CN108529227B - 传送滚轮、传送组件、传送装置 - Google Patents
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Abstract
本发明实施例中提供的一种传送滚轮，传送滚轮，包括滚轮主体，所述滚轮主体的制作材料包括压电陶瓷。通过滚轮主体中的压电材料本身的特性，在滚轮主体转动受到外部机械力时，能够吸附承载物和所述传送滚轮之间由于摩擦产生的颗粒到所述滚轮主体的外滚动面上，进而不附加任何外界能量就能清除微小颗粒，节能绿色环保。
Description
技术领域
本发明涉及清洁、滚轮、压电、OLED蒸镀传送技术领域，具体而言，本发明涉及一种传送滚轮、传送组件、传送装置。
背景技术
在大尺寸OLED蒸镀过程中，由于承载玻璃基板的基片和蒸镀用的掩膜板都很重，因此需要通过一排排的滚轮传送承载玻璃基板的基片和蒸镀用的掩膜板，使得玻璃基板能够均匀的蒸镀上其他的材料，然而在滚轮承载玻璃基板的基片和蒸镀用的掩膜板时，由于承载玻璃基板的基片和蒸镀用的掩膜板都很重，因此，在传送过程中承载物与滚轮之间有较大的摩擦力，并同时产生微小的颗粒，这些颗粒若落在玻璃基板上，会在蒸镀后的显示屏上出现暗点，影响用户满意度，对显示装置上的显示画面有一定干扰性。
发明内容
本发明的目的旨在至少解决上述技术缺陷之一，特别是滚轮和承载物之间因为摩擦力产生的颗粒掉落到玻璃基板上的问题。
本发明实施例中提供了一种传送滚轮，包括滚轮主体，所述滚轮主体的制作材料包括压电陶瓷。
进一步地，还包括位于所述滚轮主体外滚动面上的绝缘保护膜。
进一步地，所述绝缘保护膜的制作材料包括类金刚石。
进一步地，还包括第一传动轴，所述滚轮主体可转动套接在所述第一传动轴的一端。
进一步地，还包括套于所述第一传动轴外的第一空心轴，所述第一空心轴的一端与所述滚轮主体的一侧端面固接，所述第一传动轴的外周壁与所述第一空心轴的内周壁不接触。
进一步地，还包括第二传动轴，所述滚轮主体为两个，两所述滚轮主体分别可转动套接在所述第二传动轴的两端。
进一步地，还包括套于所述第二传动轴外的第二空心轴，所述第二空心轴的两端分别与两所述滚轮主体相对的一侧端面固接，所述第二传动轴的外周壁与所述第二空心轴的内周壁不接触。
本发明实施例中提供了一种传送组件，包括任一技术方案所述的传送滚轮、及与所述传送滚轮配合以清除吸附于所述传送滚轮外滚动面上的杂尘颗粒的清洁装置。
进一步地，所述清洁装置包括固定座及至少一个可转动连接于所述固定座上的清洁滚轮，所述清洁滚轮包括转动轴及设于所述转动轴周壁的粘附层，所述清洁滚轮的粘附层与所述传动滚轮的外滚动面相贴。
本发明实施例中提供了一种传送装置，包括腔室、若干任意任一技术方案所述的传送组件、与所述传送组件中的传送滚轮连接且用于驱动所述传送滚轮的驱动装置，所述传送组件设于所述腔室内。
进一步地，所述清洁装置包括固定座及至少一个可转动连接于所述固定座上的清洁滚轮，所述固定座固定安装于所述腔室底部。
与现有技术相比，本命提供的实施例具有以下有益效果：
1、本发明提供的一种传送滚轮，包括滚轮主体，所述滚轮主体的材料包括压电陶瓷，压电陶瓷主要成分的晶相都是具有铁电性的晶粒，由于陶瓷是晶粒随机取向的多晶聚集体，使得滚轮主体受到外部机械力导致电荷两级聚集时，电荷在滚轮主体外滚动面上分布更为均匀，进而避免滚轮主体外滚动面上吸附的颗粒堆积在一个地方。
2、本发明实施例中提供的一种传送滚轮，包括：传动轴(第一传动轴或者第二传动轴)、转动套接在所述传动轴外的空心轴(第一空心轴或者第二空心轴)、所述传动轴的外周壁与所述空心轴的内周壁不接触。通过滚轮主体中的压电材料本身的特性，在滚轮主体转动受到外部机械力时，能够吸附承载物和所述传送滚轮之间由于摩擦产生的颗粒到所述滚轮主体的外滚动面上，进而降低传送滚轮和承载物之间因为摩擦力产生的颗粒掉落到玻璃基板上的数量，并进一步降低OLED显示屏上的暗点数量，提高OLED显示屏的品质，同时在不附加任何外界能量就能清除微小颗粒，节能绿色环保，符合未来大尺寸OLED工厂的设计要求。
3、本发明提供的一种传送组件，包括任一技术方案所述的传送滚轮、及与所述传送滚轮配合以清除吸附于所述传送滚轮外滚动面上的杂尘颗粒的清洁装置，所述清洁装置包括固定座及至少一个可转动连接于所述固定座上的清洁滚轮，所述清洁滚轮包括转动轴及设于所述转动轴周壁的粘附层，所述清洁滚轮的粘附层与所述传动滚轮的外滚动面相贴，使得传送滚轮转动时，会带动自清洁装置转动并将滚轮主体上的颗粒粘在粘附层上，从而清洁吸附在滚轮主体上的颗粒，进一步防止颗粒的二次污染。
4、本发明实施例中提供的一种传送装置，包括腔室、位于所述腔室内的若干任一技术方案所述的传送组件，所述传送滚轮与所述腔室的侧面转动连接，以使所述传送滚轮被驱动转动时，所述滚轮主体能承载传送承载物在传送滚轮传送基片和玻璃基板的同时，滚轮主体也把因传送滚轮和基片相互摩擦而产生的微小颗粒吸附在滚轮主体附近，避免传送滚轮和承载物之间因为摩擦力产生的颗粒掉落到玻璃基板上，降低了OLED显示屏上暗点的数量。
本发明附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，这些将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。
附图说明
本发明上述的和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
图1为本发明一种传送滚轮的典型实施例的结构示意图；
图2为本发明一种传送滚轮的典型实施例中又一种实施方式的结构示意图；
图3为图2所示传送滚轮的实施例的另一状态结构示意图；
图4为本发明一种传送滚轮的典型实施例中又一种实施方式的结构示意图；
图5为本发明一种传送滚轮的典型实施例中又一种实施方式的结构示意图；
图6为本发明一种传送滚轮中滚轮主体受到施力时的电荷分布图；
图7为本发明一种传送组件中清洁装置的典型实施例的结构示意图；
图8为本发明一种传送组件的典型实施例的结构示意图；
图9为图8所示一种传送组件的实施例的另一状态结构示意图；
图10为本发明一种传送装置中传送滚轮传送承载物的典型实施例的结构示意图；
图11为图10所示一种传送装置中传送滚轮传送承载物的实施例的另一状态结构示意图。
具体实施方式
下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能解释为对本发明的限制。
本技术领域技术人员可以理解，除非特意声明，这里使用的单数形式“一”、“一个”、“所述”和“该”也可包括复数形式。应该进一步理解的是，本发明的说明书中使用的措辞“包括”是指存在所述特征、整数、步骤、操作、元件和/或组件，但是并不排除存在或添加一个或多个其他特征、整数、步骤、操作、元件、组件和/或它们的组。应该理解，当我们称元件被“连接”或“耦接”到另一元件时，它可以直接连接或耦接到其他元件，或者也可以存在中间元件。此外，这里使用的“连接”或“耦接”可以包括无线连接或无线耦接。这里使用的措辞“和/或”包括一个或更多个相关联的列出项的全部或任一单元和全部组合。
本技术领域技术人员可以理解，除非另外定义，这里使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)，具有与本发明所属领域中的普通技术人员的一般理解相同的意义。还应该理解的是，诸如通用字典中定义的那些术语，应该被理解为具有与现有技术的上下文中的意义一致的意义，并且除非像这里一样被特定定义，否则不会用理想化或过于正式的含义来解释。
本发明实施例中提供的一种传送滚轮、传送组件、传送装置主要应用于大尺寸的OLED蒸镀技术领域，但是并不限制与本发明应用于其他领域，其他领域主要包括滚轮传送承载物过程中产生的颗粒不便于清洁或者该颗粒影响最后产品品质的情况。
本发明实施例中提供的一种传送滚轮，如图1和2所示，包括滚轮主体1，滚轮主体1的制作材料包括压电陶瓷，压电陶瓷泛指压电多晶体，优选为钛酸钡压电陶瓷、锆钛酸铅系压电陶瓷(PZT)、铌酸盐系压电陶瓷和铌镁酸铅压电陶瓷等，在本发明提供的实施例中，压电陶瓷优选为锆钛酸铅系压电陶瓷(PZT)。需要说明的是，前述压电材料仅是示例性的说明压电陶瓷材料的类别，本发明实施例中提供的压电材料并不仅仅包括文中示出的压电陶瓷材料，还包括其他能达到本发明技术效果的其他压电陶瓷材料，即不直接将该些材料写出来，本领域人员应该是可以理解和实施的。在本发明实施例中构成压电陶瓷的主要成分为晶相都具有铁电性的晶粒。由于陶瓷是晶粒随机取向的多晶聚集体，因此其中各个铁电晶粒的自发极化矢量也是混乱取向的。为了使陶瓷能表现出宏观的压电特性，就必须在压电陶瓷烧成并于端面被复电极之后，将其置于强直流电场下进行极化处理，以使原来混乱取向的各自发极化矢量沿电场方向择优取向.经过极化处理后的压电陶瓷，在电场取消之后，会保留一定的宏观剩余极化强度，从而使陶瓷具有了一定的压电性质，使得压电陶瓷在受到外界的机械力的作用下，内部的电荷两级分化，使得压电陶瓷带有静电，该静电便用于吸附颗粒滚轮和承载物之间因为摩擦力产生的颗粒，使得该颗粒被吸附在滚轮主体的表面，进而避免滚轮和承载物之间因为摩擦力产生的颗粒掉落到玻璃基板上。
进一步地，继续参考图1和2，还包括位于滚轮主体1外滚动面上的绝缘保护膜4。优选地，绝缘保护膜4的制作材料包括类金刚石，即绝缘保护膜的为超薄类金刚石镀膜，其作用主要是绝缘和保护压电陶瓷。类金刚石镀膜是一种以sp3和sp2键的形式结合生成的亚稳态材料，兼具了金刚石和石墨的优良特性，而具有高硬度、高电阻率以及优秀的摩擦学特性。因此，在传送承载物的过程中，类金刚石墨镀膜能够防止滚轮主体1的外滚动面由于摩擦力的作用被损坏，同时防止滚轮主体1的外滚动面上集中的电荷被与其他金属材料接触而被中和。优选地，类金刚石膜的厚度为3～15μm，更优地，类金刚石膜的厚度为5μm或者10μm。绝缘保护膜还可以由其他材料制成比较坚硬且绝缘侧材料制成，如氧化铝和/或碳化钛等。
进一步地，在其中一种实施方式中，如图2和图3所示，还包括传动轴，滚轮主体1可转动套接在传动轴的一端，即滚轮主体1设有套接传动轴2的安装孔，以便于与传动轴2连接，且在传动轴2转动时能够带动滚轮主体1转动，进而在多个传送滚轮承载传送物体时，滚轮主体1受到承载物施加的机械力时，滚轮主体1内部电荷极端化，以便于产生静电场吸附承载物和传送滚轮之间由于摩擦产生的颗粒到滚轮主体1，实现一次清洁的作用。
进一步地，请继续参考图2和图3，结合前文说明，当传动轴2仅有一端设置有滚轮主体1时，还包括空心轴，其中，滚动主体1外滚动面上还可以设置绝缘保护层4，传动轴2套接在该空心轴3内部，且空心轴3与滚轮主体1固定连接，传动轴2的外周壁与空心轴3内周壁不相接触，节约材料，同时分散承载物给与传送滚轮的压力。
进一步地，请参考图4，在其中一种实施方式中，同样还包括传动轴2，滚轮主体1为两个，两滚轮主体1分别可转动套接在传动轴2的两端，两滚轮主体1的外滚动面上还可以分别设置绝缘保护膜4，此时由于两滚轮主体由同一个传动轴2带动转动，使得两滚轮主体1在传送承载物过程中的速度能够保持一致，进而传送滚轮传送承载物的速度更为均匀一致，由于承载物相对的两边缘分别位于两滚轮主体1上，承载物在同一个传动轴2带动转动的两个滚轮主体1上不易出现传送速度不均匀而导致承载物出现拉扯的现象。
进一步地，请参考图5，结合前文说明，当传动轴2两端均设置有滚轮主体1时，在两滚轮主体之间也可以设置空心轴3，同样两滚轮主体1的外滚动面上还可分别设置保护其的绝缘保护膜4，传动轴2套接在空心轴3内部，且空心轴3与两滚轮主体1固定连接，传动轴2的外周壁与空心轴3内周壁不相接触，以便于传动轴2带动空心轴3和滚轮主体1转动传送承载物，且滚轮主体1转动与承载物摩擦产生的静电能够吸附承载物和传送滚轮之间由于摩擦产生的颗粒到滚轮主体上。另外，由于滚轮主体1设置与传动轴2的两端，在传动滚轮传送承载物时，空心轴3与承载物之间摩擦产生的颗粒也可以在滚轮主体1受压时产生的静电场的作用下被吸附到两滚轮主体1上，实现滚轮主体1清洁颗粒的作用。
如本发明背景技术中所描述的在大尺寸OLED蒸镀过程中，由于承载玻璃基板的基片和蒸镀用的掩膜板都很重，因此需要通过一排排的滚轮传送承载玻璃基板的基片和蒸镀用的掩膜板，使得玻璃基板能够均匀的蒸镀上其他的材料，然而在滚轮承载玻璃基板的基片和蒸镀用的掩膜板时，由于承载玻璃基板的基片和蒸镀用的掩膜板都很重，因此，在传送过程中承载物与滚轮之间有较大的摩擦力，并同时产生微小的颗粒，这些颗粒若落在玻璃基板上，会在蒸镀后的显示屏上出现暗点，影响用户满意度，对显示装置上的显示画面有一定干扰性。因此，有必要提出一种解决滚轮和承载物之间因为摩擦力产生的颗粒掉落到玻璃基板上的问题。传统的传送滚轮仅仅用于传送承载物，并不能够自动的清洁滚轮和承载物之间因为摩擦力产生的颗粒。而本发明提供的传送滚轮，由于在传送滚轮的两端设置了滚轮主体，在机械外力作用下，滚轮主体内部正负电荷中心发生相对位移而引起极化(如图6所示)，特别是受力部分的电荷，直线箭头表示滚轮主体受到的压力，从而导致滚轮主体两端表面(外滚动面和与外滚动面相对的内壁面)内出现符号相反的束缚电荷形成静电，由于滚轮主体外滚动面上聚集有同一电性的电荷，该电荷形成静电场，静电场会将颗粒电离为具有电性且与外滚动面上电性相反的颗粒，通过异性相吸的原理，将该颗粒吸附在滚轮主体的表面，降低传送滚轮和承载物之间因为摩擦力产生的颗粒掉落到玻璃基板上的数量，使得颗粒不会弥散开来落在玻璃上，实现在不附加任何外界能量就能清除微小颗粒，节能绿色环保，同时减少了蒸镀后显示屏上出现的暗点，提高显示装置显示画面的质量。
优选地，结合图1、图2以及前文的说明，传动轴2和空心轴3套接，且传动轴2的外周壁与空心轴3内周壁不相接触，即传动2和空心轴3是中空不相接触的，防止产生的正负电荷相遇而发生中和。传动轴2和空心轴3的材料主要包括不锈钢材料，传动轴2和空心轴3的材料还可以换成绝缘材质，比如氧化铝、氮化硅等，以便于完全防止滚轮主体1上电荷往传动轴2和空心轴3的材料上流动；两滚轮主体1位于传动轴2两端且与空心轴3两端固定连接，以便于传动轴2在受到驱动而发生转动时，能够带动滚轮主体1和空心轴3发生转动，进而实现传送承载物的目的。
优选地，如图2和图5，空心轴3的外径与滚轮主体1的外径相等，空心轴3的外径和滚轮主体1的外径相等时，避免承载物在传送过程中发送波动，进而损坏承载物上的物品，使得承载物受到均匀分布的支撑力和传送的动力，以便承载物能够平稳在传送滚轮上进行传送。在滚轮主体外滚动面上设有绝缘保护膜4时，空心轴3的外径等于滚轮主体1的外径加上两倍绝缘保护膜4的厚度。进一步地，承载物相对两边缘之间的距离大于两滚轮主体1两相对端面之间的距离，以便于滚轮主体在转动过程中，承载物相对两边缘能放置在滚轮主体上，且滚轮主体能够受到来自承载物的机械力，即承载物给滚轮主体的压力(如图3中箭头所指的施力，该施力主要为压力，在没有绝缘保护膜时，该施力还包括摩擦力)。需要说明的是，在承载物材料比较轻，且承载物的宽度足够使得承载物的边缘能够放置在滚轮主体上，且能通过滚轮主体进行传送时，在本发明的实施例中，空心轴的外径可以小于滚轮主体的外径或者不设置空心轴。优选地，空心轴的直径为10cm，传动轴的直径为3cm，滚轮主体内径与外径之间的厚度3.5cm，且外径为10cm。需要说明的是，本发明仅是示例性的举例说明空心轴、传动轴、滚轮主体、类金刚石薄膜的结构尺寸，该结构尺寸本领域的人员可以依据实际情况指定。
本发明实施例中提供的一种传送组件，如图7至图9，包括清洁装置5和任一技术方案所述的传送滚轮10，两所述清洁装置5位于所述滚轮主体10的一侧，以便于所述清洁装置5能够清除所述滚轮主体1外滚动面上的颗粒。具体的，清洁装置5主要用于清除掉如前文的滚轮主体1上吸附的颗粒。进而使得滚轮主体1的表面有跟多的空间吸附传送滚轮10和承载物之间由于摩擦力而产生的颗粒，避免滚轮主体1的外滚动面上堆积颗粒。
进一步地，请继续参考图7至图9，所述清洁装置5包括固定座6及至少一个可转动连接于所述固定座6上的清洁滚轮，所述清洁滚轮包括转动轴51及设于所述转动轴周壁的粘附层52，所述清洁滚轮的粘附层52与所述传动滚轮的外滚动面相贴。固定座6还能固定传送滚轮10转动位置，固定座6位于传送滚轮10设有滚轮主体1的一端，粘附层52设于清洁装置5与滚轮主体1接触部分的清洁滚轮上，转动轴51与清洁滚轮一体设置且位于清洁滚轮的两端面上，或者清洁滚轮设有一转动孔，转动轴51通过转动孔与清洁滚轮套接，转动轴51主要采用不锈钢材料制成。转动轴51的两端与固定座6转动连接，以使粘附层52能与滚轮主体1的外滚动面接触，能够粘掉滚轮主体1外滚动面上的吸附的颗粒，并避免将清洁装置上粘的颗粒再次被滚轮主体1吸附，且粘附层52便于更换，在粘附层52上粘附的颗粒较多时，更换新的粘附层52到转动轴51上，使得清洁装置5能够粘附滚轮主体1上吸附的颗粒。另外，在传动轴2带动滚轮主体1和空心轴3转动时，由于清洁装置的转动轴与固定座6转动连接，且清洁滚轮表面的粘附层52与滚轮主体1外滚动面接触，使得滚轮主体1转动时可带动清洁装置的转动轴51转动进而滚轮主体1上的颗粒能够被均匀地吸附在粘附层52上。另外，为了能够使滚轮主体1外滚动面上绝缘保护膜4上的颗粒能够被清洁得更干净，在一个固定座6的两端对称设置两清洁装置5，使得滚轮主体1在转动时，两清洁装置5能够分别对要点滚轮的外滚动面做一次清洁，即吸附颗粒后的外滚动面能够在滚轮主体1转动一周的过程中被清洁两次，提高对滚轮主体1的清洁度。固定座6设有安装孔，转动轴51两端安装于所述安装孔内，以使清洁装置5能够相对固定座发6发生转动，且转动轴的两端的外径小于粘附层52包裹部分清洁滚轮的外径，避免固定座6上安装转动轴51的支架在滚轮主体转动过程中刮到滚轮主体进而损坏滚轮主体。
优选地，所述粘附层为粘性橡胶。粘性橡胶便于获取且价格便宜，降低传送组件的经济成本。
本发明实施例中提供的一种传送装置，如图10和图11所示，所述传送装置用于传送OLED玻璃基片11，包括腔室、若干任意任一技术方案所述的传送组件、与所述传送组件中的传送滚轮连接且用于驱动所述传送滚轮的驱动装置，所述传送组件设于所述腔室内，以使传送滚轮被驱动装置驱动转动时，滚轮主体能承载传送承载物(OLED玻璃基片11)，清洁装置安装在腔室内，以便于能够传送承载物。进一步地，传动轴的两端可与腔室两侧面可转动连接，滚轮主体1与腔室侧面具有一点间隙，进而避免滚轮主体与腔室之间摩擦损坏滚轮主体和/或腔室内壁，清洁装置安装在腔室内，且安装的位置能够清洁滚轮主体上的颗粒，同时也使得颗粒不会掉落在玻璃基板上。
进一步地，所述清洁装置包括固定座及至少一个可转动连接于所述固定座上的清洁滚轮，所述固定座固定安装于所述腔室底部，即固定座安装在腔室内部底面上，进而便于固定安装传送滚轮，使得传送滚轮在腔室内的传送位置相对固定，即传送滚轮仅在腔室内某一固定位置发生传动，另外，也便于清洁装置能够与滚轮主体对应安装，使得清洁装置能够清洁滚轮主体上吸附的颗粒。
具体的，如图10和图11所示，传送滚轮10未设置滚轮主体1的一端与驱动装置固定连接，以便于驱动装置驱动传动轴转动时，带动所述滚轮主体转动，所述滚轮主体也能承载传送承载物，且腔室内的一对传送滚轮相对设置与所述腔室的两侧，以便于平稳的传送承载物。清洁装置设置于滚轮主体1的侧面，以使得清洁装置能够清除滚轮主体1外滚动面上的颗粒。
在其中一种实施方式中，结合前文所述，传送滚轮相对的两端分别与腔室相对的两侧面转动连接。当然，传送滚轮相对的两端也可以是分别安装在两相对的固定座上，不与腔室的侧面连接，也可以分别与腔室相对的两侧面转动连接。清洁装置设置于传送滚轮两端的滚轮主体的侧面，以使得清洁装置能够清除滚轮主体外滚动面上的颗粒。在传送滚轮的两端分别安装在固定座上，不与腔室的侧面连接，清洁装置与固定座转动连接。
本发明实施例中提供的一种传送滚轮、传送组件、传送装置，在承载物压迫滚轮主体使得滚轮受到压力时和/或者承载物与滚轮主体之间有摩擦力时，滚轮主体外滚动面以及与滚动面相对的内壁面就会产生极性相反的电荷。正负电荷分别滚轮主体外滚动面以及与滚动面相对的内壁面受力的两端聚集，外滚动面上的电荷会产生静电场，该会将颗粒电离为具有电性且与外滚动面上电性相反的颗粒，通过异性相吸的原理，将该颗粒吸附在滚轮主体的表面。滚轮主体转动一周后，滚轮主体中的压电陶瓷每个地方都会产生电荷，使得滚轮主体的外滚动面上均形成了静电场，结合前述的原理，所以在传送滚轮传送基片和玻璃基板的同时，滚轮主体也把因传送滚轮和基片相互摩擦而产生的微小颗粒吸附在滚轮主体附近(如绝缘保护膜上)，避免传送滚轮和承载物之间因为摩擦力产生的颗粒掉落到玻璃基板上，使得暗点数下降。
以上所述仅是本发明的部分实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。
Claims (10)
1.一种传送滚轮，其特征在于，包括滚轮主体，所述滚轮主体的制作材料包括压电陶瓷，在受到外界的机械力的作用下，压电陶瓷内部的电荷两级分化，使得所述滚轮主体受力部分的外滚动面上聚集有同一电性的电荷，所述电荷形成静电场；
所述传送滚轮还包括位于所述滚轮主体外滚动面上的绝缘保护膜。
2.根据权利要求1所述的传送滚轮，其特征在于，所述绝缘保护膜的制作材料包括类金刚石。
3.根据权利要求1所述的传送滚轮，其特征在于，还包括第一传动轴，所述滚轮主体可转动套接在所述第一传动轴的一端。
4.根据权利要求3所述的传送滚轮，其特征在于，还包括套于所述第一传动轴外的第一空心轴，所述第一空心轴的一端与所述滚轮主体的一侧端面固接，所述第一传动轴的外周壁与所述第一空心轴的内周壁不接触。
5.根据权利要求1所述的传送滚轮，其特征在于，还包括第二传动轴，所述滚轮主体为两个，两所述滚轮主体分别可转动套接在所述第二传动轴的两端。
6.根据权利要求5所述的传送滚轮，其特征在于，还包括套于所述第二传动轴外的第二空心轴，所述第二空心轴的两端分别与两所述滚轮主体相对的一侧端面固接，所述第二传动轴的外周壁与所述第二空心轴的内周壁不接触。
7.一种传送组件，其特征在于，包括权利要求1至6任一项所述的传送滚轮、及与所述传送滚轮配合以清除吸附于所述传送滚轮外滚动面上的杂尘颗粒的清洁装置。
8.根据权利要求7所述的传送组件，其特征在于，所述清洁装置包括固定座及至少一个可转动连接于所述固定座上的清洁滚轮，所述清洁滚轮包括转动轴及设于所述转动轴周壁的粘附层，所述清洁滚轮的粘附层与所述传送滚轮的外滚动面相贴。
9.一种传送装置，其特征在于，包括腔室、若干权利要求7或8所述的传送组件、与所述传送组件中的传送滚轮连接且用于驱动所述传送滚轮的驱动装置，所述传送组件设于所述腔室内。
10.根据权利要求9所述的传送装置，其特征在于，所述清洁装置包括固定座及至少一个可转动连接于所述固定座上的清洁滚轮，所述固定座固定安装于所述腔室底部。
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