CN108680627B - 用于检测水中有机物含量的微纳传感器及其制作方法 - Google Patents
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Abstract
提供一种用于检测水中有机物含量的微纳传感器及其制作方法，其玻璃基片(5)上铂电极引线(12)末端段设置银/氯化银电极层(2)；玻璃基片(5)上面键合覆盖硅基片(1)；硅基片(1)设置有向下开口形成储液腔(7)，储液腔(7)顶壁设置形成锥形微孔(3)阵列，作为与外界待测物离子交换的纳米通道；玻璃基片(5)设置有与储液腔(7)相通的注液孔(14)，并配置导电密封胶(8)，铂电极引线(12)由导电密封胶(8)下端引出，储液腔(7)中储存有经注液孔(14)注入的氯化钾饱和溶液；硅基片(1)上面在锥形微孔(3)阵旁设置PbO2工作电极(4)与铂金对电极(9)；实现检测传感器的微型化，微孔(3)阵列使离子交换速率大大降低，显著提高微纳传感器的使用寿命。
Description
技术领域
本发明涉及一种用于检测海洋、江河、湖泊、水库等水中有机物含量的微纳传感器及其制作方法，属于环境保护技术领域，也属于传感器技术领域。
背景技术
化学需氧量检测（Chemical Oxygen Demand），是以化学方法测量水样中需要被氧化的还原性物质的量。它是一个重要的而且能较快测定水质中的有机物污染参数，常以符号COD表示。电化学COD检测，是基于工作电极电解产生的羟基自由基具有很强的氧化能力，可同步迅速氧化水中有机物，羟基自由基消耗的同时，工作电极的电流将发生变化。当工作电极电位恒定时，电流的变化与水中有机物的含量成正比关系，通过计算电流变化便可测量出COD的值。通常的电化学COD检测为三电极系统，此外常见的COD检测方法还有重铬酸盐法、高锰酸钾法、分光光度法、快速消解法、快速消解分光光度法等。
电化学测量COD原理是：工作电极表面产生的羟基自由基导致待测液中的有机物被氧化分解，氧化反应导致电子得失形成电流，电流的大小与水质中有机物含量成线性关系。
在现有常用的电化学测量COD的三电极体系中，工作电极采用铂金丝涂上PbO2材料， 参比电极为Ag/AgCl参比电极，对电极采用铂金电极。该体系多为三个独立的较大电极，不能与其他电极集成制备在一个传感器芯片上，工作电极与对电极之间间距、相对面积不便控制，限制了其在传感器方面的应用。
参比电极（Reference Electrode，简称RE），是测量各种电极电势时作为参照比较的电极，将被测定的电极与精确已知电极电势数值的参比电极构成电池，测定电池电动势数值，就可计算出被测定电极的电极电势。通常多用微溶盐电极作为参比电极，常用的参比电极有甘汞电极和银-氯化银电极，此外还有铜-硫酸铜电极、醌氢醌电极、固体参比电极等。参比电极电位恒定，其主要作用是测量电池电动势，计算电极电位的基准。常用的玻璃管Ag/AgCl参比电极具有制备简单，使用方便，在电化学检测领域广泛使用。但在传感器领域，只能与其他电极联合使用，而不能与其他电极集成制备在一个传感器芯片上，限制了其在传感器方面的应用。有多家研究机构基于微纳制造技术发展了微型Ag/AgCl全固态参比电极，但由于电极所需的氯化钾饱和溶液在电极表面的保存时间很短，所以电极的使用寿命不长，不能满足传感器长时间连续工作的要求。
所以，现有常用的电化学测量COD的三电极体系存在集成程度低，使用寿命短，电极稳定性差的问题。
本案申请人在2017年11月29日递交了一件名为“银/氯化银参比电极及其制作方法”的发明专利申请，2018年04月20日公布，文献号为CN107941876A，提供了一种Ag/AgCl参比电极及其制作方法，其显著特征在于集成了纳米孔阵列的微结构，既可以起到离子交换的功能，也有效降低离子交换的速度，大幅提高电极的稳定性和使用寿命。本发明可以看作是在此技术基础上进一步的研发成果。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种用于检测水中有机物含量的微纳传感器及其制作方法，克服现有传感器的缺点，传感器的集成程度高，使用寿命长，稳定性好。
为了解决上述技术问题，本发明微纳传感器所采用的技术方案为：
一种用于检测水中有机物含量的微纳传感器，包括可与硅片键合的Pyrex 7740玻璃基片(5)，其特征在于，所述玻璃基片(5)上表面设置有铂电极引线(12)，在铂电极引线(12)末端段的上表面设置有银/氯化银参比电极层(2)；玻璃基片(5)上面以与其键合的方式覆盖有表面为（100）晶面、双面抛光并氧化的硅基片(1)，二者键合形成一体；所述硅基片(1)设置至少包容所述银/氯化银电极层(2)的向下开口腔，该开口腔与所述玻璃基片(5)形成用于储存氯化钾饱和溶液的储液腔(7)，储液腔(7)顶壁设置采用湿法腐蚀刻蚀出的多个外壁孔径大内壁孔径小的纳米级锥形微孔(3)，形成锥形微孔(3)阵列，每个锥形微孔(3)作为与外界待测物相接触进行双方离子交换的纳米通道；所述玻璃基片(5)设置有与所述储液腔(7)相通的注液孔(14)，并配置有用于封装所述注液孔(14)的导电密封胶(8)，所述铂电极引线(12)与导电密封胶(8)接触连接，由导电密封胶(8)下端引出，所述储液腔(7)中储存有经注液孔(14)注入的氯化钾饱和溶液；所述硅基片(1)上面在所述锥形微孔(3)阵旁设置PbO2工作电极(4)与铂金对电极(9)。
以下为本发明微纳传感器进一步的方案：
所述硅基片(1)上面围绕所述锥形微孔(3)阵列设置独立的闭合环状的PbO2工作电极(4)，所述工作电极从其环体中引出工作电极引出线(15)，围绕所述环状工作电极设置呈开放环状的铂金对电极(9)，所述铂金对电极(9)从其其中一终端引出对电极引出线(13)，另一终端为自由端。
所述银/氯化银电极层(2)从底部至表面依次包括钛-铂电极基底导电层、金属银层、以及金属银层采用盐酸处理后形成的Ag/AgCl层。
所述玻璃基片(5)的注液孔(14)为圆孔，所述硅基片(1)在导电密封胶(8)位置处设置用于容纳导电密封胶(8)的向下开口(16)，所述导电密封胶(8)呈铆钉状，其内端陷入硅基片(1)的向下开口(16)处，中段与所述玻璃基片(5)的注液孔(14)相配，外端卡在玻璃基片(5)外面；所述硅基片(1)底面在向下开口腔与向下开口(16)之间开设V形槽(17)，作为注液孔(14)至储液腔(7)的注液通道。
所述玻璃基片(5)的背面涂有一层环氧避光层(6)。
所述的微纳传感器包括外封装，所述外封装在锥形微孔(3)阵列、PbO2工作电极(4)与铂金对电极(9)所在区域开口，其它部位全部封装，并引出各电极的引出线。
为了解决上述技术问题，本发明微纳传感器的制作方法所采用的技术方案为：
如上所述的微纳传感器的制作方法，分别包括所述硅基片(1)的制作、所述玻璃基片(5)的制作及其二者的键合，氯化钾饱和溶液的注入，其特征在于，还包括导电密封胶(8)的生成；所述硅基片(1)的制作包括以下步骤：
步骤一、选择表面为（100）晶面的单面抛光并氧化的硅片作为硅基片(1)材料，表面具有硅氧化层(10)，硅片表面平整度小于1um；
步骤二、在基片正面甩涂光刻胶(11)，光刻显影，制备出氧化硅层窗口，再用BOE腐蚀液湿法刻蚀氧化硅层，制备出微孔阵列的窗口；
步骤三、采用30%KOH腐蚀液，80℃条件下各向异性湿法刻蚀硅层，制备出尚未刻蚀穿的锥形微孔(3)阵列；
步骤四、在背面甩涂光刻胶(11)、光刻显影，用BOE腐蚀液刻蚀氧化硅层，制备出储液腔(7)的窗口；
步骤五、采用30%KOH腐蚀液，80℃条件下各向异性湿法刻蚀硅层，制备出储液腔(7)，直至正反两面刻蚀穿，通过控制腐蚀速率和腐蚀时间使穿孔的大小控制在<1um，形成刻蚀穿的锥形微孔(3)阵列；
步骤六、采用丙酮去除表面光刻胶(11)，采用BOE去除表面氧化硅层，成为具有储液腔(7)和纳米级锥形微孔(3)阵列的硅基芯片；
所述玻璃基片(5)的制作包括选择可与硅片键合的Pyrex 7740玻璃基片(5)，采用激光打孔法或超声波打孔法在设定位置打出一个直径为1mm至2mm的注液孔(14)，并配置与所述注液孔(14)形状相配的导电密封胶(8)；在玻璃基片(5)表面采用lift-off工艺先制备铂电极引线(12)和钛-铂电极基底导电层，在钛-铂导电层上面采用电镀法制备一层金属银，采用盐酸处理后形成所述银/氯化银参比电极层(2)；
所述硅基片(1)与所述玻璃基片(5)二者的键合包括将上述制备完成的硅基片(1)与玻璃基片(5)对准，采用硅-玻璃阳极键合方式形成一体；将所述微纳传感器置于溶液不回流的竖立或倾斜位置，经注液孔(14)向所述储液腔(7)中注入氯化钾饱和溶液；完成加液后向所述注液孔(14)挤入导电密封胶(8)，后将所述微纳传感器置于烘箱中将导电密封胶(8)烘干固化。
进一步的方案：
所述硅基片(1)的制作步骤四中采用同样方法同步制备出用于容纳导电密封胶(8)的向下开口(16)的的窗口；步骤五中采用同样方法同步制备出用于容纳导电密封胶(8)的向下开口(16)；使导电密封胶(8)挤入至所述硅基片(1)的向下开口(16)处，烘干固化后形成陷入硅基片(1)的导电密封胶(8)内端。
所述玻璃基片(5)的制作还包括在玻璃基片(5)的背面甩涂一层环氧避光层(6)。
所述玻璃基片(5)的制作还包括在玻璃基片(5)的背面甩涂一层环氧避光层(6)。
如上所述的参比电极的制作方法，还包括最后按设定要求进行封装。
本发明的关键技术之一是基于微机械加工工艺制备Ag/AgCl电极的方法。选择可与硅片键合的Pyrex 7740玻璃基片，首先采用lift-off工艺先制备钛-铂电极基底导电层和电极引线，第二步在电极位点采用电镀法制备一层金属银，第三步金属银层采用盐酸处理后形成Ag/AgCl电极。
本发明的关键技术之二是基于微机械加工工艺在硅基片上制备工作电极的方法。选择可进行各向异性湿法腐蚀的（100）晶向硅片做为基片，首先进行双面氧化，其次采用lift-off工艺先制备钛基底导电层和电极引线，最后在电极位点采用电镀法制备一层PbO2形成工作电极 。
本发明的关键技术之三是基于微机械加工工艺在硅基片上制备对电极的方法。选择可进行各向异性湿法腐蚀的（100）晶向硅片做为基片，首先进行双面氧化，其次采用lift-off工艺先制备钛基底导电层和电极引线，形成对电极。
本发明所述一种用于检测水中有机物含量的微纳传感器，其显著特征在于集成了纳米孔阵列的微结构，提高电极的稳定性和使用寿命，且与工作电极、对电极集成为一体，将三电极体系整合完整，增强电化学COD检测的灵活与方便性。
与现有技术相比，基于微机械加工工艺制备用于离子交换的纳米孔阵列、氯化钾饱和溶液储液池、Ag/AgCl电极。由于纳米孔阵列不仅具有离子交换的功能，更由于纳米级孔径，离子交换速率大大降低，可以有效提高氯化钾饱和溶液的使用时间，显著提高其参比电极的使用寿命，进而显著提高微纳传感器的使用寿命。本发明将各电极集成制造，实现整个检测传感器的微型化，同时具有更长的使用寿命，形成一种新型传感器微芯片，具有可批量化制备，降低成本、一致性好等显著优点，为微纳传感器在水质监测领域的应用提供支持，具有重要的实际应用价值。
附图说明
图1为本发明微纳传感器剖面结构示意图；
图2为玻璃基片制作过程中各步骤形状变化示意图；
图3为硅基片制作过程中各步骤形状变化示意图；
图4为本发明微纳传感器立体示意图；
图5为本发明微纳传感器底部立体示意图；
图6为玻璃基片与铂电极引线、银/氯化银参比电极层立体示意图；
图7为玻璃基片底部立体示意图；
图8为硅基片与PbO2工作电极、铂金对电极立体示意图；
图9为硅基片底部立体示意图。
具体实施方式
以下结合附图实施例对本发明作进一步详细描述。
本发明用于检测水中有机物含量的微纳传感器，如图1、图4或图5所示，包括可与硅片键合的Pyrex 7740玻璃基片5，玻璃基片5上表面设置有铂电极引线12，在铂电极引线12末端段的上表面设置有银/氯化银参比电极层2；玻璃基片5上面以与其键合的方式覆盖有表面为（100）晶面、双面抛光并氧化的硅基片1，二者键合形成一体；硅基片1设置至少包容银/氯化银电极层2的向下开口腔，该开口腔与玻璃基片5形成用于储存氯化钾饱和溶液的储液腔7，储液腔7顶壁设置采用湿法腐蚀刻蚀出的多个外壁孔径大内壁孔径小的纳米级锥形微孔3，形成锥形微孔3阵列，每个锥形微孔3作为与外界待测物相接触进行双方离子交换的纳米通道；玻璃基片5设置有与储液腔7相通的注液孔14，并配置有用于封装注液孔14的导电密封胶8，铂电极引线12与导电密封胶8接触连接，由导电密封胶8下端引出，储液腔7中储存有经注液孔14注入的氯化钾饱和溶液；硅基片1上面在锥形微孔3阵旁设置PbO2工作电极4与铂金对电极9。导电密封胶8由导电性能好的金属粉沫与粘胶剂混合搅拌成浆状，金属粉沫以银粉为佳，加热烘干后固化成型为导电性能良好的密封件。
如图4或图8所示，硅基片1上面围绕锥形微孔3阵列设置独立的闭合环状的PbO2工作电极4，工作电极从其环体中引出工作电极引出线15，围绕环状工作电极设置呈开放环状的铂金对电极9，铂金对电极9从其其中一终端引出对电极引出线13，另一终端为自由端。银/氯化银电极层2从底部至表面依次包括钛-铂电极基底导电层、金属银层、以及金属银层采用盐酸处理后形成的Ag/AgCl层。
如图6、图7所示，玻璃基片5的注液孔14为圆孔。如图9所示，硅基片1在导电密封胶8位置处设置用于容纳导电密封胶8的向下开口16。如图1所示，导电密封胶8呈铆钉状，其内端较大，陷入硅基片1的向下开口16处，中段与玻璃基片5的注液孔14相配，外端卡在玻璃基片5外面；如图9所示，硅基片1底面在向下开口腔与向下开口16之间开设V形槽17，作为注液孔14至储液腔7的注液通道。
如图1所示，玻璃基片5的背面涂有一层环氧避光层6。微纳传感器包括外封装，外封装在锥形微孔3阵列、PbO2工作电极4与铂金对电极9所在区域开口，其它部位全部封装，并引出各电极的引出线。外封装可采用金属壳体，如量大的话，更适合采用注塑成型的塑料件。
本发明微纳传感器的制作方法，分别包括硅基片1的制作、玻璃基片5的制作及其二者的键合，氯化钾饱和溶液的注入，还包括导电密封胶8的生成。硅基片1的制作如图3所示，包括以下步骤：
步骤一、选择表面为（100）晶面的单面抛光并氧化的硅片作为硅基片1材料，表面具有硅氧化层10，厚度为2um左右，硅片表面平整度小于1um。
步骤二、在基片正面光刻胶11，光刻显影，制备出氧化硅层窗口，再用BOE腐蚀液湿法刻蚀氧化硅层，制备出微孔阵列的窗口；光刻胶11适合采用正胶光刻胶。
步骤三、采用30%KOH腐蚀液，80℃条件下各向异性湿法刻蚀硅层，制备出尚未刻蚀穿的锥形微孔3阵列。
步骤四、在背面甩涂光刻胶11、光刻显影，用BOE腐蚀液刻蚀氧化硅层，制备出储液腔7的窗口。
步骤五、采用30%KOH腐蚀液，80℃条件下各向异性湿法刻蚀硅层，制备出储液腔7，直至正反两面刻蚀穿，通过控制腐蚀速率和腐蚀时间使穿孔的大小控制在<1um，形成刻蚀穿的锥形微孔3阵列。
步骤六、采用丙酮去除表面光刻胶11，采用BOE去除表面氧化硅层，成为具有储液腔7和纳米级锥形微孔3阵列的硅基芯片。
硅基片1的具体制作工艺流程如图3所示，图中：
工序A. 双面抛光氧化的硅片清洗；
工序B. 正面涂光刻胶；工序C. 光刻、显影；
工序D. 溅射铂层；
工序E. lift-off去胶；
工序F. 双面喷涂光刻胶；
工序G. 光刻、显影；
工序H. 去除硅氧化层；
工序I． KOH腐蚀出纳米孔；
工序J. 铂基底电镀PbO2层。
玻璃基片5的制作如图2所示,包括选择可与硅片键合的Pyrex 7740玻璃基片5，采用激光打孔法或超声波打孔法在设定位置打出一个直径为1mm至2mm的注液孔14，并配置与注液孔14形状相配的导电密封胶8；在玻璃基片5表面采用lift-off工艺先制备铂电极引线12和钛-铂电极基底导电层，在钛-铂导电层上面采用电镀法制备一层金属银，采用盐酸处理后形成银/氯化银参比电极层2。
玻璃基片5的具体制作工艺流程如图2所示，图中：
工序K. 超声打孔、lift-off制备钛-铂电极位点及引线；
工序L. 电化学电镀金属Ag、盐酸处理形成Ag/AgCl电极；
工序M. 环氧避光层甩涂，完成电极制备。
硅基片1与玻璃基片5二者的键合包括将上述制备完成的硅基片1与玻璃基片5对准，采用硅-玻璃阳极键合方式形成一体。将微纳传感器置于溶液不回流的竖立或倾斜位置，经注液孔14向储液腔7中注入氯化钾饱和溶液。完成加液后向注液孔14挤入导电密封胶8，后将微纳传感器置于烘箱中将导电密封胶8烘干固化。
硅基片1的制作步骤四中可采用同样方法同步制备出用于容纳导电密封胶8的向下开口16的的窗口；步骤五中采用同样方法同步制备出用于容纳导电密封胶8的向下开口16；使导电密封胶8挤入至硅基片1的向下开口16处，烘干固化后形成陷入硅基片1的导电密封胶8内端。玻璃基片5的制作还包括在玻璃基片5的背面甩涂一层环氧避光层6。以上所述的参比电极的制作方法，还包括最后按设定要求进行封装，并接上各电极引线。
本发明微纳传感器可以用于海洋、江河、湖泊、水库等水中有机物COD检测，使用方法与常规三电极检测COD系统使用方法相同。
Claims (9)
1.一种用于检测水中有机物含量的微纳传感器，包括可与硅片键合的Pyrex 7740玻璃基片(5)，其特征在于，所述玻璃基片(5)上表面设置有铂电极引线(12)，在铂电极引线(12)末端段的上表面设置有银/氯化银参比电极层(2)；玻璃基片(5)上面以与其键合的方式覆盖有表面为（100）晶面、双面抛光并氧化的硅基片(1)，二者键合形成一体；所述硅基片(1)设置至少包容所述银/氯化银参比电极层(2)的向下开口腔，该开口腔与所述玻璃基片(5)形成用于储存氯化钾饱和溶液的储液腔(7)，储液腔(7)顶壁设置采用湿法腐蚀刻蚀出的多个外壁孔径大内壁孔径小的纳米级锥形微孔(3)，形成锥形微孔(3)阵列，每个锥形微孔(3)作为与外界待测物相接触进行双方离子交换的纳米通道；所述玻璃基片(5)设置有与所述储液腔(7)相通的注液孔(14)，并配置有用于封装所述注液孔(14)的导电密封胶(8)，所述铂电极引线(12)与导电密封胶(8)接触连接，由导电密封胶(8)下端引出，所述储液腔(7)中储存有经注液孔(14)注入的氯化钾饱和溶液；所述硅基片(1)上面在所述锥形微孔(3)阵旁设置PbO2工作电极(4)与铂金对电极(9)。
2.如权利要求1所述的微纳传感器，其特征在于，所述硅基片(1)上面围绕所述锥形微孔(3)阵列设置独立的闭合环状的PbO2工作电极(4)，所述工作电极从其环体中引出工作电极引出线(15)，围绕所述环状工作电极设置呈开放环状的铂金对电极(9)，所述铂金对电极(9)从其其中一终端引出对电极引出线(13)，另一终端为自由端。
3.如权利要求1所述的微纳传感器，其特征在于，所述银/氯化银参比电极层(2)从底部至表面依次包括钛-铂电极基底导电层、金属银层、以及金属银层采用盐酸处理后形成的Ag/AgCl层。
4.如权利要求1所述的微纳传感器，其特征在于， 所述玻璃基片(5)的注液孔(14)为圆孔，所述硅基片(1)在导电密封胶(8)位置处设置用于容纳导电密封胶(8)的向下开口(16)，所述导电密封胶(8)呈铆钉状，其内端陷入硅基片(1)的向下开口(16)处，中段与所述玻璃基片(5)的注液孔(14)相配，外端卡在玻璃基片(5)外面；所述硅基片(1)底面在向下开口腔与向下开口(16)之间开设V形槽(17)，作为注液孔(14)至储液腔(7)的注液通道。
5.如权利要求1所述的微纳传感器，其特征在于， 所述玻璃基片(5)的背面涂有一层环氧避光层(6)。
6.如权利要求1所述的微纳传感器，其特征在于，包括外封装，所述外封装在锥形微孔(3)阵列、PbO2工作电极(4)与铂金对电极(9)所在区域开口，其它部位全部封装，并引出各电极的引出线。
7.如权利要求1所述的微纳传感器的制作方法，分别包括所述硅基片(1)的制作、所述玻璃基片(5)的制作及其二者的键合，氯化钾饱和溶液的注入，其特征在于，还包括导电密封胶(8)的生成；所述硅基片(1)的制作包括以下步骤：
步骤一、选择表面为（100）晶面的单面抛光并氧化的硅片作为硅基片(1)材料，表面具有硅氧化层(10)，硅片表面平整度小于1um；
步骤二、在基片正面甩涂光刻胶(11)，光刻显影，制备出氧化硅层窗口，再用BOE腐蚀液湿法刻蚀氧化硅层，制备出微孔阵列的窗口；
步骤三、采用30%KOH腐蚀液，80℃条件下各向异性湿法刻蚀硅层，制备出尚未刻蚀穿的锥形微孔(3)阵列；
步骤四、在背面甩涂光刻胶(11)、光刻显影，用BOE腐蚀液刻蚀氧化硅层，制备出储液腔(7)的窗口；
步骤五、采用30%KOH腐蚀液，80℃条件下各向异性湿法刻蚀硅层，制备出储液腔(7)，直至正反两面刻蚀穿，通过控制腐蚀速率和腐蚀时间使穿孔的大小控制在<1um，形成刻蚀穿的锥形微孔(3)阵列；
步骤六、采用丙酮去除表面光刻胶(11)，采用BOE去除表面氧化硅层，成为具有储液腔(7)和纳米级锥形微孔(3)阵列的硅基芯片；
所述玻璃基片(5)的制作包括选择可与硅片键合的Pyrex 7740玻璃基片(5)，采用激光打孔法或超声波打孔法在设定位置打出一个直径为1mm至2mm的注液孔(14)，并配置与所述注液孔(14)形状相配的导电密封胶(8)；在玻璃基片(5)表面采用lift-off工艺先制备铂电极引线(12)和钛-铂电极基底导电层，在钛-铂导电层上面采用电镀法制备一层金属银，采用盐酸处理后形成所述银/氯化银参比电极层(2)；
所述硅基片(1)与所述玻璃基片(5)二者的键合包括将上述制备完成的硅基片(1)与玻璃基片(5)对准，采用硅-玻璃阳极键合方式形成一体；将所述微纳传感器置于溶液不回流的竖立或倾斜位置，经注液孔(14)向所述储液腔(7)中注入氯化钾饱和溶液；完成加液后向所述注液孔(14)挤入导电密封胶(8)，后将所述微纳传感器置于烘箱中将导电密封胶(8)烘干固化。
8.如权利要求7所述的微纳传感器的制作方法，其特征在于，所述硅基片(1)的制作步骤四中采用同样方法同步制备出用于容纳导电密封胶(8)的向下开口(16)的的窗口；步骤五中采用同样方法同步制备出用于容纳导电密封胶(8)的向下开口(16)；使导电密封胶(8)挤入至所述硅基片(1)的向下开口(16)处，烘干固化后形成陷入硅基片(1)的导电密封胶(8)内端。
9.如权利要求7所述的微纳传感器的制作方法，其特征在于，所述玻璃基片(5)的制作还包括在玻璃基片(5)的背面甩涂一层环氧避光层(6)。
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