CN108396301A - 一种用于超薄玻璃镀膜的镀膜夹具 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种用于超薄玻璃镀膜的镀膜夹具,包括夹具底座和夹具上盖。所述夹具底座为中心镂空的框架,所述框架内侧有两边平行设有挡边,所述挡边的下端设置有用于支撑超薄玻璃的支撑区,所述夹具上盖为中心镂空框架,所述夹具上盖的框架两边设置有与挡边相对应的压边。所述夹具底座的框架两边上分别设置有槽体,所述夹具上盖的框架两边上设有与所述槽体相配合的凸起。通过本发明,在镀膜过程中,夹具上盖的压边与夹具底座的挡边将玻璃边缘夹住,从而使玻璃在镀膜过程中无法变形,可用于改善超薄玻璃镀膜翘曲度、结构简单、镀膜加工效率和加工质量高。
Description
技术领域
本发明涉及一种玻璃夹具,具体涉及一种用于超薄玻璃镀膜的镀膜夹具。
背景技术
镀膜是用物理或化学的方法在材料表面镀上一层透明的电解质膜,或镀一层金属膜,目的是改变材料表面的反射和透射特性。目前,镀膜广泛应用于光学、半导体等诸多领域,薄膜制作通常以物理蒸镀法为主,该方法为将薄膜材料由固态转化为气态或离子态的材料,由蒸发源穿越空间抵达基板表面,材料抵达基板表面后,将沉积而逐渐形成薄膜。
现有的镀膜装置中,玻璃镀膜夹具的设计一般为将镀膜夹具的镂空部分设计为要求形状,并利用挡边装置固定玻璃材料(如图1所示)。由于超薄玻璃镀膜材料在镀膜过程中受到热应力及膜层应力的作用,其中心部位会向下凸出,形成表面翘曲(如图2所示)。而这种翘曲对于镀膜厚度及后续材料加工会造成不良影响。一是,由于表面翘曲,镀膜蒸发到材料表面的薄膜材料厚度不同,造成光谱变化;而后续加工因为材料本身的翘曲在加工时很容易受压碎裂。普通的解决办法,一是控制镀膜厚度,限制玻璃表面翘曲的程度,其缺点是只能用于低要求产品,对于高要求产品,膜层厚度会影响其性能,所以无法通过控制镀膜厚度实现;二是进行二次退火消除应力,其缺点是增加生产时间,生产效率低,且在将玻璃退火过程中会造成二次不良,增加生产成本。
发明内容
本发明的目的在于克服现有技术中存在的不足,提供一种用于超薄玻璃镀膜的镀膜夹具,可用于改善超薄玻璃镀膜翘曲度、结构简单、镀膜加工效率和加工质量高。
为解决上述技术问题,本发明提供一种用于超薄玻璃镀膜的镀膜夹具,包括夹具底座和夹具上盖。所述夹具底座为中心镂空的框架,所述框架内侧有两边平行设有挡边,所述挡边的下端设置有用于支撑超薄玻璃的支撑区,所述夹具上盖为中心镂空框架,所述夹具上盖的框架两边设置有与挡边相对应的压边。所述夹具底座的框架两边上分别设置有槽体,所述夹具上盖的框架两边上设有与所述槽体相配合的凸起。
优选的,所述挡边的厚度为1~3mm。
优选的,所述所述槽体为斜向的凹槽,所述凹槽与水平面所成的角度为30°~60°。
本发明带来的有益效果:(1)本发明提供的用于超薄玻璃镀膜的镀膜夹具相比普通玻璃夹具多了夹具上盖,结构设计合理,使用时只需将夹具底座和夹具上盖相合即可,无需额外其他固定,装取方便快捷,使用方便;(2)镀膜玻璃放置于夹具底座和夹具上盖之间,镀膜过程中,夹具上盖受到离心作用紧紧压住夹具底座,夹具上盖的压边与夹具底座的挡边将玻璃边缘夹住,从而使玻璃在镀膜过程中无法变形,可用于改善超薄玻璃镀膜翘曲度;(3)本发明提供的用于超薄玻璃镀膜的镀膜夹具结构简单、成本低,易于实现。
附图说明
图1是现有技术的普通镀膜夹具镀膜前的示意图;
图2是现有技术的普通镀膜夹具镀膜后的示意图;
图3是根据本发明实施例的夹具底座的俯视图;
图4是图3的A-A向剖视图;
图5是根据本发明实施例的夹具底座的侧视图;
图6是根据本发明实施例的夹具上盖的俯视图;
图7是图6的B-B向剖视图;
图8是根据本发明实施例的夹具上盖的侧视图;
图9是放置镀膜夹具的镀膜伞架的结构示意图;
图10是本发明实施例的镀膜夹具使用时的示意图。
其中,1-夹具底座;2-夹具上盖;3-挡边;4-槽体;5-凸起;6-压边;7-支撑区;8-玻璃。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚,以下结合附图及具体实施例,对本发明作进一步地详细说明。
本发明提供一种用于超薄玻璃镀膜的镀膜夹具,包括夹具底座1和夹具上盖2,夹具底座的结构参见图3-5,夹具上盖的结构参见图6-8。所述夹具底座1为中心镂空的框架,所述框架内侧有两边平行设有挡边3,所述挡边的下端设置有用于支撑超薄玻璃的支撑区7,所述夹具上盖2为中心镂空框架,所述夹具上盖2的框架两边设置有与挡边3相对应的压边6。所述夹具底座1的框架两边上分别设置有槽体4,所述夹具上盖2的框架两边上设有与所述槽体4相配合的凸起5。
进一步来说,所述挡边3的厚度为1~3mm,所述挡边3的厚度为1~3mm。
本发明提供的用于超薄玻璃镀膜的镀膜夹具在使用时,将玻璃8放置于夹具底座1内,其挡边3和挡边的支撑区7将玻璃8托住,然后将夹具上盖2通过凸起5和夹具2的槽体4相合。图9是放置镀膜夹具的镀膜伞架的结构示意图,将整套镀膜夹具放置在镀膜伞架上,具体方向是将有槽体4的两边左右放置。镀膜时,镀膜伞架高速旋转,因夹具底座1被镀膜伞架固定,而夹具上盖2可相对滑动,受离心力的作用,夹具上盖2会向着槽体4斜方向移动,使夹具底座1和夹具上盖2紧紧固定。
图10是本发明实施例的镀膜夹具使用时的示意图,如图10所示,在镀膜时,镀膜玻璃8放置于夹具底座1和夹具上盖2之间,镀膜过程中,夹具上盖2受到离心作用紧紧压住夹具底座1,夹具上盖2的压边6与夹具底座1的挡边3将玻璃边缘夹住,这种力大于玻璃受到的应力,从而使玻璃在镀膜过程中无法变形。
综上所述,本发明提供的用于超薄玻璃镀膜的镀膜夹具相比普通玻璃夹具多了夹具上盖,结构设计合理,使用时只需将夹具底座和夹具上盖相合即可,无需额外其他固定,装取方便快捷,使用方便;镀膜玻璃放置于夹具底座和夹具上盖之间,镀膜过程中,夹具上盖受到离心作用紧紧压住夹具底座,夹具上盖的压边与夹具底座的挡边将玻璃边缘夹住,从而使玻璃在镀膜过程中无法变形,可用于改善超薄玻璃镀膜翘曲度;本发明提供的用于超薄玻璃镀膜的镀膜夹具结构简单、成本低,易于实现。
以上所述仅为本发明的实施例而已,并不用于限制本发明,对于本领域的技术人员来说,本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的权利要求范围之内。
Claims (3)
1.一种用于超薄玻璃镀膜的镀膜夹具,包括夹具底座(1)和夹具上盖(2),其特征在于,所述夹具底座(1)为中心镂空的框架,所述框架内侧有两边平行设有挡边(3),所述挡边的下端设置有用于支撑超薄玻璃的支撑区(7),所述夹具上盖(2)为中心镂空框架,所述夹具上盖(2)的框架两边设置有与挡边(3)相对应的压边(6),所述夹具底座(1)的框架两边上分别设置有槽体(4),所述夹具上盖(2)的框架两边上设有与所述槽体(4)相配合的凸起(5)。
2.如权利要求1所述的用于超薄玻璃镀膜的镀膜夹具,其特征在于,所述挡边(3)的厚度为1~3mm。
3.如权利要求1所述的用于超薄玻璃镀膜的镀膜夹具,其特征在于,所述所述槽体(4)为斜向的凹槽,所述凹槽与水平面所成的角度为30°~60°。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111393035A (zh) * | 2020-03-26 | 2020-07-10 | 拓米(成都)应用技术研究院有限公司 | 一种降低超薄玻璃表面涂布后边缘收缩变厚现象的方法 |
CN113816616A (zh) * | 2021-08-20 | 2021-12-21 | 福耀玻璃工业集团股份有限公司 | 透明板镀膜系统及其方法、车窗玻璃 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003192390A (ja) * | 2001-12-19 | 2003-07-09 | Nippon Shinku Kogaku Kk | ガラス製光学素子の製造方法及びそれに用いる固定治具 |
JP2007094040A (ja) * | 2005-09-29 | 2007-04-12 | Seiko Epson Corp | フレーム治具及びそれを用いた光学薄膜の形成方法 |
CN202193840U (zh) * | 2011-08-05 | 2012-04-18 | 平湖中天合波通信科技有限公司 | 一种用于超薄基底的镀膜夹具 |
CN203049029U (zh) * | 2013-01-05 | 2013-07-10 | 京浜光学制品(常熟)有限公司 | 一种薄型树脂材料镀膜夹具 |
CN203513498U (zh) * | 2013-10-10 | 2014-04-02 | 芜湖长信科技股份有限公司 | 一种用于超薄玻璃镀膜的夹具 |
CN204079778U (zh) * | 2014-07-31 | 2015-01-07 | 美德瑞光电科技(上海)有限公司 | 一种用于平板玻璃的镀膜夹具 |
CN206328461U (zh) * | 2016-12-23 | 2017-07-14 | 深圳市柔宇科技有限公司 | 一种玻璃压紧装置 |
CN208395054U (zh) * | 2018-04-16 | 2019-01-18 | 元亮科技有限公司 | 一种用于超薄玻璃镀膜的镀膜夹具 |
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2018
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003192390A (ja) * | 2001-12-19 | 2003-07-09 | Nippon Shinku Kogaku Kk | ガラス製光学素子の製造方法及びそれに用いる固定治具 |
JP2007094040A (ja) * | 2005-09-29 | 2007-04-12 | Seiko Epson Corp | フレーム治具及びそれを用いた光学薄膜の形成方法 |
CN202193840U (zh) * | 2011-08-05 | 2012-04-18 | 平湖中天合波通信科技有限公司 | 一种用于超薄基底的镀膜夹具 |
CN203049029U (zh) * | 2013-01-05 | 2013-07-10 | 京浜光学制品(常熟)有限公司 | 一种薄型树脂材料镀膜夹具 |
CN203513498U (zh) * | 2013-10-10 | 2014-04-02 | 芜湖长信科技股份有限公司 | 一种用于超薄玻璃镀膜的夹具 |
CN204079778U (zh) * | 2014-07-31 | 2015-01-07 | 美德瑞光电科技(上海)有限公司 | 一种用于平板玻璃的镀膜夹具 |
CN206328461U (zh) * | 2016-12-23 | 2017-07-14 | 深圳市柔宇科技有限公司 | 一种玻璃压紧装置 |
CN208395054U (zh) * | 2018-04-16 | 2019-01-18 | 元亮科技有限公司 | 一种用于超薄玻璃镀膜的镀膜夹具 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111393035A (zh) * | 2020-03-26 | 2020-07-10 | 拓米(成都)应用技术研究院有限公司 | 一种降低超薄玻璃表面涂布后边缘收缩变厚现象的方法 |
CN113816616A (zh) * | 2021-08-20 | 2021-12-21 | 福耀玻璃工业集团股份有限公司 | 透明板镀膜系统及其方法、车窗玻璃 |
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