CN108838552A - 一种砧座曝光一体机 - Google Patents

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周宏建
何相平
段忠福
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SBT Engineering Systems Co Ltd
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Abstract

本发明公开了一种砧座曝光一体机，包括上机架和下机架，上机架固定安装在下机架上，下机架上端设有作业平台，上机架正面安装有对开门机构，上机架侧面安装有封板，且封板采用镜面不锈钢钣金，作业平台上安装有作业机构，作业机构包括砧座支撑座、弹簧柱塞、砧座套筒和伺服电机，本发明结构原理简单，操作方便，缩短了砧座蚀刻生产工艺中曝光工序这一步的时间，提高了工作效率，实现了半自动化生产，解决了砧座均匀有效曝光的问题。

Description

一种砧座曝光一体机
技术领域
本发明涉及曝光机技术领域，具体为一种砧座曝光一体机。
背景技术
光刻机又名:掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等。常用的光刻机是掩膜对准光刻，所以叫Mask Alignment System；一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。
目前，砧座曝光一体机主要作用对象为新能源行业滚焊焊接的砧座生产，但是砧座在蚀刻工艺中不能均匀有效曝光，导致产品质量差，因此，有待进一步改进。
发明内容
本发明的目的在于提供一种砧座曝光一体机，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种砧座曝光一体机，包括上机架和下机架，所述上机架固定安装在下机架上，所述下机架上端设有作业平台，所述上机架正面安装有对开门机构，所述上机架侧面安装有封板，所述作业平台上安装有作业机构，所述作业机构包括砧座支撑座、弹簧柱塞、砧座套筒和伺服电机，所述砧座支撑座两侧通过弹簧柱塞固定在支撑座定位块上，所述伺服电机固定在作业平台一侧，所述伺服电机电机轴穿过固定座的中心孔与砧座套筒连接，所述砧座套筒端部安装有砧座固定螺丝，所述砧座套筒与砧座支撑座正对设置，且所述砧座套筒与砧座支撑座之间夹持待加工砧座。
优选的，所述作业平台下方安装有控制箱，所述控制箱上设有启动按钮、正反转调节开关和工作指示灯，所述控制箱内还设有PLC控制器，所述PLC控制器连接伺服电机。
优选的，所述上机架和下机架均采用铝型材结构。
优选的，所述封板采用镜面不锈钢钣金。
优选的，其使用方法包括以下步骤：
A、将砧座)撑座从A位置移动至B位置，然后将砧座放置进砧座套筒内；
B、再将砧座支撑座从B位置移动至A位置，将弹簧柱塞的活塞拧入支撑座定位块内；
C、这样，砧座两端就被支撑至一个旋转平衡状态，然后锁紧砧座固定螺丝，使得砧座支撑座不会因旋转导致自然移动，上料完成；
D、将上机架正面的机架对开门关闭，在触摸屏上设置好曝光时间和砧座的旋转速度，然后按下启动钮设备开始运行，当曝光时间到时，伺服电机停止运转，曝光完成；
E、将上机架正面的对开门打开，将砧座固定螺丝拧开，再将弹簧柱塞的活塞从支撑座定位块内拔出；右手需要拿住砧座，将砧座支撑座从A位置移动至B位置，这样，曝光完成的砧座就可以取出。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
(1)本发明结构原理简单，操作方便，缩短了砧座蚀刻生产工艺中曝光工序这一步的时间，提高了工作效率，实现了半自动化生产，解决了砧座均匀有效曝光的问题。
(2)本发明中，封板采用镜面不锈钢钣金,这样可以保证零件曝光时受到最多的光源，同时，外界环境不受大功率光源的污染，保证了操作人员的身心健康。
附图说明
图1为本发明整体结构示意图；
图2为本发明另一结构示意图；
图3为本发明作业流程图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1-3，本发明提供一种技术方案：一种砧座曝光一体机，包括上机架11和下机架12，上机架11和下机架12均采用铝型材结构，能够保证结构的稳定性；所述上机架11固定安装在下机架12上，所述下机架12上端设有作业平台13，所述上机架11正面安装有对开门机构14，所述上机架11侧面安装有封板，封板采用镜面不锈钢钣金，这样可以保证零件曝光时受到最多的光源，同时，外界环境不受大功率光源的污染，保证了操作人员的身心健康；所述作业平台13上安装有作业机构，所述作业机构包括砧座支撑座1、弹簧柱塞2、砧座套筒4和伺服电机5，所述砧座支撑座1两侧通过弹簧柱塞2固定在支撑座定位块10上，所述伺服电机5固定在作业平台13一侧，所述伺服电机5电机轴穿过固定座15的中心孔与砧座套筒4连接，所述砧座套筒4端部安装有砧座固定螺丝9，所述砧座套筒4与砧座支撑座1正对设置，且所述砧座套筒4与砧座支撑座1之间夹持待加工砧座3。
本发明中，作业平台13下方安装有控制箱16，所述控制箱16上设有启动按钮6、正反转调节开关7和工作指示灯8，所述控制箱16内还设有PLC控制器，所述PLC控制器连接伺服电机5。
工作原理：本发明的使用方法包括以下步骤：
A、将砧座)撑座从A位置移动至B位置，然后将砧座放置进砧座套筒内；
B、再将砧座支撑座从B位置移动至A位置，将弹簧柱塞的活塞拧入支撑座定位块内；
C、这样，砧座两端就被支撑至一个旋转平衡状态，然后锁紧砧座固定螺丝，使得砧座支撑座不会因旋转导致自然移动，上料完成；
D、将上机架正面的机架对开门关闭，在触摸屏上设置好曝光时间和砧座的旋转速度，然后按下启动钮设备开始运行，当曝光时间到时，伺服电机停止运转，曝光完成；
E、将上机架正面的对开门打开，将砧座固定螺丝拧开，再将弹簧柱塞的活塞从支撑座定位块内拔出；右手需要拿住砧座，将砧座支撑座从A位置移动至B位置，这样，曝光完成的砧座就可以取出。
本发明是采用了伺服电机带动回转体砧座蚀刻进行匀速旋转向运动，由PLC控制，零件的旋转速度、启动和停止控制调节便利；砧座的定位和夹紧采用定制的套筒夹具，配合快速锁紧螺丝进行夹具。砧座曝光时间由PLC精确控制，曝光过程完成后，不需要操作人员动作，伺服电机自动停止，操作人员拆下完成曝光的砧座，即可进行下一个零件的曝光过程。
综上所述，本发明结构原理简单，操作方便，缩短了砧座蚀刻生产工艺中曝光工序这一步的时间，提高了工作效率，实现了半自动化生产，解决了砧座均匀有效曝光的问题。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (5)

1.一种砧座曝光一体机，包括上机架(11)和下机架(12)，其特征在于：所述上机架(11)固定安装在下机架(12)上，所述下机架(12)上端设有作业平台(13)，所述上机架(11)正面安装有对开门机构(14)，所述上机架(11)侧面安装有封板，所述作业平台(13)上安装有作业机构，所述作业机构包括砧座支撑座(1)、弹簧柱塞(2)、砧座套筒(4)和伺服电机(5)，所述砧座支撑座(1)两侧通过弹簧柱塞(2)固定在支撑座定位块(10)上，所述伺服电机(5)固定在作业平台(13)一侧，所述伺服电机(5)电机轴穿过固定座(15)的中心孔与砧座套筒(4)连接，所述砧座套筒(4)端部安装有砧座固定螺丝(9)，所述砧座套筒(4)与砧座支撑座(1)正对设置，且所述砧座套筒(4)与砧座支撑座(1)之间夹持待加工砧座(3)。
2.根据权利要求1所述的一种砧座曝光一体机，其特征在于：所述作业平台(13)下方安装有控制箱(16)，所述控制箱(16)上设有启动按钮(6)、正反转调节开关(7)和工作指示灯(8)，所述控制箱(16)内还设有PLC控制器，所述PLC控制器连接伺服电机(5)。
3.根据权利要求1所述的一种砧座曝光一体机，其特征在于：所述上机架(11)和下机架(12)均采用铝型材结构。
4.根据权利要求1所述的一种砧座曝光一体机，其特征在于:所述封板采用镜面不锈钢钣金。
5.实现权利要求1所述的一种砧座曝光一体机的使用方法，其特征在于:其使用方法包括以下步骤：
A、将砧座)撑座从A位置移动至B位置，然后将砧座放置进砧座套筒内；
B、再将砧座支撑座从B位置移动至A位置，将弹簧柱塞的活塞拧入支撑座定位块内；
C、这样，砧座两端就被支撑至一个旋转平衡状态，然后锁紧砧座固定螺丝，使得砧座支撑座不会因旋转导致自然移动，上料完成；
D、将上机架正面的机架对开门关闭，在触摸屏上设置好曝光时间和砧座的旋转速度，然后按下启动钮设备开始运行，当曝光时间到时，伺服电机停止运转，曝光完成；
E、将上机架正面的对开门打开，将砧座固定螺丝拧开，再将弹簧柱塞的活塞从支撑座定位块内拔出；右手需要拿住砧座，将砧座支撑座从A位置移动至B位置，这样，曝光完成的砧座就可以取出。
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