CN108414543A - 一种微焦点透视检测机 - Google Patents
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Abstract
本发明所涉及一种微焦点透视检测机,包括检测机外罩,机壳底板,侧梁支架。因机壳底板上面设置有方通支架,该支架内部设置有微焦点数字光管升降机构,方通支架上端设置有载物平台;侧梁支架上一端设置有探测器升降机构。工作时,采用工控机控制方式,驱使微焦点数字光管升降机构、载物平台、探测器升降机构相互配合,在指定区域内检测,同时还采用清晰的导航窗口,指定检测区域,通过高寿命微焦点数字光管,高清平板探测器,在X、Y、Z轴调节驱动,实现对指定区域的检测。通过强大的分析测量工具,自动测算焊点气泡空洞比率,自动判断是否符合IPC国际标准。能够获取高倍率,高分辨率影像,有效检测半导体、光伏、汽车电子精密部件的技术缺陷。
Description
【技术领域】
本发明涉及一种用于STM行业中的微焦点透视检测机。
【背景技术】
X射线技术是从1895年德国物理学家伦琴发现起,到至今X射线技术已经应用超过100年之久。对于X射线的应用主要集中在工业探伤、医疗检测和安检方面。然而,SMT生产及半导体领域的X-RAY成像来说,对X光发生器和探测器提出更高的要求。由于现有技术微焦点X光线管的解析度,分辨率,以及精密度不够高,使得所述现有技术微焦点X光线管不能获得高倍率、高分辨率的影像,导致不能有效检测半导体、光伏、汽车电子精密部件的技术缺陷。
【发明内容】
有鉴于此,本发明所要解决的技术问题是提供一种能够获取高倍率,高分辨率的影像有效检测半导体、光伏、汽车电子精密部件的技术缺陷的微焦点透视检测机。
为此解决上述技术问题,本发明中的技术方案所采用一种微焦点透视检测机,其包括检测机外罩,安装在检测机外罩底部的机壳底板,安装在检测机外罩内部上方的侧梁支架;所述机壳底板上面设置有方通支架,该方通支架内部设置有微焦点数字光管升降机构,所述的方通支架上端设置有载物平台;所述的侧梁支架上一端设置有探测器升降机构。
依据上述主要技术特征所述,所述检测机外罩包括机架外壳,设置于机架外壳前面的横梁控制面板平台,设置于横梁控制面板平台上面的急停开关,设置于横梁控制面板平台上面的键盘及显示器,设置于机架外壳前面上方的活动观察窗口,设置于机架外壳顶端的报警灯,设置于机架外壳底部四周的脚轮脚杯。
依据上述主要技术特征所述,所述微焦点数字光管升降机构包括光管底座,安装在光管底座内部的光管驱动电机,安装在光管底座背面上端的光管丝杆导轨固定座,安装在光管丝杆导轨固定座内部的光管导轨,安装在光管导轨内部的光管丝杆,安装在光管丝杆导轨固定座上端的X-ray发射管固定座,安装在X-ray发射管固定座侧面的X-ray发射管;X-ray发射管是由微焦点数字光管构成的;X-ray发射管固定于X-ray发射管固定座上,X-ray发射管固定座与光管丝杆,以及光管导轨联动;光管丝杆,光管导轨固定于光管丝杆导轨固定座上,光管驱动电机固定于光管丝杆导轨固定座上,光管驱动电机的输出轴与光管丝杆一端连接。
依据上述主要技术特征所述,所述载物平台包括直接安装在方通支架上面的平台安装板,安装在平台安装板一侧的Y轴支座,安装在Y轴支座一端的Y轴方向驱动电机,与Y轴方向驱动电机连接的Y轴同步带,与Y轴同步带另一端连接的Y轴同步轮,安装在Y轴支座上面的载物工作台,安装在载物工作台上面的遮掩封板,安装在载物工作台与Y轴同步带之间的Y轴同步带连接件,安装在Y轴支座侧面的Y轴导轨,安装在与Y轴导轨同侧的平台安装板上的X轴支架,安装在X轴支架一端的X轴方向驱动电机,与X轴方向驱动电机连接的X轴同步带,与X轴同步带一端连接的X轴同步惰轮,用于将X轴支架与Y轴导轨连接的X轴同步带连接件,安装在Y轴导轨上面的X轴导轨,安装在X轴导轨下面的X轴导轨底板,Y轴方向驱动电机与Y轴导轨固定在Y轴支座上;X轴支架固定于Y轴导轨的滑块上;载物工作台与X轴导轨滑块联动。
依据上述主要技术特征所述,所述探测器升降机构包括安装在侧梁支架上的探测固定座,安装在探测固定座上面的驱动电机固定座,安装在驱动电机固定座上面的第二探测驱动电机,安装在驱动电机固定座上面的凸轮轴承固定板,安装在凸轮轴承固定板内部的凸轮轴承,安装在凸轮轴承下方的可活动摆动的弧形导轨,安装在凸轮轴承固定板背面的探测器支架,安装在探测器支架上端一侧内部的第一探测驱动电机,与第一探测驱动电机连接的探测器同步带,与探测器同步带另一端连接的且安装在探测器支架上端面的探测器驱动轮,安装在探测器支架内部的两个探测器光轴,设置于两个探测器光轴中间位置处的探测器移动丝杆,安装在探测器移动丝杆,两个探测器光轴上面的可以上下移动的探测器丝杆固定座,安装在探测器丝杆固定座上面的X-ray探测器;X-ray探测器固定于探测器丝杆固定座上;探测器移动丝杆,探测器光轴与探测器丝杆固定座相配合;第一探测驱动电机通过探测器同步带带动所述探测器驱动轮转动,而该探测器驱动轮驱动探测器移动丝杆转动,所述的探测器移动丝杆带动探测器丝杆固定座沿着探测器移动丝杆,探测器光轴上下滑动;凸轮轴承与弧形导轨相配合,第二探测驱动电机带动所述凸轮轴承转动,凸轮轴承驱动所述弧形导轨在凸轮轴承固定板内部来回移动。
本发明的有益技术效果:因所述机壳底板上面设置有方通支架,该方通支架内部设置有微焦点数字光管升降机构,所述的方通支架上端设置有载物平台;所述的侧梁支架上一端设置有探测器升降机构。工作时,采用工控机控制方式,驱使微焦点数字光管升降机构、载物平台、探测器升降机构相互配合,在指定区域内检测,同时还采用清晰的导航窗口,指定检测区域,通过高寿命微焦点数字光管,高清平板探测器,在X、Y、Z轴调节驱动,实现对指定区域的检测。然后通过强大的分析测量工具,自动测算焊点气泡空洞比率,自动判断是否符合IPC国际标准。能够获取高倍率,高分辨率影像,有效检测半导体、光伏、汽车电子精密部件的技术缺陷。
下面结合附图和实施例,对本发明的技术方案做进一步的详细描述。
【附图说明】
图1为本发明中微焦点透视检测机的立体外观图;
图2为本发明中微焦点透视检测机的内部结构图;
图3为本发明中微焦点数字光管升降机构的示意图;
图4为本发明中载物平台的示意图;
图5为本发明中探测器升降机构的示意图。
【具体实施方式】
为了使本发明所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚、明白,以下结合附图和实施例,对本发明进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明,并不用于限定本发明。
请参考图1至图5所示,下面结合实施例说明一种微焦点透视检测机,其包括检测机外罩1,安装在检测机外罩1底部的机壳底板2,安装在检测机外罩1内部上方的侧梁支架3;所述机壳底板2上面设置有方通支架4,该方通支架4内部设置有微焦点数字光管升降机构7,所述的方通支架4上端设置有载物平台6;所述的侧梁支架3上一端设置有探测器升降机构5。
所述检测机外罩1包括机架外壳10,设置于机架外壳10前面的横梁控制面板平台11,设置于横梁控制面板平台11上面的急停开关12,设置于横梁控制面板平台11上面的键盘及显示器13,设置于机架外壳10前面上方的活动观察窗口14,设置于机架外壳10顶端的报警灯15,设置于机架外壳10底部四周的脚轮脚杯16。
所述微焦点数字光管升降机构7包括光管底座70,安装在光管底座70内部的光管驱动电机71,安装在光管底座70背面上端的光管丝杆导轨固定座72,安装在光管丝杆导轨固定座72内部的光管导轨73,安装在光管导轨73内部的光管丝杆74,安装在光管丝杆导轨固定座72上端的X-ray发射管固定座75,安装在X-ray发射管固定座75侧面的X-ray发射管76;X-ray发射管76是由微焦点数字光管构成的;X-ray发射管76固定于X-ray发射管固定座75上,X-ray发射管固定座75与光管丝杆74,以及光管导轨73联动;光管丝杆74,光管导轨73固定于光管丝杆导轨固定座73上,光管驱动电机71固定于光管丝杆导轨固定座72上,光管驱动电机71的输出轴与光管丝杆74一端连接。
所述载物平台6包括直接安装在方通支架4上面的平台安装板60,安装在平台安装板60一侧的Y轴支座61,安装在Y轴支座61一端的Y轴方向驱动电机62,与Y轴方向驱动电机62连接的Y轴同步带63,与Y轴同步带63另一端连接的Y轴同步轮64,安装在Y轴支座61上面的载物工作台65,安装在载物工作台65上面的遮掩封板66,安装在载物工作台65与Y轴同步带63之间的Y轴同步带连接件67,安装在Y轴支座61侧面的Y轴导轨68,安装在与Y轴导轨68同侧的平台安装板60上的X轴支架69,安装在X轴支架69一端的X轴方向驱动电机601,与X轴方向驱动电机601连接的X轴同步带602,与X轴同步带602一端连接的X轴同步惰轮603,用于将X轴支架69与Y轴导轨68连接的X轴同步带连接件606,安装在Y轴导轨68上面的X轴导轨604,安装在X轴导轨604下面的X轴导轨底板605,Y轴方向驱动电机62与Y轴导轨68固定在Y轴支座61上;X轴支架69固定于Y轴导轨68的滑块上;载物工作台65与X轴导轨68的滑块联动。
所述探测器升降机构5包括安装在侧梁支架3上的探测固定座50,安装在探测固定座50上面的驱动电机固定座51,安装在驱动电机固定座51上面的第二探测驱动电机52,安装在驱动电机固定座51上面的凸轮轴承固定板53,安装在凸轮轴承固定板53内部的凸轮轴承54,安装在凸轮轴承54下方的可活动摆动的弧形导轨55,安装在凸轮轴承固定板53背面的探测器支架56,安装在探测器支架56上端一侧内部的第一探测驱动电机57,与第一探测驱动电机57连接的探测器同步带58,与探测器同步带58另一端连接的且安装在探测器支架56上端面的探测器驱动轮59,安装在探测器支架56内部的两个探测器光轴501,设置于两个探测器光轴501中间位置处的探测器移动丝杆502,安装在探测器移动丝杆502,两个探测器光轴501上面的可以上下移动的探测器丝杆固定座503,安装在探测器丝杆固定座503上面的X-ray探测器504;X-ray探测器504固定于探测器丝杆固定座503上;探测器移动丝杆502,探测器光轴501与探测器丝杆固定座503相配合;第一探测驱动电机57通过探测器同步带58带动所述探测器驱动轮59转动,而该探测器驱动轮59驱动探测器移动丝杆502转动,所述的探测器移动丝杆502带动探测器丝杆固定座503沿着探测器移动丝杆502,探测器光轴501上下滑动;凸轮轴承54与弧形导轨55相配合,第二探测驱动电机52带动所述凸轮轴承54转动,凸轮轴承54驱动所述弧形导轨55在凸轮轴承固定板53内部来回移动。
在本实施例中,所述R-ray检测机在开机之前,检查急停开关是否按下,整机通电,将待测物件放于载物平台6上,通过导航窗口,点击所要检测的位置,微焦点数字光管升降机构7,载物平台6,探测器升降机构5运行使点击位置成为检测位置,通过高清晰度的检测影像,使焊点外部内部情况一目了然。通过强大的分析测量工具,自动判断是否符合IPC国际标准。
所述检测机外罩采用无缝铅焊,X射线泄漏量≤1uSv/h,确保设备高安全性。x-ray发射管为发射x-ray。所述载物平台6主要是放置被检测物件及使被测物件运行至指定的检测位置。整机控制软件采用超大导航窗口,导航图像非常清晰,鼠标点击即可将载物台移动到所指位置;强大的分析测量工具,自动测算焊点气泡空洞比率,自动判断是否符合IPC国际标准。
所述弧形导轨55能够使x-ray探测器504能够60°倾斜,可让缺陷更完美的呈现。所述控制软件的导航功能,点击图像上要检测的区域,XY轴自动配合将所点击区域进行检测,在不同的倍数下使用导航功能,软件能根据不同倍数对XY轴运行的距离进行补偿,大大降低操作步骤,提高操作便捷性;强大的分析测量工具能够自动测算焊点气泡空洞比率,自动判断是否符合IPC国际标准。
综上所述,因所述机壳底板2上面设置有方通支架4,该方通支架4内部设置有微焦点数字光管升降机构7,所述的方通支架4上端设置有载物平台6;所述的侧梁支架3上一端设置有探测器升降机构5。工作时,采用工控机控制方式,驱使微焦点数字光管升降机构7、载物平台6、探测器升降机构5相互配合,在指定区域内检测,同时还采用清晰的导航窗口,指定检测区域,通过高寿命微焦点数字光管,高清平板探测器,在X、Y、Z轴调节驱动,实现对指定区域的检测。然后通过强大的分析测量工具,自动测算焊点气泡空洞比率,自动判断是否符合IPC国际标准。能够获取高倍率,高分辨率影像,有效检测半导体、光伏、汽车电子精密部件的技术缺陷。
以上参照附图说明了本发明的优选实施例,并非因此局限本发明的权利范围。本领域技术人员不脱离本发明的范围和实质内所作的任何修改、等同替换和改进,均应在本发明的权利范围之内。
Claims (5)
1.一种微焦点透视检测机,其包括检测机外罩,安装在检测机外罩底部的机壳底板,安装在检测机外罩内部上方的侧梁支架;其特征在于:所述机壳底板上面设置有方通支架,该方通支架内部设置有微焦点数字光管升降机构,所述的方通支架上端设置有载物平台;所述的侧梁支架上一端设置有探测器升降机构。
2.根据权利要求1所述一种微焦点透视检测机,其特征在于:所述检测机外罩包括机架外壳,设置于机架外壳前面的横梁控制面板平台,设置于横梁控制面板平台上面的急停开关,设置于横梁控制面板平台上面的键盘及显示器,设置于机架外壳前面上方的活动观察窗口,设置于机架外壳顶端的报警灯,设置于机架外壳底部四周的脚轮脚杯。
3.根据权利要求1所一种微焦点透视检测机,其特征在于:所述微焦点数字光管升降机构包括光管底座,安装在光管底座内部的光管驱动电机,安装在光管底座背面上端的光管丝杆导轨固定座,安装在光管丝杆导轨固定座内部的光管导轨,安装在光管导轨内部的光管丝杆,安装在光管丝杆导轨固定座上端的X-ray发射管固定座,安装在X-ray发射管固定座侧面的X-ray发射管;X-ray发射管是由微焦点数字光管构成的;X-ray发射管固定于X-ray发射管固定座上,X-ray发射管固定座与光管丝杆,以及光管导轨联动;光管丝杆,光管导轨固定于光管丝杆导轨固定座上,光管驱动电机固定于光管丝杆导轨固定座上,光管驱动电机的输出轴与光管丝杆一端连接。
4.根据权利要求1所述一种微焦点透视检测机,其特征在于:所述载物平台包括直接安装在方通支架上面的平台安装板,安装在平台安装板一侧的Y轴支座,安装在Y轴支座一端的Y轴方向驱动电机,与Y轴方向驱动电机连接的Y轴同步带,与Y轴同步带另一端连接的Y轴同步轮,安装在Y轴支座上面的载物工作台,安装在载物工作台上面的遮掩封板,安装在载物工作台与Y轴同步带之间的Y轴同步带连接件,安装在Y轴支座侧面的Y轴导轨,安装在与Y轴导轨同侧的平台安装板上的X轴支架,安装在X轴支架一端的X轴方向驱动电机,与X轴方向驱动电机连接的X轴同步带,与X轴同步带一端连接的X轴同步惰轮,用于将X轴支架与Y轴导轨连接的X轴同步带连接件,安装在Y轴导轨上面的X轴导轨,安装在X轴导轨下面的X轴导轨底板,Y轴方向驱动电机与Y轴导轨固定在Y轴支座上;X轴支架固定于Y轴导轨的滑块上;载物工作台与X轴导轨滑块联动。
5.根据权利要求1所述一种微焦点透视检测机,其特征在于:所述探测器升降机构包括安装在侧梁支架上的探测固定座,安装在探测固定座上面的驱动电机固定座,安装在驱动电机固定座上面的第二探测驱动电机,安装在驱动电机固定座上面的凸轮轴承固定板,安装在凸轮轴承固定板内部的凸轮轴承,安装在凸轮轴承下方的可活动摆动的弧形导轨,安装在凸轮轴承固定板背面的探测器支架,安装在探测器支架上端一侧内部的第一探测驱动电机,与第一探测驱动电机连接的探测器同步带,与探测器同步带另一端连接的且安装在探测器支架上端面的探测器驱动轮,安装在探测器支架内部的两个探测器光轴,设置于两个探测器光轴中间位置处的探测器移动丝杆,安装在探测器移动丝杆,两个探测器光轴上面的可以上下移动的探测器丝杆固定座,安装在探测器丝杆固定座上面的X-ray探测器;X-ray探测器固定于探测器丝杆固定座上;探测器移动丝杆,探测器光轴与探测器丝杆固定座相配合;第一探测驱动电机通过探测器同步带带动所述探测器驱动轮转动,而该探测器驱动轮驱动探测器移动丝杆转动,所述的探测器移动丝杆带动探测器丝杆固定座沿着探测器移动丝杆,探测器光轴上下滑动;凸轮轴承与弧形导轨相配合,第二探测驱动电机带动所述凸轮轴承转动,凸轮轴承驱动所述弧形导轨在凸轮轴承固定板内部来回移动。
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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PB01 | Publication | ||
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SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20180817 |
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