CN108463420A - 基板搬运用机器人 - Google Patents

Abstract

本发明公开了基板搬运用机器人。本发明所涉及的基板搬运用机器人中，升降部的滚珠丝杠被固定，滚珠螺母以能够旋转的方式设置于滚珠丝杠并且随着正反转而沿着滚珠丝杠升降，并且基板支撑部通过滚珠螺母的升降而升降。这样一来，长度较长的滚珠丝杠不旋转，因此防止滚珠丝杠由于振动旋转而受损，由此能够将滚珠丝杠的长度形成得相对较长。因此，能够起到在提高基板支撑部的升降高度的方面，能够相对较少地受到限制的效果。另外，由于滚珠丝杠不旋转，所以能够起到容易设置滚珠丝杠的效果。

Description

基板搬运用机器人

技术领域

本发明涉及一种搬运基板的基板搬运用机器人。

背景技术

机器人(Robot)通过控制装置执行作业所需的程序从而根据目的执行作业，在多种产业领域中被广泛使用。

基板搬运用机器人在半导体制造领域或平板显示装置制造领域等中被广泛使用，用于将载置在盒子(Cassette)的基板运向基板处理装置，或者将基板处理装置的基板运向盒子，或者将基板从任一个基板处理装置运向另一个基板处理装置。

一般而言，基板搬运用机器人包括：直线运动部，设置于在作业场所的地板等设置的移送轨道，并且设置为能够沿着与地板平行的方向进行直线运动；旋转运动部，一端部侧被上述直线运动部支撑，与上述直线运动部一起运动，并且设置为能够以被上述直线运动部支撑的部位为基准旋转；支撑部，下端部侧被上述旋转运动部的另一端部侧支撑，与上述旋转运动部一起运动，并与上述直线运动部大致垂直；升降部，以能够升降的方式设置于上述支撑部；以及多轴多关节结构的基板支撑部，设置于上述升降部，与上述升降部一起运动，并支撑基板。

并且，上述升降部包括：驱动马达；滚珠丝杠(Ball Screw)，通过上述驱动马达进行旋转；以及滚珠螺母，设置于上述滚珠丝杠，并且随着上述滚珠丝杠进行旋转而升降。并且，上述基板支撑部被支撑设置在上述滚珠螺母侧，与上述滚珠螺母一起升降。即，就上述升降部而言，使上述滚珠丝杠旋转，上述滚珠螺母通过上述滚珠丝杠的旋转而升降由此使上述基板支撑部升降。

如上所述的现有的基板搬运用机器人，存在在提高上述基板支撑部的升降高度的方面相对受限的缺点。详细而言，为了提高上述基板支撑部的升降高度，需要使上述滚珠丝杠的长度变长。但是由于上述滚珠丝杠进行旋转，所以因上述滚珠丝杠旋转时发生的振动旋转而在使上述滚珠丝杠的长度变长的方面相对受限。因此，在提高上述基板支撑部的升降高度的方面受限。

并且，为了防止由于在上述滚珠丝杠旋转时发生的振动旋转导致上述滚珠丝杠受损，需要均衡地设置上述滚珠丝杠，因此设置不方便。

与基板搬运用机器人相关的现有技术，在韩国公开实用新型公报第20-2013-0005884号(2013.10.10)等中公开。

发明内容

本发明的目的可以是提供一种能够解决如上所述的现有技术中存在的所有问题的基板搬运用机器人。

并且，本发明的另一目的可以是提供一种能够在提高基板支撑部的升降高度的方面相对较少地受限的基板搬运用机器人。

并且，本发明的又一目的可以是提供一种能够简便地设置滚珠丝杠的基板搬运用机器人。

本发明所涉及的基板搬运用机器人可以包括：直线运动部，以能够进行直线运动的方式设置；旋转运动部，一侧被上述直线运动部支撑，与上述直线运动部一起运动，并且设置为能够以被上述直线运动部支撑的部位为基准旋转；支撑部，下端部侧被上述旋转运动部的另一侧支撑，与上述旋转运动部一起运动；升降部，具有滚珠丝杠和滚珠螺母，滚珠丝杠的下端部侧及上端部侧被上述支撑部支撑并固定，滚珠螺母以能够旋转的方式设置于上述滚珠丝杠，并随着旋转而沿着上述滚珠丝杠升降；基板支撑部，连结于上述滚珠螺母侧，与上述滚珠螺母一起升降，并支撑基板。

本发明所涉及的基板搬运用机器人可以包括：直线运动部，以能够进行直线运动的方式设置；旋转运动部，一侧被上述直线运动部支撑，与上述直线运动部一起运动，并且设置为能够以被上述直线运动部支撑的部位为基准旋转；支撑部，下端部侧被上述旋转运动部的另一侧支撑，与上述旋转运动部一起运动；升降部，具有滚珠丝杠、滚珠螺母和轴承，滚珠丝杠的下端部侧及上端部侧被上述支撑部支撑并固定，滚珠螺母以能够旋转的方式设置于上述滚珠丝杠，并随着旋转而沿着上述滚珠丝杠升降，轴承的内圈设置在上述滚珠丝杠的上述滚珠螺母的上端面上侧的部位，并通过上述滚珠螺母而升降；以及基板支撑部，连结于上述轴承侧，与上述滚珠螺母一起升降，并支撑基板。

本实施例所涉及的基板搬运用机器人中，升降部的滚珠丝杠被固定，滚珠螺母以能够旋转的方式设置于滚珠丝杠，并随着正反转而沿着滚珠丝杠升降，并且基板支撑部通过滚珠螺母的升降而升降。这样一来，由于长度较长的滚珠丝杠不旋转，所以防止滚珠丝杠由于振动旋转而受损，由此能够将滚珠丝杠的长度形成得相对较长。因此，在提高基板支撑部的升降高度的方面，能够起到相对较少地受到限制的效果。

另外，在升降部的滚珠丝杠的外周面设置有滚珠螺母，在滚珠丝杠的滚珠螺母上侧的外周面设置有轴承。因此，滚珠螺母的长度方向与轴承的长度方向能够大致处在一条直线上，由此能够起到减少升降部和供升降部设置的支撑部的朝向滚珠丝杠的半径方向的体积的效果。

另外，由于滚珠丝杠不旋转，所以能够起到容易设置滚珠丝杠的效果。

另外，由于滚珠丝杠成为被支撑部件划分为多个区域的形态，所以成为滚珠丝杠的长度变短的形态。由此，能够起到能够相对地防止滚珠丝杠变形的效果。

另外，在具有两个使滚珠螺母旋转的驱动马达的情况下，即使任一个驱动马达发生了异常，也能够利用另一个驱动马达使滚珠螺母旋转，因此能够起到如下效果，即，能够提高作业的连续性，并且能够通过未发生故障的另一个驱动马达来防止滚珠螺母下降。

附图说明

图1是本发明的第一实施例所涉及的基板搬运用机器人的立体图。

图2是图1所示出的升降部的主要部分分解立体图。

图3是图2所示出的轴承部位的分解立体图。

图4是本发明的第二实施例所涉及的基板搬运用机器人的主要部分分解立体图。

图5是示出图4所示出的支撑部件的动作的概略侧视图。

图6是示出图5所示出的支撑部件的另一使用例的概略侧视图。

图7是示出图5所示出的支撑部件的变形例的概略侧视图。

图8是本发明的第三实施例所涉及的基板搬运用机器人的主要部分分解立体图。

图9是本发明的第四实施例所涉及的基板搬运用机器人的立体图。

图10是图9所示出的升降部的主要部分分解立体图。

图11是图10所示出的轴承部位的放大立体图。

图12是本发明的第五实施例所涉及的基板搬运用机器人的主要部分分解立体图。

图13是示出图12所示出的支撑部件的动作的概略侧视图。

图14是示出图13所示出的支撑部件的另一使用例的概略侧视图。

图15是示出图13所示出的支撑部件的变形例的概略侧视图。

图16是本发明的第六实施例所涉及的基板搬运用机器人的主要部分分解立体图。

图17是本发明的第七实施例所涉及的基板搬运用机器人的立体图。

图18是图17所示出的支撑部及升降部的放大立体图。

图19是图18所示出的支撑部及升降部的俯视剖视图。

图20是图18所示出的支撑部及升降部的局部分解立体图。

图21是图20所示出的轴承部位的分解立体图。

图22是本发明的第八实施例所涉及的基板搬运用机器人的主要部分分解立体图。

具体实施方式

在本说明书中，应注意在对各附图的结构元件标记附图标记时，对于相同的结构元件，即使出现在不同的附图中也使其尽可能具有相同的附图标记。

另一方面，在本说明书中描述的用语的含义应理解如下。

应理解单数的表述若在文脉上并未明确定义为其他含义则包括复数表述，“第一”、“第二”等用语是用于将一个结构元件与另一个结构元件进行区分，不应被这些用语限定权利范围。

应理解“包括”或者“具有”等用语并非提前排除一个或更多的其他特征或数字、步骤、动作、结构元件、部件或者这些的组合的存在或者可附加性。

应理解用语“至少一个”包括能够由一个以上的相关项目提示的所有组合。例如，“第一项目、第二项目和第三项目中的至少一个”的含义不仅是指第一项目、第二项目或者第三项目的每个，还包括第一项目、第二项目和第三项目中两个以上的所有项目的组合。

应理解用语“和/或”包括由一个以上的相关项目能够提示的所有组合。例如，“第一项目、第二项目和/或第三项目”的含义不仅是指第一项目、第二项目或者第三项目，还包括第一项目、第二项目或者第三项目中两个以上的所有项目的组合。

应理解在提及某一结构元件“连结或者设置”于另一结构元件时，可以是直接连结或者设置于该另一结构元件，但也可以在它们之间存在其他结构元件。反之，应理解在提及某一结构元件“直接连结或者设置”于另一结构元件时，它们之间不存在其他结构元件。另一方面，对用于说明结构元件间的关系的其它表述，即“～之间”和“就在～之间”或者“与～相邻的”和“与～直接相邻的”等也应当同样理解。

下文中，参照附图对本发明的实施例所涉及的基板搬运用机器人进行详细说明。

第一实施例

图1是本发明的第一实施例所涉及的基板搬运用机器人的立体图，图2是图1所示出的升降部的主要部分分解立体图，图3是图2所示出的轴承部位的分解立体图。

如图所示，本发明的第一实施例所涉及的基板搬运用机器人可以设置在用于制造半导体或者平板显示装置的清洁室等中而使用，可以包括直线运动部110、旋转运动部120、支撑部130、升降部140和基板支撑部170。因此，能够将载置在盒子(Cassette)中的玻璃或者硅晶片等基板S运向基板处理装置，或者将基板处理装置的基板运向盒子，或者将基板从任一个基板处理装置运向另一个基板处理装置。

在上述清洁室的地板可以设置有轨道形式的基部50，直线运动部110可以设置于基部50，并且以能够沿与上述清洁室的地板平行的方向亦即水平方向进行直线往复运动的方式设置。直线运动部110可以直接设置于上述清洁室的地板，但此时可以在直线运动部110的下表面以能够旋转的方式设置有多个轮子。

旋转运动部120可以是其一端部侧被直线运动部110支撑而与直线运动部110一起运动。并且，旋转运动部120可以被设置为能够以被直线运动部110支撑的部位为基准相对于直线运动部110旋转。

支撑部130可以是其下端部侧被旋转运动部120的另一端部侧支撑而与旋转运动部120一起运动。支撑部130可以包括具有规定长度的支撑框架131、和包围支撑框架131的外轮廓的一部分的盖部135，可以与直线运动部110大致正交。

升降部140可以支撑设置于支撑部130而沿着支撑部130的长度方向升降，基板支撑部170可以设置于升降部140而与升降部140一起升降。

基板支撑部170可以包括设置为能够以相互连结的部位为基准旋转的多轴多关节结构的多个臂171。此时，位于最外轮廓的任一个臂171可以以能够旋转的方式设置于升降部140，在位于最外轮廓的另一个臂171的端部可以以能够旋转的方式设置有搭载支撑基板S的辐条(spoke)173。并且，基板支撑部170可以在上下隔开间隔地设置有多个。

因此，使直线运动部110移动并使旋转运动部120旋转，而使基板支撑部170位于想要搬运的基板S侧。然后，使升降部140升降而使基板支撑部170的辐条173位于想要搬运的基板S的下侧，之后张开相互以能够旋转的方式连结的臂171而使辐条173位于想要搬运的基板S的下表面下侧。然后，使升降部140上升而将想要搬运的基板S搭载到辐条173，之后将相互以能够旋转的方式连结的臂171折叠则想要搬运的基板S被搬出。然后，将按照适当的顺序执行如上所述的动作而运出的基板S搬入期望的位置即可。

下面对升降部140进行说明。

升降部140可以使基板支撑部170升降，并且可以包括滚珠丝杠141、滚珠螺母142、驱动马达144、壳体146、轴承147、导轨148和升降块149。

滚珠丝杠141的下端部和上端部可以支撑固定于支撑部130并与直线运动部110大致呈垂直，滚珠螺母142可以以能够旋转的方式设置于滚珠丝杠141。此时，滚珠螺母142可以随着正反转而沿着滚珠丝杠141升降。

在滚珠丝杠141的外周面和滚珠螺母142的内周面可以相互对应地分别形成有螺旋槽，可以在上述螺旋槽夹设有滚珠。上述滚珠有助于滚珠螺母142在滚珠丝杠141的外周面顺利旋转。

驱动马达144能够提供用于使滚珠螺母142旋转的旋转力。为了将驱动马达144的旋转力传递到滚珠螺母142，在滚珠螺母142和驱动马达144的旋转轴可以分别形成有带轮143、145，并且带轮143和带轮145可以通过带相互连结。因此，滚珠螺母142是通过驱动马达144旋转的。

壳体146可以经由后述的轴承147而与滚珠螺母142一起升降，并且可以在内部支撑设置有驱动马达144，可以在外表面以能够旋转的方式设置有基板支撑部170的臂171的端部。

在滚珠螺母142与壳体146之间可以夹设有轴承147。轴承147的内圈可以与滚珠螺母142的外周面结合，轴承147的外圈可以与壳体146结合。这样一来，即使滚珠螺母142旋转，壳体146也不会旋转，因此滚珠螺母142能够一边旋转一边沿着滚珠丝杠141升降。因此，轴承147与滚珠螺母142一起升降而使壳体146升降，并且基板支撑部170通过壳体146而升降。

由于设置空间上的限制，可能不易将轴承147的外圈与壳体146直接结合。考虑到这种理由，可以在轴承147的外圈形成有与壳体146结合的突出块147a。

导轨148和第一升降块149能够支撑壳体146以使壳体146稳定地升降的同时，还能够进一步防止壳体146旋转。

详细而言，导轨148可以与滚珠丝杠141平行地设置于支撑部130，并且可以在导轨148以能够升降的方式设置有第一升降块149。并且，在第一升降块149可以结合有壳体146。这样一来，通过导轨148和第一升降块149使壳体146与滚珠螺母142一起稳定地升降，同时进一步防止壳体146旋转。导轨148可以隔着滚珠丝杠141设置在两侧。

本发明的第一实施例所涉及的基板搬运用机器人中，固定设置有升降部140的滚珠丝杠141。并且，滚珠螺母142以能够旋转的方式设置于滚珠丝杠141并随着正反转而沿着滚珠丝杠141升降，并且通过滚珠螺母142的升降使基板支撑部170升降。即，由于长度较长的滚珠丝杠141不旋转，所以能够防止滚珠丝杠141由于振动旋转而受损。这样一来，能够使滚珠丝杠141的长度形成得相对较长，因此在提高基板支撑部170的升降高度的方面能够相对较少地受限。并且，由于滚珠丝杠141不旋转，所以能够容易设置滚珠丝杠141。

第二实施例

图4是本发明的第二实施例所涉及的基板搬运用机器人的主要部分分解立体图，图5是示出图4所示出的支撑部件的动作的概略侧视图，下面对此进行说明。

如图所示，本发明的第二实施例所涉及的基板搬运用机器人可以包括支撑滚珠丝杠241并防止滚珠丝杠241发生变形的支撑模块250。更具体而言，支撑模块250能够防止长度较长的滚珠丝杠241由于设置于壳体246内部的驱动马达144(参照图2)和与壳体246的外表面结合的基板支撑部170(参照图1)的负荷而发生变形。

支撑模块250能够设置为沿着滚珠丝杠241能够升降且可以将滚珠丝杠241划分为多个区域，并且可以被导轨248侧支撑并包括支撑部件251、衬套253和第二升降块255。

支撑部件251具有将滚珠丝杠241的位于滚珠螺母的上侧和下侧的部位分别包围的方式设置的支撑管251a、和将支撑管251a连结为一体的连结部251b。并且，衬套253可以设置于各支撑管251a的内周面并与滚珠丝杠241接触，第二升降块255可以以能够升降的方式设置于导轨248，同时结合有支撑部件251的连结部251b。因此，支撑部件251经由第二升降块255而被导轨248支撑。

支撑部件251的连结部251b的上侧部位可以与壳体246的上表面接触，因此支撑部件251能够通过升降的壳体246而升降。

这样一来，滚珠丝杠241被支撑模块250的衬套253接触支撑，由此成为划分成多个区域的形态，因此成为滚珠丝杠241的长度变短的形态。因此，能够相对地防止滚珠丝杠241发生变形。

图6是示出图5所示出的支撑部件的另一使用例的概略侧视图，下面仅对与图5的不同点进行说明。

如图所示，支撑模块250的支撑部件251可以与滚珠螺母142(参照图1)联动地升降。与滚珠螺母142结合而与滚珠螺母142一起升降的突出块247a和支撑部件251可以被动力传递模块260相互连结，以使滚珠螺母142和支撑部件251能够联动地升降。

详细而言，动力传递模块260可以包括与突出块247a连结的第一带261、以能够旋转的方式支撑设置于支撑部130(参照图1)并且支撑第一带261的两端部侧的第一旋转支撑体263、与支撑部件251连结的第二带265、以能够旋转的方式支撑设置于支撑部130并支撑第二带265的两端部侧的第二旋转支撑体267、和将第一旋转支撑体263的旋转力向第二旋转支撑体267传递的齿轮组装体(未图示)。

因此，若突出块247a根据滚珠螺母142的升降而升降，则第一带261一边升降一边旋转，由此第一旋转支撑体263旋转。并且，第一旋转支撑体263的旋转力通过上述齿轮组装体而传递到第二旋转支撑体267，第二带265通过第二旋转支撑体267而旋转并升降。因此，支撑部件251因第二带265而升降，所以支撑部件251与滚珠螺母142联动地升降。

若将第一旋转支撑体263和第二旋转支撑体267形成为相同大小并以构成同心的方式连结，则也可以去除上述齿轮组装体。

图7是示出图5所示出的支撑部件的变形例的概略侧视图，下面仅对与图5的不同点进行说明。

如图所示，若将支撑部件251的支撑管251c形成得较长，而使支撑管251c中位于上侧的支撑管251c的下端面和与滚珠螺母142(参照图1)一体形成的带轮243接触，则支撑部件251可以通过升降的滚珠螺母142而升降。

第三实施例

图8是本发明的第三实施例所涉及的基板搬运用机器人的主要部分分解立体图，下面仅对与第一实施例的不同点进行说明。

如图所示，本发明第三实施例所涉及的基板搬运用机器人可以具有两个驱动马达344，在各驱动马达344的旋转轴可以分别形成有带轮345。并且，在滚珠螺母342可以形成有与各驱动马达344的带轮345分别经由带而连结的相互划分的第一带轮343a和第二带轮343b。

这样一来，即使在任一个驱动马达344发生了故障的情况下，也可以利用另一个驱动马达344使滚珠螺母342旋转，由此能够提高作业的连续性。

并且，在两个驱动马达344停止的状态下，在任一个驱动马达344发生了故障的情况下，通过未发生故障的另一个驱动马达344来防止滚珠螺母342的旋转，因此能够防止滚珠螺母342和壳体346下降。

并且，与使用一个容量大的驱动马达相比，使用两个容量小的驱动马达更能减少成本。

本发明的第三实施例所涉及的基板搬运用机器人的结构当然能够应用于本发明的第一实施例、第二实施例及其变形例所涉及的基板搬运用机器人。

第四实施例

图9是本发明的第四实施例所涉及的基板搬运用机器人的立体图，图10是图9所示出的升降部的主要部分分解立体图，图11是图10所示出的轴承部位的放大立体图。

如图所示，本发明的第四实施例所涉及的基板搬运用机器人可以设置在用于制造半导体或者平板显示装置的清洁室等中而使用，可以包括直线运动部410、旋转运动部420、支撑部430、升降部440和基板支撑部470。因此，能够将载置在盒子(Cassette)的玻璃或者硅晶片等基板S运向基板处理装置，或者将基板处理装置的基板运向盒子，或者将基板从任一个基板处理装置运向另一个基板处理装置。

在上述清洁室的地板可以设置有轨道形式的基部450，直线运动部410可以设置于基部450，并且设置为能够沿与上述清洁室的地板平行的方向亦即水平方向进行直线往复运动。直线运动部410可以直接设置于上述清洁室的地板，但在此时，可以在直线运动部410的下表面以能够旋转的方式设置有多个轮子。

旋转运动部420可以是其一端部侧被直线运动部410支撑而与直线运动部410一起运动。并且，旋转运动部420可以设置为以被直线运动部410支撑的部位为基准相对于直线运动部410旋转。

支撑部430可以是其下端部侧被旋转运动部420的另一端部侧支撑而与旋转运动部420一起运动。支撑部430可以包括具有规定长度的支撑框架431、和包围支撑框架431的外轮廓的一部分的盖部435，可以与直线运动部410大致正交。

升降部440可以支撑设置于支撑部430而沿着支撑部430的长度方向升降，基板支撑部470可以设置于升降部440而与升降部440一起升降。

基板支撑部470可以包括设置为能够以相互连结的部位为基准旋转的多轴多关节结构的多个臂471。此时，位于最外轮廓的任一个臂471可以以能够旋转的方式设置于升降部440，在位于最外轮廓的另一个臂471的端部以能够旋转的方式设置有搭载支撑基板S的辐条473。并且，基板支撑部470可以在上下隔开间隔地设置有多个。

因此，使直线运动部410移动并使旋转运动部420旋转，而使基板支撑部470位于想要搬运的基板S侧。然后，使升降部440升降而使基板支撑部470的辐条473位于想要搬运的基板S的下侧，之后张开相互以能够旋转的方式连结的臂471而使辐条473位于想要搬运的基板S的下表面下侧。然后，使升降部440上升而将想要搬运的基板S搭载到辐条473，之后将相互以能够旋转的方式连结的臂471折叠来搬出想要搬运的基板S。然后，将按照适当的顺序执行如上所述的动作而搬出的基板S搬入期望的位置即可。

下面对升降部440进行说明。

升降部440可以使基板支撑部470升降，并且可以包括滚珠丝杠441、滚珠螺母442、驱动马达444、壳体446、轴承447、导轨448和升降块449。

滚珠丝杠441的下端部和上端部可以支撑固定于支撑部430并与直线运动部410大致呈垂直，滚珠螺母442可以以能够旋转的方式设置于滚珠丝杠441。这里，滚珠螺母442可以随着正反转而沿着滚珠丝杠441升降。

在滚珠丝杠441的外周面和滚珠螺母442的内周面可以相互对应地分别形成有螺旋槽，可以在上述螺旋槽夹设有滚珠。上述滚珠有助于滚珠螺母442在滚珠丝杠441的外周面顺利旋转。

驱动马达444能够提供用于使滚珠螺母442旋转的旋转力。为了将驱动马达444的旋转力传递到滚珠螺母442，在滚珠螺母442和驱动马达444的旋转轴可以分别形成有带轮443、445，并且带轮443和带轮445可以通过带相互连结。因此，滚珠螺母442是通过驱动马达444旋转的。

在壳体446的内部可以支撑设置有驱动马达444，在外表面可以以能够旋转的方式设置有基板支撑部470的臂471的端部。并且，壳体446可以与轴承447结合而与轴承447一起升降。对此，在下文中进行描述。

轴承447以能够升降的方式设置于滚珠丝杠441的滚珠螺母442的上端面上侧的部位，并且可以通过滚珠螺母442升降。即轴承447设置于滚珠丝杠441的滚珠螺母442的长度方向上侧的部位，轴承447的长度方向和滚珠螺母442的长度方向可以大致在一条直线上。

并且，轴承447的内圈可以设置于滚珠丝杠441且外圈可以结合于壳体446。由于设置空间上的限制，可能不易将轴承447的外圈与壳体446直接结合。考虑到这种理由，可以在轴承447的外圈形成有与壳体446结合的突出块447a。

这样一来，若滚珠螺母442通过驱动马达444而旋转，则滚珠螺母442沿着滚珠丝杠441升降，并且通过滚珠螺母441的升降，而下端面与滚珠螺母441的上端面侧接触的轴承447升降。因此，壳体446升降，所以基板支撑部470升降。

由于壳体446位于支撑部430的外侧从而无法以滚珠丝杠441为中心旋转，所以若滚珠螺母442旋转，则滚珠螺母442沿着滚珠丝杠441升降。

导轨448和第一升降块449能够支撑壳体446以使壳体446稳定地升降的同时，还能够进一步防止壳体446旋转。

详细而言，导轨448可以与滚珠丝杠441平行地设置于支撑部430，并且可以在导轨448以能够升降的方式设置有第一升降块449。并且，在第一升降块449可以结合有壳体446。这样一来，通过导轨448和第一升降块449防止壳体446旋转，因此壳体446与滚珠螺母442一起稳定地升降。导轨448可以隔着滚珠丝杠441而设置在两侧。

本发明的第四实施例所涉及的基板搬运用机器人中，在滚珠丝杠441的外周面设置有滚珠螺母442，并在滚珠丝杠441的滚珠螺母442上侧的外周面设置有轴承447。因此，滚珠螺母442的长度方向与轴承447的长度方向大致在一条直线上，因此与在滚珠螺母的外周面设置轴承的现有的基板搬运用机器人相比，升降部440和供升降部440设置的支撑部430的朝向滚珠丝杠441的半径方向的体积减少。

并且，固定设置有升降部440的滚珠丝杠441，滚珠螺母442以能够旋转的方式设置于滚珠丝杠441并随着正反转而沿着滚珠丝杠441升降，基板支撑部470通过滚珠螺母442的升降而升降。即，由于滚珠丝杠441不旋转，所以能够防止滚珠丝杠441由于振动旋转而受损。这样一来，能够将滚珠丝杠441的长度形成得相对较长，因此在提高基板支撑部470的升降高度的方面能够相对较少地受限。并且，由于滚珠丝杠441不旋转，所以能够容易设置滚珠丝杠441。

第五实施例

图12是本发明的第五实施例所涉及的基板搬运用机器人的主要部分分解立体图，图13是示出图12所示出的支撑部件的动作的概略侧视图，下面对此进行说明。

如图所示，本发明的第五实施例所涉及的基板搬运用机器人可以包括支撑滚珠丝杠541并防止滚珠丝杠541发生变形的支撑模块550。更具体而言，支撑模块550能够防止长度较长的滚珠丝杠541由于设置于壳体546内部的驱动马达444(参照图10)、和与壳体546的外表面结合的基板支撑部470(参照图9)的负荷而发生变形。

支撑模块550可以设置为能够沿着滚珠丝杠541升降且可以将滚珠丝杠541划分为多个区域，并且可以被导轨548侧支撑并包括支撑部件551、衬套553和第二升降块555。

支撑部件551具有将滚珠丝杠541的位于滚珠螺母542的下侧和轴承547的上侧的部位分别包围的方式设置的支撑管551a、和将支撑管551a连结为一体的连结部551b。并且，衬套553可以设置于各支撑管551a的内周面并与滚珠丝杠541接触，第二升降块555可以以能够升降的方式设置于导轨548，同时结合有支撑部件551的连结部551b。因此，支撑部件551经由第二升降块555被支撑于导轨548。

支撑部件551的连结部551b的上侧部位可以与壳体546的上表面接触，由此支撑部件551可以通过升降的壳体546升降。

这样一来，滚珠丝杠541被支撑模块550的衬套553接触支撑，由此成为划分成多个区域的形态，从而成为滚珠丝杠541的长度变短的形态。因此，能够相对地防止滚珠丝杠541发生变形。

图14是示出图13所示出的支撑部件的另一使用例的概略侧视图，下面仅对与图13的不同点进行说明。

如图所示，支撑模块550的支撑部件551可以与滚珠螺母542联动地升降。滚珠螺母542和支撑部件551可以通过动力传递模块560相互连结，以能够使滚珠螺母542与支撑部件551联动地升降。

详细而言，动力传递模块560可以包括与滚珠螺母542连结的第一带561、以能够旋转的方式支撑设置于支撑部430(参照图9)并且支撑第一带561的两端部侧的第一旋转支撑体563、与支撑部件551连结的第二带565、以能够旋转的方式支撑设置于支撑部430并支撑第二带565的两端部侧的第二旋转支撑体567、和将第一旋转支撑体563的旋转力向第二旋转支撑体567传递的齿轮组装体(未图示)。

因此，若第一带561通过滚珠螺母542的升降而升降旋转，则第一旋转支撑体563旋转，第一旋转支撑体563的旋转力通过上述齿轮组装体传递到第二旋转支撑体567。这样一来，第二带565通过第二旋转支撑体567而旋转升降，由此通过第二带565，支撑部件551升降。由此，支撑部件551与滚珠螺母542联动地升降。

若将第一旋转支撑体563和第二旋转支撑体567形成为相同大小并以构成同心的方式连结，则也可以去除上述齿轮组装体。

图15是示出图13所示出的支撑部件的变形例的概略侧视图，下面仅对与图13的不同点进行说明。

如图所示，若支撑部件551的支撑管551c形成得较长而支撑管551c中位于上侧的支撑管551c的下端面与轴承547接触，则支撑部件551可以通过升降的滚珠螺母542而升降。

第六实施例

图16是本发明的第六实施例所涉及的基板搬运用机器人的主要部分分解立体图，下面仅对与第四实施例的不同点进行说明。

如图所示，发明的第六实施例所涉及的基板搬运用机器人可以具有两个驱动马达644，在各驱动马达644的旋转轴可以分别形成有带轮645。并且，在滚珠螺母642可以形成有与各驱动马达644的带轮645分别经由带而连结的相互划分的第一带轮643a和第二带轮643b。

这样一来，即使在任一个驱动马达644发生了故障的情况下，也能够利用另一个驱动马达644使滚珠螺母642旋转，因此能够提高作业的连续性。

并且，在两个驱动马达644停止的状态下，在任一个驱动马达644发生了故障的情况下，通过未发生故障的另一个驱动马达644来防止滚珠螺母642的旋转，因此能够防止滚珠螺母642和壳体646下降。

并且，与使用一个容量大的驱动马达相比，使用两个容量小的驱动马达更能减少成本。

本发明的第六实施例所涉及的基板搬运用机器人的结构当然能够应用于本发明的第四实施例、第五实施例及其变形例所涉及的基板搬运用机器人。

第七实施例

图17是本发明的第七实施例所涉及的基板搬运用机器人的立体图，图18是图17所示出的支撑部及升降部的放大立体图。

如图所示，本发明的第七实施例所涉及的基板搬运用机器人可以设置在用于制造半导体或者平板显示装置的清洁室等中而使用，可以包括具有直线运动部710和旋转运动部720的位置调节部、支撑部730、升降部760、以及基板支撑部770。因此，能够将载置在盒子(Cassette)的玻璃或者硅晶片等基板S运向基板处理装置，或者将基板处理装置的基板运向盒子，或者将基板从任一个基板处理装置运向另一个基板处理装置。

在上述清洁室的地板可以设置有轨道形式的基部750，上述位置调节部的直线运动部710可以设置于基部750，并且可以设置为能够沿与上述清洁室的地板平行的方向亦即水平方向进行直线往复运动。直线运动部710可以直接设置于上述清洁室的地板，但此时，可以在直线运动部710的下表面以能够旋转的方式设置有多个轮子。

上述位置调节部的旋转运动部720可以是其一端部侧被直线运动部710支撑而与直线运动部710一起运动。并且，旋转运动部720可以设置为能够以被直线运动部710支撑的部位为基准相对于直线运动部710旋转。

若使上述位置调节部的直线运动部710和旋转运动部720适当地运动，则能够将基板支撑部770向想要搬运的基板S侧移动。

支撑部730可以是其下端部侧被旋转运动部720的另一端部侧支撑而与旋转运动部720一起运动，升降部760可以被支撑部730支撑设置而沿着支撑部730的长度方向升降。对于支撑部730和升降部760，在下文中进行说明。

基板支撑部770可以设置于升降部760而与升降部760一起升降。基板支撑部770可以包括设置为能够以相互连结的部位为基准旋转的多轴多关节结构的多个臂771。此时，位于最外轮廓的任一个臂771可以以能够旋转的方式设置于升降部760，在位于最外轮廓的另一个臂771的端部以能够旋转的方式设置有搭载支撑基板S的辐条773。并且，基板支撑部770可以在上下隔开间隔地设置有多个。

因此，使直线运动部710移动并使旋转运动部720旋转，而使基板支撑部770位于想要搬运的基板S侧。然后，使升降部760升降而使基板支撑部770的辐条773位于想要搬运的基板S的下侧，之后张开相互以能够旋转的方式连结的臂771而使辐条773位于想要搬运的基板S的下表面下侧。然后，使升降部760上升而使想要搬运的基板S搭载到辐条773，之后将相互以能够旋转的方式连结的臂771折叠来搬出想要搬运的基板S。然后，将按照适当的顺序执行如上所述的动作而搬出的基板S搬入期望的位置即可。

首先，参照图17～图20对支撑部730进行说明。图19是图18所示出的支撑部及升降部的俯视剖视图，图20是图18所示出的支撑部及升降部的局部分解立体图。

如图所示，支撑部730可以包括支撑柱731、第一延伸肋733、第二延伸肋735、第一盖部737和第二盖部739。

并且，在支撑部730的内部可以形成有多个空间730a、730b、730c、730d，各空间730a、730b、730c、730d可以相互划分。可以在支撑部730的被划分的各空间730a、730b、730c、730d分别设置有升降部760的一部分。此时，在支撑部730的被划分的各空间730a、730b、730c、730d中的至少一个的空间730d可以不设置升降部760的一部分，而设置有升降部760的一部分的支撑部730的被划分的各空间730a、730b、730c被第二盖部739和密封带(Seal Belt)741、743、745分别密封。

详细而言，支撑柱731可以形成为剖面形状为大致四角形的中空体，可以在前表面形成有向后表面侧凹陷的凹陷部。上述凹陷部可以形成第一空间730a，支撑柱731的内部可以由第四空间730d形成，对此将在下文中描述。

第一延伸肋733和第二延伸肋735可以从支撑柱731的后表面两个边缘部分别向外侧延伸而形成。

第一盖部737可以覆盖支撑柱731的后表面、第一延伸肋733和第二延伸肋、支撑柱731的两个侧面外侧、以及支撑柱731的与第一延伸肋733和第二延伸肋735对置的前表面侧一部分。并且，第二盖部739可以覆盖第一盖部737的上表面。

这样一来，可以通过上述凹陷部形成空间，可以通过第一延伸肋733、支撑柱731的左侧面和第一盖部737形成空间，可以通过第二延伸肋735、支撑柱731的右侧面和第一盖部737形成空间，并且可以在支撑柱731的内部形成空间。

下文中，将通过上述凹陷部形成的空间称为第一空间730a，将通过第一延伸肋733、支撑柱731的左侧面和第一盖部737形成的空间称为第二空间730b，将通过第二延伸肋735、支撑柱731的右侧面和第一盖部737形成的空间称为第三空间730c，并将被第二盖部739覆盖的支撑柱731内部的空间称为第四空间730d。

因此，在第一空间730a、第二空间730b和第三空间730c分别设置有升降部760的一部分，在第四空间730d未设置升降部760的一部分。此时，第一空间730a、第二空间730b和第三空间730c通过第二盖部739和密封带741、743、745被分别密封。

在第一盖部737的下端面也可以设置有用于密封第一空间730a至第三空间730c的下部侧的另外的盖部。

并且，未设置升降部760的一部分的第四空间730d可以被划分为清洁空间730da和非清洁空间730db。清洁空间730da不与第一空间730a连通且不被第二盖部739覆盖，非清洁空间730db与第一空间730a连通且被第二盖部739覆盖。

第二盖部739的与清洁空间730da对应的部位可以敞开，以使清洁空间730da不被第二盖部739覆盖。

为了使第一空间730a与非清洁空间730db连通，在支撑柱731的前表面下侧部位可以形成有连通孔731a(参照图20)，第一空间730a和非清洁空间730db可以通过第二盖部739和密封第一空间730a的密封带741被一起密封。

在支撑柱731的一侧面下侧部位可以形成有排出口731b(参照图20)，该排出口731b用于将升降部760的一部分中产生的第一空间730a的颗粒通过非清洁空间730db排向外部。排出口731b可以与吸入风扇等吸入模块连通。

并且，在第一盖部737的左侧面下侧部位和第一盖部737的右侧面下侧部位可以分别形成有排出口737a、737b(参照图18和图20)，升降部760的一部分中产生的第二空间730b的颗粒和升降部760的一部分中产生的第三空间730c的颗粒可以通过各排出口737a、737b排向外部。各排出口737a、737b当然也可以与吸入模块连通。

可以与各排出口731b、737a、737b对应地分别设置吸入模块来排出颗粒，也可以利用一个吸入模块将颗粒通过各排出口731b、737a、737b而排出。

接下来，参照图17～图21对升降部760进行说明。图21是图20所示出的轴承部位的分解立体图。

如图所示，升降部760可以设置于支撑部730而使基板支撑部770升降，并且可以包括滚珠丝杠761、滚珠螺母762、驱动马达764、壳体766、轴承767、第一导轨768a、第一升降块768b、第二导轨769a和第二升降块769b。

滚珠丝杠761可以固定设置于第一空间730a并且与直线运动部710大致呈垂直，下端部和上端部可以被支撑柱731的上侧部位和下侧部位支撑。滚珠螺母762以能够旋转的方式设置于滚珠丝杠761，并且可以随着正反转而沿着滚珠丝杠761升降。即，滚珠丝杠761被固定，滚珠螺母762随着旋转而沿着滚珠丝杠761升降。第一空间730a和第四空间730d的非清洁空间730db可以被第二盖部739和密封带741密封。

由于滚珠螺母762与滚珠丝杠761物理结合而升降，所以在滚珠螺母762升降时会产生颗粒。并且，在滚珠螺母762升降时产生的颗粒残留在相对较窄的空间即第一空间730a，通过上述吸入模块能够排向支撑部730的外部而不在第一空间730a内飞散。

在滚珠丝杠761的外周面和滚珠螺母762的内周面可以相互对应地分别形成有螺旋槽，可以在上述螺旋槽夹设有滚珠。上述滚珠有助于滚珠螺母762在滚珠丝杠761的外周面顺利旋转。

驱动马达764能够提供用于使滚珠螺母762旋转的旋转力。为了将驱动马达764的旋转力传递到滚珠螺母762，在滚珠螺母762和驱动马达764的旋转轴可以分别形成有带轮763、765，并且带轮763和带轮765可以通过带相互连结。因此，滚珠螺母762是通过驱动马达764旋转的。

在壳体766的内部可以支撑设置有驱动马达764，在外表面以能够旋转的方式设置有基板支撑部770的臂771的端部。并且，壳体766可以位于被密封带741密封的第一空间730a的外侧并与轴承767结合，可以与轴承767一起升降。对此，在下文中进行描述。

轴承767可以以能够升降的方式设置在滚珠丝杠761的滚珠螺母762的上端面上侧的部位，并且通过滚珠螺母762而升降。即，轴承767设置于滚珠丝杠761的滚珠螺母762的长度方向上侧的部位，轴承767的长度方向与滚珠螺母762的长度方向能够大致处在一条直线上。

并且，轴承767的内圈可以设置于滚珠丝杠761，外圈可以与壳体766结合。由于设置空间上的限制，可能不易将轴承767的外圈与壳体766直接结合。考虑到这种理由，可以在轴承767的外圈形成有与壳体766结合的突出块767a。

这样一来，若滚珠螺母762通过驱动马达764而旋转，则滚珠螺母762沿着滚珠丝杠761升降，通过滚珠螺母761的升降，下端面与滚珠螺母761的上端面侧接触的轴承767升降。由此，壳体766升降，因此基板支撑部770升降。

壳体766位于支撑部730的外侧且无法以滚珠丝杠761为中心进行旋转，因此若滚珠螺母762旋转，则滚珠螺母762沿着滚珠丝杠761升降。

第一导轨768a、第一升降块768b、第二导轨769a和第二升降块769b能够支撑壳体766以使壳体766稳定地升降的同时，进一步防止壳体766旋转。

详细而言，第一导轨768a和第二导轨769a可以分别设置于形成第二空间730b和第三空间730c的支撑柱731的左侧面和右侧面而与滚珠丝杠761大致平行，第一升降块768b和第二升降块769b可以分别以能够升降的方式设置于第一导轨768a和第二导轨769a。并且，在第一升降块768b和第二升降块769b可以分别结合有壳体766。这样一来，通过第一导轨768a、第一升降块768b、第二导轨769a和第二升降块769b来防止壳体766旋转，因此壳体766与滚珠螺母762一起稳定地升降。

由于第一升降块768b与第一导轨768a物理结合而升降并且第二升降块769b与第二导轨769a物理结合而升降，因此在第一升降块768b和第二升降块769b升降时会产生颗粒。并且，在第一升降块768b和第二升降块769b升降时产生的颗粒分别残留在相对较窄的空间即第二空间730b和第三空间730c，通过上述吸入模块能够排向支撑部730的外部而不在第二空间730b和第三空间730c内飞散。

第二空间730b可以被第二盖部739和密封带743密封，第三空间730c可以被第二盖部739和密封带745密封。

本发明的第七实施例所涉及的基板搬运用机器人在支撑部730的内部形成相互划分的第一空间～第四空间730a、730b、730c、730d，分别设置有升降部760的一部分的第一空间～第三空间730a、730b、730c分别被第二盖部739和密封带741、743、745密封。即，在第一空间730a设置有相互配合运动的滚珠丝杠761和滚珠螺母762，在第二空间730b设置有相互配合运动的第一导轨768a和第一升降块768b，在第三空间730c设置有相互配合运动的第二导轨769a和第二升降块769b。并且，第一空间～第三空间730a、730b、730c被第二盖部739和密封带741、743、745分别密封，残留在第一空间～第三空间730a、730b、730c的颗粒被吸到下侧而排出。即，将残留在相对较窄的空间即第一空间～第三空间730a、730b、730c的颗粒吸到下侧，从而容易将颗粒吸入并排出。

并且，固定设置升降部760的滚珠丝杠761，滚珠螺母762以能够旋转的方式设置于滚珠丝杠761并随着正反转而沿着滚珠丝杠761升降，基板支撑部770通过滚珠螺母762的升降而升降。即，由于滚珠丝杠761不旋转，所以能够防止滚珠丝杠761由于振动旋转而受损。这样一来，能够将滚珠丝杠761的长度形成得相对较长，因此在提高基板支撑部770的升降高度的方面，能够相对较少地受到限制。

并且，由于滚珠丝杠761不旋转，所以能够容易设置滚珠丝杠761。

并且，在滚珠丝杠761的外周面设置滚珠螺母762，在滚珠丝杠761的滚珠螺母762上侧的外周面设置轴承767。因此，滚珠螺母762的长度方向和轴承767的长度方向可以大致处在一条直线上，因此与在滚珠螺母的外周面设置轴承的现有的基板搬运用机器人相比，升降部760和供升降部760设置的支撑部730的在滚珠丝杠761的半径方向侧的体积减少。

第八实施例

图22是本发明的第八实施例所涉及的基板搬运用机器人的主要部分分解立体图，下面仅对与第七实施例的不同点进行说明。

如图所示，本发明的第八实施例所涉及的基板搬运用机器人可以设置有两个驱动马达864，在各驱动马达864的旋转轴可以分别形成有带轮865。并且，在滚珠螺母862可以形成有与各驱动马达864的带轮865分别经由带连结的相互划分的第一带轮863a和第二带轮863b。

这样一来，即使在任一个驱动马达864发生了故障的情况下，也能够利用另一个驱动马达864使滚珠螺母862旋转，由此能够提高作业的连续性。

并且，在两个驱动马达864停止的状态下，在任一个驱动马达864发生了故障的情况下，通过未发生故障的另一个驱动马达864来防止滚珠螺母862的旋转，因此能够防止滚珠螺母862和壳体866下降。

并且，与使用一个容量大的驱动马达相比，使用两个容量小的驱动马达更能减少成本。

在上文中描述的本发明并不限定于上述的实施例和附图，在不脱离本发明的技术构思的范围内能够进行各种替换、变形和变更对本发明所属的技术领域中具有常规知识的人而言是显而易见的。因此，本发明的范围由随附的权利要求书表示，应理解由权利要求书的含义和范围及其等效概念推出的所有变更或变形的方式都包含在本发明的范围内。

Claims (21)

1.一种基板搬运用机器人，其特征在于，

包括：

直线运动部，以能够进行直线运动的方式设置；

旋转运动部，一侧被所述直线运动部支撑，与所述直线运动部一起运动，并且设置为能够以被所述直线运动部支撑的部位为基准旋转；

支撑部，下端部侧被所述旋转运动部的另一侧支撑，与所述旋转运动部一起运动；

升降部，具有滚珠丝杠和滚珠螺母，所述滚珠丝杠的下端部侧及上端部侧被所述支撑部支撑并固定，所述滚珠螺母以能够旋转的方式设置于所述滚珠丝杠，并随着旋转而沿着所述滚珠丝杠升降；以及

基板支撑部，连结于所述滚珠螺母侧，与所述滚珠螺母一起升降，并支撑基板。

2.根据权利要求1所述的基板搬运用机器人，其特征在于，

所述升降部还包括：

轴承，内圈与所述滚珠螺母的外周面结合，与所述滚珠螺母一起升降；

壳体，结合于所述轴承的外圈，与所述基板支撑部结合，并与所述轴承一起升降；以及

驱动马达，设置于所述壳体的内部并使所述滚珠螺母旋转。

3.一种基板搬运用机器人，其特征在于，

包括：

直线运动部，以能够进行直线运动的方式设置；

旋转运动部，一侧被所述直线运动部支撑，与所述直线运动部一起运动，并且设置为能够以被所述直线运动部支撑的部位为基准旋转；

支撑部，下端部侧被所述旋转运动部的另一侧支撑，与所述旋转运动部一起运动；

升降部，具有滚珠丝杠、滚珠螺母和轴承，所述滚珠丝杠的下端部侧及上端部侧被所述支撑部支撑并固定，所述滚珠螺母以能够旋转的方式设置于所述滚珠丝杠，并随着旋转而沿着所述滚珠丝杠升降，所述轴承的内圈设置在所述滚珠丝杠的所述滚珠螺母的上端面上侧的部位，并通过所述滚珠螺母而升降；以及

基板支撑部，连结于所述轴承侧，与所述滚珠螺母一起升降，并支撑基板。

4.根据权利要求3所述的基板搬运用机器人，其特征在于，

所述升降部还包括：

壳体，结合于所述轴承的外圈，与所述基板支撑部结合，并与所述轴承一起升降；以及

驱动马达，设置于所述壳体的内部并使所述滚珠螺母旋转。

5.根据权利要求2或4所述的基板搬运用机器人，其特征在于，

所述升降部还包括导轨和第一升降块，所述导轨设置于所述支撑部，所述第一升降块设置于所述导轨，沿着所述导轨升降，并且与所述壳体结合。

6.根据权利要求5所述的基板搬运用机器人，其特征在于，

支撑所述滚珠丝杠的支撑模块以能够沿着所述滚珠丝杠升降的方式设置于所述滚珠丝杠，

所述支撑模块被所述导轨侧支撑。

7.根据权利要求6所述的基板搬运用机器人，其特征在于，

所述支撑模块将所述滚珠丝杠划分为多个区域。

8.根据权利要求6所述的基板搬运用机器人，其特征在于，

所述支撑模块的一侧部位与所述升降部接触，并通过所述升降部而升降。

9.根据权利要求6所述的基板搬运用机器人，其特征在于，

所述支撑模块经由动力传递模块而与所述滚珠螺母连结，并与所述滚珠螺母联动地升降。

10.根据权利要求6所述的基板搬运用机器人，其特征在于，

所述支撑模块包括：

支撑部件，具有支撑管和连结部，所述支撑管以分别包围所述滚珠丝杠的位于所述滚珠螺母的上侧和下侧的部位的方式设置，所述连结部将所述支撑管连结；

衬套，分别设置于所述支撑管的内周面并与所述滚珠丝杠接触；以及

第二升降块，以能够升降的方式设置于所述导轨，并与所述支撑部件结合。

11.根据权利要求1或3所述的基板搬运用机器人，其特征在于，

在所述滚珠螺母和所述驱动马达的旋转轴分别形成有通过带而相互连结的带轮，

所述滚珠螺母的所述带轮具有相互划分的第一带轮和第二带轮，

所述驱动马达设置有两个而使所述第一带轮和所述第二带轮分别旋转。

12.根据权利要求1或3所述的基板搬运用机器人，其特征在于，

所述升降部以能够沿着所述支撑部的长度方向升降的方式支撑设置于所述支撑部，

在所述支撑部的内部形成有相互划分的多个空间，

在所述支撑部的被划分的各空间分别设置有所述升降部的一部分。

13.根据权利要求12所述的基板搬运用机器人，其特征在于，

所述支撑部的被划分的各空间中的至少一个空间未设置所述升降部的一部分，

所述支撑部的设置有所述升降部的一部分的被划分的各空间被密封。

14.根据权利要求13所述的基板搬运用机器人，其特征在于，

所述支撑部的未设置所述升降部的一部分的空间被划分为清洁空间和非清洁空间。

15.根据权利要求14所述的基板搬运用机器人，其特征在于，

所述非清洁空间与所述支撑部的设置有所述升降部的一部分的被划分的空间中的任一个空间连通。

16.根据权利要求12所述的基板搬运用机器人，其特征在于，

所述支撑部包括：

支撑柱，在前表面形成有向后表面侧凹陷的凹陷部并设置为中空体；

从所述支撑柱的后表面两个边缘部分别向外侧延伸的第一延伸肋和第二延伸肋；

第一盖部，覆盖所述支撑柱的后表面、所述第一延伸肋和所述第二延伸肋、所述支撑柱的两侧面外侧、所述支撑柱的与所述第一延伸肋和所述第二延伸肋分别对置的前表面侧一部分；以及

第二盖部，覆盖所述第一盖部的上表面。

17.根据权利要求16所述的基板搬运用机器人，其特征在于，

将通过所述凹陷部形成的空间设为第一空间，将由所述第一延伸肋、所述支撑柱的一侧面和所述第一盖部形成的空间设为第二空间，将由所述第二延伸肋、所述支撑柱的另一侧面和所述第一盖部形成的空间设为第三空间，并将被所述第二盖部覆盖的所述支撑柱的内部设为第四空间时，

在所述第一空间、所述第二空间和所述第三空间分别设置有所述升降部的一部分，

所述第一空间、所述第二空间和所述第三空间分别被密封。

18.根据权利要求17所述的基板搬运用机器人，其特征在于，

所述第四空间被划分为与所述第一空间连通的非清洁空间、和与所述第一空间不连通的清洁空间。

19.根据权利要求18所述的基板搬运用机器人，其特征在于，

在所述非清洁空间的下侧部位、所述第二空间的下侧部位和所述第三空间的下侧部位分别形成有排出口，所述排出口与吸入模块侧连通而用于排出颗粒。

20.根据权利要求16所述的基板搬运用机器人，其特征在于，

在将通过所述凹陷部形成的空间设为第一空间，将由所述第一延伸肋、所述支撑柱的一侧面和所述第一盖部形成的空间设为第一空间，将由所述第二延伸肋、所述支撑柱的另一侧面和所述第一盖部形成的空间设为第三空间，并将所述支撑柱内部的空间设为第四空间时，

所述升降部包括：

滚珠丝杠，支撑设置于所述第一空间；

滚珠螺母，设置于所述滚珠丝杠，与所述滚珠丝杠作用而沿着所述滚珠丝杠升降；

轴承，内圈设置于所述滚珠丝杠的所述滚珠螺母的上端面上侧的部位，并通过所述滚珠螺母而升降；

壳体，位于所述第一空间的外侧，结合于所述轴承的外圈，并且与所述基板支撑部结合，与所述轴承一起升降；

驱动马达，设置于所述壳体的内部并使所述滚珠螺母旋转；

第一导轨和第二导轨，分别支撑设置于所述第二空间和所述第三空间；以及

第一升降块和第二升降块，分别设置于所述第一导轨和所述第二导轨，沿着所述第一导轨和所述第二导轨升降，并且分别与所述壳体结合。

21.根据权利要求20所述的基板搬运用机器人，其特征在于，

在所述滚珠螺母和所述驱动马达的旋转轴分别形成有通过带而相互连结的带轮，

所述滚珠螺母的所述带轮具有相互划分的第一带轮和第二带轮，

所述驱动马达设置有两个而使所述第一带轮和所述第二带轮分别旋转。