CN108862431A - 一种剥离液再生工艺段的回用剥离液精制系统 - Google Patents

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马晓明
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Abstract

本发明公开了一种剥离液再生工艺段的回用剥离液精制系统，包括产品精制塔，所述产品精制塔通过管道与薄膜蒸发器连接，所述产品精制塔的顶部通过管道与冷凝器连接，所述冷凝器的底部通过管道与回流罐连接，所述回流罐通过管道与剥离液回收罐连接，在回流罐与剥离液回收罐之间的管道上设置有回流泵、在线混合器，所述线混合器的入口端设置有浓度检测器，还包括组分补给系统，所述补给系统包括与在线混合器连接的A组分存储罐和B组分存储罐，所述A组分存储罐与在线混合器之间的管道上设置有A组分调节泵，所述B组分存储罐与在线混合器之间的管道上设置B组分调节泵。本发明实现了对回收剥离液的精制，且能够确保回收剥离液的组分含量。

Description

一种剥离液再生工艺段的回用剥离液精制系统
技术领域
本发明涉及剥离液回收技术领域，具体涉及一种剥离液再生工艺段的回用剥离液精制系统。
背景技术
近几年国内电子制造产业发展迅速，剥离液等电子化学品的使用量也大为增加。通常在液晶显示面板、半导体集成电路等工艺制造过程中，需要用剥离液将涂覆在微电路保护区域上作为掩膜的光刻胶除去。通常使用的剥离液主要包括有机胺和极性有机溶剂的混合物，并含有以少量水为代表的轻组分。
在剥离液应用过程中产生大量剥离液废液，该废液中除了含有少量高分子树脂和水之外，大部分是具有利用价值的有机组分。通常清洗光刻胶需要大量的溶剂，而且这些溶剂价格昂贵，从资源化的观点出发，循环再生这些溶剂不仅可以减少对环境的危害，还能减低企业的生产成本。
剥离液的回收工艺主要包去除水分段、光刻胶去除段和精制回收段，即剥离液废液依次经过水分去除、光刻胶去除和精制会收获得剥离液。
发明内容
本发明的目的在于提供一种剥离液再生工艺段的回用剥离液精制系统，实现对回收剥离液的精制，且能够确保回收剥离液的组分含量。
本发明通过下述技术方案实现：
一种剥离液再生工艺段的回用剥离液精制系统，包括产品精制塔，所述产品精制塔通过管道与薄膜蒸发器连接，所述产品精制塔的顶部通过管道与冷凝器连接，所述冷凝器的底部通过管道与回流罐连接，所述回流罐通过管道与剥离液回收罐连接，在回流罐与剥离液回收罐之间的管道上设置有回流泵、在线混合器，所述线混合器的入口端设置有浓度检测器，在线混合器通过管道与产品精制塔连接，还包括组分补给系统，所述补给系统包括与在线混合器连接的A组分存储罐和B组分存储罐，所述A组分存储罐与在线混合器之间的管道上设置有A组分调节泵，所述B组分存储罐与在线混合器之间的管道上设置B组分调节泵。
剥离液的组成为：乙醇胺70％，二甲基亚砜30％。
剥离液废液的组成为：水3％，乙醇胺67.2％，二甲基亚砜28.8％。
剥离液废液依次经过除水、除去光刻胶，然后在进入产品精制塔内进行产品精制最后获得回收剥离液。
本发明所述产品精制塔、薄膜蒸发器、在线混合器、浓度检测器均为现有技术，A组分和B组分分别为乙醇胺和二甲基亚砜。
本发明的工作过程：
由薄膜蒸发器蒸发的物料蒸汽通过管道进行产品精制塔，物料蒸汽向上穿过塔填料与回流的液态物料在填料中传热传至，达到纯化物料并捕集雾沫的作用。气态物料由塔顶进行冷凝器中冷凝为液态，通过回流泵将部分物料回流至产品精制塔内，另一部分被输送至剥离液回收罐回收。
由于蒸发出的物料浓度配比不一定符合成品的要求(成品的要求为剥离液的组成为：乙醇胺70％，二甲基亚砜30％)，因此，本发明通过设置在线混合器和述补给系统，所述补给系统能够向在线混合器补充A组分或B组分，具体操作为：在线混合器的入口端设置浓度检测器，如果浓度检测器检测到回收剥离液中的浓度有偏差，并且通过判断是正偏差还是负偏差的方式来确定是需要补充A组分还是B组分，如果需要补充A组分，则启动A组分调节泵，如果需要补充B组分，则启动B组分调节泵。
本发明通过设置产品精制塔实现物料的精制，通过在剥离液回收端设置在线混合器和述补给系统，通过线混合器对剥离液浓度的实时监测以及补给系统技术向在线混合器内补充A组分或B组分，确保回收的剥离液的浓度符合要求。
进一步地，冷凝器与真空系统连接。
进一步地，在线混合器的出口端设置有浓度检测器。
该浓度检测器与A组分、B组分添加管道上的调节阀进行PID连锁控制，来实现西东调配浓度(所述A组分存储罐与在线混合器之间的管道上设置有调节阀，所述B组分存储罐与在线混合器之间的管道上设置调节阀)。
进一步地，产品精制塔的底部通过管道与薄膜蒸发器连接，该管道上设置有塔底循环泵。
上述结构将物料送入薄膜蒸发器内继续蒸发。
进一步地，塔底循环泵采用屏蔽泵。
屏蔽泵的安全系数高。
进一步地，还包括再沸器，所述再沸器通过管道、塔底循环泵与产品精制塔形成回路。
产品精制塔的塔釜物料通过塔底循环泵在再沸器中循环受热，并部分汽化，再起进入产品精制塔，未被汽化的物料被送回薄膜蒸发器内继续蒸发。
进一步地，再沸器采用降膜式再沸器。
降膜式再沸器压降小，操作温度也较其它形式的再沸器低。
进一步地，产品精制塔的进料速率控制在1200-1500kg/h。
本发明与现有技术相比，具有如下的优点和有益效果：
本发明通过设置产品精制塔实现物料的精制，通过在剥离液回收端设置在线混合器和述补给系统，通过线混合器对剥离液浓度的实时监测以及补给系统技术向在线混合器内补充A组分或B组分，确保回收的剥离液的浓度符合要求。
附图说明
此处所说明的附图用来提供对本发明实施例的进一步理解，构成本申请的一部分，并不构成对本发明实施例的限定。在附图中：
图1为本发明的结构示意图。
1-产品精制塔，2-冷凝器，3-回流罐，4-回流泵，5-在线混合器，6-再沸器，7-塔底循环泵，8-真空系统，9-剥离液回收罐，10-A组分调节泵，11-B组分调节泵，12-A组分存储罐，13-B组分存储罐。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明白，下面结合实施例和附图，对本发明作进一步的详细说明，本发明的示意性实施方式及其说明仅用于解释本发明，并不作为对本发明的限定。
实施例1：
如图1所示，一种剥离液再生工艺段的回用剥离液精制系统，包括产品精制塔1，所述产品精制塔1通过管道与薄膜蒸发器连接，物料经薄膜蒸发器蒸发除去光刻胶后进入产品精制塔1，所述产品精制塔1的顶部通过管道与冷凝器2连接，所述冷凝器2与真空系统8连接，所述冷凝器2的底部通过管道与回流罐3连接，所述回流罐3通过管道与剥离液回收罐9连接，在回流罐3与剥离液回收罐9之间的管道上设置有回流泵4、在线混合器5，所述线混合器5的入口端和出口端均设置有浓度检测器，所述在线混合器5通过管道与产品精制塔1连接，还包括组分补给系统，所述补给系统包括与在线混合器5连接的A组分存储罐12和B组分存储罐13，所述A组分存储罐12与在线混合器5之间的管道上设置有A组分调节泵10，所述B组分存储罐13与在线混合器5之间的管道上设置B组分调节泵11；所述产品精制塔1的进料速率控制在1200-1500kg/h。
实施例2：
如图1所示，本实施例基于实施例1，所述产品精制塔1的底部通过管道与薄膜蒸发器连接，该管道上设置有塔底循环泵7；所述塔底循环泵7采用屏蔽泵；还包括再沸器6，所述再沸器6通过管道、塔底循环泵7与产品精制塔1形成回路；所述再沸器6采用降膜式再沸器。
以上所述的具体实施方式，对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本发明的具体实施方式而已，并不用于限定本发明的保护范围，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种剥离液再生工艺段的回用剥离液精制系统，其特征在于，包括产品精制塔(1)，所述产品精制塔(1)通过管道与薄膜蒸发器连接，所述产品精制塔(1)的顶部通过管道与冷凝器(2)连接，所述冷凝器(2)的底部通过管道与回流罐(3)连接，所述回流罐(3)通过管道与剥离液回收罐(9)连接，在回流罐(3)与剥离液回收罐(9)之间的管道上设置有回流泵(4)、在线混合器(5)，所述线混合器(5)的入口端设置有浓度检测器，所述在线混合器(5)通过管道与产品精制塔(1)连接，还包括组分补给系统，所述补给系统包括与在线混合器(5)连接的A组分存储罐(12)和B组分存储罐(13)，所述A组分存储罐(12)与在线混合器(5)之间的管道上设置有A组分调节泵(10)，所述B组分存储罐(13)与在线混合器(5)之间的管道上设置B组分调节泵(11)。
2.根据权利要求1所述的一种剥离液再生工艺段的回用剥离液精制系统，其特征在于，所述冷凝器(2)与真空系统(8)连接。
3.根据权利要求1所述的一种剥离液再生工艺段的回用剥离液精制系统，其特征在于，所述在线混合器(5)的出口端设置有浓度检测器。
4.根据权利要求1所述的一种剥离液再生工艺段的回用剥离液精制系统，其特征在于，所述产品精制塔(1)的底部通过管道与薄膜蒸发器连接，该管道上设置有塔底循环泵(7)。
5.根据权利要求4所述的一种剥离液再生工艺段的回用剥离液精制系统，其特征在于，所述塔底循环泵(7)采用屏蔽泵。
6.根据权利要求4所述的一种剥离液再生工艺段的回用剥离液精制系统，其特征在于，还包括再沸器(6)，所述再沸器(6)通过管道、塔底循环泵(7)与产品精制塔(1)形成回路。
7.根据权利要求6所述的一种剥离液再生工艺段的回用剥离液精制系统，其特征在于，所述再沸器(6)采用降膜式再沸器。
8.根据权利要求1所述的一种剥离液再生工艺段的回用剥离液精制系统，其特征在于，所述产品精制塔(1)的进料速率控制在1200-1500kg/h。
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