CN108445653A - 用于传送基板的传送装置及其控制方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种用于传送基板的传送装置及其控制方法。该传送装置包括基座、设于所述基座上的多条机械臂以及设置于每条所述机械臂上的光传感器，所述光传感器用于发出至少两种不同波长的光。该控制方法包括：所述机械臂承载并传送基板；在所述基板上制作形成光阻；其中，当在所述基板上制作形成不同颜色的光阻时，所述机械臂的光传感器发出不同波长的光。本发明公开的用于传送基板的传送装置，通过在机械臂上设置可发出多种波长的光的传感器，当机械臂上承载的基板在进行不同颜色的光阻的涂布工艺时，光传感器发出相应波长的光，降低光传感器发出的光对光阻材料的影响。

Description

用于传送基板的传送装置及其控制方法
技术领域
本发明属于显示面板制造技术领域，具体地讲，涉及一种用于传送基板的传送装置及其控制方法。
背景技术
在液晶面板制造行业中，在制造彩色滤光片过程中采用机械手臂来传送玻璃基板。其中，在机械手臂上设计有多种传感器，传感器用于感知机械手臂上是否承载有玻璃基板以及检测基板是否破裂和基板的排列方向。传感器一般采用光源一般使用LED灯，由于彩色滤光片的光阻是感光性材料。当玻璃基板涂布完光阻后，通过机械臂的传送实现基板在各个设备间之间的传送。机械手臂上的传感器发出的光照射到玻璃基板后会被光阻材料吸收产生热量，从而影响光阻膜面溶剂挥发速率，导致表面张力变化，膜层的溶质流动造成光阻膜的局部膜厚不均，由于透过率的差异在宏观上表现为点状色不均(Mura)，具有Mura的彩色滤光片流到后段组成模组时会导致显示画面不良。
为了解决上述问题，现有技术中减弱传感器的发光强度，但是发光强度如果减弱太多就会降低传感器的灵敏度。另外，采用现有技术中还采用透明胶带或者中性滤光片遮挡住传感器的光，以过滤部分波长的光，从而降低光能量，经过测试此种方法无改善效果，且此方法容易污染机台，对设备硬件造成损坏。
发明内容
为了解决上述现有技术存在的不足，本发明的目的在于提供一种能降低光传感器的光阻材料的影响的传送装置及其控制方法。
为了实现上述的目的，本发明采用了如下的技术方案：
一种用于传送基板的传送装置，包括基座、设于所述基座上的多条机械臂以及设置于每条所述机械臂上的光传感器，所述光传感器用于发出至少两种不同波长的光。
优选地，所述光传感器包括用于发出第一波长的光的第一LED灯、用于发出第二波长的光的第二LED灯以及用于发出第三波长的光的第三LED灯，所述第一波长大于所述第二波长，且所述第二波长大于所述第三波长。
优选地，所述第一波长的范围为600nm～700nm。
优选地，所述第二波长的范围为500nm～550nm。
优选地，所述第三波长的范围为400nm～500nm。
本发明还公开了一种用于传送基板的传送装置的控制方法，所述控制方法包括：
所述机械臂承载并传送基板；
在所述基板上制作形成光阻；
其中，当在所述基板上制作形成不同颜色的光阻时，所述机械臂的光传感器发出不同波长的光。
优选地，当在所述基板上制作形成红色光阻时，所述光传感器发出波长范围为600nm～700nm的光。
优选地，当在所述基板上制作形成绿色光阻时，所述光传感器发出波长范围为500nm～550nm的光。
优选地，当在所述基板上制作形成蓝色光阻时，所述光传感器发出波长范围为400nm～500nm的光。
有益效果：本发明公开的用于传送基板的传送装置，通过在机械臂上设置可发出多种波长的光的传感器，当机械臂上承载的基板在进行不同颜色的光阻的涂布工艺时，光传感器发出相应波长的光，降低光传感器发出的光对光阻材料的影响。
附图说明
图1为本发明的实施例的传送基板的示意。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
实施例一
如图1所示，根据本发明的用于传送基板的传送装置包括基座10、设于基座10上的多条机械臂20以及设置于每条机械臂20上的光传感器30，光传感器30用于发出不同波长的光。多条机械臂20用于承载并传送基板40，以将制作完成基板40传送至不同的设备间。当在基板40涂覆不同颜色的光阻时，可控制光传感器30发出不同波长的光，以减小光传感器30的发出的光对光阻的影响，从而提高产品的品质。
具体地，作为优选实施例，光传感器30包括三种LED灯，其中光传感器30包括用于发出第一波长的光的第一LED灯31、用于发出第二波长的光的第二LED灯32以及用于发出第三波长的光的第三LED灯33，第一波长大于第二波长，且第二波长大于第三波长。进一步地，多条机械臂20平行设置，以共同组成支撑单元，通过该支撑单元实现基板40的支撑和传送。
进一步地，当本实施例的机械臂20承载的基板40进行红色光阻、绿色光阻和蓝色光阻的涂布工艺时，控制光传感器30发出不同波长的光线，以检测机械臂20上是否承载有基板40，以及基板40的是否破裂和基板40的横竖方向。其中，红色光阻、绿色光阻和蓝色光阻的材料的吸收的光的波长不同，红色光阻的材料对波长范围600nm～700nm的光的吸收率最低，绿色光阻的材料对波长范围为500nm～550nm的光的吸收率最低，蓝色光阻的材料对波长范围为400nm～500nm的光的吸收率最低。
进一步地，在基板40涂覆红色光阻时，第一LED灯31发出第一波长的光，其中第一波长的范围为600nm～700nm，这样光传感器30发出的光不会对红色光阻造成影响。在基板40涂覆绿色光阻时，第二LED灯32发出第二波长的光，其中第二波长的范围为500nm～550nm，这样光传感器30发出的光不会对绿色光阻造成影响。在基板40涂覆蓝色光阻时，第三LED灯33发出第三波长的光，其中第三波长的范围为400nm～500nm，这样光传感器30发出的光不会对蓝色光阻造成影响。
当然在其他实施方式中，光传感器30还可采用能产生不同波长的光的LED灯，通过控制LED内部的LED芯片以产生不同的波长的光，在基板40上制作不同颜色的光阻时可通过LED灯发出相应波长的光，以降低光传感器30产生的光对光阻的影响。
本发明公开的用于传送基板的传送装置，通过在机械臂上设置可发出多种波长的光的传感器，当机械臂上承载的基板在进行不同颜色的光阻的涂布工艺时，光传感器发出相应波长的光，降低光传感器发出的光对光阻材料的影响。
实施例二
根据本发明的用于传送基板的传送装置的控制方法包括步骤一和步骤二。
具体地，步骤一：机械臂20承载并传送基板40。
步骤二：在基板40上制作形成光阻。
其中，当在基板40上制作形成不同颜色的光阻时，机械臂20的光传感器30发出不同波长的光。
作为优选实施例，在彩色滤光片的光阻制程中，当在基板40涂覆红色光阻时，控制第一LED灯31发出第一波长的光，并且关闭第二LED灯32和第三LED灯33，其中第一波长的范围为600nm～700nm，这样光传感器30发出的光不会对红色光阻造成影响。当在基板40涂覆绿色光阻时，控制第二LED灯32发出第二波长的光，并且关闭第一LED灯31和第三LED灯33，其中第二波长的范围为500nm～550nm，这样光传感器30发出的光不会对绿色光阻造成影响。当在基板40涂覆蓝色光阻时，控制第三LED灯33发出第三波长的光，并且关闭第一LED灯31和第二LED灯32，其中第三波长的范围为400nm～500nm，这样光传感器30发出的光不会对蓝色光阻造成影响。
上述的各个LED灯的开启和关闭的顺序，可根据不同颜色的光阻的制备过程来设置。具体地，在清洗间对基板40进行清洗工艺后，通过机械臂20的支撑和传送将基板40从清洗间传送至光阻涂布设备间，并且利用光阻涂布机对基板40进行光阻涂布。根据光阻制作流程设置各个LED灯的开启和关闭，作为优选实施例，当光阻制作流程为依次制作红色光阻、绿色光阻和蓝色光阻，设置光传感器30的LED灯的开启顺序为依次开启第一LED灯31、第二LED灯32和第三LED灯33。
本发明公开的用于传送基板的传送装置的控制方法，当承载在机械臂上基板进行不同颜色的光阻制作时，通过控制机械臂上的光传感器产生不同波长的光，以降低光传感器发出的光对光阻材料的影响，同时保证光传感器的灵敏度，从而提升产品品质。
上面对本发明的具体实施方式进行了详细描述，虽然已表示和描述了一些实施例，但本领域技术人员应该理解，在不脱离由权利要求及其等同物限定其范围的本发明的原理和精神的情况下，可以对这些实施例进行修改和完善，这些修改和完善也应在本发明的保护范围内。

Claims (9)

1.一种用于传送基板的传送装置，其特征在于，包括基座(10)、设于所述基座(10)上的多条机械臂(20)以及设置于每条所述机械臂(20)上的光传感器(30)，所述光传感器(30)用于发出至少两种不同波长的光。
2.根据权利要求1所述的用于传送基板的传送装置，其特征在于，所述光传感器(30)包括用于发出第一波长的光的第一LED灯(31)、用于发出第二波长的光的第二LED灯(32)以及用于发出第三波长的光的第三LED灯(33)，所述第一波长大于所述第二波长，且所述第二波长大于所述第三波长。
3.根据权利要求2所述的用于传送基板的传送装置，其特征在于，所述第一波长的范围为600nm～700nm。
4.根据权利要求2所述的用于传送基板的传送装置，其特征在于，所述第二波长的范围为500nm～550nm。
5.根据权利要求2所述的用于传送基板的传送装置，其特征在于，所述第三波长的范围为400nm～500nm。
6.一种权利要求1至5任一项所述的传送装置的控制方法，其特征在于，所述控制方法包括：
所述机械臂(20)承载并传送基板(40)；
在所述基板(40)上制作形成光阻；
其中，当在所述基板(40)上制作形成不同颜色的光阻时，所述机械臂(20)的光传感器(30)发出不同波长的光。
7.根据权利要求6所述的控制方法，其特征在于，当在所述基板(40)上制作形成红色光阻时，所述光传感器(30)发出波长范围为600nm～700nm的光。
8.根据权利要求6所述的控制方法，其特征在于，当在所述基板(40)上制作形成绿色光阻时，所述光传感器(30)发出波长范围为500nm～550nm的光。
9.根据权利要求6所述的控制方法，其特征在于，当在所述基板(40)上制作形成蓝色光阻时，所述光传感器(30)发出波长范围为400nm～500nm的光。
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