CN108789232A - 夹具及在靶材组件中安装螺纹丝套的方法 - Google Patents

Abstract

一种夹具及在靶材组件中安装螺纹丝套的方法，其中方法包括：提供靶材组件和若干螺纹丝套，靶材组件具有溅射面、以及与溅射面相对的组件底面，靶材组件中具有若干孔槽，所述组件底面暴露出孔槽；形成夹具，夹具包括第一夹板、压板夹和第二夹板，第二夹板中具有贯穿第二夹板的若干定位通孔，定位通孔用于分别和所述孔槽对准；将靶材组件置于第一夹板和第二夹板之间，溅射面与第一夹板接触，组件底面与第二夹板接触，且定位通孔在沿定位通孔延伸方向上的中心轴与孔槽的中心轴重合；之后，采用压板夹将第一夹板、靶材组件和第二夹板相互固定；之后，将螺纹丝套通过定位通孔分别安装在孔槽中。所述方法提高了安装螺纹丝套的工艺质量和工艺效率。

Description

夹具及在靶材组件中安装螺纹丝套的方法

技术领域

本发明涉及机械加工领域，尤其涉及一种夹具及在靶材组件中安装螺纹丝套的方法。

背景技术

靶材组件包括靶材、以及与靶材结合并具有一定结合强度的背板。背板在所述靶材组件装配至溅射基台中起到支撑作用，并具有传导热量的功效。为了实现将所述靶材组件安装在溅射基台的目的，通常在背板的底部安装有螺纹丝套，采用螺纹丝套将背板和溅射基台相互连接并相互固定。

在背板的底部安装螺纹丝套的质量对靶材组件安装在溅射基台的工艺稳定性有较大的影响。且在实际情况中，对在背板的底部安装螺纹丝套的效率有着一定的要求。

然而，现有技术中在背板的底部安装螺纹丝套的工艺质量和效率均较差。

发明内容

本发明解决的问题是提供一种夹具及在靶材组件中安装螺纹丝套的方法，以提高安装螺纹丝套的工艺质量和工艺效率。

为解决上述问题，本发明提供一种在靶材组件中安装螺纹丝套的方法，包括：提供靶材组件和若干螺纹丝套，所述靶材组件具有溅射面、以及与溅射面相对的组件底面，靶材组件中具有若干孔槽，所述组件底面暴露出孔槽；形成夹具，夹具包括第一夹板、压板夹和第二夹板，第二夹板中具有贯穿第二夹板的若干定位通孔，所述定位通孔用于分别和所述孔槽对准；将靶材组件置于第一夹板和第二夹板之间，溅射面与第一夹板接触，组件底面与第二夹板接触，且定位通孔在沿定位通孔延伸方向上的中心轴与孔槽的中心轴重合；将靶材组件置于第一夹板和第二夹板之间后，采用压板夹将第一夹板、靶材组件和第二夹板相互固定；将第一夹板、靶材组件和第二夹板相互固定后，将螺纹丝套通过定位通孔分别安装在孔槽中。

可选的，所述螺纹丝套在自由状态下具有最大丝套外径，所述定位通孔的孔径小于或等于最大丝套外径，所述孔槽的孔径小于所述最大丝套外径。

可选的，所述定位通孔的孔径大于所述孔槽的孔径。

可选的，所述螺纹丝套在自由状态下的长度小于或等于所述孔槽的深度。

可选的，形成所述第二夹板的方法包括：提供第二初始夹板；根据靶材组件中若干孔槽的位置，对第二初始夹板进行机械加工，使第二初始夹板形成第二夹板，第二夹板中具有贯穿第二夹板的所述若干定位通孔。

可选的，所述第一夹板包括核心夹板区和位于核心夹板区周围的边缘夹板区，所述压板夹固定在边缘夹板区；在自核心夹板区的中心至边缘的方向上核心夹板区的尺寸大于靶材组件的最大外径；将所述靶材组件置于第一夹板和第二夹板之间后，靶材组件与压板夹位于第一夹板的同一侧，所述溅射面与核心夹板区接触；所述压板夹包括操作柄、压杆和压头部；在自边缘夹板区至核心夹板区的方向上，所述压杆位于操作柄和核心夹板区之间，所述压杆具有相对的第一压杆端和第二压杆端、以及位于第一压杆端和第二压杆端之间的中间杆部，中间杆部与操作柄可转动连接；所述压头部固定在第一压杆端且位于第一压杆端和第一夹板之间；所述操作柄用于通过控制第一压杆端以中间杆部与操作柄的连接处为中心进行转动而调节第一压杆端至第一夹板的距离，以使压头部朝向核心夹板区和远离核心夹板区运动；采用压板夹将第一夹板、靶材组件和第二夹板相互固定的过程包括：操作所述操作柄使压头部朝向核心夹板区运动并施压于第二夹板。

可选的，所述第一夹板具有相对的第一面和第二面；所述压板夹与边缘夹板区的第二面固定；所述第二夹板具有相对的第三面和第四面；所述定位通孔自第三面至第四面贯穿所述第二夹板；将靶材组件置于第一夹板和第二夹板之间后，所述溅射面与核心夹板区的第二面接触，所述组件底面与第二夹板的第三面接触；操作所述操作柄使压头部朝向核心夹板区运动并施压于第二夹板的第四面。

可选的，将所述靶材组件置于第一夹板和第二夹板之间的步骤包括：将所述靶材组件置于核心夹板区的第二面上，溅射面与核心夹板区的第二面接触；将所述靶材组件置于核心夹板区的第二面上后，将第二夹板置于靶材组件上，组件底面与第二夹板的第三面接触，且使定位通孔在沿定位通孔延伸方向上的中心轴与孔槽的中心轴重合。

可选的，所述操作柄具有相对的第一操作端和第二操作端、以及位于第一操作端和第二操作端之间的中间操作部；所述中间杆部与第一操作端可转动连接；所述压板夹还包括固定部和连接杆，所述固定部与边缘夹板区的第二面相互固定；在自边缘夹板区至核心夹板区的方向上，所述压杆位于连接杆和核心夹板区之间；所述第二压杆端和所述固定部可转动连接；所述连接杆具有相对的第一连接端和第二连接端，第一连接端与固定部可转动连接，第二连接端与中间操作部可转动连接。

可选的，所述第一连接端与固定部通过第一销轴连接，所述连接杆适于围绕第一销轴转动；所述第二连接端与中间操作部通过第二销轴连接，所述操作柄和所述连接杆适于以第二销轴为中心相对转动；第二压杆端和所述固定部通过第三销轴连接，所述压杆适于围绕第三销轴转动；所述中间杆部与所述第一操作端通过第四销轴连接，所述压杆和所述操作柄适于以第四销轴为中心相对转动。

可选的，所述靶材组件包括背板和位于背板表面的靶材，所述靶材具有相对的溅射面和靶材背面，所述背板具有相对的组件底面和背板顶面；所述孔槽位于所述背板中；所述背板包括背板接触区和位于背板接触区周围的背板非接触区；所述靶材背面和背板接触区的背板顶面接触，且所述靶材暴露出背板非接触区的背板顶面；所述核心夹板区中还具有嵌入槽，第二面暴露出嵌入槽；将靶材组件置于第一夹板和第二夹板之间后，所述嵌入槽的内壁与溅射面、靶材的侧壁、背板非接触区的背板顶面以及部分背板的侧壁相接触。

可选的，所述嵌入槽包括嵌入核心槽和位于核心嵌入槽周围的嵌入边缘槽，所述嵌入核心槽的深度大于所述嵌入边缘槽的深度，所述嵌入边缘槽的底部表面和所述嵌入核心槽的侧壁连接；将靶材组件置于第一夹板和第二夹板之间后，所述嵌入核心槽的底部表面与溅射面相接触，所述嵌入核心槽的侧壁与靶材的侧壁相接触，所述嵌入边缘槽的底部表面与背板非接触区的背板顶面相接触，所述嵌入边缘槽的侧壁与部分背板的侧壁相接触。

可选的，所述第一夹板中还具有沿核心夹板区周向分布的底槽，所述底槽位于部分核心夹板区中，且所述底槽延伸至部分边缘夹板区中，所述第二面暴露出底槽，所述底槽的深度大于所述嵌入边缘槽的深度。

本发明还提供一种夹具，用于固定靶材组件，所述靶材组件具有溅射面、以及与溅射面相对的组件底面，靶材组件中具有若干孔槽，所述组件底面暴露出孔槽，包括：第一夹板；第二夹板，第二夹板中具有贯穿第二夹板的若干定位通孔，所述靶材组件适于置于第一夹板和第二夹板之间，溅射面适于与第一夹板接触，组件底面适于与第二夹板接触，所述定位通孔用于分别和所述孔槽对准；压板夹，所述压板夹用于将第一夹板、靶材组件和第二夹板相互固定。

可选的，所述第一夹板包括核心夹板区和位于核心夹板区周围的边缘夹板区，所述压板夹固定在边缘夹板区；在自核心夹板区的中心至边缘的方向上核心夹板区的尺寸适于大于靶材组件的最大外径；所述压板夹适于与靶材组件位于第一夹板的同一侧，所述溅射面适于与核心夹板区接触；所述压板夹包括操作柄、压杆和压头部；在自边缘夹板区至核心夹板区的方向上，所述压杆位于操作柄和核心夹板区之间，所述压杆具有相对的第一压杆端和第二压杆端、以及位于第一压杆端和第二压杆端之间的中间杆部，中间杆部与操作柄可转动连接；所述压头部固定在第一压杆端且位于第一压杆端和第一夹板之间；所述操作柄用于通过控制第一压杆端以中间杆部与操作柄的连接处为中心进行转动而调节第一压杆端至第一夹板的距离，以使压头部朝向核心夹板区和远离核心夹板区运动；所述压头部适于朝向核心夹板区运动并施压于第二夹板。

可选的，所述第一夹板具有相对的第一面和第二面；所述压板夹与边缘夹板区的第二面固定；所述第二夹板具有相对的第三面和第四面；所述定位通孔自第三面至第四面贯穿所述第二夹板；所述溅射面适于与核心夹板区的第二面接触；所述组件底面适于与第二夹板的第三面接触；所述压头部适于朝向核心夹板区运动并施压于第二夹板的第四面。

可选的，所述操作柄具有相对的第一操作端和第二操作端、以及位于第一操作端和第二操作端之间的中间操作部；所述中间杆部与第一操作端可转动连接；所述压板夹还包括固定部和连接杆，所述固定部与边缘夹板区的第二面相互固定；在自边缘夹板区至核心夹板区的方向上，所述压杆位于连接杆和核心夹板区之间；所述第二压杆端和所述固定部可转动连接；所述连接杆具有相对的第一连接端和第二连接端，第一连接端与固定部可转动连接，第二连接端与中间操作部可转动连接。

可选的，所述第一连接端与固定部通过第一销轴连接，所述连接杆适于围绕第一销轴转动；所述第二连接端与中间操作部通过第二销轴连接，所述操作柄和所述连接杆适于以第二销轴为中心相对转动；第二压杆端和所述固定部通过第三销轴连接，所述压杆适于围绕第三销轴转动；所述中间杆部与所述第一操作端通过第四销轴连接，所述压杆和所述操作柄适于以第四销轴为中心相对转动。

可选的，所述靶材组件包括背板和位于背板表面的靶材，所述靶材具有相对的溅射面和靶材背面，所述背板具有相对的组件底面和背板顶面；所述孔槽位于所述背板中；所述背板包括背板接触区和位于背板接触区周围的背板非接触区；所述靶材背面和背板接触区的背板顶面接触，且所述靶材暴露出背板非接触区的背板顶面；所述核心夹板区中还具有嵌入槽，第二面暴露出嵌入槽，所述嵌入槽包括嵌入核心槽和位于核心嵌入槽周围的嵌入边缘槽，所述嵌入核心槽的深度大于所述嵌入边缘槽的深度，所述嵌入边缘槽的底部表面和所述嵌入核心槽的侧壁连接；所述嵌入核心槽的底部表面适于与溅射面相接触，所述嵌入核心槽的侧壁适于与靶材的侧壁相接触，所述嵌入边缘槽的底部表面适于与背板非接触区的背板顶面相接触，所述嵌入边缘槽的侧壁适于与部分背板的侧壁相接触。

可选的，所述第一夹板中还具有沿核心夹板区周向分布的底槽，所述底槽位于部分核心夹板区中，且所述底槽延伸至部分边缘夹板区中，所述第二面暴露出底槽，所述底槽的深度大于所述嵌入边缘槽的深度。

与现有技术相比，本发明的技术方案具有以下优点：

本发明技术方案提供的在靶材组件中安装螺纹丝套的方法中，在将螺纹丝套通过定位通孔分别安装在孔槽中的过程中，采用夹具将靶材组件固定，夹具中的第二夹板中具有贯穿第二夹板的若干定位通孔，所述定位通孔用于分别和所述孔槽对准。将靶材组件置于第一夹板和第二夹板之间后，采用夹具中的压板夹将第一夹板、靶材组件和第二夹板相互固定，以避免在安装螺纹丝套的过程中靶材组件和第二夹板相对运动，进而避免螺纹丝套和孔槽发生歪斜的情况，因此提高了螺纹丝套的安装质量。由于第二夹板中具有贯穿第二夹板的若干定位通孔，在安装螺纹丝套的过程中，定位通孔分别和所述孔槽对准，能够在一个步骤中将所述若干定位通孔分别和孔槽进行对准。在安装螺纹丝套的过程中，安装完一个螺纹丝套后，无需进行定位通孔和孔槽的对准步骤就可以安装另一个螺纹丝套，或者，能够同步通过多个定位通孔在对应的多个孔槽中安装螺纹丝套。因此提高了螺纹丝套的安装效率。

附图说明

图1和图2是一种在靶材组件中安装螺纹丝套过程中的结构示意图；

图3本发明一实施例中在靶材组件中安装螺纹丝套的流程图；

图4至图12是本发明一实施例中在靶材组件中安装螺纹丝套过程中结构示意图。

具体实施方式

正如背景技术所述，现有技术中在靶材组件中安装螺纹丝套的工艺质量和效率均较差。

图1和图2是一种在靶材组件中安装螺纹丝套过程中的结构示意图。

参考图1，提供靶材组件1000和若干螺纹丝套(未图示)，所述靶材组件1000包括背板1100和靶材1200，所述背板1100具有相对的组件底面和背板顶面，靶材1200位于背板1130的背板顶面，背板1100中具有若干孔槽1130，所述组件底面暴露出孔槽1130的底部表面。

参考图2，提供对位装置1400，所述对位装置1400中具有贯穿对位装置1400的定位通孔1401；将对位装置1400置于背板1130表面，定位通孔1401在沿定位通孔1401延伸方向上的中心轴与孔槽1130的中心轴重合；将螺纹丝套通过定位通孔1401分别安装在孔槽1130中。

然而，上述方法的工艺质量和效率均较差，经研究发现，原因在于：

所述螺纹丝套通过定位通孔1401安装在孔槽1130中的作用包括：在安装螺纹丝套的过程中，螺纹丝套首先需要通过定位通孔1401，若在定位通孔1401中的位置发生歪斜，可以及时去除并重新进行安装。这样能够减少对孔槽1130的侧壁的损伤。

对位装置1400放置于背板1130表面后，采用人工固定，即一人采用手按压对位装置1400。然后另一个人操作安装螺纹丝套的过程。一方面，人工固定的力度不稳定，在另一个人在操作安装螺纹丝套时，容易发生对位装置1400和背板1130之间较大的位置偏移，因此导致安装螺纹丝套时螺纹丝套和孔槽1130的位置容易歪斜，安装螺纹丝套的质量较差。另一方面，对位装置1400中仅具有一个定位通孔1401，安装完一个螺纹丝套后，需要移动对位装置1400使定位通孔1401和另一个孔槽1130对准，然会在另一个孔槽1130安装螺纹丝套，而移动对位装置1400使定位通孔1401和另一个孔槽1130对的过程需要占用较多的时间，因此导致安装螺纹丝套的效率较低。

为了解决上述问题，本发明提供一种在靶材组件中安装螺纹丝套的方法，包括：采用压板夹将第一夹板、靶材组件和第二夹板相互固定，第二夹板中的若干定位通孔分别和靶材组件中的若干孔槽对准；将螺纹丝套通过定位通孔分别安装在孔槽中。所述方法提高了安装螺纹丝套的工艺质量和工艺效率。

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施例做详细的说明。

图3是本发明一实施例中在靶材组件中安装螺纹丝套的流程图，包括以下步骤：

S01：提供靶材组件和若干螺纹丝套，所述靶材组件具有溅射面、以及与溅射面相对的组件底面，靶材组件中具有若干孔槽，所述组件底面暴露出孔槽；

S02：形成夹具，夹具包括第一夹板、压板夹和第二夹板，第二夹板中具有贯穿第二夹板的若干定位通孔，所述定位通孔用于分别和所述孔槽对准；

S03：将靶材组件置于第一夹板和第二夹板之间，溅射面与第一夹板接触，组件底面与第二夹板接触，且定位通孔在沿定位通孔延伸方向上的中心轴与孔槽的中心轴重合；

S04：将靶材组件置于第一夹板和第二夹板之间后，采用压板夹将第一夹板、靶材组件和第二夹板相互固定；

S05：将第一夹板、靶材组件和第二夹板相互固定后，将螺纹丝套通过定位通孔分别安装在孔槽中。

下面结合图4至图12具体说明上述步骤。

结合参考图4、图5和图6，图5为将图4中靶材组件倒置后的结构示意图，图6为沿图4中切割线M-M1的剖面图，提供靶材组件100，所述靶材组件100具有溅射面122、以及与溅射面122相对的组件底面111，靶材组件100中具有若干孔槽113，所述组件底面111暴露出孔槽113。

所述靶材组件100包括背板110和位于背板110表面的靶材120。

所述靶材120用于进行溅射成膜。

所述靶材120可以为钛靶材、铜靶材、铝靶材或钽靶材。需要说明的是，所述靶材120还可以选择其它材料，不再一一举例。

所述靶材120的纯度大于4N5。具体的，所述靶材120的纯度为5N或6N，其中，5N表示纯度为99.999％，而6N表示纯度为99.9999％。

本实施例中，以所述靶材120的形状为圆柱体作为示例。在其它实施例中，靶材可以选择其它形状。

所述靶材120具有相对的溅射面122和靶材背面121。

所述背板110可以为铜背板或铝背板。所述背板110的材料也可以选择其它材料。所述背板110的尺寸根据靶材120的尺寸以及实际磁控溅射设备需要具体设计。

所述背板110具有相对的组件底面111和背板顶面112，所述靶材背面121和所述背板顶面112相接触。

所述背板110包括背板接触区A和位于背板接触区A周围的背板非接触区B；所述靶材背面121和背板接触区A的背板顶面112接触，且所述靶材120暴露出背板非接触区B的背板顶面112。

本实施例中，所述背板接触区A中具有凹槽(未标示)，部分靶材120位于所述凹槽中，所述靶材背面121与所述凹槽的底部表面接触，所述凹槽的侧壁与靶材120的部分侧壁相接触。在其它实施例中，背板接触区中没有凹槽，靶材中仅有靶材背面和背板接触区的背板顶面接触。

所述孔槽113位于所述背板110中。

本实施例中，所述孔槽113的深度小于背板接触区A的厚度。

参考图7，提供若干螺纹丝套200。

所述螺纹丝套200的数量和孔槽113的数量相同。图7中以螺纹丝套200的数量为四个作为示例。所述螺纹丝套200用于分别安装在所述孔槽113中。

本实施例中，所述螺纹丝套200在自由状态下具有最大丝套外径。

所述螺纹丝套200的自由状态指的是：螺纹丝套200在未安装在孔槽113时，螺纹丝套200在外径方向未压缩且未伸张的状态。

所述螺纹丝套200的最大丝套外径指的是螺纹丝套200外径的最大值。

所述孔槽113的孔径小于所述最大丝套外径。这样使得：螺纹丝套200安装在孔槽113中后，所述螺纹丝套200和孔槽113之间具有相互作用力，使螺纹丝套200固定在孔槽113中。

本实施例中，所述螺纹丝套200在自由状态下的长度小于或等于所述孔槽113的深度。

所述螺纹丝套200的长度指的是在平行于螺纹丝套200的螺距方向上的总尺寸。

所述螺纹丝套200在自由状态下的长度小于或等于孔槽113的深度，优点在于：后续通过定位通孔将螺纹丝套200安装在孔槽113中后，孔槽113中的螺纹丝套200不会延伸至定位通孔中，能够容易将靶材组件100和后续的第二夹板分离。

参考图8至图12，形成夹具，所述夹具包括第一夹板310、压板夹320和第二夹板330，第二夹板330中具有贯穿第二夹板330的若干定位通孔331，所述定位通孔331用于分别和所述孔槽113对准。

结合参考图8、图9和图10，图9为沿图8中切割线N-N1的剖面图，图10为沿图8中切割线P-P1的剖面图，第一夹板310包括核心夹板区C和位于核心夹板区C周围的边缘夹板区D，在自核心夹板区C的中心至边缘的方向上核心夹板区C的尺寸大于靶材组件100(参考图4、图5和图6)的最大外径。

所述第一夹板310的材料为金属，如铝。

当第一夹板310的材料为铝时，第一夹板310不容易生锈，且第一夹板310的性价比较高。

形成所述第一夹板310的方法包括：提供第一初始夹板(未图示)；根据靶材组件100的大小，对第一初始夹板进行机械加工，使第一初始夹板形成第一夹板310。

本实施例中，由于背板110的外径大于靶材120的外径，因此，在自核心夹板区C的中心至边缘的方向上核心夹板区C的尺寸大于或等于背板110的外径。

所述第一夹板310具有相对的第一面311和第二面312，所述溅射面122适于与核心夹板区C的第二面312接触。

所述核心夹板区C中还具有嵌入槽313，第二面312暴露出嵌入槽313，所述嵌入槽313的内壁适于与溅射面122、靶材120的侧壁、背板非接触区B的背板顶面112以及部分背板110的侧壁相接触。

所述嵌入槽313包括嵌入核心槽(未标示)和位于核心嵌入槽周围的嵌入边缘槽(未标示)，所述嵌入核心槽的深度大于所述嵌入边缘槽的深度，所述嵌入边缘槽的底部表面和所述嵌入核心槽的侧壁连接。

所述嵌入核心槽的底部表面适于与溅射面122相接触；所述嵌入核心槽的侧壁适于与靶材120的侧壁相接触；所述嵌入边缘槽的底部表面适于与背板非接触区B的背板顶面112相接触；所述嵌入边缘槽的侧壁适于与部分背板110的侧壁相接触。

所述第一夹板310中还具有沿核心夹板区C周向分布的底槽314，底槽314位于部分核心夹板区C中，且所述底槽314延伸至部分边缘夹板区D中，所述第二面312暴露出底槽314，所述底槽314的深度大于所述嵌入边缘槽的深度。

本实施例中，所述底槽314的数量为两个。在其它实施例中，可以根据需要设置底槽的数量。

所述底槽314沿核心夹板区C周向均匀分布。

后续将压板夹320松开，然后需要将靶材组件100从所述嵌入槽313中取出，在此过程中，所述底槽314能够方便人工将靶材组件100从所述嵌入槽313中取出，具体的，人工将手插入靶材组件100底部的底槽314中，然后将靶材组件100取出。

所述压板夹320固定在边缘夹板区D，具体的，所述压板夹320与边缘夹板区D的第二面312固定。

所述压板夹320的数量为一个或多个。本实施例中，压板夹320的数量为多个，图8中以压板夹320的数量为3个作为示例。

当所述压板夹320的数量为多个时，所述压板夹320能够在后续中更好的固定第一夹板310、靶材组件100和第二夹板330。

当所述压板夹320的数量为多个时，所述压板夹320沿边缘夹板区D的周向均匀分布。

所述靶材组件100适于置于第一夹板310和后续的第二夹板之间后与压板夹320位于第一夹板310的同一侧，所述溅射面122适于与核心夹板区C接触，具体的，所述溅射面122适于与核心夹板区C的第二面接触。

结合参考图8和图11，图11为图8中虚线所围区域Y的立体放大图，所述压板夹320包括固定部3201、连接杆3202、操作柄3203、压杆3204和压头部3205。

所述固定部3201与边缘夹板区D的第二面312相互固定。

所述连接杆3202具有相对的第一连接端和第二连接端。

所述操作柄3203具有相对的第一操作端和第二操作端、以及位于第一操作端和第二操作端之间的中间操作部。

本实施例中，操作柄3203包括第一子操作柄和第二子操作柄，第一子操作柄和第二子操作柄一体成型，第一子操作柄的一端和第二子操作柄的一端连接，第一子操作柄和第二子操作柄之间具有操作柄角γ，所述操作柄角γ为锐角、直角或钝角。

所述操作柄角γ背向第一夹板310。

所述第一操作端位于第一子操作柄的一端，所述第二操作端位于第二子操作柄的一端。中间操作部位于第一子操作柄和第二子操作柄的连接处。

所述压杆3204具有相对的第一压杆端和第二压杆端、以及位于第一压杆端和第二压杆端之间的中间杆部。

本实施例中，所述压杆3204包括第一子压杆和第二子压杆，第一子压杆和第二子压杆一体成型，第一子压杆的一端和第二子压杆的一端连接，第一子压杆和第二子压杆之间具有压杆角，压杆角为锐角、直角或钝角。

当后续压头部3205和第四面接触后，压杆角朝向第二夹板330。

所述第一压杆端位于第一子压杆的一端，所述第二压杆端位于第二子压杆的一端。所述中间杆部位于第一子压杆和第二子压杆的连接处。

所述第一连接端与固定部3201可转动连接，所述第二压杆端和所述固定部3201可转动连接，第二连接端与中间操作部可转动连接。

所述中间杆部与操作柄3203可转动连接，具体的，所述中间杆部与第一操作端可转动连接。

所述第一连接端与固定部3201通过第一销轴连接，所述连接杆3202适于围绕第一销轴转动。

所述第二连接端与中间操作部通过第二销轴连接，所述操作柄3203和所述连接杆3202适于以第二销轴为中心相对转动。

所述第二压杆端和所述固定部3201通过第三销轴连接，所述压杆3204适于围绕第三销轴转动。

所述中间杆部与所述第一操作端通过第四销轴连接，所述压杆3204和所述操作柄3203适于以第四销轴为中心相对转动。

在自边缘夹板区D至核心夹板区C的方向上，所述压杆3204位于连接杆3202和核心夹板区C之间。

在自边缘夹板区D至核心夹板区C的方向上，所述压杆3204位于操作柄3203和核心夹板区C之间。

所述压头部3205固定在第一压杆端且位于第一压杆端和第一夹板310之间。

所述操作柄3203用于通过控制第一压杆端以中间杆部与操作柄3203的连接处为中心进行转动而调节第一压杆端至第一夹板310的距离，以使压头部3205朝向核心夹板区C和远离核心夹板区C运动。

参考图12，第二夹板330中具有贯穿第二夹板330的若干定位通孔331，所述定位通孔331用于分别和所述孔槽113(参考图5)对准。

所述第二夹板330的材料为金属，如铝。

当第二夹板330的材料为铝时，第二夹板330不容易生锈，且第二夹板330的性价比较高。

所述第二夹板330具有相对的第三面和第四面，所述组件底面适于与第二夹板330的第三面接触。

所述定位通孔331自第三面至第四面贯穿所述第二夹板330。

所述定位通孔331的孔径小于或等于最大丝套外径。

本实施例中，所述定位通孔331的孔径小于或等于最大丝套外径，且所述定位通孔331的孔径大于所述孔槽113的孔径。这样的好处包括：在安装螺纹丝套200的过程中，螺纹丝套200通过定位通孔331中时，螺纹丝套200与定位通孔331之间的相互作用力较小；若在安装螺纹丝套200的初始阶段，螺纹丝套200在定位通孔331中的位置发生歪斜，可以采用较小的力把螺纹丝套200取出，取出螺纹丝套200后，再重新通过定位通孔331安装螺纹丝套200。

在其它实施例中，定位通孔的孔径略小于孔槽的孔径，或者，定位通孔的孔径与孔槽的孔径相同。

形成所述第二夹板330的方法包括：提供第二初始夹板；根据靶材组件100中若干孔槽113的位置，对第二初始夹板进行机械加工，使第二初始夹板形成第二夹板330，第二夹板330中具有贯穿第二夹板330的且用于分别和所述孔槽113对准的若干定位通孔331。

所述第二夹板330中还具有若干压槽332，所述压槽332位于第二夹板330的边缘且沿第二夹板330的周向分布。

所述第四面暴露出压槽332，且所述压槽332的底部表面和第二夹板330的侧壁相交。

所述压槽332的底部表面适于承受压头部3205的作用力。

本实施例中，所述压槽332的数量和所述压板夹320的数量相同。

所述压槽332使第一压杆端和压头部3205的活动空间增大。

接着，将靶材组件100置于第一夹板310和第二夹板330之间，溅射面122与第一夹板310接触，组件底面111与第二夹板330接触，且定位通孔331在沿定位通孔延伸方向上的中心轴与孔槽113的中心轴重合。

将所述靶材组件100置于第一夹板310和第二夹板330之间后，靶材组件100与压板夹320位于第一夹板310的同一侧。

将所述靶材组件100置于第一夹板310和第二夹板330之间的步骤包括：将所述靶材组件100置于核心夹板区C的第二面312上，溅射面122与核心夹板区C的第二面312接触，且溅射面122、靶材120的侧壁、背板非接触区B的背板顶面112以及部分背板110的侧壁与嵌入槽313的内壁相接触；将所述靶材组件100置于核心夹板区C的第二面312上后，将第二夹板330置于靶材组件100上，组件底面111与第二夹板330的第三面接触，且使定位通孔331在沿定位通孔331延伸方向上的中心轴与孔槽113的中心轴重合。

将靶材组件100置于第一夹板310和第二夹板330之间后，溅射面122、靶材120的侧壁、背板非接触区B的背板顶面112以及部分背板110的侧壁与嵌入槽313的内壁相接触，具体的，所述嵌入核心槽的底部表面与溅射面122相接触，所述嵌入核心槽的侧壁与靶材120的侧壁相接触，所述嵌入边缘槽的底部表面与背板非接触区B的背板顶面相接触，所述嵌入边缘槽的侧壁与部分背板110的侧壁相接触。

将靶材组件100置于第一夹板310和第二夹板330之间后，采用压板夹320将第一夹板310、靶材组件100和第二夹板330相互固定。

采用压板夹320将第一夹板310靶材组件100和第二夹板330相互固定的过程包括：操作所述操作柄3203使压头部3205朝向核心夹板区C运动并施压于第二夹板330，具体的，操作所述操作柄3203使压头部3205朝向核心夹板区C运动并施压于第二夹板330的第四面。

本实施例中，操作所述操作柄3203使压头部3205朝向核心夹板区C运动并施压于压槽332的底部表面。

将第一夹板310、靶材组件100和第二夹板330相互固定后，将螺纹丝套200通过定位通孔331分别安装在孔槽113中。

本实施例中，还包括：将螺纹丝套200通过定位通孔331分别安装在孔槽113中后，松开压板夹320；松开压板夹320后，将靶材组件100从第一夹板310和第二夹板330中取出。

相应的，本实施例还提供一种夹具，用于固定靶材组件100，所述夹具的结构参考上述内容，不再详述。

虽然本发明披露如上，但本发明并非限定于此。任何本领域技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本发明的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。

Claims (20)

1.一种在靶材组件中安装螺纹丝套的方法，其特征在于，包括：

提供靶材组件和若干螺纹丝套，所述靶材组件具有溅射面、以及与溅射面相对的组件底面，靶材组件中具有若干孔槽，所述组件底面暴露出孔槽；

形成夹具，夹具包括第一夹板、压板夹和第二夹板，第二夹板中具有贯穿第二夹板的若干定位通孔，所述定位通孔用于分别和所述孔槽对准；

将靶材组件置于第一夹板和第二夹板之间，溅射面与第一夹板接触，组件底面与第二夹板接触，且定位通孔在沿定位通孔延伸方向上的中心轴与孔槽的中心轴重合；

将靶材组件置于第一夹板和第二夹板之间后，采用压板夹将第一夹板、靶材组件和第二夹板相互固定；

将第一夹板、靶材组件和第二夹板相互固定后，将螺纹丝套通过定位通孔分别安装在孔槽中。

2.根据权利要求1所述的在靶材组件中安装螺纹丝套的方法，其特征在于，所述螺纹丝套在自由状态下具有最大丝套外径，所述定位通孔的孔径小于或等于最大丝套外径，所述孔槽的孔径小于所述最大丝套外径。

3.根据权利要求2所述的在靶材组件中安装螺纹丝套的方法，其特征在于，所述定位通孔的孔径大于所述孔槽的孔径。

4.根据权利要求1所述的在靶材组件中安装螺纹丝套的方法，其特征在于，所述螺纹丝套在自由状态下的长度小于或等于所述孔槽的深度。

5.根据权利要求1所述的在靶材组件中安装螺纹丝套的方法，其特征在于，形成所述第二夹板的方法包括：提供第二初始夹板；根据靶材组件中若干孔槽的位置，对第二初始夹板进行机械加工，使第二初始夹板形成第二夹板，第二夹板中具有贯穿第二夹板的所述若干定位通孔。

6.根据权利要求1所述的在靶材组件中安装螺纹丝套的方法，其特征在于，所述第一夹板包括核心夹板区和位于核心夹板区周围的边缘夹板区，所述压板夹固定在边缘夹板区；在自核心夹板区的中心至边缘的方向上核心夹板区的尺寸大于靶材组件的最大外径；将所述靶材组件置于第一夹板和第二夹板之间后，靶材组件与压板夹位于第一夹板的同一侧，所述溅射面与核心夹板区接触；

所述压板夹包括操作柄、压杆和压头部；在自边缘夹板区至核心夹板区的方向上，所述压杆位于操作柄和核心夹板区之间，所述压杆具有相对的第一压杆端和第二压杆端、以及位于第一压杆端和第二压杆端之间的中间杆部，中间杆部与操作柄可转动连接；所述压头部固定在第一压杆端且位于第一压杆端和第一夹板之间；所述操作柄用于通过控制第一压杆端以中间杆部与操作柄的连接处为中心进行转动而调节第一压杆端至第一夹板的距离，以使压头部朝向核心夹板区和远离核心夹板区运动；

采用压板夹将第一夹板、靶材组件和第二夹板相互固定的过程包括：操作所述操作柄使压头部朝向核心夹板区运动并施压于第二夹板。

7.根据权利要求6所述的在靶材组件中安装螺纹丝套的方法，其特征在于，所述第一夹板具有相对的第一面和第二面；所述压板夹与边缘夹板区的第二面固定；所述第二夹板具有相对的第三面和第四面；所述定位通孔自第三面至第四面贯穿所述第二夹板；将靶材组件置于第一夹板和第二夹板之间后，所述溅射面与核心夹板区的第二面接触，所述组件底面与第二夹板的第三面接触；操作所述操作柄使压头部朝向核心夹板区运动并施压于第二夹板的第四面。

8.根据权利要求7所述的在靶材组件中安装螺纹丝套的方法，其特征在于，将所述靶材组件置于第一夹板和第二夹板之间的步骤包括：将所述靶材组件置于核心夹板区的第二面上，溅射面与核心夹板区的第二面接触；将所述靶材组件置于核心夹板区的第二面上后，将第二夹板置于靶材组件上，组件底面与第二夹板的第三面接触，且使定位通孔在沿定位通孔延伸方向上的中心轴与孔槽的中心轴重合。

9.根据权利要求7所述的在靶材组件中安装螺纹丝套的方法，其特征在于，所述操作柄具有相对的第一操作端和第二操作端、以及位于第一操作端和第二操作端之间的中间操作部；所述中间杆部与第一操作端可转动连接；所述压板夹还包括固定部和连接杆，所述固定部与边缘夹板区的第二面相互固定；在自边缘夹板区至核心夹板区的方向上，所述压杆位于连接杆和核心夹板区之间；所述第二压杆端和所述固定部可转动连接；所述连接杆具有相对的第一连接端和第二连接端，第一连接端与固定部可转动连接，第二连接端与中间操作部可转动连接。

10.根据权利要求9所述的在靶材组件中安装螺纹丝套的方法，其特征在于，所述第一连接端与固定部通过第一销轴连接，所述连接杆适于围绕第一销轴转动；所述第二连接端与中间操作部通过第二销轴连接，所述操作柄和所述连接杆适于以第二销轴为中心相对转动；第二压杆端和所述固定部通过第三销轴连接，所述压杆适于围绕第三销轴转动；所述中间杆部与所述第一操作端通过第四销轴连接，所述压杆和所述操作柄适于以第四销轴为中心相对转动。

11.根据权利要求7所述的在靶材组件中安装螺纹丝套的方法，其特征在于，所述靶材组件包括背板和位于背板表面的靶材，所述靶材具有相对的溅射面和靶材背面，所述背板具有相对的组件底面和背板顶面；所述孔槽位于所述背板中；所述背板包括背板接触区和位于背板接触区周围的背板非接触区；所述靶材背面和背板接触区的背板顶面接触，且所述靶材暴露出背板非接触区的背板顶面；所述核心夹板区中还具有嵌入槽，第二面暴露出嵌入槽；将靶材组件置于第一夹板和第二夹板之间后，所述嵌入槽的内壁与溅射面、靶材的侧壁、背板非接触区的背板顶面以及部分背板的侧壁相接触。

12.根据权利要求11所述的在靶材组件中安装螺纹丝套的方法，其特征在于，所述嵌入槽包括嵌入核心槽和位于核心嵌入槽周围的嵌入边缘槽，所述嵌入核心槽的深度大于所述嵌入边缘槽的深度，所述嵌入边缘槽的底部表面和所述嵌入核心槽的侧壁连接；将靶材组件置于第一夹板和第二夹板之间后，所述嵌入核心槽的底部表面与溅射面相接触，所述嵌入核心槽的侧壁与靶材的侧壁相接触，所述嵌入边缘槽的底部表面与背板非接触区的背板顶面相接触，所述嵌入边缘槽的侧壁与部分背板的侧壁相接触。

13.根据权利要求12所述的在靶材组件中安装螺纹丝套的方法，其特征在于，所述第一夹板中还具有沿核心夹板区周向分布的底槽，所述底槽位于部分核心夹板区中，且所述底槽延伸至部分边缘夹板区中，所述第二面暴露出底槽，所述底槽的深度大于所述嵌入边缘槽的深度。

14.一种夹具，用于固定靶材组件，所述靶材组件具有溅射面、以及与溅射面相对的组件底面，靶材组件中具有若干孔槽，所述组件底面暴露出孔槽，其特征在于，包括：

第一夹板；

第二夹板，第二夹板中具有贯穿第二夹板的若干定位通孔，所述靶材组件适于置于第一夹板和第二夹板之间，溅射面适于与第一夹板接触，组件底面适于与第二夹板接触，所述定位通孔用于分别和所述孔槽对准；

压板夹，所述压板夹用于将第一夹板、靶材组件和第二夹板相互固定。

15.根据权利要求14所述的夹具，其特征在于，所述第一夹板包括核心夹板区和位于核心夹板区周围的边缘夹板区，所述压板夹固定在边缘夹板区；在自核心夹板区的中心至边缘的方向上核心夹板区的尺寸适于大于靶材组件的最大外径；所述压板夹适于与靶材组件位于第一夹板的同一侧，所述溅射面适于与核心夹板区接触；

所述压板夹包括操作柄、压杆和压头部；在自边缘夹板区至核心夹板区的方向上，所述压杆位于操作柄和核心夹板区之间，所述压杆具有相对的第一压杆端和第二压杆端、以及位于第一压杆端和第二压杆端之间的中间杆部，中间杆部与操作柄可转动连接；所述压头部固定在第一压杆端且位于第一压杆端和第一夹板之间；所述操作柄用于通过控制第一压杆端以中间杆部与操作柄的连接处为中心进行转动而调节第一压杆端至第一夹板的距离，以使压头部朝向核心夹板区和远离核心夹板区运动；所述压头部适于朝向核心夹板区运动并施压于第二夹板。

16.根据权利要求15所述的夹具，其特征在于，所述第一夹板具有相对的第一面和第二面；所述压板夹与边缘夹板区的第二面固定；所述第二夹板具有相对的第三面和第四面；所述定位通孔自第三面至第四面贯穿所述第二夹板；所述溅射面适于与核心夹板区的第二面接触；所述组件底面适于与第二夹板的第三面接触；所述压头部适于朝向核心夹板区运动并施压于第二夹板的第四面。

17.根据权利要求16所述的夹具，其特征在于，所述操作柄具有相对的第一操作端和第二操作端、以及位于第一操作端和第二操作端之间的中间操作部；所述中间杆部与第一操作端可转动连接；所述压板夹还包括固定部和连接杆，所述固定部与边缘夹板区的第二面相互固定；在自边缘夹板区至核心夹板区的方向上，所述压杆位于连接杆和核心夹板区之间；所述第二压杆端和所述固定部可转动连接；所述连接杆具有相对的第一连接端和第二连接端，第一连接端与固定部可转动连接，第二连接端与中间操作部可转动连接。

18.根据权利要求17所述的夹具，其特征在于，所述第一连接端与固定部通过第一销轴连接，所述连接杆适于围绕第一销轴转动；所述第二连接端与中间操作部通过第二销轴连接，所述操作柄和所述连接杆适于以第二销轴为中心相对转动；第二压杆端和所述固定部通过第三销轴连接，所述压杆适于围绕第三销轴转动；所述中间杆部与所述第一操作端通过第四销轴连接，所述压杆和所述操作柄适于以第四销轴为中心相对转动。

19.根据权利要求16所述的夹具，其特征在于，所述靶材组件包括背板和位于背板表面的靶材，所述靶材具有相对的溅射面和靶材背面，所述背板具有相对的组件底面和背板顶面；所述孔槽位于所述背板中；所述背板包括背板接触区和位于背板接触区周围的背板非接触区；所述靶材背面和背板接触区的背板顶面接触，且所述靶材暴露出背板非接触区的背板顶面；

所述核心夹板区中还具有嵌入槽，第二面暴露出嵌入槽，所述嵌入槽包括嵌入核心槽和位于核心嵌入槽周围的嵌入边缘槽，所述嵌入核心槽的深度大于所述嵌入边缘槽的深度，所述嵌入边缘槽的底部表面和所述嵌入核心槽的侧壁连接；所述嵌入核心槽的底部表面适于与溅射面相接触，所述嵌入核心槽的侧壁适于与靶材的侧壁相接触，所述嵌入边缘槽的底部表面适于与背板非接触区的背板顶面相接触，所述嵌入边缘槽的侧壁适于与部分背板的侧壁相接触。

20.根据权利要求19所述的夹具，其特征在于，所述第一夹板中还具有沿核心夹板区周向分布的底槽，所述底槽位于部分核心夹板区中，且所述底槽延伸至部分边缘夹板区中，所述第二面暴露出底槽，所述底槽的深度大于所述嵌入边缘槽的深度。