CN108666194A - 试样保持器具、部件安装用器具以及带电粒子束装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供试样保持器具、部件安装用器具以及带电粒子束装置，其能够在确保用于在多个不同的带电粒子束装置之间移置试样的通用性的同时防止装置结构所需的费用增加。带电粒子束装置(10)具有：支架(13)，其可拆下地固定保持试样(S)的试样保持器具(12)；以及试样台(14)，其将支架(13)固定在试样室(11)的内部。试样保持器具(12)具有：试样保持部件，其保持试样(S)；支承台，其支承试样保持部件；以及夹具，其安装在支承台上配置有试样保持部件的位置。

Description

试样保持器具、部件安装用器具以及带电粒子束装置
技术领域
本发明涉及试样保持器具、部件安装用器具以及带电粒子束装置。
背景技术
以往，例如有时在不同的带电粒子束装置之间移置微小的试样，不同的带电粒子束装置比如为制成微小的试样的会聚离子束装置与详细地观察制成的微小的试样的透射型电子显微镜。此时，例如在进行使用了保持微小的试样的镊子等的操作者的手工作业的情况下，有可能起因于人为的错误等而导致试样破损。针对这样的问题，以往公知有如下的会聚离子束装置：具有能够安装在多个不同的带电粒子束装置中共用的试样支架的具有互换性的试样载台(例如参照专利文献1)。
专利文献1：日本特开平6-103947号公报
可是，在上述现有技术的会聚离子束装置中，为了在多个不同的带电粒子束装置中共用试样支架，需要设置具有互换性的特别的试样载台，因而产生装置结构所需的费用增加这样的问题。
发明内容
本发明就是鉴于上述情况而完成的，其目的在于提供试样保持器具、部件安装用器具以及带电粒子束装置，能够在确保用于在多个不同的带电粒子束装置之间移置试样的通用性的同时防止装置结构所需的费用增加。
(1)本发明的一个方式是试样保持器具，其以可拆下的方式固定在带电粒子束装置的支架上，其特征在于，该试样保持器具具有：试样保持部件，其保持被照射带电粒子束的试样；支承台，其支承所述试样保持部件；以及夹具，其安装在所述支承台上配置所述试样保持部件的支承部位。
(2)另外，本发明的一个方式的特征在于，在(1)中所述的试样保持器具中，所述支承台在所述支承部位以外具有贯通部位，该贯通部位形成有在厚度方向上贯通的孔或槽，所述夹具具有以从所述厚度方向的两侧夹持所述支承台的方式成对的第一夹持部和第二夹持部，所述第一夹持部在所述支承台的第一表面侧将所述试样保持部件按压到所述支承部位上，并且封闭所述孔或所述槽的至少一部分，所述第二夹持部在所述支承台的第二表面侧设置于与所述孔或所述槽不发生干涉的位置。
(3)另外，本发明的一个方式的特征在于，在(2)中所述的试样保持器具中，所述支承部位和所述贯通部位设置于形成在所述支承台的所述第一表面上的第一凹部，所述第一夹持部在所述第一凹部处将所述试样保持部件按压到所述支承部位上，所述第二夹持部配置于形成在所述支承台的所述第二表面上的第二凹部。
(4)另外，本发明的一个方式的特征在于，在(2)或(3)中所述的试样保持器具中，所述支承台上与所述厚度方向和所述夹具的安装方向垂直的方向的两端部的外形形成为随着朝向前端而厚度向减小趋势变化的形状。
(5)另外，本发明的一个方式是部件安装用器具，其是用于在(1)至(4)中的任意一项所述的试样保持器具中将所述试样保持部件安装到所述支承台上的部件安装用器具，其特征在于，该部件安装用器具具有：支承台固定部，其对安装有所述夹具的所述支承台进行固定；移位部件，其在所述支承台的所述厚度方向上移位，从所述支承台的所述第二表面侧朝向所述第一表面侧插入到所述孔或所述槽中而在所述厚度方向上推动所述第一夹持部，由此以扩大所述第一夹持部与所述第二夹持部之间的间隔的方式使所述夹具弹性变形；以及驱动机构，其使所述移位部件在所述厚度方向上移位。
(6)另外，本发明的一个方式是带电粒子束装置，其特征在于，该带电粒子束装置具有：支架，其可拆下地固定(1)至(4)中的任意一项所述的试样保持器具；试样室，其收纳所述支架；以及带电粒子束镜筒，其向所述试样照射带电粒子束。
(7)另外，本发明的一个方式的特征在于，在(6)中所述的带电粒子束装置中，所述支架具有：支承部件，其支承所述试样保持器具；以及固定部件，其将所述支承台上与厚度方向和所述夹具的安装方向垂直的方向的两端部固定在所述支承部件上。
根据本发明的试样保持器具、部件安装用器具以及带电粒子束装置，由于具有将试样保持部件相对于支承台固定的夹具，因此能够防止试样的破损并且容易装卸试样保持部件。由于能够将试样保持器具安装在多个不同的带电粒子束装置的支架上，因此能够在确保用于在不同的装置之间移置试样的通用性的同时防止装置结构所需的费用增加。
附图说明
图1是示出本发明的实施方式的带电粒子束装置的概略结构的立体图。
图2是从第一表面侧观察本发明的实施方式的试样保持器具的俯视图。
图3是本发明的实施方式的试样保持器具的剖视图，是图2所示的A-A线剖视图。
图4是从第一表面侧观察本发明的实施方式的试样保持器具的立体图。
图5是本发明的实施方式的试样保持器具的分解立体图。
图6是示出本发明的实施方式的带电粒子束装置的支架的概略结构的立体图。
图7是将本发明的实施方式的带电粒子束装置的支架的一部分放大示出的立体图。
图8是将本发明的实施方式的带电粒子束装置的支架的一部分分解示出的立体图。
图9是本发明的实施方式的部件安装用器具的俯视图，是透过表面示出内部的概略结构的一部分的图。
图10是本发明的实施方式的部件安装用器具的立体图，是透过表面示出内部的概略结构的一部分的图。
图11是本发明的实施方式的部件安装用器具的立体图，是在安装有试样保持器具的状态下透过表面示出内部的概略结构的一部分的图。
图12是示出本发明的实施方式的第一变形例的带电粒子束装置的支架的一部分的立体图。
图13是将本发明的实施方式的第一变形例的带电粒子束装置的支架的一部分分解示出的立体图。
图14是从第一表面侧观察本发明的实施方式的第二变形例的试样保持器具的俯视图。
图15是本发明的实施方式的第二变形例的试样保持器具的剖视图，是图14所示的B-B线剖视图。
图16是从第一表面侧观察本发明的实施方式的第二变形例的试样保持器具的立体图。
图17是本发明的实施方式的第二变形例的试样保持器具的分解立体图。
图18是从第一表面侧观察本发明的实施方式的第三变形例的试样保持器具的俯视图。
图19是本发明的实施方式的第三变形例的试样保持器具的剖视图，是图18所示的C-C线剖视图。
图20是从第一表面侧观察本发明的实施方式的第三变形例的试样保持器具的立体图。
图21是本发明的实施方式的第三变形例的试样保持器具的分解立体图。
标号说明
10：带电粒子束装置；11：试样室；12：试样保持器具；13：支架；14：试样台；15：电子束镜筒；16：会聚离子束镜筒；17：二次带电粒子检测器；18：EDS检测器；19：气体提供部；20：针；21：控制装置；22：输入设备；23：显示装置；41：试样保持部件；42：支承台；43：夹具；51：第一表面；52：第二表面；53：第一凹部；54：第二凹部；55：支承部位；56：支承突出部；57：贯通部位；58：贯通孔；61：第一夹持部；62：第二夹持部；71：保持器具支承部件；72：固定部件；73：固定台；80：部件安装用器具；81：主体；82：载置部位；83：板状部件；84：固定螺钉；85：销部件；86：驱动机构；87：引导部；S：试样。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的实施方式的带电粒子束装置进行说明。
图1是示出本发明的实施方式的带电粒子束装置10的概略结构的立体图。
本发明的实施方式的带电粒子束装置10具有：试样室11，其能够将内部维持为减压状态；支架13，其可拆下地固定保持试样S的试样保持器具12；以及试样台14，其将支架13固定在试样室11的内部。带电粒子束装置10具有固定于试样室11的电子束镜筒15和会聚离子束镜筒16。带电粒子束装置10具有固定于试样室11的检测器例如二次带电粒子检测器17和EDS检测器18。带电粒子束装置10具有向试样S的表面提供气体的气体提供部19和保持试样S并使其移动的针20。带电粒子束装置10在试样室11的外部具有对带电粒子束装置10的动作进行统一控制的控制装置21、与控制装置21连接的输入设备22以及显示装置23。
试样S例如是从试样片取出用试样取出的微小的试样片等。另外，电子束镜筒15和会聚离子束镜筒16的照射对象不限于试样S，也可以是试样片取出用试样、以及存在于照射区域内的针20等。
以下，X轴、Y轴以及Z轴形成三维正交坐标系，X轴和Y轴与带电粒子束装置10的与上下方向垂直的基准面(例如水平面等)平行，Z轴与上下方向(例如与水平面垂直的铅垂方向等)平行。
试样室11通过能够维持期望的减压状态的气密构造的耐压箱体形成。试样室11能够通过排气装置(省略图示)进行排气，直到使内部处于期望的减压状态为止。
关于试样保持器具12和支架13在后面说明。
试样台14具有：试样载台31，其固定支架13；第一旋转机构32，其使试样载台31绕与Z轴平行的旋转轴的轴旋转驱动；以及第一支承部33，其支承试样载台31和第一旋转机构32。试样台14具有：载台移动机构34，其使第一支承部33沿X轴、Y轴以及Z轴分别平行移动；以及第二支承部35，其支承第一支承部33和载台移动机构34。试样台14具有使第二支承部35绕与X轴平行的倾斜轴T的轴旋转驱动的第二旋转机构36。第二旋转机构36固定于试样室11。第二旋转机构36使试样载台31相对于Y轴以任意的角度倾斜。第一旋转机构32、载台移动机构34以及第二旋转机构36分别通过根据带电粒子束装置10的动作模式等从控制装置21输出的控制信号被控制。
电子束镜筒15向试样室11的内部的规定的照射区域内的照射对象照射电子束(EB)。电子束镜筒15例如以使电子束的出射端部15a在Z轴方向上面向试样载台31并且使电子束的光轴与Z轴方向平行的方式固定于试样室11。电子束镜筒15具有产生电子的电子源、使从电子源射出的电子会聚以及偏转的电子光学系统。电子光学系统例如具有电磁透镜和偏转器等。电子源和电子光学系统通过根据电子束的照射位置和照射条件等从控制装置21输出的控制信号被控制。
会聚离子束镜筒16向试样室11的内部的规定的照射区域内的照射对象照射会聚离子束(FIB)。会聚离子束镜筒16例如以使会聚离子束的出射端部16a在相对于Z轴倾斜了规定的角度的倾斜方向上面向试样载台31并且使会聚离子束的光轴与倾斜方向平行的方式固定于试样室11。会聚离子束镜筒16具有产生离子的离子源、使从离子源引出的离子会聚以及偏转的离子光学系统。离子光学系统例如具有聚光透镜(condenser lenses)等第一静电透镜、静电偏转器、物镜等第二静电透镜等。离子源和离子光学系统通过根据会聚离子束的照射位置和照射条件等从控制装置21输出的控制信号被控制。离子源例如是使用了液体镓等的液体金属离子源、等离子体型离子源以及气体电场电离型离子源等。
带电粒子束装置10能够通过向照射对象的表面一边扫描会聚离子束一边进行照射来执行被照射部的图像化、基于溅射的各种加工(挖掘、修整(trimming)加工等)、沉积膜(deposited film)的形成等。带电粒子束装置10能够执行从试样片取出用试样形成用于透射电子显微镜的透射观察用的试样片(例如薄片试样和针状试样等)、利用电子束的分析用的分析试样片、以及扫描型探针显微镜的探针用的试样片等的加工。带电粒子束装置10能够执行使保持在试样保持器具12上的试样片为适于透射电子显微镜的透射观察的期望的厚度的薄膜的加工。带电粒子束装置10能够通过向试样片取出用试样、试样片以及针20等照射对象的表面一边扫描会聚离子束或电子束一边进行照射来执行照射对象的表面的观察。
另外，电子束镜筒15和会聚离子束镜筒16也可以以调换相互的配置的方式将电子束镜筒15配置在倾斜方向上，将会聚离子束镜筒16配置在Z轴方向上。
二次带电粒子检测器17检测通过会聚离子束或电子束的照射而从照射对象产生的二次带电粒子(二次电子、二次离子)。EDS检测器18检测通过电子束的照射而从照射对象产生的X射线。二次带电粒子检测器17和EDS检测器18分别与控制装置21连接，从二次带电粒子检测器17和EDS检测器18输出的检测信号被发送给控制装置21。
在带电粒子束装置10中，不限于二次带电粒子检测器17和EDS检测器18，也可以具有其他检测器。其他检测器例如是反射电子检测器以及EBSD检测器等。反射电子检测器检测通过电子束的照射而从照射对象反射的反射电子。EBSD检测器检测通过电子束的照射而从照射对象产生的电子射线后方散射衍射图案。另外，二次带电粒子检测器17中的、用于检测二次电子的二次电子检测器和反射电子检测器也可以收纳在电子束镜筒15的箱体内。
气体提供部19固定于试样室11。气体提供部19具有面向试样载台31配置的气体喷射部(喷嘴)。气体提供部19向照射对象提供蚀刻用气体和沉积用气体等。蚀刻用气体用于根据照射对象的材质而选择性地促进会聚离子束对照射对象的蚀刻。沉积用气体用于在照射对象的表面上形成金属或绝缘体等堆积物的沉积膜。
针20例如通过与试样台14独立设置的针驱动机构20a而在试样室11内移位。针20例如从固定在试样台14上的试样片取出用试样取出微小的试样片，保持试样片并移置到后述的试样片支架上。
气体提供部19和针驱动机构20a分别通过根据带电粒子束装置10的动作模式等从控制装置21输出的控制信号被控制。
控制装置21根据从输入设备22输出的信号或通过预先设定的自动运转控制处理而生成的信号等对带电粒子束装置10的动作进行统一控制。输入设备22是输出与操作者的输入操作对应的信号的鼠标和键盘等。
控制装置21使显示装置23显示用于进行自动的序列控制中的模式选择和加工设定等各种设定的画面。控制装置21使根据二次带电粒子检测器17和EDS检测器18等各种检测器所检测的状态量生成的图像数据与图像数据的操作画面一起显示在显示装置23上。控制装置21例如一边扫描电子束或会聚离子束的照射位置一边将二次带电粒子检测器17所检测的二次带电粒子的检测量转换为与照射位置对应的亮度信号，从而根据二次带电粒子的检测量的二维位置分布生成表示照射对象的形状的图像数据。控制装置21使用于执行各图像数据的放大、缩小、移动以及旋转等操作的画面与生成的图像数据一起显示在显示装置23上。
以下，参照附图对试样保持器具12进行说明。
图2是从第一表面51侧观察本发明的实施方式的试样保持器具12的俯视图。图3是本发明的实施方式的试样保持器具12的剖视图，是图2所示的A-A线剖视图。图4是从第一表面51侧观察本发明的实施方式的试样保持器具12的立体图。图5是本发明的实施方式的试样保持器具12的分解立体图。
试样保持器具(短截线(stub))12以可拆下的方式固定在支架13上。试样保持器具12具有：试样保持部件41，其保持试样S；支承台42，其支承试样保持部件41；以及夹具(clip)43，其安装在支承台42上配置试样保持部件41的位置。
试样保持部件(网格(mesh))41例如是保持微小的试样片的试样片支架等。试样保持部件41的外形例如形成为大致半圆形的板状。试样保持部件41例如由金属材料形成。在试样保持部件41上形成有与试样S连接的切口部41a。在切口部41a上，利用通过一边由气体提供部19提供沉积用气体一边由会聚离子束镜筒16照射会聚离子束而形成的沉积膜来连接试样S。
支承台42的外形例如形成为矩形板状。在支承台42的厚度方向H上对置的第一表面51和第二表面52中的第一表面51上形成有第一凹部53，在第二表面52上形成有第二凹部54。在第一凹部53上设置有配置试样保持部件41的支承部位55和将试样保持部件41定位在支承部位55上的支承突出部56。在第一凹部53上，在与厚度方向H和夹具43的安装方向F垂直的宽度方向W上设置有与支承部位55的两侧相邻的两个贯通部位57。在贯通部位57上分别形成有在厚度方向H上贯通的贯通孔58。
在支承台42上宽度方向W的两端部59a、59b的外形例如像第一表面51侧的倒角形状等那样形成为随着朝向前端而厚度向减小趋势变化的形状。
夹具43的外形例如形成为矩形的板状部件弯折的形状。夹具43例如由金属等弹性材料形成。夹具43具有两个第一夹持部61、以面向两个第一夹持部61的方式配置的第二夹持部62、以及连接两个第一夹持部61和第二夹持部62的两个连接部63。
夹具43以利用两个第一夹持部61和第二夹持部62从厚度方向H的两侧夹持支承台42的方式安装在支承台42的第一凹部53和第二凹部54上。各个第一夹持部61配置为：在支承台42的第一表面51侧的第一凹部53处将试样保持部件41以按压到支承部位55上的方式进行固定，并且封闭各个贯通部位57的贯通孔58的至少一部分。第二夹持部62配置在支承台42的第二表面52侧的第二凹部54处与贯通孔58不发生干涉的位置。
夹具43形成为即使在支承台42上未配置试样保持部件41的状态下也能维持相对于支承台42的安装。夹具43例如通过第一夹持部61和第二夹持部62借助弹性力夹持支承台42、或者第二夹持部62利用粘接、钎接(brazing)以及焊接等固定在支承台42上，来维持相对于支承台42的安装。
以下，参照附图对支架13进行说明。
图6是示出本发明的实施方式的带电粒子束装置10的支架13的概略结构的立体图。图7是将本发明的实施方式的带电粒子束装置10的支架13的一部分放大示出的立体图。图8是将本发明的实施方式的带电粒子束装置10的支架13的一部分分解示出的立体图。
支架13例如是台座型支架，固定在试样台14上。支架13可拆下地固定至少一个试样保持器具12。支架13例如具有：保持器具支承部件71，其在宽度方向W上排列地支承四个试样保持器具12；固定部件72，其将各试样保持器具12的支承台42的两端部59a、59b固定在保持器具支承部件71上；以及固定台73，其固定保持器具支承部件71。
固定部件72具有将支承台42的两端部59a、59b分别按压到保持器具支承部件71的固定器具74和将固定器具74固定在保持器具支承部件71上的螺钉75。
固定器具74的外形例如形成为矩形板状等。在固定器具74上形成有用于收纳螺钉75的头部的实施了深锪孔(counter boring)加工的螺钉孔74a。固定器具74具有与支承台42的两端部59a、59b分别接触的突出部74b。突出部74b的外形与支承台42的两端部59a、59b各自的形状对应地形成为随着朝向前端而厚度向减小趋势变化的形状。突出部74b例如形成为：在固定器具74固定在保持器具支承部件71上的状态下使固定器具74的表面和支承台42的第一表面51大致为同一面。
螺钉75插入到固定器具74的螺钉孔74a中并且安装于形成在保持器具支承部件71上的螺钉安装孔71a，由此隔着固定器具74将试样保持器具12按压到保持器具支承部件71，固定试样保持器具12。螺钉75具有安装于轴部的弹簧部件75a。弹簧部件75a产生克服螺钉75的紧固的反作用力。
以下，参照附图对试样保持器具12中用于将试样保持部件41安装到支承台42上的部件安装用器具80进行说明。
图9是本发明的实施方式的部件安装用器具80的俯视图，是透过表面示出内部的概略结构的一部分的图。图10是本发明的实施方式的部件安装用器具80的立体图，是透过表面示出内部的概略结构的一部分的图。图11是本发明的实施方式的部件安装用器具80的立体图，是在安装有试样保持器具12的状态下透过表面示出内部的概略结构的一部分的图。
部件安装用器具80具有：主体81；载置部位82，其载置安装有夹具43的支承台42；板状部件83，其固定支承台42；以及固定螺钉84，其将板状部件83固定在主体81上。部件安装用器具80具有在支承台42的厚度方向H上移位的两个销部件85、使两个销部件85移位的驱动机构86、以及将试样保持部件41朝向支承台42进行引导的引导部87。
载置部位82的外形例如像形成在主体81的表面上的凹部等那样形成为将安装有夹具43的支承台42以规定的方式进行定位并且可收纳的形状。
板状部件83具有以与载置于载置部位82的支承台42的两端部59a、59b接触而将两端部59a、59b按压到载置部位82的方式固定支承台42的接触部83a。在板状部件83上形成有供固定螺钉84插入的螺钉孔83b和槽部83c。板状部件83在两个固定螺钉84与形成在主体81上的螺钉孔紧固的状态下通过接触部83a与支承台42的两端部59a、59b接触而将支承台42按压到载置部位82从而进行固定。板状部件83在两个固定螺钉84的紧固松动的状态下，能够以插入到螺钉孔83b中的固定螺钉84为中心以使固定螺钉84从槽部83c脱离的方式在主体81的表面上旋转。板状部件83配置成在使固定螺钉84从槽部83c脱离的状态下在支承台42的厚度方向H上支承台42的两端部59a、59b与接触部83a不发生干涉，从而能够进行支承台42相对于载置部位82的装卸。
两个销部件85在相对于载置部位82的表面的法线方向上在收纳在载置部位82的内部的位置与从载置部位82的表面突出的位置之间移位。销部件85在从载置部位82的表面突出时以从支承台42的第二表面52侧朝向第一表面51侧插入到贯通孔58中并在厚度方向H上推动第一夹持部61，由此以扩大第一夹持部61与第二夹持部62之间的间隔的方式使夹具43弹性变形。通过两个销部件85使两个第一夹持部61从支承台42的支承部位55离开，由此在两个第一夹持部61与支承部位55之间形成了用于供试样保持部件41插入的空间。在支承台42的支承部位55配置有试样保持部件41的状态下，当以使销部件85收纳在载置部位82的内部的方式进行移位时，基于销部件85的夹具43的弹性变形被消除，从而第一夹持部61将试样保持部件41以按压到支承部位55上的方式进行固定。
驱动机构86例如使两个销部件85独立地移位。驱动机构86具有为了使两个销部件85分别移位而进行操作的两个操作用螺钉86a。驱动机构86在主体81的内部与两个销部件85分别连接，通过将输入给两个操作用螺钉86a的驱动力分别传递到两个销部件85使两个销部件85移位。两个操作用螺钉86a各自分别安装于形成在主体81的表面上的两个螺钉插入孔81a。
引导部87的外形例如像设置于形成在主体81的表面上的凹部的台座等那样形成为将试样保持部件41以规定的方式定位并且朝向载置于载置部位82的支承台42能够滑动移动。引导部87具有：滑动台87b，其设置有载置试样保持部件41的两个导轨87a；以及两个引导壁87c，其对试样保持部件41进行定位。
两个导轨87a例如设置成以隔开比试样保持部件41在宽度方向W上的长度小的间隔的方式在引导部87中的试样保持部件41的滑动方向D上平行地延伸。两个导轨87a在相对于滑动台87b的表面的法线方向上的高度例如形成为比载置于载置部位82的支承台42上的支承部位55的表面的高度稍高。各导轨87a的滑动方向D的前端部例如形成为随着朝向前端而高度逐渐变低那样的向下倾斜形状，以使得试样保持部件41顺畅地交接到支承台42。
两个引导壁87c设置成以夹着试样保持部件41的方式隔开比试样保持部件41在宽度方向W上的长度稍大的规定的间隔地在滑动方向D上平行地延伸。
如上所述，根据本实施方式的试样保持器具12，由于具有将试样保持部件41相对于支承台42固定的夹具43，因此能够防止试样S的破损并且容易装卸试样保持部件41。与利用螺钉等将试样保持部件41相对于支承台42固定的情况相比，能够使试样保持器具12小型化。
由于夹具43具有在支承台42的第一表面51侧封闭贯通孔58的第一夹持部61和在支承台42的第二表面52侧与贯通孔58不发生干涉的第二夹持部62，因此能够利用插入到贯通孔58中的销部件85来按压第一夹持部61。由此，在第一夹持部61与支承部位55之间能够容易形成用于供试样保持部件41插入的空间，从而能够容易将试样保持部件41安装到支承台42上。
由于夹具43安装于形成在支承台42的第一表面51上的第一凹部53和形成在第二表面52上的第二凹部54，因此能够防止试样保持器具12的厚度增大。
由于支承台42的两端部59a、59b随着朝向前端而厚度向减小趋势变化，因此在利用固定器具74将两端部59a、59b按压到支架13的保持器具支承部件71时，能够防止厚度增大。
根据本实施方式的部件安装用器具80，由于具有插入到支承台42的贯通孔58中，通过按压第一夹持部61来扩大第一夹持部61与第二夹持部62之间的间隔的销部件85，因此在支承台42与夹具43之间能够容易形成用于供试样保持部件41插入的空间。
根据本实施方式的带电粒子束装置10，由于具有可拆下地固定试样保持器具12的支架13，因此能够在确保用于移置试样S的通用性的同时防止装置结构所需的费用增加。
由于支架13具有将试样保持器具12的支承台42的两端部59a、59b固定在保持器具支承部件71的固定部件72，因此与具有与支承台42的两端部59a、59b以外接触的部件的情况相比，能够防止厚度增大。
以下，参照附图对上述实施方式的第一变形例进行说明。
图12是示出本发明的实施方式的第一变形例的带电粒子束装置10的支架90的一部分的立体图。图13是将本发明的实施方式的第一变形例的带电粒子束装置10的支架90的一部分分解示出的立体图。
在上述的实施方式中，支架13是台座型支架，但不限定于此。支架13例如也可以像杆型支架等那样是台座型以外的形状的支架。另外，以下对与上述的实施方式相同的部分标注相同的标号而省略或简化说明。
第一变形例的支架90例如是在侧条目型(side-entry type)的试样载台等中使用的杆型支架。支架90例如在电子束镜筒15构成扫描型电子显微镜和透射型电子显微镜等电子显微镜的情况下使用。支架90以能够通过电子束的照射检测试样S的透射电子的方式可拆下地保持试样保持器具12。
支架90具有棒状支承部91、与棒状支承部91的前端连接的板状支承部92、以及能够将试样保持器具12以可拆下的方式固定于板状支承部92的板簧固定器具93。在板状支承部92上，在厚度方向上对置的两个表面上分别形成有凹部92a，并且在凹部92a处形成有能够供试样保持器具12配置的切口部92b。
板簧固定器具93例如形成为矩形的板状体弯折的形状。板簧固定器具93具有两个第一夹持板93a、配置成与两个第一夹持板93a相对的第二夹持板93b、以及连接两个第一夹持板93a和第二夹持板93b的两个连接板93c。
板簧固定器具93以利用两个第一夹持板93a和第二夹持板93b从厚度方向H的两侧夹持支承台42和板状支承部92的方式安装在板状支承部92的两个凹部92a。两个第一夹持板93a在支承台42的第一表面51侧在与夹具43不发生干涉的位置上与第一表面51接触。第二夹持板93b在支承台42的第二表面52侧在与夹具43不发生干涉的位置上与第二表面52接触。第二夹持板93b在凹部92a处例如通过粘接、钎接以及焊接等而固定在板状支承部92。
根据第一变形例，由于能够将试样保持器具12安装在多个不同的带电粒子束装置10的支架上，因此能够在确保用于在不同的装置之间移置试样S的通用性的同时防止装置结构所需的费用增加。
以下，参照附图对上述实施方式的第二变形例进行说明。
图14是从第一表面51侧观察本发明的实施方式的第二变形例的试样保持器具12的俯视图。图15是本发明的实施方式的第二变形例的试样保持器具12的剖视图，是图14所示的B-B线剖视图。图16是从第一表面51侧观察本发明的实施方式的第二变形例的试样保持器具12的立体图。图17是本发明的实施方式的第二变形例的试样保持器具12的分解立体图。
在上述的实施方式中，夹具43是板状部件，但不限定于此。夹具43例如也可以由线状部件等板状部件以外的形状的部件形成。另外，以下对与上述的实施方式相同的部分标注相同的标号而省略或简化说明。
第二变形例的夹具143的外形例如形成为线状部件弯折的形状。夹具143具有两个第一夹持部161、配置成面向两个第一夹持部161的第二夹持部162、以及连接两个第一夹持部161和第二夹持部162的两个连接部163。
夹具143以利用两个第一夹持部161和第二夹持部162从厚度方向H的两侧夹持支承台42的方式安装在支承台42的第一凹部53和第二凹部54。各个第一夹持部161配置成在支承台42的第一表面51侧的第一凹部53处将试样保持部件41以按压到支承部位55上的方式进行固定，并且封闭各个贯通部位57的贯通孔58的至少一部分。第二夹持部162配置在支承台42的第二表面52侧的第二凹部54处与贯通孔58不发生干涉的位置。
夹具143形成为即使在支承台42上未配置试样保持部件41的状态下也能维持相对于支承台42的安装。夹具143例如通过第一夹持部161和第二夹持部162借助弹性力夹持支承台42、或者第二夹持部162利用粘接、钎接以及焊接等固定在支承台42上，来维持相对于支承台42的安装。
根据第二变形例，由于具有由线状部件形成的夹具143，因此能够使试样保持器具12轻量化，并且能够容易进行试样保持器具12相对于支承台42的装卸。
以下，参照附图对上述实施方式的第三变形例进行说明。
图18是从第一表面51侧观察本发明的实施方式的第三变形例的试样保持器具12的俯视图。图19是本发明的实施方式的第三变形例的试样保持器具12的剖视图，是图18所示的C-C线剖视图。图20是从第一表面51侧观察本发明的实施方式的第三变形例的试样保持器具12的立体图。图21是本发明的实施方式的第三变形例的试样保持器具12的分解立体图。
在上述的实施方式中，试样保持部件41为板状部件，但不限定于此。试样保持部件41例如也可以由针状部件等板状部件以外的形状的部件形成。另外，以下对与上述的实施方式相同的部分标注相同的标号而省略或简化说明。
第三变形例的试样保持部件241的外形例如形成为针状。保持在试样保持部件241的前端的试样S例如被用作扫描型隧道显微镜和原子间力显微镜等扫描型探针显微镜的探针(probe)。
在支承台42的第一凹部53处，在支承部位55上，也可以代替上述实施方式的支承突出部56而形成有用于安装试样保持部件241的凹槽256。夹具243具有一个第三夹持部261、配置成面向第三夹持部261的第二夹持部62、以及连接第三夹持部261和第二夹持部62的两个连接部63。夹具243以利用第三夹持部261和第二夹持部62从厚度方向H的两侧夹持支承台42的方式安装在支承台42的第一凹部53和第二凹部54。
第三夹持部261配置成在支承台42的第一表面51侧的第一凹部53处将试样保持部件241以按压到支承部位55的凹槽256的方式进行固定，并且封闭两个贯通部位57各自的贯通孔58的至少一部分。
根据第三变形例，由于具有保持针状的试样保持部件241的试样保持器具12，因此能够在确保用于将探针移置到扫描型探针显微镜上的通用性的同时防止装置结构所需的费用增加。
以下，对上述实施方式的其他变形例进行说明。
在上述的实施方式中，在试样台14的贯通部位57形成有贯通孔58，但不限定于此，也可以代替贯通孔58而形成有贯通槽。
另外，上述实施方式是作为例子而提示的，并不意味着对发明的范围进行限定。这些新的实施方式可以通过其他各种方式来实施，在不脱离发明的主旨的范围内，可以进行各种省略、置换、变更。这些实施方式及其变形包含于发明的范围和主旨内并且包含于权利要求书中所记载的发明及其均等的范围内。

Claims (7)

1.一种试样保持器具，其以可拆下的方式固定在带电粒子束装置的支架上，其特征在于，该试样保持器具具有：
试样保持部件，其保持被照射带电粒子束的试样；
支承台，其支承所述试样保持部件；以及
夹具，其安装在所述支承台上配置所述试样保持部件的支承部位处。
2.根据权利要求1所述的试样保持器具，其特征在于，
所述支承台在所述支承部位以外具有贯通部位，该贯通部位形成有在厚度方向上贯通的孔或槽，
所述夹具具有以从所述厚度方向的两侧夹持所述支承台的方式成对的第一夹持部和第二夹持部，
所述第一夹持部在所述支承台的第一表面侧将所述试样保持部件按压到所述支承部位上，并且封闭所述孔或所述槽的至少一部分，
所述第二夹持部在所述支承台的第二表面侧设置于与所述孔或所述槽不发生干涉的位置。
3.根据权利要求2所述的试样保持器具，其特征在于，
所述支承部位和所述贯通部位设置于形成在所述支承台的所述第一表面上的第一凹部，
所述第一夹持部在所述第一凹部处将所述试样保持部件按压到所述支承部位上，
所述第二夹持部配置于形成在所述支承台的所述第二表面上的第二凹部。
4.根据权利要求2或3所述的试样保持器具，其特征在于，
所述支承台上与所述厚度方向和所述夹具的安装方向垂直的方向的两端部的外形形成为随着朝向前端而厚度向减小趋势变化的形状。
5.一种部件安装用器具，其是用于在权利要求2至4中的任意一项所述的试样保持器具中将所述试样保持部件安装到所述支承台上的部件安装用器具，其特征在于，该部件安装用器具具有：
支承台固定部，其对安装有所述夹具的所述支承台进行固定；
移位部件，其在所述支承台的所述厚度方向上移位，从所述支承台的所述第二表面侧朝向所述第一表面侧插入到所述孔或所述槽中而在所述厚度方向上推动所述第一夹持部，由此以扩大所述第一夹持部与所述第二夹持部之间的间隔的方式使所述夹具弹性变形；以及
驱动机构，其使所述移位部件在所述厚度方向上移位。
6.一种带电粒子束装置，其特征在于，其具有：
支架，其可拆下地固定权利要求1至4中的任意一项所述的试样保持器具；
试样室，其收纳所述支架；以及
带电粒子束镜筒，其向所述试样照射带电粒子束。
7.根据权利要求6所述的带电粒子束装置，其特征在于，
所述支架具有：
支承部件，其支承所述试样保持器具；以及
固定部件，其将所述支承台上与厚度方向和所述夹具的安装方向垂直的方向的两端部固定在所述支承部件上。
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