CN108871579B - 一种偏振成像系统的标定方法 - Google Patents
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- 238000003384 imaging method Methods 0.000 title claims abstract description 69
- 230000010287 polarization Effects 0.000 title claims abstract description 44
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 34
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 58
- 239000013074 reference sample Substances 0.000 claims description 13
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 15
- 230000004075 alteration Effects 0.000 abstract description 9
- 230000008878 coupling Effects 0.000 abstract description 4
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 abstract description 4
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 abstract description 4
- 230000008859 change Effects 0.000 abstract description 2
- 238000007476 Maximum Likelihood Methods 0.000 description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 230000005571 horizontal transmission Effects 0.000 description 3
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 description 3
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 3
- 230000005570 vertical transmission Effects 0.000 description 3
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000012512 characterization method Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J4/00—Measuring polarisation of light
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- G01—MEASURING; TESTING
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J4/00—Measuring polarisation of light
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Abstract
本发明提供了一种偏振成像系统的标定方法,能够完成对成像物镜和准直镜的标定,消除成像物镜和准直镜引入的误差,提高偏振成像系统的测量精度。本发明通过多步本征值法可以完成耦合准直镜的标定,提高成像物镜偏振像差的测量精度。该方法可以实现在线测量,不需要利用其他的测量装置对器件进行标定,也不需要改变已有的光路,从而引入其他误差,该标定方法能够完成对系统中各个器件的标定,该操作简单,测量精度高。
Description
技术领域
本发明属于成像系统标定技术领域,特别涉及一种偏振成像系统的标定方法。
背景技术
当前高分辨偏振共焦显微镜、望远镜和用于制备超大规模集成电路的光刻系统,均采用偏振成像技术,偏振成像系统的偏振像差已经成为影响成像质量以及样品测量精度的重要因素。精确的标定偏振成像系统对精确控制偏振像差、提高成像质量以及样品测量精度具有重要意义。
Mueller矩阵偏振仪用于测量光学系统及光学元件偏振像差,主要由偏振态产生器PSG(Polarization State Generator)和偏振态分析器PSA(Polarization StateAnalyzer)组成。通过调制PSG与PSA完成对样品偏振像差的测量。为了提高偏振像差的测量精度,需要对Mueller矩阵偏振仪进行标定。Mueller矩阵偏振仪的标定方法主要有傅里叶分析法、极大似然法和本征值标定法。其中,傅里叶分析法只适用于双转波片,并且该方法只考虑了Mueller矩阵偏振仪中5个主要误差源:PSG中1/4波片相位延迟量误差及其快轴方位角误差,PSA中1/4波片相位延迟量误差及其快轴方位角误差与偏振片透光轴的方位角误差,并没有考虑1/4波片和偏振片的透过率误差等其他误差,使得标定结果不精确;极大似然法和本征值标定法都需要用到至少2个参考样品,并且需要对每种参考样品进行至少16次测量,其中,极大似然法为了能够采用极大似然法进行数据处理,将PSG和PSA的仪器矩阵分别进行了参数化处理,在处理过程中有一些不合理性;主流的标定法为本征值标定法,通过标定PSG的仪器矩阵和PSA的仪器矩阵完成Mueller矩阵偏振仪的标定。但在偏振成像系统中,除了PSG和PSA外还有成像物镜与准直镜,准直镜与成像物镜耦合,用于实现检测;成像物镜和准直镜会引入测量误差,也需要对其标定,因此偏振成像系统不仅要标定PSG和PSA还需要标定成像物镜和准直镜。传统的标定方案不进行耦合准直镜标定,在引入了耦合准直镜的偏振成像系统中,传统的标定方案并不适用,现有的标定方法都只是针对Mueller矩阵偏振仪的标定,并没有针对偏振成像系统的完整标定方法。
发明内容
有鉴于此,本发明提供了一种偏振成像系统的标定方法,能够完成对成像物镜和准直镜的标定,消除成像物镜和准直镜引入的误差,提高偏振成像系统的测量精度。
为实现上述目的,所述偏振成像系统包括激光器、PSG、成像物镜、准直镜、PSA及探测器,本发明的一种偏振成像系统的标定方法包括如下步骤:
将参考样品分别置于PSG与成像物镜之间、准直镜与PSA之间以及成像物镜与准直镜之间,并利用本征值法对参考样品左右两边的器件或器件组合进行标定,得到PSG的Mueller矩阵G、PSA的Mueller矩阵A、PSG和成像物镜组合的Mueller矩阵M3以及准直镜和PSA组合的Mueller矩阵M4;
根据下式得到成像物镜的Mueller矩阵ML1和准直镜的Mueller矩阵ML2:
ML1=M3·G-1 (17)
ML2=A-1·M4 (18)
完成对成像物镜和准直镜的标定。
有益效果:
本发明通过多步本征值法可以完成耦合准直镜的标定,提高成像物镜偏振像差的测量精度。该方法可以实现在线测量,不需要利用其他的测量装置对器件进行标定,也不需要改变已有的光路,从而引入其他误差,该标定方法能够完成对系统中各个器件的标定,该操作简单,测量精度高。
附图说明
图1为本发明偏振成像系统标定方法所用装置示意图。
具体实施方式
下面结合附图并举实施例,对本发明进行详细描述。
本发明的目的是对偏振成像系统进行标定,通过采用多步本征值标定法完成偏振成像系统的标定,通过完成对成像物镜和准直镜的标定,提高了偏振成像系统的测量精度。
图1为本发明偏振成像系统标定方法所用装置示意图。本发明的一种偏振成像系统的标定方法采用的标定装置包括激光器、偏振态产生器PSG、成像物镜L1、准直镜L2、偏振态分析器PSA及探测器CCD。其中,偏振态产生器PSG由偏振片P1和1/4波片R1组成;偏振态分析器PSA由1/4波片R2和偏振片P2组成。PSG中偏振片P1在前,1/4波片R1在后,PSA中1/4波片R2在前,偏振片P2在后。通过调节PSG和PSA完成对样品Mueller矩阵的测量。其中,PSG、PSA、成像物镜、准直镜的Mueller矩阵分别为G、A、ML1和ML2。
偏振成像系统的标定包括对PSG、PSA、成像物镜和准直镜的标定,其中,对PSG的标定步骤为步骤1,包括如下子步骤:
M1=A·ML2·ML1 (2)
上式中M1为PSA、准直镜和成像物镜组合在一起的Mueller矩阵,上标1表示对PSG进行标定时的测得的光强。
步骤102:在PSG和成像物镜之间依次加入不同的参考样品,如图1中的S,参考样品S选择已有文献给出的最优的参考样品,如[E.Compain,S.Poirier,and B.Drévillon,“General and self-consistent method for the calibration of polarizationmodulators,polarimeters,and Mueller-matrix ellipsometers,”Appl.Opt.38,3490-3502(1999).]给出的最优参考样品:透光轴为水平方向的偏振片、透光轴方向为垂直方向的偏振片和快轴方向为30°的1/4波片,编号为1,2,3,依次测量得到相应的光强矩阵
步骤104:求解方程(4),可以求得PSG的仪器矩阵G;
步骤105:对(1)式变形写为:
根据式(5),可以获得成像物镜,准直镜和PSA组合在一起的Mueller矩阵M1。
对PSA的标定步骤为步骤2,包括如下子步骤:
M2=ML2·ML1·G (7)
上式中M2为准直镜,成像物镜和PSG组合在一起的Mueller矩阵,上标2表示对PSA进行标定时的测得的光强。
步骤204:求解方程(9),可以求得成像物镜,准直镜和PSG组合在一起的Mueller矩阵M2;
步骤205:对(6)式变形写为:
根据式(10),可以获得PSA的Mueller矩阵A。
对PSG和成像物镜组合及准直镜和PSA组合的标定步骤为步骤3,包括如下子步骤:
M3=ML1·G (12)
M4=A·ML2 (13)
上式中M3为PSG和成像物镜组合的Mueller矩阵,M4为准直镜和PSA组合的Mueller矩阵,上标3表示对PSG和成像物镜组合以及准直镜和PSA组合进行标定时的测得的光强。
步骤304:求解方程(15),可以求得PSG和成像物镜组合在一起的Mueller矩阵M3。
步骤305:对(11)式变形写为:
根据式(16),可以获得准直镜和PSA组合在一起的Mueller矩阵M4。
以上步骤1-步骤3的顺序可以相互调换。
步骤4,根据式(12)和式(13),求出成像物镜的Mueller矩阵ML1和准直镜的Mueller矩阵ML2:
ML1=M3·G-1 (17)
ML2=A-1·M4 (18)
完成对成像物镜和准直镜的标定。
本发明通过采用多步本征值标定法完成偏振成像系统的标定,尤其是对成像物镜和准直镜的标定,这对精确控制该系统的偏振像差、提高系统成像质量具有重要意义。
本发明方法的应用范围较广,可以应用于显微镜和望远镜以及用于制备超大规模集成电路的光刻系统中,提高对于光刻系统中成像物镜偏振像差的测量精度。
综上所述,以上仅为本发明的较佳实施例而已,并非用于限定本发明的保护范围。凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (1)
1.一种偏振成像系统的标定方法,所述偏振成像系统包括激光器、PSG、成像物镜、准直镜、PSA及探测器,其特征在于,依次将参考样品在不同的时间置于PSG与成像物镜之间、准直镜与PSA之间以及成像物镜与准直镜之间,并利用本征值法对参考样品左右两边的器件或器件组合进行标定,得到PSG的Mueller矩阵G、PSA的Mueller矩阵A、PSG和成像物镜组合的Mueller矩阵M3以及准直镜和PSA组合的Mueller矩阵M4;
根据下式得到成像物镜的Mueller矩阵ML1和准直镜的Mueller矩阵ML2:
ML1=M3·G-1 (5)
ML2=A-1·M4 (6)
完成对成像物镜和准直镜的标定。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201810394621.0A CN108871579B (zh) | 2018-04-27 | 2018-04-27 | 一种偏振成像系统的标定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201810394621.0A CN108871579B (zh) | 2018-04-27 | 2018-04-27 | 一种偏振成像系统的标定方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN108871579A CN108871579A (zh) | 2018-11-23 |
CN108871579B true CN108871579B (zh) | 2020-11-13 |
Family
ID=64326778
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201810394621.0A Active CN108871579B (zh) | 2018-04-27 | 2018-04-27 | 一种偏振成像系统的标定方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN108871579B (zh) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109901281B (zh) * | 2019-03-12 | 2021-08-24 | 清华大学深圳研究生院 | 一种穆勒显微偏振像差校准方法及装置 |
CN109813429B (zh) * | 2019-03-27 | 2020-05-12 | 北京理工大学 | 一种偏振成像系统逐点标定方法 |
CN109839191A (zh) * | 2019-03-29 | 2019-06-04 | 清华-伯克利深圳学院筹备办公室 | 一种偏振成像方法及其装置、偏振成像系统 |
CN110132852B (zh) * | 2019-04-23 | 2022-02-25 | 上海大学 | 一种透射反射Mueller矩阵偏振显微成像系统 |
CN112285028B (zh) * | 2019-07-25 | 2022-04-05 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 偏振检测标定方法、偏振检测方法及偏振检测装置 |
CN110514598B (zh) * | 2019-08-20 | 2020-07-14 | 北京理工大学 | 一种频域调制的光谱偏振检测系统及检测方法 |
CN112747899B (zh) * | 2019-10-29 | 2022-03-15 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 一种偏振元件的测量方法及测量装置 |
CN110764372B (zh) * | 2019-11-11 | 2021-07-23 | 北京理工大学 | 浸没光刻机偏振像差检测系统的标定方法 |
CN111307722B (zh) * | 2019-11-29 | 2021-04-16 | 北京理工大学 | 一种多功能Stokes-Mueller矩阵成像偏振仪的标定方法 |
CN113029341A (zh) * | 2021-03-10 | 2021-06-25 | 西安应用光学研究所 | 一种高精度激光偏振特性测量校准装置 |
CN113295278B (zh) * | 2021-05-21 | 2022-07-05 | 北京理工大学 | 高精度Stokes-Mueller通道光谱偏振检测系统 |
CN113654997B (zh) * | 2021-08-31 | 2022-07-05 | 北京理工大学 | 高分辨-高精度Stokes-Mueller成像仪及其校准方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6175412B1 (en) * | 1996-10-25 | 2001-01-16 | Centre National De La Recherche Scientifique | Optical component for polarization modulation, a mueller polarimeter and ellipsometer containing such an optical component, a process for the calibration of this ellipsometer, and an ellipsometric measurement process |
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CN104180904A (zh) * | 2014-08-15 | 2014-12-03 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 一种基于旋转偏振片的分时红外偏振探测系统定标方法 |
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CN108871579A (zh) | 2018-11-23 |
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PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |