CN108418584A - 一种用于原子钟蒸汽泡键合封装装置 - Google Patents
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- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 title claims abstract description 24
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 10
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 7
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 claims description 6
- UDWPONKAYSRBTJ-UHFFFAOYSA-N [He].[N] Chemical compound [He].[N] UDWPONKAYSRBTJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 4
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000006059 cover glass Substances 0.000 claims description 2
- 239000003513 alkali Substances 0.000 claims 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 claims 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000005357 flat glass Substances 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N nitrogen group Chemical group [N] QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03L—AUTOMATIC CONTROL, STARTING, SYNCHRONISATION OR STABILISATION OF GENERATORS OF ELECTRONIC OSCILLATIONS OR PULSES
- H03L7/00—Automatic control of frequency or phase; Synchronisation
- H03L7/26—Automatic control of frequency or phase; Synchronisation using energy levels of molecules, atoms, or subatomic particles as a frequency reference
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Abstract
本发明公开了一种用于原子钟蒸汽泡键合封装装置，该装置包括用于进行样品操作的操作腔，用于进行阳极键合的键合腔，和位于所操作腔和键合腔之间且用于进行物料传输的中转腔，操作腔与中转腔之间设有第一板阀，键合腔与中转腔之间设有第二板阀；操作腔包括用于与抽真空系统和充气氛系统连接的第一连接部，键合腔包括用于与抽真空系统和充气氛系统连接的第二连接部，中转腔包括用于与抽真空系统和充气氛系统连接的第三连接部。本发明实施例所提供的用于原子钟蒸汽泡键合的封装装置可以实现多操作同时进行和实现流水线的操作，有效地提高效率。
Description
技术领域
本发明涉及原子钟设备的技术领域，特别是涉及一种用于原子钟蒸汽泡键合封装装置。
背景技术
原子钟利用原子吸收或释放能量时发出的电磁波来计时的，是目前最精准的人造时钟。目前，用于进行原子钟蒸汽泡键合的封装装置都只设有一个真空腔，操作、键合等步骤都需要按序地在一个真空腔内完成。每一个步骤之后，还需等待一段时间才能进行下一个步骤。现有的封装装置无法实现多操作同时进行，也无法实现流水线的操作，效率比较低。
因此，针对上述技术问题，有必要提供一种能够多操作同时进行的多腔室的用于原子钟蒸汽泡键合封装装置。
发明内容
有鉴于此，本发明的目的在于提供一种用于原子钟蒸汽泡键合封装装置。
为了实现上述目的，本发明一实施例提供的技术方案如下：
一种用于原子钟蒸汽泡键合封装装置，所述装置包括：操作腔，用于作为进行样品操作的腔室；键合腔，用于作为进行阳极键合的腔室；中转腔，位于所述操作腔和所述键合腔之间，用于作为进行物料传输的腔室；所述操作腔与所述中转腔之间设有第一板阀，所述键合腔与所述中转腔之间设有第二板阀；所述操作腔包括第一连接部，用于与抽真空系统和充气氛系统连接；所述键合腔包括第二连接部，用于与抽真空系统和充气氛系统连接；所述中转腔包括第三连接部，用于与抽真空系统和充气氛系统连接。
作为本发明的进一步改进，所述操作腔包括放样操作台，用于进行样品的放置。
作为本发明的进一步改进，所述键合腔包括阳极键合系统，用于进行阳极键合。
作为本发明的进一步改进，所述中转腔包括物料传输平台，用于进行物料传输。
作为本发明的进一步改进，在所述装置工作时，所述操作腔、所述键合腔和所述中转腔内气体为氮气或氮氦混合气体，真空度范围为10-6到10-4。
作为本发明的进一步改进，在所述装置处于工作状态时，所述操作腔内的压强范围为5kpa到10kpa。
作为本发明的进一步改进，在所述装置处于工作状态时，所述键合腔内的压强小于133kpa。
作为本发明的进一步改进，所述操作腔内的样品操作包括碱金属点样操作和盖玻璃瓶操作。
作为本发明的进一步改进，所述碱金属点样操作采用移液器进行，所述移液器具有加热功能。
作为本发明的进一步改进，所述操作腔采用真空手套箱制成，所述键合腔采用真空手套箱制成。
本发明具有以下优点：本发明所提供的一种原子钟蒸汽泡键合封装装置包括操作腔、中转腔和键合腔三个独立的腔室，可以实现多操作同时进行和实现流水线的操作，效率得到有效地提高。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明第一实施例中提供的一种用于原子钟蒸汽泡键合封装装置。
具体实施方式
为了使本技术领域的人员更好地理解本发明中的技术方案，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本发明保护的范围。
参图1所示，本发明第一实施例提供的一种用于原子钟蒸汽泡键合封装装置100。用于原子钟蒸汽泡键合封装装置100包括用于进行样品操作的操作腔10，用于进行阳极键合的键合腔20，和位于所操作腔10和键合腔20之间、用于进行物料传输的中转腔30。
继续参考图1，在该实施例中，操作腔10与中转腔30之间设有第一板阀11。第一板阀11将操作腔10与中转腔30进行隔离。优选的，第一板阀11为真空板阀。操作腔10包括第一连接部13，第一连接部13用于将操作腔10与抽真空系统和充气氛系统200连接。启动抽真空系统和充气氛系统200，并打开第一阀门15，可以对操作腔10进行抽真空或者充气。优选的，第一阀门15为自动阀门。操作腔10还包括放样操作台12。放样操作台12用于进行样品的放置。在该实施例中，操作腔10采用真空手套箱制成。
在装置100处于工作状态时，操作腔10内的氧气被抽出，并充入氮气或氮氦混合气体。优选地，操作腔10充入氮气气体。操作腔10内的真空度范围为10-6到10-4，优选地，真空度为10-5。操作腔10内的压强范围为5kpa到10kpa，优选地，压强为8kpa。
在装置100处于工作状态时，在操作腔10内进行的样品操作包括碱金属点样操作和盖玻璃瓶操作。在该实施例中，采用移液器进行碱金属点样操作，移液器具有加热功能。加热温度可使操作腔10的室温处于-40度。在该实施例中，碱金属点样的点样量可控。
键合腔20与中转腔30之间设有第二板阀21。第二板阀21将键合腔20与中转腔30进行隔离。优选的，第二板阀21为真空板阀。键合腔20包括第二连接部23，第二连接部23用于将键合腔20与抽真空系统和充气氛系统200连接。启动抽真空系统和充气氛系统200，并打开第二阀门25，可以对键合腔20进行抽真空或者充气。优选的，第二阀门25为自动阀门。键合腔20还包括阳极键合系统22。阳极键合系统22用于进行阳极键合。在该实施例中，键合腔20采用真空手套箱制成。
在装置100处于工作状态时，键合腔20内的氧气被抽出，并充入氮气或氮氦混合气体。优选地，键合腔20内充入氮氦混合气体。键合腔20内的真空度范围为10-6到10-4，优选地，真空度为10-5。键合腔20内的压强小于133kpa。
在一具体实施例中，键合硅片的规格为15×15×1～2毫米；键合玻璃片的规格为15×15×0.3～0.5毫米；键合的强度优于12Mpa。
中转腔30包括第三连接部33，第三连接部33用于将中转腔30与抽真空系统和充气氛系统200连接。启动抽真空系统和充气氛系统200，并打开第三阀门35，可以对中转腔30进行抽真空或者充气。优选的，第三阀门35为自动阀门。中转腔30还包括物料传输平台32。传输平台32用于进行物料传输。
在优选的实施例中，装置100中的零部件采用无磁不锈钢。装置100的漏气率低于10-13。
由以上技术方案可以看出，本发明具有以下优点：装置100包括操作腔10、键合腔20和中转腔30三个独立的腔，可以实现多操作同时进行和实现流水线的操作，有效地提高工作效率。进一步，每一个腔室都独立地与抽真空系统和充气氛系统200连接，从而独立地完成抽真空和充氛围气体的功能，可以独立地控制各个腔室的真空度及压强。
对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
Claims (10)
1.一种用于原子钟蒸汽泡键合封装装置，其特征在于，所述装置包括：
操作腔，用于作为进行样品操作的腔室；
键合腔，用于作为进行阳极键合的腔室；
中转腔，位于所述操作腔和所述键合腔之间，用于作为进行物料传输的腔室；
所述操作腔与所述中转腔之间设有第一板阀，所述键合腔与所述中转腔之间设有第二板阀；
所述操作腔包括第一连接部，用于与抽真空系统和充气氛系统连接；所述键合腔包括第二连接部，用于与抽真空系统和充气氛系统连接；所述中转腔包括第三连接部，用于与抽真空系统和充气氛系统连接。
2.根据权利要求1所述的一种用于原子钟蒸汽泡键合封装装置，其特征在于，所述操作腔包括放样操作台，用于进行样品的放置。
3.根据权利要求1所述的一种用于原子钟蒸汽泡键合封装装置，其特征在于，所述键合腔包括阳极键合系统，用于进行阳极键合。
4.根据权利要求1所述的一种用于原子钟蒸汽泡键合封装装置，其特征在于，所述中转腔包括物料传输平台，用于进行物料传输。
5.根据权利要求1所述的一种用于原子钟蒸汽泡键合封装装置，其特征在于，在所述装置处于工作状态时，所述操作腔、所述键合腔和所述中转腔内气体为氮气或氮氦混合气体，真空度范围为10-6到10-4。
6.根据权利要求1所述的一种用于原子钟蒸汽泡键合封装装置，其特征在于，在所述装置处于工作状态时，所述操作腔内的压强范围为5kpa到10kpa。
7.根据权利要求1所述的一种用于原子钟蒸汽泡键合封装装置，其特征在于，在所述装置处于工作状态时，所述键合腔内的压强小于133kpa。
8.根据权利要求1所述的一种用于原子钟蒸汽泡键合封装装置，其特征在于，所述操作腔内的样品操作包括碱金属点样操作和盖玻璃瓶操作。
9.根据权利要求8所述的一种用于原子钟蒸汽泡键合封装装置，其特征在于，所述碱金属点样操作采用移液器进行，所述移液器具有加热功能。
10.根据权利要求1所述的一种用于原子钟蒸汽泡键合封装装置，其特征在于，所述操作腔采用真空手套箱制成，所述键合腔采用真空手套箱制成。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201810560576.1A CN108418584B (zh) | 2018-06-01 | 2018-06-01 | 一种用于原子钟蒸汽泡键合封装装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201810560576.1A CN108418584B (zh) | 2018-06-01 | 2018-06-01 | 一种用于原子钟蒸汽泡键合封装装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN108418584A true CN108418584A (zh) | 2018-08-17 |
| CN108418584B CN108418584B (zh) | 2024-02-09 |
Family
ID=63141135
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201810560576.1A Active CN108418584B (zh) | 2018-06-01 | 2018-06-01 | 一种用于原子钟蒸汽泡键合封装装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN108418584B (zh) |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20050004598A (ko) * | 2003-07-03 | 2005-01-12 | 삼성전자주식회사 | 액정 표시 장치용 처리 시스템 |
| JP2006310561A (ja) * | 2005-04-28 | 2006-11-09 | Nec Electronics Corp | 真空処理装置および真空処理方法 |
| JP2007149948A (ja) * | 2005-11-28 | 2007-06-14 | Tokyo Electron Ltd | 真空処理装置 |
| JP2008037690A (ja) * | 2006-08-04 | 2008-02-21 | Ulvac Japan Ltd | カーボンナノチューブ形成装置 |
| CN101774529A (zh) * | 2010-01-26 | 2010-07-14 | 北京航空航天大学 | 一种mems原子腔芯片及其制备方法 |
| CN105506573A (zh) * | 2015-12-21 | 2016-04-20 | 河北曹妃甸汉能薄膜太阳能有限公司 | 真空操作设备以及更换真空设备耗材的方法 |
| CN207910760U (zh) * | 2018-06-01 | 2018-09-25 | 苏州大学 | 一种用于原子钟蒸汽泡键合封装装置 |
-
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Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20050004598A (ko) * | 2003-07-03 | 2005-01-12 | 삼성전자주식회사 | 액정 표시 장치용 처리 시스템 |
| JP2006310561A (ja) * | 2005-04-28 | 2006-11-09 | Nec Electronics Corp | 真空処理装置および真空処理方法 |
| JP2007149948A (ja) * | 2005-11-28 | 2007-06-14 | Tokyo Electron Ltd | 真空処理装置 |
| JP2008037690A (ja) * | 2006-08-04 | 2008-02-21 | Ulvac Japan Ltd | カーボンナノチューブ形成装置 |
| CN101774529A (zh) * | 2010-01-26 | 2010-07-14 | 北京航空航天大学 | 一种mems原子腔芯片及其制备方法 |
| CN105506573A (zh) * | 2015-12-21 | 2016-04-20 | 河北曹妃甸汉能薄膜太阳能有限公司 | 真空操作设备以及更换真空设备耗材的方法 |
| CN207910760U (zh) * | 2018-06-01 | 2018-09-25 | 苏州大学 | 一种用于原子钟蒸汽泡键合封装装置 |
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| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |