fixedly installed
leading exterior
grabbing device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201810937565.0A
Other languages
English (en)
Inventor
沈良霖
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Zhejiang Yashi Jing Technology Co Ltd
Original Assignee
Zhejiang Yashi Jing Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Zhejiang Yashi Jing Technology Co Ltd filed Critical Zhejiang Yashi Jing Technology Co Ltd
Priority to CN201810937565.0A priority Critical patent/CN109037140A/zh
Publication of CN109037140A publication Critical patent/CN109037140A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
    • H01L21/68707—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a robot blade, or gripped by a gripper for conveyance

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Manipulator (AREA)

Abstract

本发明公开了一种具备防碰撞功能的半导体搬运设备的抓取装置，包括支撑柱，所述支撑柱的上端外表面固定安装有底座，且底座的上方设置有转盘，所述转盘的上端外表面固定安装有接触柱与固定板，且转盘位于固定板的一侧，所述转盘的前端外表面固定安装有支撑板，所述固定板的外表面设置有伸缩机构，伸缩机构包括位于固定板两侧外表面靠近前端处活动安装的活动臂。本发明在使用过程中，首先能够保证基板表面完好，避免其影响后续的工艺处理，其次能够便于使用者根据放置半导体基板箱子的深度调节伸缩机构的长度，另外能够避免其旋转角度过大发生将基板放错位置的情况，增加其放置基板位置的准确性；还能够防止基板因受到碰撞而损坏。

Description

一种具备防碰撞功能的半导体搬运设备的抓取装置
技术领域
本发明涉及搬运抓取设备领域，具体为一种具备防碰撞功能的半导体搬运设备的抓取装置。
背景技术
搬运动作包括基板进料搬运、工序内的平移、旋转、工序与工序间的运输、抽取等，具备防碰撞功能的半导体搬运设备的抓取装置，是指用于将基板从箱子或匣子内取出的一种装置，但是现有的该抓取装置在使用时存在一定的弊端，首先其容易损坏基板，影响后续对其的工艺处理，其次不便于使用者其根据箱子与该装置距离的长度调节该装置抓取距离的长度，另外难以控制转盘与底座的相对旋转角度，降低其松开基板时基板掉落的准确性。
发明内容
针对现有技术存在的不足，本发明的目的在于提供一种具备防碰撞功能的半导体搬运设备的抓取装置，不仅具有便于使用者后期对基板进行工艺处理以及提高其放置准确性的特点，而且能够防止基板因受到碰撞而损坏。
为实现上述目的，本发明提供了如下技术方案：一种具备防碰撞功能的半导体搬运设备的抓取装置，包括支撑柱，所述支撑柱的上端外表面固定安装有底座，且底座的上方设置有转盘，所述转盘的上端外表面固定安装有接触柱与固定板，且转盘位于固定板的一侧，所述转盘的前端外表面固定安装有支撑板，所述固定板的外表面设置有伸缩机构；
伸缩机构包括位于固定板两侧外表面靠近前端处活动安装的活动臂，两个所述活动臂之间活动安装有转轴，所述转轴的前端外表面固定安装有固定杆，且固定杆的外表面靠近前端处活动安装有连接块，所述连接块的前端外表面靠近中间处固定安装有抓取臂，且抓取臂的前端外表面设置有抓取机构；
抓取机构包括位于抓取臂前端外表面固定安装的固定块，所述固定块的外表面靠近中间的位置活动安装有轴承，且固定块的前端外表面靠近两侧处均固定安装有伸缩杆，所述伸缩杆的前端外表面固定安装有机械手，两个所述机械手之间设置有弹簧与固定轴，且固定轴位于弹簧的上方；两个所述机械手的一侧外表面均开设有固定槽，且固定槽的外表面胶接有软垫，固定槽和软垫的设置能够有效的防止抓取机构损坏基板表面，进而起到防碰撞到效果，避免其影响后续的工艺处理。
通过采用上述技术方案，首先能够保证基板表面完好，避免其影响后续的工艺处理，其次能够便于使用者根据放置半导体基板箱子的深度调节伸缩机构的长度，另外能够避免其旋转角度过大发生将基板放错位置的情况，增加其放置基板位置的准确性。
进一步地，所述转盘的下端外表面开设有限位槽，所述底座的上端外表面靠近中间处固定安装有限位块。
通过采用上述技术方案，能够将转盘围绕底座旋转，从而能够将抓取机构抓取的基板放置到合适位置。
进一步地，所述限位块的一侧外表面靠近下端处与限位槽的下端外表面靠近上端处均固定安装有挡板。
通过采用上述技术方案，能够控制转盘与底座之间的旋转角度，能够使其及时停止，避免其旋转角度过大发生将基板放错位置的情况。
进一步地，两个所述挡板的高度和大于限位块的高度，所述限位槽与限位块之间的旋转角度为二百七十度。
通过采用上述技术方案，用于保证挡板能够起到阻挡转盘与底座之间持续旋转的作用。
进一步地，所述固定轴与机械手之间的连接方式为活动连接，且机械手与弹簧之间的连接方式为固定连接。
通过采用上述技术方案，用于保证固定轴机械手能够围绕固定轴转动，便于使用者调节其使用角度。
进一步地，所述连接块与固定杆的数量均至少为两个，且其呈一字形活动安装。
通过采用上述技术方案，能够将伸缩机构分成多节，便于使用者调节角度。
进一步地，所述连接块与固定杆之间的连接方式为活动连接，且连接块与抓取臂之间的连接方式为固定连接。
通过采用上述技术方案能够便于使用者根据放置半导体基板箱子的深度调节伸缩机构的长度。
综上所述，本发明具有以下有益效果：
1、通过在固定块的前端外表面靠近两侧处均固定安装伸缩杆，利用抓取臂施力，使伸缩杆伸长，伸缩杆的前端外表面固定安装机械手，两个机械手之间设置弹簧与固定轴，且固定轴位于弹簧的上方，使弹簧压缩，使两个机械手合并，利用固定槽与软垫将半导体基板夹紧，保证基板表面完好，能够有效的防止抓取机构损坏基板表面，避免其影响后续的工艺处理；
2、通过在两个活动臂之间活动安装转轴，转轴的前端外表面固定安装固定杆，使固定杆围绕转轴翻转，带动抓取机构上下运动，在固定杆的外表面靠近前端处活动安装连接块，在连接块的前端外表面靠近中间处固定安装抓取臂，通过连接块与固定杆配合作用，使伸缩机构在连接处分段成节，便于使用者根据放置半导体基板箱子的深度调节伸缩机构的长度，并且便于其根据箱子与该装置距离的长度调节该装置抓取距离的长度；
3、通过在转盘的下端外表面开设有限位槽，在底座的上端外表面靠近中间处固定安装有限位块，在限位槽与限位块的配合作用下，将转盘围绕底座旋转，将抓取机构抓取的基板放置到合适位置，在限位块的一侧外表面靠近下端处与限位槽的下端外表面靠近上端处均固定安装有挡板，利用挡板能够控制转盘与底座之间的旋转角度，能够使其及时停止，避免其旋转角度过大发生将基板放错位置的情况，增加其放置基板位置的准确性。
附图说明
图1为本发明的整体结构示意图；
图2为本发明的底座和转盘的相配合视图；
图3为本发明的伸缩机构局部结构示意图；
图4为本发明的抓取机构局部结构示意图。
图中：1、支撑柱；2、底座；3、转盘；4、接触柱；5、固定板；6、支撑板；7、活动臂；8、转轴；9、抓取臂；10、固定块；11、轴承；12、固定轴；13、机械手；14、伸缩杆；15、弹簧；16、固定槽；17、软垫；18、固定杆；19、连接块；20、限位槽；21、限位块；22、挡板。
具体实施方式
实施例：
以下结合附图1-4对本发明作进一步详细说明。
一种具备防碰撞功能的半导体搬运设备的抓取装置，如图1-2所示，包括支撑柱1，接通电源，在支撑柱1的上端外表面固定安装底座2，在底座2的上方设置转盘3，在转盘3的前端外表面固定安装支撑板6，在固定板5的外表面设置伸缩机构，通过伸缩机构与抓取机构的配合作用，将半导体基板抓紧，在转盘3的上端外表面固定安装接触柱4与固定板5，转盘3位于固定板5的一侧，使转盘3围绕底座2旋转一定角度，利用挡板22将其固定，将抓取到的半导体基板放置在合适的位置；
如图3所示，伸缩机构包括位于固定板5两侧外表面靠近前端处活动安装的活动臂7，两个活动臂7之间活动安装转轴8，转轴8的前端外表面固定安装固定杆18，使固定杆18围绕转轴8翻转，带动抓取机构上下运动，固定杆18的外表面靠近前端处活动安装连接块19，连接块19的前端外表面靠近中间处固定安装抓取臂9，通过连接块19与固定杆18配合作用，使伸缩机构在连接处分段成节，便于使用者根据放置半导体基板箱子的深度调节伸缩机构的长度，抓取臂9的前端外表面设置抓取机构；
如图4所示，抓取机构包括位于抓取臂9前端外表面固定安装的固定块10，固定块10的外表面靠近中间的位置活动安装轴承11，且固定块10的前端外表面靠近两侧处均固定安装伸缩杆14，利用抓取臂9施力，使伸缩杆14伸长，伸缩杆14的前端外表面固定安装机械手13，两个机械手13之间设置弹簧15与固定轴12，且固定轴12位于弹簧15的上方，使弹簧15压缩，使两个机械手13合并，利用固定槽16将半导体基板夹紧，软垫17用于保证基板表面完好。
转盘3的下端外表面开设有限位槽20，底座2的上端外表面靠近中间处固定安装有限位块21，在限位槽20与限位块21的配合作用下，能够将转盘3围绕底座2旋转，从而能够将抓取机构抓取的基板放置到合适位置；
限位块21的一侧外表面靠近下端处与限位槽20的下端外表面靠近上端处均固定安装有挡板22，利用挡板22能够控制转盘3与底座2之间的旋转角度，能够使其及时停止，避免其旋转角度过大发生将基板放错位置的情况；
两个挡板22的高度和大于限位块21的高度，限位槽20与限位块21之间的旋转角度为二百七十度，此设置用于保证挡板22能够起到阻挡作用；
两个机械手13的一侧外表面均开设有固定槽16，且固定槽16的外表面胶接有软垫17，利用软垫17能够有效的防止抓取机构损坏基板表面，避免其影响后续的工艺处理；
固定轴12与机械手13之间的连接方式为活动连接，且机械手13与弹簧15之间的连接方式为固定连接，此设置用于保证固定轴12机械手13能够围绕固定轴12转动，便于使用者调节其使用角度；
连接块19与固定杆18的数量均至少为两个，且其呈一字形活动安装，若干个连接块19与固定杆18共同作用，能够将伸缩机构分成多节，便于使用者调节角度；
连接块19与固定杆18之间的连接方式为活动连接，且连接块19与抓取臂9之间的连接方式为固定连接，能够便于使用者根据放置半导体基板箱子的深度调节伸缩机构的长度。
工作原理：本发明为一种具备防碰撞功能的半导体搬运设备的抓取装置，首先接通电源，使固定杆18围绕转轴8翻转，带动抓取机构上下运动，利用抓取臂9施力，使伸缩杆14伸长，使弹簧15压缩，使两个机械手13合并，利用固定槽16与软垫17将半导体基板夹紧，保证基板表面完好，使转盘3围绕底座2旋转一定角度，利用挡板22将其固定，将抓取到的半导体基板松开，通过连接块19与固定杆18配合作用，使伸缩机构在连接处分段成节，便于使用者根据放置半导体基板箱子的深度调节伸缩机构的长度，以此循环抓取工作。
本具体实施例仅仅是对本发明的解释，其并不是对本发明的限制，本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改，但只要在本发明的权利要求范围内都受到专利法的保护。

Claims (7)

1.一种具备防碰撞功能的半导体搬运设备的抓取装置，包括支撑柱（1），其特征在于：所述支撑柱（1）的上端外表面固定安装有底座（2），且底座（2）的上方设置有转盘（3），所述转盘（3）的上端外表面固定安装有接触柱（4）与固定板（5），且转盘（3）位于固定板（5）的一侧，所述转盘（3）的前端外表面固定安装有支撑板（6），所述固定板（5）的外表面设置有伸缩机构；
伸缩机构包括位于固定板（5）两侧外表面靠近前端处活动安装的活动臂（7），两个所述活动臂（7）之间活动安装有转轴（8），所述转轴（8）的前端外表面固定安装有固定杆（18），且固定杆（18）的外表面靠近前端处活动安装有连接块（19），所述连接块（19）的前端外表面靠近中间处固定安装有抓取臂（9），且抓取臂（9）的前端外表面设置有抓取机构；
抓取机构包括位于抓取臂（9）前端外表面固定安装的固定块（10），所述固定块（10）的外表面靠近中间的位置活动安装有轴承（11），且固定块（10）的前端外表面靠近两侧处均固定安装有伸缩杆（14），所述伸缩杆（14）的前端外表面固定安装有机械手（13），两个所述机械手（13）之间设置有弹簧（15）与固定轴（12），且固定轴（12）位于弹簧（15）的上方；两个所述机械手（13）的一侧外表面均开设有固定槽（16），且固定槽（16）的外表面胶接有软垫（17）。
2.根据权利要求1所述的一种具备防碰撞功能的半导体搬运设备的抓取装置，其特征在于：所述转盘（3）的下端外表面开设有限位槽（20），所述底座（2）的上端外表面靠近中间处固定安装有限位块（21）。
3.根据权利要求2所述的一种具备防碰撞功能的半导体搬运设备的抓取装置，其特征在于：所述限位块（21）的一侧外表面靠近下端处与限位槽（20）的下端外表面靠近上端处均固定安装有挡板（22）。
4.根据权利要求3所述的一种具备防碰撞功能的半导体搬运设备的抓取装置，其特征在于：两个所述挡板（22）的高度和大于限位块（21）的高度，所述限位槽（20）与限位块（21）之间的旋转角度为二百七十度。
5.根据权利要求1所述的一种具备防碰撞功能的半导体搬运设备的抓取装置，其特征在于：所述固定轴（12）与机械手（13）之间的连接方式为活动连接，且机械手（13）与弹簧（15）之间的连接方式为固定连接。
6.根据权利要求1所述的一种具备防碰撞功能的半导体搬运设备的抓取装置，其特征在于：所述连接块（19）与固定杆（18）的数量均至少为两个，且其呈一字形活动安装。
7.根据权利要求1所述的一种具备防碰撞功能的半导体搬运设备的抓取装置，其特征在于：所述连接块（19）与固定杆（18）之间的连接方式为活动连接，且连接块（19）与抓取臂（9）之间的连接方式为固定连接。
CN201810937565.0A 2018-08-17 2018-08-17 一种具备防碰撞功能的半导体搬运设备的抓取装置 Pending CN109037140A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201810937565.0A CN109037140A (zh) 2018-08-17 2018-08-17 一种具备防碰撞功能的半导体搬运设备的抓取装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201810937565.0A CN109037140A (zh) 2018-08-17 2018-08-17 一种具备防碰撞功能的半导体搬运设备的抓取装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN109037140A true CN109037140A (zh) 2018-12-18

Family

ID=64630678

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201810937565.0A Pending CN109037140A (zh) 2018-08-17 2018-08-17 一种具备防碰撞功能的半导体搬运设备的抓取装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN109037140A (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114653660A (zh) * 2022-05-20 2022-06-24 智程半导体设备科技(昆山)有限公司 一种磁性夹块及半导体基材清洗装置

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105014660A (zh) * 2014-04-23 2015-11-04 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 平面关节型机械手
CN107285019A (zh) * 2017-08-02 2017-10-24 芜湖挺优机电技术有限公司 转动臂可控的搬运机械手
CN107511845A (zh) * 2017-09-08 2017-12-26 国网山东省电力公司电力科学研究院 一种旋转关节定位锁止机构、工作方法以及线路机器人
CN107571277A (zh) * 2017-09-06 2018-01-12 浙江燕思志网络科技有限公司 一种用于抓取作业的机械手装置
CN107745379A (zh) * 2017-09-27 2018-03-02 武汉科技大学 一种多关节搬运机械手

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105014660A (zh) * 2014-04-23 2015-11-04 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 平面关节型机械手
CN107285019A (zh) * 2017-08-02 2017-10-24 芜湖挺优机电技术有限公司 转动臂可控的搬运机械手
CN107571277A (zh) * 2017-09-06 2018-01-12 浙江燕思志网络科技有限公司 一种用于抓取作业的机械手装置
CN107511845A (zh) * 2017-09-08 2017-12-26 国网山东省电力公司电力科学研究院 一种旋转关节定位锁止机构、工作方法以及线路机器人
CN107745379A (zh) * 2017-09-27 2018-03-02 武汉科技大学 一种多关节搬运机械手

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114653660A (zh) * 2022-05-20 2022-06-24 智程半导体设备科技(昆山)有限公司 一种磁性夹块及半导体基材清洗装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN107471234A (zh) 铸造机器人用全向多指异步抓手
CN108858259A (zh) 一种抓取性能稳定的四爪机械手
CN110625603A (zh) 一种旋转式工业机器人设备
CN114800474B (zh) 一种工业生产运输智能机器人抓取装置
CN208880401U (zh) 一种机器人加工用打磨装置
CN105563219A (zh) 一种工件抓取装置
KR20190103260A (ko) 반송 시스템 및 그 운전 방법
CN110640732B (zh) 一种柔顺夹持器的自适应抓取方法
CN204248574U (zh) 一种用于加工缝纫机主轴的自动磨床
CN109037140A (zh) 一种具备防碰撞功能的半导体搬运设备的抓取装置
CN109103137A (zh) 一种半导体搬运设备的抓取装置
CN218426763U (zh) 一种垫圈加工用可双向夹持的高效装配设备
CN209682209U (zh) 一种机械人行架机械手
CN206925322U (zh) 一种自动上下料机械手
CN207534810U (zh) 一种电力设备检修用机械手装置
CN109910040A (zh) 一种机械手
CN109129172A (zh) 一种台阶成型磨床的上料夹紧机构
CN211386624U (zh) 旋压工件多工位自动加工系统
CN110774271B (zh) 一种用于工业机器人的多角度抓取机械手
CN207709550U (zh) 一种拉伸机的输送机械手用定位机构
CN207774073U (zh) 一种适用于大空间搬运的高精度小型仓储机器人
CN112536625A (zh) 一种五金加工用夹持设备
CN112518271B (zh) 机械手自动换轮装置
CN110834949A (zh) 一种轴自动加工系统
CN215358515U (zh) 一种机器人识别与抓取装置

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
RJ01 Rejection of invention patent application after publication
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20181218