CN108622705B - 基材处理装置以及基材处理方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种通过利用处理部中的现有搬送机构能够进行基材的偏移状态的检测和修正的技术。基材处理装置包括搬送机构(10)、力检测部(30)、偏移修正部(40)、处理部及控制部。搬送机构将长带状的基材(9)沿着由多个辊构成的搬送路径在长度方向上搬送。力检测部测量施加在多个辊中的至少一个检测辊(31)的在旋转轴方向上的力。控制部基于施加于检测辊的在旋转轴方向上的力，预测基材的偏移状态，并输出偏移预测信息。偏移修正部(40)基于偏移预测信息，修正基材相对处理部在宽度方向上的相对位置。因此，通过使用处理部中的现有搬送机构(10)的辊，能够检测基材(9)的偏移状态，且修正基材(9)相对处理部在宽度方向上的相对位置。

Description

基材处理装置以及基材处理方法

技术领域

本发明涉及一种将长带状的基材在长度方向上搬送并处理基材，而且进一步对基材的偏移进行修正的基材处理装置以及基材处理方法。

背景技术

以往，已知有利用多个辊将长带状的基材在长度方向上搬送，并且对基材进行各种处理的基材处理装置。在这种基材处理装置中，有时由于基材的位置在宽度方向上从理想的位置错位，从而基材偏移地搬送。若基材产生偏移，则存在导致处理品质下降的担忧。因此，在基材处理装置中，搭载用于抑制这种偏移的偏移修正装置。

例如，在专利文献1中记载了以往的偏移修正装置。专利文献1的系统利用边缘位置传感器来高精度地测量薄条(Web)在横向上的位置，进一步确定横向移动的频率。并且，在将薄条搬送到印刷处理机之前，基于所确定的频率操作薄条的朝向，来补偿横向移动。

专利文献1：日本特开2015-013753号公报

发明内容

然而，当在搬送基材的过程中在处理部的上游侧进行偏移修正时，存在在将基材搬送到处理部之前再次产生偏移的担忧。另外，如单程印刷方式的处理装置那样，当在基材的搬送方向上设置多个处理喷头时，存在通过各个处理喷头时的基材的偏移状态进一步产生变化的担忧。

另外，当在靠近处理部的位置上进行偏移修正时，由于在处理部附近配置有现有的处理装置，因此，难以确保用于配置新的偏移修正装置的空间。

本发明是鉴于这种情况而提出的，其目的在于，提供一种能够通过利用处理部中的现有的搬送机构来进行基材的偏移状态的检测和修正的技术。

为了解决上述课题，本申请的第一发明的基材处理装置，包括：搬送机构，其将长带状的基材沿着由多个辊构成的搬送路径在长度方向上搬送；处理部，其在所述搬送路径上的处理位置处理基材；力检测部，检测作为所述多个辊中的至少一个的检测辊的在旋转轴方向上的力；偏移预测部，基于所述检测辊的在旋转轴方向上的力，预测所述基材的偏移并输出偏移预测信息；偏移修正部，基于所述偏移预测信息，修正所述基材相对所述处理部在宽度方向上的相对位置。

本申请的第二发明的基材处理方法，将长带状的基材沿着由多个辊构成的搬送路径在长度方向上搬送，并且在所述搬送路径上的处理位置处理基材，该基材处理方法包括：步骤a)，其检测作为所述多个辊中的至少一个所述检测辊的在旋转轴方向上的力，步骤b)，其基于所述检测辊的在旋转轴方向上的力，预测所述基材的偏移并输出偏移预测信息，步骤c)，其基于所述偏移预测信息，修正所述基材在宽度方向上的位置。

根据本申请的第一发明和第二发明，能够使用位于处理部的下方的现有辊来检测基材的偏移状态，还能够修正基材相对处理部在宽度方向上的相对位置。由此，在已修正基材的偏移的状态下，能够对基材进行处理。

附图说明

图1是表示印刷装置的结构的图。

图2是表示力检测部和偏移修正部的例子的图。

图3是表示控制部与印刷装置内的各个部的连接的框图。

图4是概念性地表示施加在基材的轴向上的张力与从检测辊受到的摩擦力之间的关系的图。

图5是表示偏移的检测处理和修正处理的流程的流程图。

图6是表示根据变形例的力检测部的结构的图。

图7是表示根据变形例的力检测部和偏移修正部的结构的图。

附图标记说明

1：印刷装置

9、9B、9C：基材

10、10B：搬送机构

11：卷出部

12：卷取部

13：驱动辊(搬送辊)

14：从动辊(搬送辊)

15B：主体框架

16B：轴承部

30、30B、30C：力检测部

31、31B、31C：检测辊

32、32B：测力传感器

33、33C：布线

34C：位移传感器

35C：轴向力算出部

40、40C：偏移修正部

41、41C：修正辊

50：图像记录部

51：记录喷头

60：控制部

61：搬送控制部

62：喷头控制部

63：频率算出部

64：偏移预测部

65：偏移控制部

90、90C：中心轴

310、310C：旋转轴

311：辊部

601：运算处理部

602：存储器

603：存储部

D：数据

Fx：摩擦力

P：计算机程序

Sa：驱动指令信号

Sb：喷出指令信号

Sc：力信息

Sd：频率信息

Se：偏移预测信息

Sf：修正指令信号

Sw：箭头

T：张力

Tx：张力

具体实施方式

以下，参照附图说明本发明的实施方式。需要说明的是，以下，将搬送基材9的方向称作“搬送方向”，将垂直于搬送方向的水平方向称作“宽度方向”。

＜1.印刷装置的结构＞

图1是表示本发明的基材处理装置的一实施方式的印刷装置1的结构的图。该印刷装置1是在长度方向上搬送长带状的基材9，并且以喷墨的方式在基材9的表面上记录多色图像的装置。在本实施方式中，作为基材9可使用例如由合成树脂形成的薄膜。如图1所示，印刷装置1包括搬送机构10、力检测部30、偏移修正部40、图像记录部50以及控制部60。

搬送机构10是用于沿着规定的搬送路径搬送基材9的机构。本实施方式的搬送机构10具有卷出部11、卷取部12以及多个搬送辊13、14。卷出部11和卷取部12与成为动力源的马达相连结。多个搬送辊13、14包括：驱动辊13，其借助马达的动力而主动进行旋转；从动辊14，其不与马达连结而随着基材9的移动进行旋转。

多个搬送辊13、14构成基材9的搬送路径。各个搬送辊13、14分别以水平轴(沿宽度方向延伸的中心轴90)为中心进行旋转，由此，向搬送路径的下游侧引导基材9。另外，通过使基材9与多个搬送辊13、14接触来向基材9施加搬送方向的张力T。

若控制部60使与卷出部11、卷取部12以及驱动辊13连结的马达驱动，则卷出部11、卷取部12以及驱动辊13分别进行旋转。因此，能够从卷出部11抽出基材9，基材9经由多个搬送辊13、14搬送至卷取部12。

力检测部30检测作为施加于多个搬送辊13、14中的至少一个的后述检测辊31的在旋转轴方向上的力。其是，当因基材9偏移而在宽度方向上向基材9施加张力Tx时，检测辊31受到的来自基材9的摩擦力(反作用力)。在图1的例子中，在后述的图像记录部50的四个记录喷头51的每个的下方附近且后述的各个偏移修正部40的紧邻上游侧，分别配置一个力检测部30，合计配置有四个。但是，印刷装置1所具有的力检测部30的数量可以是一个～三个，也可以是五个以上。作为力检测部30例如可使用如下机构：利用测力传感器来检测施加在作为从动辊14的后述的检测辊31的旋转轴的负荷。详细内容将在后面进行详述。需要说明的是，力检测部30将作为测量结果的力信息Sc向后述的控制部60的频率算出部63和偏移预测部64输出。

偏移修正部40具有用于修正基材9在宽度方向上的位置的机构。在图1的例子中，偏移修正部40配置在各个力检测部30的下游侧，即在后述的图像记录部50的四个记录喷头51的每个的下方配置一个偏移修正部40，合计配置有四个。但是，印刷装置1所具有的偏移修正部40的数量可以是一个～三个，也可以是五个以上。

图2是表示力检测部30和偏移修正部40的例子的图。图2的偏移修正部40具有修正辊41。修正辊41和上述的检测辊31均为搬送机构10的多个搬送辊13、14中的至少一个。另外，通过使修正辊41与上述的检测辊31分别与基材9接触地进行旋转来向下游侧引导基材9。另外，在修正辊41连接有省略图示的移动机构。若使移动机构动作，则修正辊41如图2中的箭头Sw那样在宽度方向上进行摆动。如上所述，通过改变修正辊41在中心轴90方向上的位置或者修正辊41相对中心轴90的倾斜，来修正基材9相对图像记录部50在宽度方向上的相对位置。结果，能够修正基材9的偏移。

但是，本发明的偏移修正部40并不限定于图2的结构。例如，偏移修正部40例如可通过改变后述的图像记录部50的记录喷头51的位置或者朝向来修正基材9相对于记录喷头51在宽度方向上的相对位置，来代替如上所述使修正辊41在宽度方向上摆动来改变位置或者朝向，或者除了如上所述使修正辊41在宽度方向上摆动来改变位置或者朝向之外，还可通过改变后述的图像记录部50的记录喷头51的位置或者朝向来修正基材9相对于记录喷头51在宽度方向上的相对位置。

图像记录部50具有向由搬送机构10搬送的基材9喷出油墨的液滴的机构。图像记录部50是本发明的“处理部”的一个例子。在图1的例子中，图像记录部50在搬送路径上比卷出部11更靠下游侧，且比卷取部12更靠的上游侧。

本实施方式的图像记录部50具有四个记录喷头51。四个记录喷头51在搬送方向上隔开间隔地排列于基材9的搬送路径的上方。各个记录喷头51具有与基材9的宽度方向平行地排列的多个喷出口。四个记录喷头51从多个喷出口向基材9的上表面分别喷出作为多色图像的颜色成分的青色(C)、品红色(M)、黄色(Y)、黑色(K)的各个颜色的油墨的液滴。由此，在基材9的上表面上记录多色图像。

本实施方式的图像记录部50是所谓单程印刷方式的记录部。即，四个记录喷头51在宽度方向上不进行往复移动。在基材9仅通过一次各个记录喷头51的下方的期间，图像记录部50通过从各个记录喷头51喷出油墨的液滴来在基材9的上表面记录多色图像。

控制部60对印刷装置1内的各个部的动作进行控制。如图1概念性地所示，控制部60由具有CPU等运算处理部601、RAM等存储器602以及硬盘驱动器等存储部603的计算机构成。图3是表示控制部60与印刷装置1内的各个部的连接的框图。如图3所示，控制部60能够分别与上述的搬送机构10、力检测部30、偏移修正部40以及图像记录部50进行通信地连接。

控制部60将存储在存储部603中的计算机程序P和数据D临时读出到存储器602，并使运算处理部601基于该计算机程序P和数据D进行运算处理，从而控制印刷装置1内的各个部的动作。由此，进行印刷装置1中的印刷处理、后述的基材9的偏移状态的检测处理以及修正处理。

另外，如图3概念性地所示，控制部60具有搬送控制部61、喷头控制部62、频率算出部63、偏移预测部64以及偏移控制部65。这些各个部的功能，通过作为控制部60的计算机根据计算机程序P动作来实现。

搬送控制部61对利用搬送机构10的基材9的搬送动作进行控制。具体而言，搬送控制部61向分别与卷出部11、卷取部12以及多个驱动辊13连接的马达输出驱动指令信号Sa。由此，使各个马达分别以指定的转数驱动。若驱动各个马达，则通过卷出部11、卷取部12以及多个驱动辊13的旋转来沿着搬送路径搬送基材9。

喷头控制部62分别对四个记录喷头51的油墨的液滴的喷出动作进行控制。喷头控制部62基于进入的图像数据向四个记录喷头51输出喷出指令信号Sb。喷出指令信号Sb包括表示应当喷出油墨的液滴的喷嘴、油墨的液滴的尺寸以及油墨的液滴的喷出时刻的信息。各个记录喷头51在指定的时刻从根据喷出指令信号Sb指定的喷嘴喷出指定的尺寸的油墨的液滴。由此，在基材9的上表面形成与图像数据对应的多色图像。

频率算出部63算出检测辊31因由搬送机构10搬送的基材9偏移而受到的来自基材9在旋转轴方向上的摩擦力(反作用力)的增减的频率。如上所述，力检测部30向频率算出部63输出作为测量结果的力信息Sc。频率算出部63基于由力检测部30测量的力信息Sc算出施加在检测辊31上的摩擦力(反作用力)的频率。并且，频率算出部63向偏移预测部64输出表示算出结果的频率信息Sd。

偏移预测部64预测由搬送机构10搬送的基材9产生的偏移。如上所述，力检测部30还向偏移预测部64输出作为测量结果的力信息Sc。另外，频率算出部63向偏移预测部64输出作为算出结果的频率信息Sd。基于由力检测部30测量的力信息Sc和由频率算出部63算出的频率信息Sd，偏移预测部64算出基材9已经产生的偏移量且预测之后基材9产生的偏移。具体而言，预测基材9的与位于图像记录部50的下方的修正辊41接触的部位在宽度方向上的位移量。并且，偏移预测部64向偏移控制部65输出表示预测结果的偏移预测信息Se。

偏移控制部65对偏移修正部40的动作进行控制。基于从偏移预测部64获得的偏移预测信息Se，偏移控制部65算出偏移修正部40的修正量。并且，向偏移修正部40输出表示算出的修正量的修正指令信号Sf。基于修正指令信号Sf，偏移修正部40使修正辊41摆动。由此，修正基材9在宽度方向上的位置。结果，能够修正基材9的偏移。

如此，该印刷装置1包括由搬送机构10、力检测部30、偏移修正部40以及控制部60构成的偏移修正装置。

＜2.偏移的检测和修正＞

接着，对印刷装置1的偏移的检测和修正，进行更详细的说明。

图4是概念性地表示在由搬送机构10搬送的基材9产生了偏移时施加于基材9的在中心轴90方向上的张力Tx与基材9受到的来自检测辊31的摩擦力Fx的关系的图。如图4所示，力检测部30具有检测辊31和测力传感器32。

检测辊31位于图像记录部50的下方附近且各个修正辊41的紧邻上游侧。另外，检测辊31具有旋转轴310和辊部311。旋转轴310固定于构成印刷装置1的框体等，并相对静止。另外，辊部311经由轴承部能够以沿宽度方向延伸的中心轴90为中心旋转地支撑于旋转轴310。旋转轴310的材料可使用例如铝、不锈钢等金属。需要说明的是，如后述的变形例那样，检测辊31可具有其他结构。

测力传感器32具有例如通过粘接将应变传感器固定于可变形的应变体的结构。在检测辊31的旋转轴310的至少一端侧相邻地配置测力传感器32。另外，测力传感器32中的可变形的自由端部固定于检测辊31的旋转轴310。测力传感器32的材料可使用例如铝、不锈钢等金属。由此，在测力传感器32上施加负荷时，能够获得根据负荷的正确的位移量。需要说明的是，可将磁致伸缩式测力传感器或者静电电容型测力传感器等用作测力传感器32，来替代使用该应变传感器式测力传感器。

需要说明的是，在测力传感器32还搭载有包括基板的力检测输出部。基板与测力传感器32的应变传感器电连接。另外，与该力检测输出部电连接的布线33进一步引出至测力传感器32的外侧来与控制部60相连接。

若检测辊31的旋转轴310在中心轴90方向上产生位移，则在检测辊31的旋转轴310的一端侧邻接地固定的测力传感器32的应变体和应变传感器产生位移。因此，来自测力传感器32的应变传感器的输出产生变化。

图5是表示印刷装置1中的偏移检测处理和偏移修正处理的流程的流程图。在该印刷装置1中，在基材9搬送到图像记录部50的各个记录喷头51的下方附近时，连续地、间歇地或在规定的时刻重复执行图5所示的偏移检测处理和偏移修正处理。以下，对该流程图中的各个步骤进行说明。需要说明的是，对与已记载的内容重复的部分，省略一部分说明。

首先，将基材9靠近检测辊31的宽度方向的一侧，例如图4中的检测辊31的+X侧的状态假定为由搬送机构10搬送的基材9产生偏移的情况。如上所述，在由搬送机构10搬送基材9时，与多个搬送辊13、14接触，由此，搬送方向的张力T一直施加于基材9。但是，在基材9产生偏移的部位，施加于基材9的张力T向+X方向倾斜。因此，在基材9上产生张力T在+X方向上的分量即张力Tx。

在图4中，基材9维持与检测辊31接触且不在宽度方向上进一步滑动的状态。这是因为，除了作为在宽度方向上的力的张力Tx之外，基材9还受到来自检测辊31的摩擦力Fx。另外，检测辊31受到来自基材9的与张力Tx大小相同且与张力Tx相同朝向的摩擦力(反作用力)。由此，检测辊31和固定在检测辊31的测力传感器32在中心轴90方向上产生位移。

如上所述，在测力传感器32中，来自应变传感器的输出经由基板到达力检测输出部。测力传感器32在中心轴90方向上产生位移，从而应变传感器的输出产生变化。力检测输出部获取从该应变传感器输出的检测信号，并且算出检测信号表示的施加在检测辊31的上述摩擦力(反作用力)，即在旋转轴310方向上的力。

另外，经由布线33向后述的控制部60的频率算出部63和偏移预测部64输出，与由力检测输出部算出的施加在检测辊31的在旋转轴310方向上的力相关的力信息Sc(步骤S1)。

接着，基于与力信息Sc相关的检测辊31在旋转轴310方向上的力，频率算出部63确定因由搬送机构10搬送的基材9偏移而产生的、检测辊31在旋转轴310方向上的力的频率(基材9的偏移频率)(步骤S2)。在此，该偏移频率表示基材9在宽度方向上周期性地产生位移情况的频率。通过确定基材9在宽度方向上的产生位移的周期，能够与随后基材9产生的偏移的预测关联。频率算出部63向偏移预测部64输出确定的基材9的频率信息Sd。

接着，偏移预测部64基于力检测部30算出的施加在检测辊31的在旋转轴310方向上的力和频率算出部63确定的基材9的偏移频率，算出基材9已产生的偏移量，并且预测在没有进行偏移修正的情况下之后基材9产生的偏移(步骤S3)。此时，考虑测量到在上述旋转轴310方向上的力的检测辊31和比该检测辊31更靠搬送路径的紧邻下游侧且位于图像记录部50下方的修正辊41在搬送方向上的轴间距离。并且，预测在没有进行偏移修正情况下基材9的与该修正辊41接触的部位在宽度方向上的位移量。偏移预测部64向偏移控制部65输出表示预测结果的偏移预测信息Se。

此外，基于从偏移预测部64获得的偏移预测信息Se，偏移控制部65对偏移修正部40的动作进行控制(步骤S4)。在该过程中，偏移控制部65算出修正量，以抵消在偏移预测信息Se中预测的偏移。并且，偏移控制部65向偏移修正部40输出表示算出的修正量的修正指令信号Sf。基于修正指令信号Sf，偏移修正部40使修正辊41进行摆动。由此，修正基材9相对于图像记录部50在宽度方向上的相对位置。结果，修正基材9的偏移。

如此，优选以在图像记录部50的各个记录喷头51的下方消除基材9在宽度方向上的位置偏移的方式算出修正指令信号Sf。即，优选对位于各个修正辊41的紧邻上游侧的各个检测辊31，分别预测基材9的偏移，修正紧邻下游侧的修正辊41的偏移，并且对基材9进行印刷等处理，其中，各个修正辊41位于图像记录部50的各个记录喷头51的下方。此时，优选考虑偏移修正的一次延迟特性来确定修正量，以使基材9在宽度方向上的位置在各个记录喷头51的下方靠近理想的位置。

如上所述，在该印刷装置1中，可用位于图像记录部50的下方的现有的搬送辊13、14来检测基材9的偏移状态并进行修正。因此，即便在难以确保设置新的偏移修正装置的空间的图像记录部50的附近，也能够检测基材9的偏移状态并进行修正。另外，由于能够在图像记录部50的正下方修正基材9在宽度方向上的位置，因此能够在修正偏移之后没有再次产生偏移的时间，在基材9的上表面记录多色图像。由此，提高了印刷品质。

另外，以往，当在基材9的偏移检测中使用普通的边缘传感器时，若基材的边缘形状有凹凸，则边缘传感器将该凹凸检测为偏移。在这种情况下，偏移修正部40会基于基材9的边缘进行不必要的修正。然而，该印刷装置1基于基材9在宽度方向上的张力Tx，检测基材9的偏移并进行修正。因此，不会因基材9的边缘的形状而进行不必要的偏移修正。

＜3.变形例＞

以上，对本发明的一实施方式进行了说明，但是本发明并不限定于所述实施方式。

在上述实施方式中，偏移修正部40位于各个图像记录部50的四个记录喷头51的下方，力检测部30位于各个偏移修正部40的紧邻上游侧。但是，偏移修正部40和力检测部30的位置并不限定于此。尤其，力检测部30可位于例如在搬送路径上比图像记录部50更靠下游侧。并且，可从施加在设置于搬送路径的下游侧位置上的检测辊31的在旋转轴310方向上的力等，预测图像记录部50的下方的基材9的偏移状态，并进行修正。

此外，力检测部30的检测辊31和偏移修正部40的修正辊41可以是同一个辊。例如，可从施加在位于图像记录部50的记录喷头51的正下方的辊的在旋转轴方向上的力等，检测该辊位置的基材9的偏移状态，进一步，可通过使该辊的在宽度方向上摆动来修正基材9相对于该位置的图像记录部50在宽度方向上的相对位置。

图6是表示变形例的力检测部30B的结构的图。在图6的例子中，搬送基材9B的搬送机构10B除了包括主体框架15B、检测辊31B的多个搬送辊之外，还具有一个或者多个轴承部16B。一个或多个轴承部16B直接或间接地固定于主体框架15B，并以能够分别旋转的方式支撑包括检测辊31B的多个搬送辊。另外，力检测部30B所具有的测力传感器32B的可变形的自由端部固定于轴承部16B。即便是这种结构，也能够检测检测辊31B在旋转轴方向上的力。

图7是表示变形例的力检测部30C和偏移修正部40C的结构的图。在图7的例中，力检测部30C具有检测辊31C、位移传感器34C、轴向力算出部35C。

检测辊31C位于图像记录部的下方附近，且各个修正辊41C的紧邻上游侧。另外，检测辊31C所具有的旋转轴310C的材料使用能够在中心轴90C方向上变形的应变体。由此，在负荷施加于检测辊31C的旋转轴310C时，能够获得与中心轴90C方向的负荷对应的正确的位移量。

位移传感器34C具有通过粘接来固定于检测辊31C的旋转轴310C的应变计和基板。基板与应变计电连接。另外，与该基板电连接的布线33C进一步引出至位移传感器34C的外侧来与轴向力算出部35C相连接。需要说明的是，位移传感器34C只要能够检测检测辊31C在旋转轴310C方向上的位移即可，位移传感器34C可具有与本变形例的结构不同的结构。例如，位移传感器34C可以是静电电容型传感器、利用弹簧的传感器、利用压缩元件的传感器等。

若检测辊31C的旋转轴310C因基材9C偏移而在中心轴90C方向上产生位移，则固定于检测辊31C的旋转轴310C的应变计产生位移。由此，应变计的输出产生变化。来自于该应变计的输出，经由位移传感器34C的基板和布线33C到达轴向力算出部35C。轴向力算出部35C获取作为来自该位移传感器34C的输出的检测信号，并且算出检测信号所表示的施加于检测辊31C的在旋转轴310C上的力。即便是这种结构，也能够检测出检测辊31C在旋转轴310C方向上的力。

另外，在所述实施方式中，从印刷装置中完全排除了边缘传感器。但是，本发明的印刷装置可将以往的使用边缘传感器的装置(例如，EPC(注册商标、Edge PositionControl：边缘位置控制)等)兼用作偏移修正装置。即，可以是考虑由边缘传感器测量的基材的端缘部的位置和从施加在基材的张力预测的基材的偏移双方来对基材的偏移进行修正的装置。

另外，在所述实施方式中，图像记录部具有四个记录喷头。但是，图像记录部所具有的记录喷头的数量可以是一个～三个，也可以是五个以上。例如，图像记录部除了喷出C、M、Y、K各种颜色的油墨的四个记录喷头之外，还可以具有喷出特定颜色的油墨的记录喷头。

在所述实施方式中，作为基材9使用了薄膜。然而，本发明中成为偏移修正对象的基材并不限定于薄膜，可以是由纸等其他材料形成的基材。

另外，在所述实施方式中，对向基材的表面喷出油墨的印刷装置进行了说明。即，在所述实施方式中，作为处理部的图像记录部50对基材9的加工处理是供给作为处理物质的油墨。但是，本发明的基材处理装置可以是包括在搬送路径上的处理位置向基材的表面供给油墨之外的处理物质(例如，抗蚀剂液或各种涂层材料等)的处理部的装置。另外，本发明的基材处理装置可以是，在基材的搬送路径上对基材进行供给处理物质之外的加工处理(例如，图案曝光和利用激光的绘图等)的装置。

另外，在不产生矛盾的范围内，可对所述实施方式和变形例中出现的各个要素进行适当的组合。

Claims (16)

1.一种基材处理装置，其中，包括：

搬送机构，将长带状的基材沿着由多个辊构成的搬送路径在长度方向上搬送；

处理部，在所述搬送路径上的处理位置处理所述基材；

力检测部，检测作为所述多个辊中的至少一个的检测辊的在旋转轴方向上的力；

偏移预测部，基于所述检测辊的在旋转轴方向上的力，预测所述基材的偏移并输出偏移预测信息；以及

偏移修正部，基于所述偏移预测信息，修正所述基材相对所述处理部在宽度方向上的相对位置。

2.根据权利要求1所述的基材处理装置，其中，

所述检测辊位于所述处理部的下方。

3.根据权利要求1或2所述的基材处理装置，其中，

所述偏移修正部通过改变作为所述多个辊中的至少一个的修正辊的位置或者朝向，来修正所述基材相对所述处理部在宽度方向上的相对位置。

4.根据权利要求3所述的基材处理装置，其中，

所述修正辊位于所述处理部的下方。

5.根据权利要求1或2所述的基材处理装置，其中，还包括：

频率算出部，基于所述检测辊的在旋转轴方向上的力，算出所述检测辊的在旋转轴方向上的力的增减的频率，

所述偏移预测部基于所述频率，预测所述基材的偏移并输出所述偏移预测信息。

6.根据权利要求1或2所述的基材处理装置，其中，

所述力检测部具有测力传感器，

所述测力传感器固定于所述检测辊。

7.根据权利要求1或2所述的基材处理装置，其中，

所述力检测部具有测力传感器，

所述搬送机构具有：

主体；

所述多个辊；以及

一个或多个轴承部，直接或间接地固定于所述主体，将所述多个辊分别支撑为能够旋转，

所述测力传感器固定于所述轴承部。

8.根据权利要求3所述的基材处理装置，其中，

所述修正辊在所述搬送路径上比所述检测辊更靠下游侧。

9.根据权利要求1或2所述的基材处理装置，其中，

所述处理部向所述基材的表面供给处理物质。

10.一种基材处理方法，将长带状的基材沿着由多个辊构成的搬送路径在长度方向上搬送，并且在所述搬送路径上的处理位置处理所述基材，其中，该基材处理方法包括：

步骤a)，检测作为所述多个辊中的至少一个的检测辊的在旋转轴方向上的力；

步骤b)，基于所述检测辊的在旋转轴方向上的力，预测所述基材的偏移并输出偏移预测信息；以及

步骤c)，基于所述偏移预测信息，修正所述基材在宽度方向上的位置。

11.根据权利要求10所述的基材处理方法，其中，

还在所述处理位置向所述基材的表面供给处理物质。

12.根据权利要求10或11所述的基材处理方法，其中，

在所述步骤c)中，在所述处理位置的下方修正所述基材在宽度方向上的位置。

13.根据权利要求10或11所述的基材处理方法，其中，

在所述步骤a)中，在所述处理位置的下方检测所述检测辊的在旋转轴方向上的力。

14.根据权利要求10或11所述的基材处理方法，其中，

在所述步骤c)中，通过改变作为所述多个辊中的至少一个的修正辊的位置或者朝向，来修正所述基材在宽度方向上的位置。

15.根据权利要求10或11所述的基材处理方法，其中，

在所述步骤c)中，在所述搬送路径上比所述检测辊更靠下游侧的位置，修正所述基材在宽度方向上的位置。

16.根据权利要求10或11所述的基材处理方法，其中，

在所述步骤b)中，基于所述检测辊的在旋转轴方向上的力，算出所述检测辊的在旋转轴方向上的力的增减的频率，

基于所述频率，预测所述基材的偏移并输出所述偏移预测信息。

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