CN109023252B - 金属化薄膜加工生产线系统及其生产方法、金属化薄膜 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了金属化薄膜加工生产线系统及其生产方法、金属化薄膜,金属化薄膜加工生产线系统包括预整装置和蒸镀装置,所述预整装置包括牵伸装置和除尘装置,牵伸装置包括工作台、滚轮、主轴、辅轴、压力缓冲装置、传动履带、传动齿轮、第一驱动电机、主动齿轮、衬板、压紧辊和固定板,蒸镀装置包括卷绕室和蒸镀室,所述蒸镀室包括送丝辊、导丝轮组、打磨架、导向轮组和蒸镀坩埚;金属化薄膜加工生产线系统的生产方法包括薄膜预整和薄膜蒸镀两个步骤,并加工生产得金属化薄膜。本发明能改善薄膜蜷缩变形状况,提高表面的平整度及洁净度,同时除去铝丝表面的氧化层,保证蒸镀过程中铝蒸汽的浓度,提高薄膜表面的蒸镀层均匀性及结合力。

Description

金属化薄膜加工生产线系统及其生产方法、金属化薄膜
技术领域
本发明涉及电容金属薄膜加工技术领域,特别涉及金属化薄膜加工生产线系统、金属化薄膜加工生产线系统的生产方法及使用金属化薄膜加工生产线系统加工生产的金属化薄膜。
背景技术
金属化薄膜即在聚酯薄膜的表面蒸镀一层金属膜代替金属箔作为电极,因为金属化膜层的厚度远小于金属箔的厚度,因此卷绕后体积也比金属箔式电容体积小很多。用于制造薄膜电容器的金属化薄膜由绝缘介质膜和蒸镀金属层构成,通过真空蒸镀工艺在绝缘介质膜的表面蒸镀一层金属薄膜。其中,金属薄膜主要由铝、锌或锌铝合金材料构成,铝是最常用的金属化薄膜的材料。
通常,制作电容器用金属膜都是利用薄膜进行蒸镀金属层在薄膜上,目前是直接将薄膜送入蒸镀机内进行蒸镀。但是由于现有的蒸镀加工系统比较单一,难以处理薄膜在运输、搬运过程中会因碰撞等情况导致薄膜蜷缩变形以及沾染杂质的情况,致使蒸镀的金属层与薄膜结合力差,影响产品的蒸镀层性能;而且,蒸镀机内的送丝机构无法除去铝丝在空气中被氧化而形成一层的氧化膜,致使送进蒸镀坩埚的铝丝被表面的氧化膜包裹而难以熔融,不仅延长了熔融时间,还影响蒸镀过程中铝蒸汽的浓度,导致薄膜表面的蒸镀层均匀性差、厚度不达标,影响产品的蒸镀层性能。
发明内容
本发明针对上述现有技术的存在的问题,提供金属化薄膜加工生产线系统及其生产方法、金属化薄膜。
本发明通过以下技术手段实现解决上述技术问题的:
金属化薄膜加工生产线系统,包括预整装置和蒸镀装置,所述预整装置包括牵伸装置和除尘装置,所述除尘装置固定安装在牵伸装置的一端,所述牵伸装置包括工作台、滚轮、主轴、辅轴、压力缓冲装置、传动履带、传动齿轮、第一驱动电机、主动齿轮、衬板、压紧辊和固定板,所述工作台的内部设有第一空腔,所述衬板的内部设有第二空腔,所述衬板相对两个侧面上对称地固定连接有两根固定杆,所述固定杆的另一端与工作台的内侧壁固定连接,所述衬板的侧面投影为椭圆形,所述衬板的两端分别设有贯穿的连接轴,所述连接轴与衬板的侧壁转动连接,所述连接轴的两端固定安装有传动齿轮,所述衬板两端的传动齿轮通过传动履带传动连接,所述第一驱动电机固定安装在第二空腔内,所述第一驱动电机远离除尘装置设置,所述主动齿轮固定安装在第一驱动电机的转子上,所述主动齿轮与远离除尘装置的传动齿轮啮合,所述传动履带上固定安装有压力缓冲装置,所述衬板两侧相对应的两个压力缓冲装置之间设有主轴,所述主轴的两端分别与压力缓冲装置的自由端固定连接,所述主轴的外部套装有辅轴,每根辅轴上都连接有五个滚轮,所述滚轮内还设有连接套,所述滚轮与连接套之间嵌有一圈滚珠,所述连接套的内壁上设有两个对称的滑动块,所述辅轴的外壁上设有与滑动块相适配的滑动槽,所述工作台的顶面上设有与滚轮适配的五条第一限位槽,所述衬板的外表面上设有与滚轮相适配的五条第二限位槽,所述第二限位槽与第一限位槽对应分布;所述固定板固定安装在工作台的正上方,所述固定板的底部转动连接有六根压紧辊;
所述蒸镀装置包括卷绕室和蒸镀室,所述蒸镀室设置在卷绕室正下方,所述蒸镀室包括送丝辊、导丝轮组、打磨架、导向轮组和蒸镀坩埚,所述导丝轮组包括两个上下相对设置的导丝轮,所述导丝轮的中间设有一圈凹槽,所述凹槽的横截面为圆弧状,所述打磨架内固定安装有过丝通道,所述过丝通道进口处的横截面为喇叭状,所述过丝通道)沿长度方向设有一组横向打磨室和一组纵向打磨室,所述横向打磨室对称设置在过丝通道的左右两侧且与过丝通道连通,所述横向打磨室内设有第二驱动电机,所述第二驱动电机的转子上固定安装有第一打磨轮,所述纵向打磨室对称设置在过丝通道的上下两侧且与过丝通道连通,所述纵向打磨室内设有第三驱动电机,所述第三驱动电机的转子上固定安装有第二打磨轮,所述导向轮组包括一个上导向轮和一个下导向轮,所述上导向轮设置在下导向轮的斜上方。
作为本发明的进一步改进,所述压力缓冲装置包括伸缩杆、固定套和弹簧,所述固定套的底部固定安装在传动履带上,所述弹簧固设在固定套内,所述伸缩杆的下端设置在固定套的内侧且与弹簧的上端固定连接,所述伸缩杆的上端延伸至固定套外且固定连接在主轴的末端。
作为本发明的进一步改进,所述除尘装置包括上下对称设置的上安装板和下安装板,所述上安装板固定安装在固定板的一端,所述下安装板固定安装在工作台上与上安装板相同的一端,所述上安装板的底部固定安装有六个上喷气头,所述下安装板的顶面固定安装有六个与上喷气头对应的下喷气头。
作为本发明的进一步改进,,所述滚轮和压紧辊的外表面设有树脂垫。
作为本发明的进一步改进,所述衬板与固定杆之间设有三块加强筋。
作为本发明的进一步改进,所述凹槽的表面设有破碎凸起,所述破碎凸起的顶部设有尖角。
作为本发明的进一步改进,所述上导向轮的直径大于下导向轮。
作为本发明的进一步改进,所述过丝通道的下方设有第一筛孔,所述下方的纵向打磨室底部设有第二筛孔。
金属化薄膜加工生产线系统的生产方法,包括以下步骤:
S1:薄膜预整:启动第一驱动电机并通过主动齿轮带动传动齿轮转动,传动齿轮又带动传动履带转动,传动履带上安装的压力缓冲装置(105)便会随之移动,进而带动滚轮在第一限位槽内移动,将薄膜从远离除尘装置的一端传动进入牵伸装置内,薄膜在滚轮的带动下向除尘装置一端移动,滚轮在移动的同时,受第一限位槽的轨迹限制,由于其内部滑动块与滑动槽的连接特性,会产生向外偏移的运动轨迹,并同时对薄膜进行牵伸以提升其表面的平整程度,经牵伸的薄膜从除尘装置间下料并经除尘装置除尘,去除表面杂质,收料备用。
S2:薄膜蒸镀:将预整好的薄膜放置在卷绕室中并使卷绕室开始工作,待熔融的铝丝从送丝辊出来,经过导丝轮并被导丝轮上的破碎凸起预破碎,在其表面形成数道破碎划痕后送进打磨架内的过丝通道内,在过丝通道内铝丝依次通过横向打磨室和纵向打磨室处并被第一打磨轮和第二打磨轮打磨,最后经导向轮组进入蒸镀坩埚内,铝丝被加热熔融后呈汽态溢出到薄膜表面经冷却辊冷却形成蒸镀层。
使用金属化薄膜加工生产线系统加工生产的金属化薄膜,包括绝缘薄层和铝蒸镀层,其特征在于,使用所述金属化薄膜加工生产线系统中的预整装置展平绝缘薄层,使用所述金属化薄膜加工生产线系统中的蒸镀装置蒸镀得到铝蒸镀层。
本发明的有益效果为:
(1)本发明的预整工装通过牵伸装置和除尘装置的配合,能够有效的改善薄膜蜷缩变形的状况,提高表面的平整度及洁净度,保证蒸镀结合力,提高工作效率。
(2)本发明的蒸镀装置结构简单实用,通过预破碎和后期打磨除去铝丝表面的氧化层薄膜,缩短了熔融时间,保证蒸镀过程中铝蒸汽的浓度,提高薄膜表面的蒸镀层均匀性、厚度。
附图说明
图1是本发明预整装置的结构示意图(侧视状态);
图2是本发明预整装置的结构示意图(正视状态);
图3是本发明衬板、固定杆与工作台的连接示意图;
图4是本发明工作台的结构示意图(俯视状态);
图5是本发明滚轮、主轴和辅轴的连接示意图;
图6是本发明压力缓冲装置的结构示意图;
图7是本发明蒸镀装置的结构示意图;
图8是本发明蒸镀室的结构示意图;
图9是本发明导丝轮的结构示意图;
图10是本发明打磨架的结构示意图;
图11是本发明横向打磨室与过丝通道的连接示意图;
图12是本发明纵向打磨室与过丝通道的连接示意图;
图13是本发明金属化薄膜的结构示意图。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
实施例1
如图1至6所示,金属化薄膜加工生产线系统,包括预整装置和蒸镀装置,所述预整装置包括牵伸装置10和除尘装置20,所述除尘装置20固定安装在牵伸装置10的一端,所述牵伸装置10包括工作台101、滚轮102、主轴103、辅轴104、压力缓冲装置105、传动履带106、传动齿轮107、第一驱动电机108、主动齿轮109、衬板110、压紧辊111和固定板112,所述工作台101的内部设有第一空腔113,所述衬板110的内部设有第二空腔115,所述衬板110相对两个侧面的中间对称地固定连接有两根固定杆114,所述固定杆114的另一端与工作台101的内侧壁固定连接,所述衬板110的侧面投影为椭圆形,所述衬板110的椭圆形两端为半圆弧,所述衬板110的两端半圆弧圆心处分别设有贯穿的连接轴116,所述连接轴116与衬板110的侧壁转动连接,所述连接轴116的两端固定安装有传动齿轮107,所述衬板110两端的传动齿轮107通过传动履带106传动连接,所述第一驱动电机108固定安装在第二空腔115内,所述第一驱动电机108远离除尘装置20设置,所述主动齿轮109固定安装在第一驱动电机108的转子上,所述主动齿轮109与远离除尘装置20的传动齿轮107啮合,所述传动履带106上固定安装有均匀分布的压力缓冲装置105,所述衬板110两个侧面相对应的两个压力缓冲装置105之间设有主轴103,所述主轴103的两端分别与压力缓冲装置105的自由端固定连接,所述主轴103的外部套装有辅轴104,每根辅轴104上都连接有五个滚轮102,所述滚轮102内还设有连接套117,所述滚轮102与连接套117之间嵌有一圈滚珠118,所述连接套117的内壁上设有两个对称的滑动块119,所述辅轴104的外壁上设有与滑动块119相适配的滑动槽120,所述工作台101的顶面上设有与滚轮102适配的五条第一限位槽121,五条第一限位槽121远离除尘装置20的一端相靠近,靠近除尘装置20的一端相互散开,所述衬板110的外表面上设有与滚轮102相适配的五条第二限位槽122,所述第二限位槽122与第一限位槽121对应分布;所述固定板112固定安装在工作台101的正上方,所述固定板112的底部转动连接有六根压紧辊111;
如图7至12所示,所述蒸镀装置包括卷绕室30和蒸镀室40,所述蒸镀室40设置在卷绕室30正下方,所述蒸镀室40包括送丝辊41、导丝轮组42、打磨架43、导向轮组44和蒸镀坩埚45,所述送丝辊41、导丝轮组42、打磨架43、导向轮组44和蒸镀坩埚45依次固定安装在蒸镀室40内,所述导丝轮组42包括两个上下相对设置的导丝轮421,所述导丝轮421的中间设有一圈凹槽422,所述凹槽422的横截面为圆弧状,所述打磨架43内固定安装有过丝通道431,所述过丝通道431进口处的横截面为喇叭状,所述过丝通道431沿长度方向设有一组横向打磨室432和一组纵向打磨室433,所述横向打磨室432对称设置在过丝通道431的左右两侧且与过丝通道431连通,所述横向打磨室432内固定安装有第二驱动电机434,所述第二驱动电机434的转子上固定安装有第一打磨轮435,所述纵向打磨室433对称设置在过丝通道431的上下两侧且与过丝通道431连通,所述纵向打磨室433内固定安装有第三驱动电机436,所述第三驱动电机436的转子上固定安装有第二打磨轮237,所述导向轮组44包括一个上导向轮441和一个下导向轮442,所述上导向轮441设置在下导向轮442的斜上方。
进一步地,如图6所示,所述压力缓冲装置105包括伸缩杆1051、固定套1052和弹簧1053,所述固定套1052的底部固定安装在传动履带106上,所述弹簧1053固设在固定套1052内,所述伸缩杆1051的下端设置在固定套1052的内侧且与弹簧1053的上端固定连接,所述伸缩杆1051的上端延伸至固定套1052外且固定连接在主轴103的末端,压力缓冲装置105的设置能避免滚轮102和压紧辊111之间的机械摩擦对薄膜表面造成损伤,通过弹簧的伸缩使滚轮102自适应地与压紧辊111贴合并牵伸薄膜。
进一步地,如图1所示,所述除尘装置20包括上下对称设置的上安装板201和下安装板202,所述上安装板201固定安装在固定板112的一端,所述下安装板202固定安装在工作台101上与上安装板201相同的一端,所述上安装板201的底部固定安装有六个上喷气头203,所述下安装板202的顶面固定安装有六个与上喷气头203对应的下喷气头204,除尘装置20主要利用上喷气头203与高压气罐连接,通过上喷气头203喷出的带压气体除去薄膜表面的灰尘等杂质,提高金属层与薄膜的结合力。
进一步地,所述滚轮102和压紧辊111的外表面设有树脂垫,增加滚轮102和压紧辊111对薄膜的摩擦力同时降低机械结构对薄膜的损坏,提升牵伸装置10的牵伸效果。
进一步地,如图1和3所示,所述衬板110与固定杆114之间设有三块加强筋123,强化衬板110与固定杆114之间的连接,加强衬板110的稳定性。
进一步地,如图9所示,所述凹槽422的表面设有破碎凸起423,所述破碎凸起423的顶部设有尖角,当铝丝经过凹槽422时,破碎凸起423会破坏铝丝的表面,形成数道划痕,有利于后期的打磨。
进一步地,如图8所示,所述上导向轮441的直径大于下导向轮442,上导向轮441的直径略大,使得铝丝在上导向轮441的表面阻力作用下更容易向下导向轮442弯曲,从而达到导向的作用效果。
进一步地,所述过丝通道431的下方设有第一筛孔,所述下方的纵向打磨室433底部设有第二筛孔,经过打磨的铝丝会产生金属碎屑,过丝通道431与纵向打磨室433上设置的第一筛孔和第二筛孔能防止过丝通道431被金属屑堵塞。
实施例2
金属化薄膜加工生产线系统的生产方法,包括以下步骤:
(1)薄膜预整:启动第一驱动电机108并通过主动齿轮109带动传动齿轮107转动,传动齿轮107又带动传动履带106转动,传动履带106上安装的压力缓冲装置105便会随之移动,进而带动滚轮102在第一限位槽121内移动,将薄膜从远离除尘装置20的一端传动进入牵伸装置10内,薄膜在滚轮102的带动下向除尘装置20一端移动,滚轮102在移动的同时,受第一限位槽121的轨迹限制,由于其内部滑动块119与滑动槽120的连接特性,会产生向外偏移的运动轨迹,并同时对薄膜进行牵伸以提升其表面的平整程度,经牵伸的薄膜从除尘装置20间下料并经除尘装置20除尘,去除表面杂质,提高金属层与薄膜的结合力。
(2)薄膜蒸镀:待熔融的铝丝从送丝辊41出来,经过导丝轮421并被导丝轮421上的破碎凸起423预破碎,在其表面形成数道破碎划痕后送进打磨架43内的过丝通道431内,在过丝通道431内铝丝依次通过横向打磨室432和纵向打磨室433处并被第一打磨轮435和第二打磨轮237打磨,去除表面的氧化铝薄膜层,最后经导向轮组44进入蒸镀坩埚45内,进入蒸镀坩埚45内的铝丝表面大部分的氧化铝薄膜层已被打磨去除,此时暴露出的单质铝熔点只有几百度,很容易被加热融化,缩短了熔融时间,提高了蒸镀效率。
实施例3
如图13所示,金属化薄膜,包括绝缘薄层50和铝蒸镀层60,所述绝缘薄层50使用金属化薄膜加工生产线系统中的预整装置展平,所述铝蒸镀层60使用金属化薄膜加工生产线系统中的蒸镀装置蒸镀得到。
需要说明的是,在本文中,如若存在第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下,由语句“包括一个……”限定的要素,并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
以上实施例仅用以说明本发明的技术方案,而非对其限制;尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明,本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换;而这些修改或者替换,并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (8)

1.金属化薄膜加工生产线系统,其特征在于,包括预整装置和蒸镀装置,所述预整装置包括牵伸装置(10)和除尘装置(20),所述除尘装置(20)固定安装在牵伸装置(10)的一端,所述牵伸装置(10)包括工作台(101)、滚轮(102)、主轴(103)、辅轴(104)、压力缓冲装置(105)、传动履带(106)、传动齿轮(107)、第一驱动电机(108)、主动齿轮(109)、衬板(110)、压紧辊(111)和固定板(112),所述工作台(101)的内部设有第一空腔(113),所述衬板(110)的内部设有第二空腔(115),所述衬板(110)相对两个侧面上对称地固定连接有两根固定杆(114),所述固定杆(114)的另一端与工作台(101)的内侧壁固定连接,所述衬板(110)的侧面投影为椭圆形,所述衬板(110)的两端分别设有贯穿的连接轴(116),所述连接轴(116)与衬板(110)的侧壁转动连接,所述连接轴(116)的两端固定安装有传动齿轮(107),所述衬板(110)两端的传动齿轮(107)通过传动履带(106)传动连接,所述第一驱动电机(108)固定安装在第二空腔(115)内,所述第一驱动电机(108)远离除尘装置(20)设置,所述主动齿轮(109)固定安装在第一驱动电机(108)的转子上,所述主动齿轮(109)与远离除尘装置(20)的传动齿轮(107)啮合,所述传动履带(106)上固定安装有压力缓冲装置(105),所述衬板(110)两侧相对应的两个压力缓冲装置(105)之间设有主轴(103),所述主轴(103)的两端分别与压力缓冲装置(105)的自由端固定连接,所述主轴(103)的外部套装有辅轴(104),每根辅轴(104)上都连接有五个滚轮(102),所述滚轮(102)内还设有连接套(117),所述滚轮(102)与连接套(117)之间嵌有一圈滚珠(118),所述连接套(117)的内壁上设有两个对称的滑动块(119),所述辅轴(104)的外壁上设有与滑动块(119)相适配的滑动槽(120),所述工作台(101)的顶面上设有与滚轮(102)适配的五条第一限位槽(121),所述衬板(110)的外表面上设有与滚轮(102)相适配的五条第二限位槽(122),所述第二限位槽(122)与第一限位槽(121)对应分布;所述固定板(112)固定安装在工作台(101)的正上方,所述固定板(112)的底部转动连接有六根压紧辊(111);
所述蒸镀装置包括卷绕室(30)和蒸镀室(40),所述蒸镀室(40)设置在卷绕室(30)正下方,所述蒸镀室(40)包括送丝辊(41)、导丝轮组(42)、打磨架(43)、导向轮组(44)和蒸镀坩埚(45),所述导丝轮组(42)包括两个上下相对设置的导丝轮(421),所述导丝轮(421)的中间设有一圈凹槽(422),所述凹槽(422)的横截面为圆弧状,所述打磨架(43)内固定安装有过丝通道(431),所述过丝通道(431)进口处的横截面为喇叭状,所述过丝通道(431)沿长度方向设有一组横向打磨室(432)和一组纵向打磨室(433),所述横向打磨室(432)对称设置在过丝通道(431)的左右两侧且与过丝通道(431)连通,所述横向打磨室(432)内设有第二驱动电机(434),所述第二驱动电机(434)的转子上固定安装有第一打磨轮(435),所述纵向打磨室(433)对称设置在过丝通道(431)的上下两侧且与过丝通道(431)连通,所述纵向打磨室(433)内设有第三驱动电机(436),所述第三驱动电机(436)的转子上固定安装有第二打磨轮(237),所述导向轮组(44)包括一个上导向轮(441)和一个下导向轮(442),所述上导向轮(441)设置在下导向轮(442)的斜上方;
所述压力缓冲装置(105)包括伸缩杆(1051)、固定套(1052)和弹簧(1053),所述固定套(1052)的底部固定安装在传动履带(106)上,所述弹簧(1053)固设在固定套(1052)内,所述伸缩杆(1051)的下端设置在固定套(1052)的内侧且与弹簧(1053)的上端固定连接,所述伸缩杆(1051)的上端延伸至固定套(1052)外且固定连接在主轴(103)的末端;
所述除尘装置(20)包括上下对称设置的上安装板(201)和下安装板(202),所述上安装板(201)固定安装在固定板(112)的一端,所述下安装板(202)固定安装在工作台(101)上与上安装板(201)相同的一端,所述上安装板(201)的底部固定安装有六个上喷气头(203),所述下安装板(202)的顶面固定安装有六个与上喷气头(203)对应的下喷气头(204)。
2.如权利要求1所述的金属化薄膜加工生产线系统,其特征在于,所述滚轮(102)和压紧辊(111)的外表面设有树脂垫。
3.如权利要求1所述的金属化薄膜加工生产线系统,其特征在于,所述衬板(110)与固定杆(114)之间设有三块加强筋(123)。
4.如权利要求1所述的金属化薄膜加工生产线系统,其特征在于,所述凹槽(422)的表面设有破碎凸起(423),所述破碎凸起(423)的顶部设有尖角。
5.如权利要求1所述的金属化薄膜加工生产线系统,其特征在于,所述上导向轮(441)的直径大于下导向轮(442)。
6.如权利要求1所述的金属化薄膜加工生产线系统,其特征在于,所述过丝通道(431)的下方设有第一筛孔,所述下方的纵向打磨室(433)底部设有第二筛孔。
7.金属化薄膜加工生产线系统的生产方法,其特征在于,包括以下步骤:
S1:薄膜预整:启动第一驱动电机(108)并通过主动齿轮(109)带动传动齿轮(107)转动,传动齿轮(107)又带动传动履带(106)转动,传动履带(106)上安装的压力缓冲装置(105)便会随之移动,进而带动滚轮(102)在第一限位槽(121)内移动,将薄膜从远离除尘装置(20)的一端传动进入牵伸装置(10)内,薄膜在滚轮(102)的带动下向除尘装置(20)一端移动,滚轮(102)在移动的同时,受第一限位槽(121)的轨迹限制,由于其内部滑动块(119)与滑动槽(120)的连接特性,会产生向外偏移的运动轨迹,并同时对薄膜进行牵伸以提升其表面的平整程度,经牵伸的薄膜从除尘装置(20)间下料并经除尘装置(20)除尘,去除表面杂质,收料备用;
S2:薄膜蒸镀:将预整好的薄膜放置在卷绕室(30)中并使卷绕室(30)开始工作,待熔融的铝丝从送丝辊(41)出来,经过导丝轮(421)并被导丝轮(421)上的破碎凸起(423)预破碎,在其表面形成数道破碎划痕后送进打磨架(43)内的过丝通道(431)内,在过丝通道(431)内铝丝依次通过横向打磨室(432)和纵向打磨室(433)处并被第一打磨轮(435)和第二打磨轮(237)打磨,最后经导向轮组(44)进入蒸镀坩埚(45)内,铝丝被加热熔融后呈汽态溢出到薄膜表面经冷却辊冷却形成蒸镀层。
8.使用权利要求1~6所述的任一项金属化薄膜加工生产线系统加工生产的金属化薄膜,包括绝缘薄层(50)和铝蒸镀层(60),其特征在于,使用所述金属化薄膜加工生产线系统中的预整装置展平绝缘薄层(50),使用所述金属化薄膜加工生产线系统中的蒸镀装置蒸镀得到铝蒸镀层(60)。
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Citations (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08144041A (ja) * 1994-11-17 1996-06-04 Toppan Printing Co Ltd 巻取り式真空蒸着装置
DE29704578U1 (de) * 1997-03-13 1997-06-19 Leybold Systems Gmbh Vorrichtung zum Reinigen der Beschichtungswalze einer Vakkuumbandbeschichtungsanlage
JPH1029746A (ja) * 1996-07-12 1998-02-03 Sony Corp 薄膜体のロール駆動装置
JP2003170086A (ja) * 2001-12-11 2003-06-17 Sumitomo Precision Prod Co Ltd ノズル装置及びこれを備えた基板処理装置
JP2009170685A (ja) * 2008-01-17 2009-07-30 Panasonic Corp 金属化フィルムコンデンサ
CN101501237A (zh) * 2006-11-28 2009-08-05 株式会社爱发科 卷绕式真空成膜方法及卷绕式真空成膜装置
CN101717916A (zh) * 2008-10-09 2010-06-02 上海奥移电器有限公司 一种铝加厚金属化电容器用薄膜的真空蒸发镀膜机
JP2010235968A (ja) * 2009-03-30 2010-10-21 Sumitomo Metal Mining Co Ltd 真空処理装置
CN105057235A (zh) * 2015-07-06 2015-11-18 山东金鼎电子材料有限公司 Ito薄膜溅射靶材的清洁方法
CN205032455U (zh) * 2015-10-10 2016-02-17 绍兴翔宇绿色包装有限公司 薄膜除尘收卷辅助装置
CN105702457A (zh) * 2016-03-28 2016-06-22 常州晟威机电有限公司 薄膜电容器的卷绕设备
CN205932607U (zh) * 2016-08-25 2017-02-08 广东汇发塑业科技有限公司 一种塑料薄膜收卷装置
CN107177830A (zh) * 2017-07-13 2017-09-19 安徽省宁国市海伟电子有限公司 全铝型金属化薄膜及其真空镀膜装置
CN107254663A (zh) * 2017-07-13 2017-10-17 安徽省宁国市海伟电子有限公司 一种抗氧化型真空镀膜装置

Patent Citations (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08144041A (ja) * 1994-11-17 1996-06-04 Toppan Printing Co Ltd 巻取り式真空蒸着装置
JPH1029746A (ja) * 1996-07-12 1998-02-03 Sony Corp 薄膜体のロール駆動装置
DE29704578U1 (de) * 1997-03-13 1997-06-19 Leybold Systems Gmbh Vorrichtung zum Reinigen der Beschichtungswalze einer Vakkuumbandbeschichtungsanlage
JP2003170086A (ja) * 2001-12-11 2003-06-17 Sumitomo Precision Prod Co Ltd ノズル装置及びこれを備えた基板処理装置
CN101501237A (zh) * 2006-11-28 2009-08-05 株式会社爱发科 卷绕式真空成膜方法及卷绕式真空成膜装置
JP2009170685A (ja) * 2008-01-17 2009-07-30 Panasonic Corp 金属化フィルムコンデンサ
CN101717916A (zh) * 2008-10-09 2010-06-02 上海奥移电器有限公司 一种铝加厚金属化电容器用薄膜的真空蒸发镀膜机
JP2010235968A (ja) * 2009-03-30 2010-10-21 Sumitomo Metal Mining Co Ltd 真空処理装置
CN105057235A (zh) * 2015-07-06 2015-11-18 山东金鼎电子材料有限公司 Ito薄膜溅射靶材的清洁方法
CN205032455U (zh) * 2015-10-10 2016-02-17 绍兴翔宇绿色包装有限公司 薄膜除尘收卷辅助装置
CN105702457A (zh) * 2016-03-28 2016-06-22 常州晟威机电有限公司 薄膜电容器的卷绕设备
CN205932607U (zh) * 2016-08-25 2017-02-08 广东汇发塑业科技有限公司 一种塑料薄膜收卷装置
CN107177830A (zh) * 2017-07-13 2017-09-19 安徽省宁国市海伟电子有限公司 全铝型金属化薄膜及其真空镀膜装置
CN107254663A (zh) * 2017-07-13 2017-10-17 安徽省宁国市海伟电子有限公司 一种抗氧化型真空镀膜装置

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