CN108728814B - 阴影框 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种阴影框，用于在对基板表面沉积薄膜时，遮挡基板边缘不需要沉积材料的区域；阴影框包括：主框体，包括多个依次首尾对接的框条；遮蔽框，包括多个依次首尾对接的条形陶瓷片，条形陶瓷片设置于相应的框条表面；L型薄片，设置于条形陶瓷片表面，用于覆盖相邻框条连接处产生的缝隙；其中，L型薄片通过螺丝固定于条形陶瓷片表面，且螺丝配合设置有紧固件，以加固对L型薄片的固定；有益效果为：本发明提供的阴影框，对用于固定L型薄片的螺丝进行了加固处理，加强了对L型薄片的固定，解决了L型薄片因固定不牢而偏移导致的沉积材料的遮挡效果不理想，影响基板沉积膜层的品质的技术问题。

Description

阴影框

技术领域

本发明涉及显示器件制造领域，尤其涉及一种化学气相沉积制程中，用于遮挡基板边缘不需要沉积材料的区域的阴影框。

背景技术

在平板显示器、晶体管制备方面，通过在基板上沉积多层导电金属层、半导体和介电材料并形成金属互连和其它特性。基板处理技术包括等离子体增强化学气相沉积(Pecvd，Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)、物理气相沉积(Pvd，PhysicalVapor Deposition)、刻蚀等。等离子处理特别适合于平板显示器的生产，因为沉积良好质量薄膜所需的加工温度相对较低。

一般来说，等离子体处理技术涉及将基板放在一个支撑构件(通常称为一种加热器)上，并将其放置在真空室中，撞击靠近基板上表面外露表面的等离子体。等离子体是通过将一个或多个过程气体引入室中形成的，并且激发带有电场的气体，从而使气体分解成带电的中性粒子。等离子体可以产生感应，例如使用感应射频线圈和/或电容，例如使用平行板电极或微波能量。

在对基板进行沉积过程中，必须保护基板的边缘和背面不受沉积。通常，使用掩蔽装置或阴影框架放置在基板的外围，以防止处理气体或等离子体到达基板的边缘和背面，并在处理过程中与支撑构件保持一定间隙。阴影框可以定位在支撑构件上方的处理室中，当支撑构件移至沉积位置时，使阴影框与基板边缘部分进行接触。因此，阴影框覆盖了基板表面的几毫米的边缘，从而防止了基板上边缘和背面沉积。

然而，阴影框通常包括主框、位于主框上的阴影框薄片以及用于遮盖相邻阴影框薄片连接处缝隙的L型薄片，L型薄片通过陶瓷螺丝固定于主框上，在生产过程中，阴影框会随着支撑构件一起上下作动，基板放进腔室后，阴影框薄片内端会盖在基板上引起L型薄片轻微作动，进而引起陶瓷螺丝与L型薄片上的螺纹磨损，造成螺丝松动或断裂，导致L型薄片偏移，最终导致沉积材料的遮挡效果不理想。

综上所述，现有技术的阴影框，L型薄片固定效果不理想，L型薄片的牢固性会受制程动作影响，进而导致L型薄片偏移，最终导致沉积材料的遮挡效果不理想，影响基板沉积膜层的品质。

发明内容

本发明提供一种阴影框，对用于固定L型薄片的螺丝进行加固处理，加强了对L型薄片的固定，以解决L型薄片偏移导致的沉积材料的遮挡效果不理想，影响基板沉积膜层的品质的技术问题。

为解决上述问题，本发明提供的技术方案如下：

本发明提供一种阴影框，用于在对基板表面沉积薄膜时，遮挡所述基板边缘不需要沉积材料的区域；所述阴影框包括：

主框体，包括多个依次首尾对接的框条；

遮蔽框，包括多个依次首尾对接的条形陶瓷片，所述条形陶瓷片设置于相应的所述框条表面；

L型薄片，设置于所述条形陶瓷片表面，用于覆盖相邻所述条形陶瓷片连接处产生的缝隙；

其中，所述L型薄片通过螺丝固定于所述条形陶瓷片表面，且所述螺丝配合设置有紧固件，以加固对所述L型薄片的固定。

根据本发明一优选实施例，所述L型薄片表面设置有第一开孔，所述条形陶瓷片表面设置有第二开孔，所述框条表面设置有第三开孔，所述螺丝依次贯穿所述第一开孔、所述第二开孔以及所述第三开孔，且与所述第二开孔螺接，其中，所述第三开孔内设置有螺母，所述螺母与所述螺丝底端螺纹配合以紧固所述L型薄片。

根据本发明一优选实施例，所述螺母包括第一子螺母与第二子螺母，所述第一子螺母与所述第二子螺母紧密配合。

根据本发明一优选实施例，所述螺母与所述螺丝的螺丝帽之间设置有垫圈，所述垫圈设置于所述螺母朝向所述螺丝帽的一侧和/或设置于所述螺丝帽朝向所述螺母的一侧。

根据本发明一优选实施例，所述垫圈为橡胶垫圈。

根据本发明一优选实施例，所述垫圈为陶瓷垫圈；其中，所述陶瓷垫圈包括环形陶瓷片，所述环形陶瓷片的至少一侧分布设置有尖刺。

根据本发明一优选实施例，所述尖刺设置于所述环形陶瓷片朝向所述螺丝帽的一侧。

根据本发明一优选实施例，所述螺丝包括销杆、与所述销杆套接的套筒，以及套设于所述套筒端部的帽体，所述套筒包括柱状的上半段和倒圆锥状的下半段，所述套筒的下半段外侧设置有螺纹，并且，所述套筒的下半段表面开设有条形镂空部，所述条形镂空部延伸至所述套筒的底端。

根据本发明一优选实施例，所述帽体连接所述销杆的一侧分布设置有尖刺。

根据本发明一优选实施例，所述L型薄片表面设置有开孔，所述条形陶瓷片表面设置有第一螺孔，所述框条表面设置有第二螺孔，所述套筒依次贯穿所述开孔、所述第一螺孔以及所述第二螺孔，且与所述第一螺孔和所述第二螺孔螺接。

根据本发明一优选实施例，所述第一螺孔和所述第二螺孔组合形成用以配合所述套筒的倒圆锥型孔。

本发明的有益效果为：与现有技术相比，本发明提供的阴影框，对用于固定L型薄片的螺丝进行了加固处理，加强了对L型薄片的固定，解决了L型薄片因固定不牢而偏移导致的沉积材料的遮挡效果不理想，影响基板沉积膜层的品质的技术问题。

附图说明

为了更清楚地说明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明提供的阴影框结构示意图；

图2为本发明提供的阴影框一实施例的B-B’处截面图；

图3为本发明提供的阴影框一实施例的A-A’处截面图；

图4为本发明提供的阴影框另一实施例的A-A’处截面图；

图5为本发明提供的阴影框又一实施例的A-A’处截面图。

具体实施方式

以下各实施例的说明是参考附加的图示，用以例示本发明可用以实施的特定实施例。本发明所提到的方向用语，例如[上]、[下]、[前]、[后]、[左]、[右]、[内]、[外]、[侧面]等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本发明，而非用以限制本发明。在图中，结构相似的单元是用以相同标号表示。

本发明针对现有的现有技术的阴影框，L型薄片固定效果不理想，L型薄片的牢固性会受制程动作影响，进而导致L型薄片偏移，最终导致沉积材料的遮挡效果不理想，影响基板沉积膜层的品质，本实施例能够解决该缺陷。

如图1、图2所示，本发明提供的阴影框，包括主框体，设置于所述主框体表面的遮蔽框，以及设置于所述遮蔽框表面的L型薄片101；所述主框体用于支撑较薄的遮蔽框，避免所述遮蔽框变形而影响遮蔽精度；所述主框体包括四根框条102，且相邻的所述框条102依次首尾相接围合成矩形框；当然，所述主框体的形状根据液晶显示面板的母板形状而定，例如，所述主框体的形状还可以为圆形、多边形、异形等；由于所述主框体由多个依次首尾对接的所述框条102拼接组成，相邻的所述框条102的连接处存在缝隙，可能导致成膜材料经该缝隙落入基板表面的非成膜区域。

所述遮蔽框包括四根条形陶瓷片103，且相邻的所述条形陶瓷片103依次首尾相接围合成矩形框；所述条形陶瓷片103的宽度小于所述框条102的宽度，所述条形陶瓷片103靠近所述主框体的内侧设置，且突出于所述主框体内侧一定宽度，该突出用于在支撑构件112将基板113抬升至阴影框内进行材料沉积后，盖在所述基板113表面的边缘区域；同样的，由于所述遮蔽框由多条所述条形陶瓷片103拼接组成，相邻的所述条形陶瓷片103的连接处存在缝隙，可能导致成膜材料经该缝隙落入基板表面的非成膜区域；在所述遮蔽框表面设置L型薄片101以遮挡相邻的所述框条102的连接处、以及相邻的所述条形陶瓷片103的连接处的缝隙，同时，在所述条形陶瓷片103一侧设置有矩形薄片104，以遮盖所述主框体表面未被所述L型薄片101遮盖的缝隙。

所述L型薄片101包括固定部及遮挡部，所述L型薄片101的固定部表面开设开孔，用于穿设螺丝105以固定所述L型薄片101，所述L型薄片101的遮挡部位于所述遮蔽框的缝隙上方；所述螺丝为陶瓷螺丝；所述L型薄片101通过所述螺丝105固定于所述条形陶瓷片103表面，且所述螺丝105配合设置有紧固件，以加固对所述L型薄片101的固定。

如图3所示，为阴影框一实施例的A-A’处截面图；所述阴影框包括层叠设置的所述框条101、所述条形陶瓷片102以及所述L型薄片103；所述L型薄片103表面设置有第一开孔104，所述条形陶瓷片102表面设置有第二开孔105，所述框条101表面设置有第三开孔106，所述螺丝109依次贯穿所述第一开孔104、所述第二开孔105以及所述第三开孔106，且与所述第二开孔105螺接，其中，所述第三开孔106内设置有螺母，所述螺母与所述螺丝109底端螺纹配合以紧固所述L型薄片103；所述螺母与所述螺丝109配合以加强对所述L型薄片103的固定。优选的，所述螺母包括第一子螺母107与第二子螺母108，所述第一子螺母107与所述第二子螺母108紧密配合；所述第一子螺母107、所述第二子螺母108与所述螺丝109配合以进一步加强对所述L型薄片103的固定。

如图4所示，为阴影框的另一实施例的A-A’处截面图；所述阴影框包括层叠设置的所述框条101、所述条形陶瓷片102以及所述L型薄片103；所述L型薄片103表面设置有第一开孔104，所述条形陶瓷片102表面设置有第二开孔105，所述框条101表面设置有第三开孔106。

所述螺母包括第一子螺母107与第二子螺母108，所述第一子螺母107与所述第二子螺母108紧密配合；所述螺母与所述螺丝109的螺丝帽之间设置有垫圈，所述垫圈设置于所述螺母朝向所述螺丝帽的一侧和/或设置于所述螺丝帽朝向所述螺母的一侧；即所述垫圈设置于所述螺母与所述条形陶瓷片102之间和/或所述垫圈设置于所述螺丝帽与所述L型薄片103之间；通过设置所述垫圈，可增大所述螺丝帽与所述L型薄片103之间的接触面积，减小所述螺丝的晃动幅度，减小所述螺丝表面的螺纹磨损程度，延长使用寿命。

例如，所述垫圈为橡胶垫圈，以起到对所述L型薄片103表面开孔的密封，避免所述螺丝松动，所述螺丝帽翘起导致沉积材料从所述开孔进入后落入基板。

又如，所述垫圈为陶瓷垫圈；其中，所述陶瓷垫圈包括环形陶瓷片110，所述环形陶瓷片110的至少一侧分布设置有尖刺111；当所述螺丝旋转时，所述螺母与所述螺丝帽相对靠近，当所述螺丝旋转至紧固后，所述环形陶瓷片110一侧的尖刺111刺入与之接触的部件表面，以避免所述环形陶瓷片110相对所述螺丝帽活动，进一步加固对所述L型薄片103的固定。优选的，所述尖刺111设置于所述环形陶瓷片110朝向所述螺丝帽的一侧。优选的，所述环形陶瓷片110的两侧均分布设置有尖刺111。

如图5所示，为阴影框的又一实施例的A-A’处截面图；所述阴影框包括层叠设置的所述框条201、所述陶瓷片202以及所述L型薄片203；所述L型薄片203表面设置有开孔204，所述陶瓷片202表面设置有第一螺孔205，所述框条201表面设置有第二螺孔206，所述第一螺孔205和所述第二螺孔206组合形成倒圆锥型孔。

所述螺丝包括销杆207、与所述销杆207套接的套筒208，以及套设于所述套筒208端部的帽体209，所述套筒208包括柱状的上半段和倒圆锥状的下半段，所述套筒208的下半段外侧设置有螺纹，并且，所述套筒208的下半段表面开设有条形镂空部，所述条形镂空部延伸至所述套筒208的底端；所述套筒208依次贯穿所述开孔204、所述第一螺孔205以及所述第二螺孔206，且与所述第一螺孔205和所述第二螺孔206螺接。

所述帽体209为六边体，或者，所示帽体209底面设置有一字型或十字型凹陷。

在使用所述螺丝对所述L型薄片203进行固定时，先将所述套筒208从所述L型薄片203表面的开孔204伸入，并旋转所述帽体209使所述套筒208底部与所述第一螺孔205和所述第二螺孔206螺接，紧接着，将所述销杆207从所述帽体209中心的开孔插入，并使用钝力使所述销杆207完全进入所述套筒208内，所述销杆207的横截面的直径略大于所述套筒208下半段的横截面直径，进而使所述套筒208扩张，加强了所述套筒208与螺孔间的配合，使所述L型薄片203的固定更加牢固。

所述条形陶瓷片202采用螺丝固定的方式固定于所述框条201表面，同时，所述条形陶瓷片202可采用上述优选实施例的螺丝与紧固件的配合方式固定。

本发明的有益效果为：与现有技术相比，本发明提供的阴影框，对用于固定L型薄片的螺丝进行了加固处理，加强了对L型薄片的固定，解决了L型薄片因固定不牢而偏移导致的沉积材料的遮挡效果不理想，影响基板沉积膜层的品质的技术问题。

综上所述，虽然本发明已以优选实施例揭露如上，但上述优选实施例并非用以限制本发明，本领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与润饰，因此本发明的保护范围以权利要求界定的范围为准。

Claims (7)

1.一种阴影框，用于在对基板表面沉积薄膜时，遮挡所述基板边缘不需要沉积材料的区域；其特征在于，所述阴影框包括：

主框体，包括多个依次首尾对接的框条；

遮蔽框，包括多个依次首尾对接的条形陶瓷片，所述条形陶瓷片设置于相应的所述框条表面；

L型薄片，设置于所述条形陶瓷片表面，用于覆盖相邻所述条形陶瓷片连接处产生的缝隙；

所述L型薄片通过螺丝固定于所述条形陶瓷片表面，且所述螺丝配合设置有紧固件，以加固对所述L型薄片的固定；

所述L型薄片表面设置有第一开孔，所述条形陶瓷片表面设置有第二开孔，所述框条表面设置有第三开孔，所述螺丝依次贯穿所述第一开孔、所述第二开孔以及所述第三开孔，且与所述第二开孔螺接，所述第三开孔内设置有螺母，所述螺母与所述螺丝底端螺纹配合以紧固所述L型陶瓷薄片；

其中，所述螺母与所述螺丝的螺丝帽之间设置有环形陶瓷片，所述环形陶瓷片的至少一侧分布设置有尖刺。

2.根据权利要求1所述的阴影框，其特征在于，所述螺母包括第一子螺母与第二子螺母，所述第一子螺母与所述第二子螺母紧密配合。

3.根据权利要求1所述的阴影框，其特征在于，所述尖刺设置于所述环形陶瓷片朝向所述螺丝帽的一侧。

4.根据权利要求1所述的阴影框，其特征在于，所述螺丝包括销杆、与所述销杆套接的套筒，以及套设于所述套筒端部的帽体，所述套筒包括柱状的上半段和倒圆锥状的下半段，所述套筒的下半段外侧设置有螺纹，并且，所述套筒的下半段表面开设有条形镂空部，所述条形镂空部延伸至所述套筒的底端。

5.根据权利要求4所述的阴影框，其特征在于，所述帽体连接所述销杆的一侧分布设置有尖刺。

6.根据权利要求4所述的阴影框，其特征在于，所述L型薄片表面设置有开孔，所述条形陶瓷片表面设置有第一螺孔，所述框条表面设置有第二螺孔，所述套筒依次贯穿所述开孔、所述第一螺孔以及所述第二螺孔，且与所述第一螺孔和所述第二螺孔螺接。

7.根据权利要求6所述的阴影框，其特征在于，所述第一螺孔和所述第二螺孔组合形成用以配合所述套筒的倒圆锥型孔。

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