CN108463691A - 压力传感器装置与压力传感器组合体及压力传感器装置的制造方法 - Google Patents

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CN108463691A CN201780006057.4A CN201780006057A CN108463691A CN 108463691 A CN108463691 A CN 108463691A CN 201780006057 A CN201780006057 A CN 201780006057A CN 108463691 A CN108463691 A CN 108463691A
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Abstract

本发明提供一种压力传感器装置,该装置包括:引线框架;压力传感元件,安装在所述引线框架上,且可用于测量第1部分和第2部分的相对压力;以及外壳,其形成有将基准介质的压力作用于所述第1部分上的基准介质导入口和将目标介质的压力作用于所述第2部分上的目标介质导入口;所述基准介质导入口形成于所述外壳的第1面,所述目标介质导入口形成于不同于所述外壳的所述第1面的第2面,所述引线框架的一部分中形成有至少一个插入端子部用于插入电线连接器的端子槽部并电连接。

Description

压力传感器装置与压力传感器组合体及压力传感器装置的制 造方法
技术领域
本发明涉及压力传感器装置和压力传感器组合体及压力传感器装置的制造方法,更具体而言,涉及一种可与电线连接器直接连接的压力传感器装置和压力传感器组合体及压力传感器装置的制造方法。
背景技术
通常,洗衣机是利用洗衣槽中提供的水和洗涤液的作用,通过对洗涤物进行洗涤、冲洗及甩干等过程进行洗涤的装置,所述洗衣机中具有压力传感器,所述压力传感器通过控制部中预先设定的水位或者使用者亲自设定的水位,对供水量进行适当的调节。
所述压力传感器通过基于水位感知对象的水位变化的空气压力的变化,使金属线圈和磁铁棒移动的结构,通过其电感变化使频率发生振荡的原理而构成。
另外,应用于测量汽车轮胎气压的TPMS(tire pressure monitoring system)等各种压力测量系统中的压力传感器也可以同样的原理构成。
另外,近来,随着利用喷射蒸汽进行洗涤的滚筒洗衣机的商用化,为了更加准确地感知水位,对于压力传感器的研究正日益增加。
但是,压力传感器具有数千赫兹的输出频率变化感知度,输出值以非线性的二次曲线形式发生变化,因此存在不能准确地感知水位的问题。而且,由于过度的蒸汽或者持续供应的水压,导致内部产生过度的压力,严重的情况下,可存在导致压力传感器的坏损或者故障的问题。
发明内容
技术课题
为了解决包括如上所述的问题在内的各种问题,本发明的目的在于,提供一种压力传感器装置和压力传感器组合体及压力传感器装置的制造方法,通过使引线框架与电线连接器直接连接,不仅可实现组装牢固,耐久性优异,而且通过省去基板或者支架可降低生产成本、可提高生产效率,可精密地感知洗衣机的水位或者轮胎的压力等。但是所述问题仅仅是用于举例说明,而非用于限定本发明的范围。
解决课题的手段
为了解决所述问题,根据本发明的技术思想的压力传感器装置可包括:引线框架;压力传感元件,安装在所述引线框架上且可用于测量第1部分和第2部分的相对压力;以及外壳,其形成有将基准介质的压力作用于所述第1部分的基准介质导入口,形成有将目标介质的压力作用于所述第2部分的目标介质导入口;所述基准介质导入口形成于所述外壳的第1面,所述目标介质导入口形成于不同于所述外壳的所述第1面的第2面,所述引线框架的一部分中形成有至少一个插入端子部用于插入电线连接器的端子槽部并电连接。
此外,根据本发明,所述插入端子部,其前端可形成有尖端倾斜部以使其容易地插在所述电线连接器的所述端子槽部。
此外,根据本发明,所述外壳可包括:第1外壳,其以相互不同方向形成有基准介质导入口和目标介质导入口,具有与所述基准介质导入口连通的第1内部区域和与所述目标介质导入口连通的第2内部区域,并安装在所述引线框架的一侧;以及第2外壳,其安装在所述引线框架的另一侧,并形成有第3内部区域以使所述第1内部区域的基准介质通过所述引线框架到达所述第1部分。
此外,根据本发明,所述基准介质导入口和所述目标介质导入口可向互相垂直的方向延伸。
此外,根据本发明,所述外壳还可包括模塑部件,所述模塑部件形成有贯通部以使所述压力传感元件的所述第1部分露出于所述基准介质,且形成有至少一个分隔墙用于形成有所述第1内部区域和所述第2内部区域,且以围绕所述引线框架的所述一部分的形状模塑成型。
此外,根据本发明,所述模塑部件和所述第1外壳及所述模塑部件和所述第2外壳之间可分别安装有粘合密封部件。
此外,根据本发明,所述模塑部件在所述引线框架的所述插入端子部及其相邻的插入端子部之间可形成翼部以插入所述电线连接器的翼槽部并可用于防止短路。
此外,根据本发明,所述压力传感元件的所述第2部分上安装有压力传递介质,所述压力传递介质用于保护所述压力传感元件,且用于将所述目标介质的压力向所述第2部分传递。
此外,根据本发明,所述压力传递介质可具有防水功能以使所述目标介质与所述压力传感元件不发生直接接触。
此外,根据本发明,所述压力传递介质可包括基于所述目标介质的压力可发生变形的胶体(gel)。
此外,根据本发明,所述压力传递介质可包括基于所述目标介质的压力可发生变形的硅树脂(Silicone)或者环氧树脂(Epoxy)。
此外,本发明涉及的压力传感器装置还可包括集成电路(IC)芯片,所述集成电路(IC)芯片安装在所述引线框架上,用于将所述压力传感元件中产生的模拟信号输出转换为数字信号输出。
此外,根据本发明,所述引线框架在另一部分上形成有第1诱导部和第2诱导部,所述第1诱导部将从所述基准介质导入口引入的所述基准介质向第1方向进行诱导,所述第2诱导部向与所述第1方向相反的第2方向进行诱导并向所述压力传感元件引导。
另外,为了解决所述问题,根据本发明的技术思想的压力传感器装置的制造方法可包括:引线框架准备步骤,其准备至少形成有一个插入端子部的引线框架;模塑成型步骤,其形成贯通部且将具有围绕所述引线框架的所述一部分的形状的模塑部件在所述引线框架上模塑成型;压力传感元件安装步骤,其将可测量第1部分和第2部分的相对压力的压力传感元件安装在所述引线框架上;以及外壳安装步骤,其将形成有基准介质导入口的第1外壳和形成有目标介质导入口的第2外壳安装在所述压力传感元件周围,所述基准介质导入口用于将基准介质的压力作用于所述第1部分,所述目标介质导入口用于将目标介质的压力作用于所述第2部分。
此外,根据本发明,所述压力传感元件安装步骤中,将所述压力传感元件中产生的模拟信号输出转换为数字信号输出的集成电路(IC)芯片安装在所述引线框架上。
此外,根据本发明,所述外壳安装步骤还可包括:模塑成型步骤,形成贯通部以使所述压力传感元件的所述第1部分在所述基准介质露出,在所述引线框架上模塑成型围绕所述引线框架的所述一部分的形状的模塑部件;涂布步骤,在所述模塑部件的两面分别涂布粘合密封部件;以及组装步骤,在各自的所述粘合密封部件上组装第1外壳及第2外壳。
此外,根据本发明,所述外壳安装步骤在所述模塑成型步骤之后还可包括压力传递介质安装步骤,在所述压力传感元件的所述第2部分上保护所述压力传感元件,并且为了将所述目标介质的压力向所述第2部分传递,在所述模塑部件上安装压力传递介质。
另外,为了解决所述问题,根据本发明的技术思想的压力传感器组合体可包括:引线框架;压力传感元件,其安装在所述引线框架上,且可用于测量第1部分和第2部分的相对压力;外壳,其形成有将基准介质的压力作用于所述第1部分的基准介质导入口,形成有将目标介质的压力作用于所述第2部分的目标介质导入口;以及电线连接器,其用于与电线连接;所述基准介质导入口形成于所述外壳的第1面,所述目标介质导入口形成于不同于所述外壳的所述第1面的第2面,所述引线框架的一部分中形成有至少一个插入端子部用于插入所述电线连接器的端子槽部并电连接。
发明效果
根据如上所述的本发明的一实施例,不仅可使所述引线框架与所述电线连接器直接连接,使实现组装的牢固性,具有优异的耐久性,而且通过省去基板或者支架等可降低生产成本,提高生产效率,可准确地感知洗衣机水位或者轮胎的压力等,可实现产品的小型化,通过准确的水位控制可实现节水和节约用电,具有可防止由于洗衣水或者轮胎空气等目标介质引起的破损的效果。当然这种效果并非用于限制本发明的范围。
附图说明
图1是图示本发明部分实施例涉及的压力传感器装置的略图。
图2是图1的压力传感器装置的部件分解透视图。
图3是图1的压力传感器装置的部件组装透视图。
图4至图9是将图2的压力传感器装置的制造过程按步骤图示的透视图。
图10是图示本发明部分实施例涉及的压力传感器组合体的部件分解透视图。
图11是图示本发明部分实施例涉及的压力传感器装置的制造方法的流程图。
具体实施方式
以下,参照附图对本发明的实施例进行说明下。但是以下揭示的实施例并不是用于限定本发明,而是用于显示能够以相互不同的各种形式实施,以下的实施例可使本发明的揭示更加完全,是为了使本技术领域具有一般技术知识的技术人员能够更加全面地理解本发明的范畴而提供的。此外,为了便于说明,附图中的组成要素其尺寸可能被放大或者缩小。
以下,参照概略地图示本发明理想的实施例的附图,对本发明的实施例进行说明。附图中,例如,基于制造技术及/或加工误差(tolerance),可以预测到图示的形状可能会发生变形。因此,本发明思想的实施例不能被理解为是用于限定本发明中图示区域的特定形状,例如应该包括制造导致的形状的变形。
图1是图示本发明部分实施例涉及的压力传感器装置100的略图。此外,图2是图1的压力传感器装置100的部件分解透视图。图3是图1的压力传感器装置100的部件组装透视图。
首先,如图1至图3所示,本发明部分实施例涉及的压力传感器装置100大致可包括引线框架10、压力传感元件20及外壳30。
例如,如图1至图3所示,所述引线框架10可以是由具有一定厚度的薄板形状的铜或铝等传导性材质制成的金属框架结构体,且其局部上形成有至少一个(附图中为4个)插入端子部10a,用于插入后叙的图10的电线连接器C的端子槽部CH并与电线1电连接。
所述引线框架10不同于现有的焊接用引线框架,是一种即使反复执行插入所述电线连接器C的所述端子槽部CH中或者从所述电线连接器C的所述端子槽部CH中抽出的过程,也具有能够承受的耐久性和硬度的结构体。
具体举例,如图2和图3所示,所述插入端子部10a的前端可形成有尖型尖端倾斜部10b以使所述插入端子部10a可容易地插入所述电线连接器C的所述端子槽部CH中。
因此,所述尖端倾斜部10b在插入所述电线连接器C的所述端子槽部CH的过程中,通过减小与所述电线连接器C的尖端摩擦及插入阻力,以使使用者能够容易地进行插入操作。
此外,例如,如图1所示,所述压力传感元件20安装在所述引线框架10上且用于与所述引线框架10电连接,是一种可用于测量第1部分(图1中的下侧部)和第2部分(图1中的上侧部)的相对压力的压力传感器。
具体举例如下,所述压力传感元件20可理解为是一种元件,其上安装有隔板等,且用于将施加在隔板上的压力或者隔板的位置改变等信息通过利用各种电磁场传感器、磁力传感器、近距离传感器、电阻传感器、诱导电阻传感器、变形仪等以模拟信号的形式输出。但是不限于此,可采用能够输出包括模拟信号或者数字信号的所有类型的压力传感信号的压力元件。
在此,所述压力传感元件20安装在所述引线框架10上,基于焊线或者突起部或者焊料等各种信号传递介质BW可与所述引线框架10电连接。
此外,例如,如图1至图3所示,所述外壳30可以是一种结构体,其形成有将基准介质的压力作用于所述第1部分上的基准介质导入口H1和将目标介质的压力作用于所述第2部分上的目标介质导入口H2。
更具体地,举例如图1至图3所示,在所述外壳30的第1面F1例如图中所述外壳30的侧面上形成所述基准介质导入口H1。在不同于所述外壳30的所述第1面F1的第2面F2如图中在所述外壳30的上面以延长的形式形成所述目标介质导入口H2。
在此,例如,如图1至图3所示,所述外壳30可包括第1外壳31、第2外壳32及模塑部件33。
具体举例如,所述第1外壳31可安装在所述引线框架10的一侧方向上,形成有不同方向的基准介质导入口H1和目标介质导入口H2,具有与所述基准介质导入口H1连通的第1内部区域A1和与所述目标介质导入口连通的第2内部区域A2。
所述第1外壳31可将所述基准介质导入口H1和所述目标介质导入口H2以相互垂直的方向安装。
此外,所述基准介质导入口H1和所述目标介质导入口H2的内径可以相同,两者中任意一个也可制成具有更大的尺寸。
因此,基于所述基准介质传递的压力方向和基于所述目标介质传递的压力方向以最大限度地互不影响的垂直方向错开,如果利用所述第1外壳31,则作用在所述基准介质和所述目标介质的各自的压力不会互相影响并可独立传递,即使在任何环境和情况下,也总能最准确和精密地进行压力测量。
此外,例如,所述第2外壳32可安装在所述引线框架10的另一侧,且形成第3内部区域A3以使所述第1内部区域A1的基准介质能够穿过所述引线框架10达到所述第1部分。
此外,例如,所述模塑部件33形成有贯通部33a以使所述压力传感元件20的所述第1部分能够在所述基准介质上露出,且形成有用于形成所述第1内部区域A1和所述第2内部区域A2的至少一个分隔墙33b,且以围绕所述引线框架10的所述一部分的形状模塑成型。
在此,所述模塑部件33与所述第1外壳31及所述模塑部件33与所述第2外壳32之间分别安装有粘合密封部件S,从而不仅可通过将所述第1外壳31、所述模塑部件33及所述第2外壳32相互固定使其牢固地组装,而且可将所述第1内部区域A1和所述第2内部区域A2及所述第3内部区域A3各自划分为不同的区域。
此外,例如,如图1至图3所示,所述模塑部件33可在所述引线框架10的所述插入端子部10a与相邻的插入端子部10a之间形成有翼部W,用以插入所述电线连接器C的翼槽部WH中以防止短路。
因此,如果所述模塑部件33组装在所述电线连接器C上,则所述翼部W插入所述翼槽部WH之间,从而可从源头上防止所述插入端子部10a之间的短路或者插错或操作失误等。所述模塑部件33可用其他的模塑材料构成或者也可以进行插入(insert)注塑。
此外,例如,如图1至图3所示,所述压力传递介质34为了在所述压力传感元件20的所述第2部分上保护所述压力传感元件20,且将所述目标介质的压力能够向所述第2部分传递,在所述模塑部件33和所述引线框架10之间可进行模塑成型。
具体举例如下,所述压力传递介质34为了使所述目标介质与所述压力传感元件20不发生直接接触可具有防水功能,其可包括基于所述目标介质的压力可变形的胶体(gel)、硅树脂(Silicone)及环氧树脂(Epoxy)等。
此外,例如,所述压力传递介质34可使用用于保护半导体IC及MEMS传感器的硅树脂系列的材料(杨氏模量为0.001GPa至0.05GPa)或者环氧树脂系列的材料(杨氏模量为2.0GPaz至20.0GPa)。所述两种材料防水功能皆十分优秀,硅树脂(Silicone)系列材料相比于环氧树脂(Epoxy)系列材料具有更加优秀的压力传递功能。这取决于材料的杨氏模量(young's modulus)差异。杨氏模量意味着纵轴弹性率,杨氏模量越小收缩性越好,意味着压力传递良好。
此外,所述材料可使用可向包括所述隔板等的所述压力传感元件20执行传递所述液体的压力功能及防水功能的胶体状材料。所述胶体是胶质(colloid)溶液,如胶体模样是以一定以上的浓度形成固体化的状态,从而可将施加的压力向所述压力传感元件20传递。
因此,洗衣水的压力或者轮胎的气压等所述目标介质的压力被传递至所述压力传递介质34上,当所述压力传递介质34发生变形时,这种变形将被间接地向所述压力传感元件20传递,从而可防止部件的腐蚀或者损伤的同时可准确精密地测量压力。
另外,如图1所示,本发明的部分实施例涉及的压力传感器装置100还可包括集成电路(IC)芯片40,其安装在所述引线框架10上,用于将所述压力传感元件20中产生的模拟信号输转换为数字信号输出。所述集成电路(IC)芯片40例如可理解为是模拟前端(analogfront end)。
因此,所述集成电路芯片40可将所述压力传感元件20中产生的模拟信号转换为噪音产生率低的数字信号,并通过所述引线框架10向外部仪器传递,由此,外部仪器可接收更加准确的压力信号。
此外,本发明部分实施例涉及的压力传感器装置100还可包括可维持一定电压的调节器(未图示)。所述调节器例如可理解为是LDO调节器(Low Drop out Regulator)。在此,所述调节器可根据传感器和集成电路的组合而使用或者不使用。所述调节器作为已公开技术,省略对其详细说明。
此外,如图1所示,另外,所述引线框架10在另一部分上形成有第1诱导部G1和第2诱导部G2,所述第1诱导部G1将从所述基准介质导入口H1引入的所述基准介质向第1方向进行诱导,所述第2诱导部G2向与所述第1方向相反的方向的第2方向进行诱导,并向所述压力传感元件20进行引导。
因此,如图1所示,本发明的部分实施例涉及的压力传感器装置100的操作过程说明如下。首先,大气等作为测量压力的基准介质,即基准介质通过所述基准介质导入口H1以水平方向流入所述第1外壳31的第1内部区域A1。
然后,所述基准介质经过所述模塑部件33的所述贯通部33a穿过所述引线框架10的所述第1诱导部G1,可到达所述第2外壳32的所述第3内部区域A3。
然后,所述基准介质穿过所述引线框架10的所述第2诱导部G1到达所述压力传感元件20的第1部分,作为所述压力传感元件20的基准压力而产生作用。
另外,如图1所示,洗衣水或者轮胎气压等作为压力测量目标的介质,即目标介质可通过所述目标介质导入口H2以垂直方向流入所述第1外壳31的第2内部区域A2。
所述目标介质的垂直的流入方向与所述基准介质的水平流入方向呈垂直错开状,各自的介质互不影响,可最大限度且独立地传递液压。
然后,所述目标介质到达所述压力传递介质34,所述压力传递介质34向所述压力传感元件20的第2部分传递压力,从而作为所述压力传感元件20的测量目标压力而使用。
由此,不仅可使所述引线框架10与所述电线连接器C直接连接,实现组装的牢固性,具有优异的耐久性,而且通过省去基板或支架等可降低生产成本,提高生产效率,可准确地感知洗衣机水位或者轮胎的压力等,可实现产品的小型化,通过准确的水位控制可实现节水和节约用电,可防止由于洗衣水或者轮胎空气等目标介质引起的破损。
图4至图9是将图2的压力传感器装置100的制造过程按步骤图示的透视图。
如图4至图9所示,图2的压力传感器装置100的制作过程按照步骤说明如下。首先,如图4所示,可准备形成有至少一个插入端子部10a的引线框架10。
此时,虽未图示,所述引线框架10可具有多个引线框架10相互连接且以后可拆分的矩阵排列的引线框架条状。
然后,如图5所示,成型模具(未图示)可形成贯通部33a,可将具有围绕所述引线框架10的所述一部分的形状的模塑部件33在所述引线框架10上模塑成型。
然后,如图6所示,可将可测量第1部分和第2部分的相对压力的压力传感元件20安装在所述引线框架10上,利用焊线等信号传递介质BW将所述压力传感元件20与所述引线框架10电连接。
此时,可将所述压力传感元件20中产生模拟信号输出转换为数字信号输出的集成电路芯片40连同所述压力传感元件20一起安装在所述引线框架10上。
然后,如图7所示,利用分配器或者成型模具等可在所述模塑部件33上安装压力传递介质以在所述压力传感元件20的所述第2部分上保护所述压力传感元件20,且可将所述目标介质的压力向所述第2部分传递。
然后,将图7和图8中的所述模塑部件33如图9所示,在其两面分别涂布例如硅树脂等粘合密封部件S,在各自的所述粘合密封部件S上组装第1外壳31和第2外壳32,将形成有基准介质导入口H1和目标介质导入口H2的外壳30安装在所述压力传感元件20周围上,所述基准介质导入口H1用于将基准介质的压力作用在所述第1部分,所述目标介质导入口H2用于将目标介质的压力作用在所述第2部分上。
图10是图示本发明部分实施例涉及的压力传感器组合体1000的部件分解透视图。
如图10所示,本发明的部分实施例涉及的压力传感器组合体1000可包括引线框架10;压力传感元件20,其安装在所述引线框架10上且可测量第1部分和第2部分的相对压力;外壳30,其形成有用于将基准介质的压力作用在所述第1部分上的基准介质导入口H1和用于将目标介质的压力作用于所述第2部分上的目标介质导入口H2;以及电线连接器C,其用于与电线1连接。
在此,所述基准介质导入口H1形成于所述外壳30的第1面F1上,所述目标介质导入口H2形成于不同于所述外壳30的所述第1面F1的第2面F2,所述引线框架10的一部分上形成有至少一个插入端子部10a用于插入所述电线连接器C的端子槽部CH并电连接。
所述引线框架10和所述压力传感元件20及所述外壳30与上述的本发明部分实施例涉及的压力传感器装置100中的构成及作用相同,在此省略其详细说明。
图11是图示本发明部分实施例涉及的压力传感器装置的制造方法的流程图。
如图1至图11所示,本发明部分实施例涉及的压力传感器装置的制造方法,其可包括:引线框架准备步骤(S1),准备形成有至少一个插入端子部10a的引线框架10;模塑成型步骤(S2),将形成有贯通部33a的、具有围绕所述引线框架10的所述一部分的形状的模塑部件33模塑成型在所述引线框架10上;压力传感元件安装步骤(S3),将可测量第1部分和第2部分的相对压力的压力传感元件20安装在所述引线框架10上;以及外壳安装步骤(S4),将形成有用于将基准介质的压力作用于所述第1部分上的基准介质导入口H1和用于将目标介质的压力作用于所述第2部分上的目标介质导入口H2的第1外壳31和第2外壳32安装在所述压力传感元件20周围上。
此外,所述压力传感元件安装步骤(S3)中,可将所述压力传感元件20中产生的模拟信号输出转换为数字信号输出的集成电路芯片40安装在所述引线框架10上。
在此,所述外壳安装步骤(S4)可包括:压力传递介质安装步骤(S41),在所述模塑部件33上安装压力传递介质用以在所述压力传感元件20的所述第2部分保护所述压力传感元件20,且使所述目标介质的压力向所述第2部分传递;涂布步骤(S42),在所述模塑部件33的两面分别涂布粘合密封部件S;以及组装步骤(S43),各自的所述粘合密封部件S上组装第1外壳31及第2外壳32。
如上所述,本发明通过引进压力传递介质,可防止由于液体或者水分对压力传感元件及集成电路芯片等装置造成的缺陷。而且,压力传感器装置的安装形态为液体导入口朝下的形态,这可导致压力传感器装置下部的防水相对脆弱。因此,利用具有防水功能的同时可保护外部的外壳进行包裹,可防止基于水分造成的缺陷。
此外,如果压力传递介质的特性经过硬化处理,则传感器的特性将会发生变化,为了固定低粘度的防水胶体形态的压力传递介质,通过引进分隔墙结构可使压力传感器的操作顺畅。而且,各自的外壳由分离型结构构成,液体导入口和大气导入口相互不平行,且以不同的方向形成,通过自动组装等,从而可构建生产效率优异、结构简单、制造工序中各传感器芯片及集成电路的安装容易的压力传感器装置。
本发明虽然参照附图中图示的一实施例进行了说明,但这仅仅是用于举例说明,对于本发明所属的技术领域的具有一般知识的技术人员而言,基于此实现各种变形和等同的其他实施例是可理解的。因此本发明的真正的技术保护范围应由权利要求书的技术思想而确定。
产业上可利用性
根据如上所述的本发明一实施例,通过直接连接引线框架与电线连接器,不仅可实现组装牢固,耐久性优异,而且通过省却基板或者支架可简化部件的组装工序、降低生产成本。

Claims (18)

1.一种压力传感器装置,该装置包括:
引线框架;
压力传感元件,其安装在所述引线框架上,且可用于测量第1部分和第2部分的相对压力;以及
外壳,其形成有将基准介质的压力作用于所述第1部分的基准介质导入口,形成有将目标介质的压力作用于所述第2部分的目标介质导入口;
所述基准介质导入口形成于所述外壳的第1面,所述目标介质导入口形成于不同于所述外壳的所述第1面的第2面,所述引线框架的一部分中形成有至少一个插入端子部用于插入电线连接器的端子槽部并电连接。
2.如权利要求1所述的压力传感器装置,其特征在于,
所述插入端子部,其前端形成有尖端倾斜部以使其容易地插在所述电线连接器的所述端子槽部。
3.如权利要求1所述的压力传感器装置,其特征在于,
所述外壳包括:
第1外壳,其以相互不同方向形成有基准介质导入口和目标介质导入口,具有与所述基准介质导入口连通的第1内部区域和与所述目标介质导入口连通的第2内部区域,并安装在所述引线框架的一侧;以及
第2外壳,其安装在所述引线框架的另一侧,并形成有第3内部区域以使所述第1内部区域的基准介质通过所述引线框架到达所述第1部分。
4.如权利要求3所述的压力传感器装置,其特征在于,
所述基准介质导入口和所述目标介质导入口向互相垂直的方向延伸。
5.如权利要求3所述的压力传感器装置,其特征在于,
所述外壳还包括模塑部件,所述模塑部件形成有贯通部以使所述压力传感元件的所述第1部分露出于所述基准介质,且形成有至少一个分隔墙用于形成所述第1内部区域和所述第2内部区域,且以围绕所述引线框架的所述一部分的形状模塑成型。
6.如权利要求5所述的压力传感器装置,其特征在于,
所述模塑部件和所述第1外壳及所述模塑部件和所述第2外壳之间分别安装有粘合密封部件。
7.如权利要求5所述的压力传感器装置,其特征在于,
所述模塑部件在所述引线框架的所述插入端子部及其相邻的插入端子部之间形成翼部以插入所述电线连接器的翼槽部并可用于防止短路。
8.如权利要求1所述的压力传感器装置,其特征在于,
所述压力传感元件的所述第2部分上安装有压力传递介质,所述压力传递介质用于保护所述压力传感元件,且用于将所述目标介质的压力向所述第2部分传递。
9.如权利要求8所述的压力传感器装置,其特征在于,
所述压力传递介质具有防水功能以使所述目标介质与所述压力传感元件不发生直接接触。
10.如权利要求9所述的压力传感器装置,其特征在于,
所述压力传递介质包括基于所述目标介质的压力可发生变形的胶体(gel)。
11.如权利要求9所述的压力传感器装置,其特征在于,
所述压力传递介质包括基于所述目标介质的压力可发生变形的硅树脂(Silicone)或者环氧树脂(Epoxy)。
12.如权利要求1所述的压力传感器装置,其特征在于,
还包括集成电路(IC)芯片,所述集成电路(IC)芯片安装在所述引线框架上,用于将所述压力传感元件中产生的模拟信号输出转换为数字信号输出。
13.如权利要求1所述的压力传感器装置,其特征在于,
所述引线框架在另一部分上形成有第1诱导部和第2诱导部,所述第1诱导部将从所述基准介质导入口引入的所述基准介质向第1方向进行诱导,所述第2诱导部向与所述第1方向相反的第2方向进行诱导并向所述压力传感元件引导。
14.一种压力传感器装置的制造方法,其特征在于,其步骤包括:
引线框架准备步骤,其准备至少形成有一个插入端子部的引线框架;
模塑成型步骤,其形成贯通部且将具有围绕所述引线框架的所述一部分的形状的模塑部件在所述引线框架上模塑成型;
压力传感元件安装步骤,其将可测量第1部分和第2部分的相对压力的压力传感元件安装在所述引线框架上;以及
外壳安装步骤,其将形成有基准介质导入口的第1外壳和形成有目标介质导入口的第2外壳安装在所述压力传感元件周围,所述基准介质导入口用于将基准介质的压力作用于所述第1部分,所述目标介质导入口用于将目标介质的压力作用于所述第2部分。
15.如权利要求14所述的压力传感器装置的制造方法,其特征在于,
所述压力传感元件安装步骤中,将所述压力传感元件中产生的模拟信号输出转换为数字信号输出的集成电路(IC)芯片安装在所述引线框架上。
16.如权利要求14所述的压力传感器装置的制造方法,其特征在于,
所述外壳安装步骤包括:在所述模塑部件的两面分别涂布粘合密封部件的涂布步骤;以及
在各自的所述粘合密封部件组装第1外壳和第2外壳的组装步骤。
17.如权利要求16所述的压力传感器装置的制造方法,其特征在于,
所述外壳安装步骤还包括:在所述涂布步骤之前,在所述模塑部件上安装压力传递介质的步骤,所述压力传递介质用于在所述压力传感元件的所述第2部分上保护所述压力传感元件,用于向所述第2部分传递所述目标介质的压力。
18.一种压力传感器组合体,该组合体包括:
引线框架;
压力传感元件,其安装在所述引线框架上且可用于测量第1部分和第2部分的相对压力;
外壳,其形成有将基准介质的压力作用于所述第1部分的基准介质导入口,形成有将目标介质的压力作用于所述第2部分的目标介质导入口;以及
电线连接器,其用于与电线连接;
所述基准介质导入口形成于所述外壳的第1面,所述目标介质导入口形成于不同于所述外壳的所述第1面的第2面,所述引线框架的一部分中形成有至少一个插入端子部用于插入所述电线连接器的端子槽部并电连接。
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Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101740014B1 (ko) * 2015-06-15 2017-05-26 주식회사 아이티엠반도체 압력센서장치 및 그 제조방법
CN109855789B (zh) * 2019-01-10 2021-12-24 北京机械设备研究所 一种用于监测水下小型航行器表面压力的传感器
CN110082027A (zh) * 2019-04-09 2019-08-02 苏州敏芯微电子技术股份有限公司 差压传感器封装结构及电子设备
CN113008448B (zh) * 2019-12-20 2022-06-21 黄羽婵 燃气具的压力感测装置

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000055761A (ja) * 1998-08-06 2000-02-25 Tokin Corp 圧力センサ
DE102006043192A1 (de) * 2006-04-20 2007-10-25 Mitsubishi Electric Corp. Sensorvorrichtung
CN102661829A (zh) * 2012-04-28 2012-09-12 无锡永阳电子科技有限公司 So8塑料封装传感器
CN102980711A (zh) * 2011-09-06 2013-03-20 霍尼韦尔国际公司 具有多个传感器元件的封装的传感器
CN103575453A (zh) * 2012-07-31 2014-02-12 飞思卡尔半导体公司 成型封装中的电容压力传感器
CN104198107A (zh) * 2014-09-11 2014-12-10 武汉飞恩微电子有限公司 一种压力传感器及其制造方法
CN105300593A (zh) * 2014-07-28 2016-02-03 飞思卡尔半导体公司 具有盖的封装的半导体传感器装置

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4879903A (en) * 1988-09-02 1989-11-14 Nova Sensor Three part low cost sensor housing
JPH09178596A (ja) 1995-12-25 1997-07-11 Matsushita Electric Works Ltd 圧力センサ
JP4281200B2 (ja) 1999-10-07 2009-06-17 株式会社デンソー 圧力検出装置
US9021689B2 (en) * 2011-06-02 2015-05-05 Freescale Semiconductor, Inc. Method of making a dual port pressure sensor
KR101486518B1 (ko) * 2013-08-06 2015-01-27 주식회사 코멧네트워크 차압센서

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000055761A (ja) * 1998-08-06 2000-02-25 Tokin Corp 圧力センサ
DE102006043192A1 (de) * 2006-04-20 2007-10-25 Mitsubishi Electric Corp. Sensorvorrichtung
CN102980711A (zh) * 2011-09-06 2013-03-20 霍尼韦尔国际公司 具有多个传感器元件的封装的传感器
CN102661829A (zh) * 2012-04-28 2012-09-12 无锡永阳电子科技有限公司 So8塑料封装传感器
CN103575453A (zh) * 2012-07-31 2014-02-12 飞思卡尔半导体公司 成型封装中的电容压力传感器
CN105300593A (zh) * 2014-07-28 2016-02-03 飞思卡尔半导体公司 具有盖的封装的半导体传感器装置
CN104198107A (zh) * 2014-09-11 2014-12-10 武汉飞恩微电子有限公司 一种压力传感器及其制造方法

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