CN108380602A - 一种注射泵清洗设备、方法及注射泵 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种注射泵清洗设备、方法和注射泵，该注射泵清洗设备包括：注射泵，第一进液管道，第一出液管道、第二进液管道、第二出液管道、第三管道和第四管道，以及第一开关组件和第二开关组件；注射泵侧壁形成有第一通孔，注射泵底部形成有第二通孔，注射泵内部设置有液体腔，液体腔通过第一通孔与第三管道连通，液体腔通过第二通孔与第四管道连通；第三管道通过第一开关组件选择性地与第一进液管道或第一出液管道连通；第四管道通过第二开关组件选择性与第二进液管道或第二出液管道连通；其中，第三管道和第四管道中的液体流向一致，液体流向随第一开关组件和第二开关组件的开关状态改变。通过上述方式，本申请能够提高注射泵的清洗效果。

Description

一种注射泵清洗设备、方法及注射泵

技术领域

本申请涉及显示器制造技术领域，特别是涉及一种注射泵清洗设备、方法及注射泵。

背景技术

目前，显示面板制造行业的光阻涂布制程中，通常采用回旋注射泵(ConvolutionSyringe Pump，CSP)供给光阻(Photo Resistance，PR)。CSP属于精细结构的部件，运作速度较慢，在长期运作过程中容易积累来自光阻析出的异物，多为黑色颗粒聚集而成的片状异物，极脆，易分散成黑色颗粒随CSP光阻吐出形成膜下异物。现有溶剂清洗CSP的方式是溶剂随PR路径流入流出，同时CSP活塞上下动作，但现有清洗方式并不能达到清除此类异物的目的，一般彻底清洁需人工拆卸，而多次拆卸会影响CSP的密封性。

发明内容

本申请主要解决的技术问题是提供一种注射泵清洗设备、方法及注射泵，能够在不拆卸CSP的情况下提高CSP的清洗效果。

为解决上述技术问题，本申请采用的一个技术方案是：提供一种，注射泵清洗设备，包括：注射泵，第一进液管道，第一出液管道、第二进液管道、第二出液管道、第三管道和第四管道，以及第一开关组件和第二开关组件；注射泵侧壁形成有第一通孔，注射泵底部形成有第二通孔，注射泵内部设置有液体腔，液体腔通过第一通孔与第三管道连通，液体腔通过第二通孔与第四管道连通；第一开关组件设置于第一进液管道、第一出液管道和第三管道上，第三管道通过第一开关组件选择性地与第一进液管道或第一出液管道连通；第二开关组件设置于第二进液管道、第二出液管道和第四管道上，第四管道通过第二开关组件选择性与第二进液管道或第二出液管道连通；其中，第三管道和第四管道中的液体流向一致，液体流向随第一开关组件和第二开关组件的开关状态改变。

为解决上述技术问题，本申请采用的另一个技术方案是：提供一种注射泵，包括：气缸壁、隔膜和活塞；气缸壁内凹形成第一空腔，隔膜固定于气缸壁，以将第一空腔分隔成液体腔和真空腔，隔膜贴附于活塞的表面以随活塞往复运动而变形，气缸壁的侧壁形成有第一通孔，液体腔通过第一通孔与外界连通，气缸壁底部形成有第二通孔，液体腔通过第二通孔与外界连通；其中，第一通孔的数量至少为二。

为解决上述技术问题，本申请采用的又一个技术方案是：提供一种注射泵清洗方法，该注射泵清洗方法应用于如上所述的注射泵清洗设备，该注射泵清洗方法包括：控制第一开关组件处于第一状态，第二开关组件处于第二状态，以使得第一进液管道和第三管道连通，第一出液管道和第三管道断开，第二出液管道和第四管道连通，第二进液管道和第四管道断开；向第一进液管道内注入清洗溶剂，以使得清洗溶剂依次流经第三管道、所述注射泵、第四管道和第二出液管道，以正向清洗注射泵；控制第一开关组件处于第三状态，第二开关组件处于第四状态，以使得第一出液管道和第三管道连通，第一进液管道和第三管道断开，第二进液管道和第四管道连通，第二出液管道和第四管道断开；向第二进液管道内注入清洗溶剂，以使得清洗溶剂依次流经第四管道、注射泵、第三管道和第一出液管道，以反向清洗注射泵。

本申请的有益效果是：区别于现有技术的情况，本申请的部分实施例中，注射泵清洗设备利用第一开关组件和第二开关组件控制第三管道和第四管道的液体流向，可以使得注入注射泵内的清洗溶剂进出口在第一通孔和第二通孔之间交替变换，清洗溶剂流向交替变换，从而利用清洗溶剂充分溶解注射泵内的异物，并随清洗溶剂从第一通孔或第二通孔流出注射泵，进而在不需拆卸注射泵的情况下提高注射泵的清洗效果。

附图说明

图1A是本申请注射泵清洗设备第一实施例正向清洗时的结构示意图；

图1B是本申请注射泵清洗设备第一实施例反向清洗时的结构示意图；

图2是本申请注射泵清洗设备第一实施例中采用的注射泵的结构示意图；

图3是本申请注射泵清洗设备第二实施例的结构示意图；

图4是本申请注射泵清洗设备第三实施例的结构示意图；

图5是本申请注射泵清洗设备第四实施例的结构示意图；

图6是本申请注射泵一实施例的侧面剖视结构示意图；

图7是图6中注射泵MM’线位置的截面结构示意图；

图8是本申请注射泵清洗方法一实施例的流程示意图。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本申请的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

如图1A和1B所示，本申请注射泵清洗设备10第一实施例包括：注射泵101，第一进液管道102，第一出液管道103、第二进液管道104、第二出液管道105、第三管道106和第四管道107，以及第一开关组件108和第二开关组件109。

其中，结合图2所示，该注射泵101侧壁形成有第一通孔1011，该注射泵101底部形成有第二通孔1012，注射泵101内部设置有液体腔1013，该液体腔1013通过第一通孔1011与第三管道106连通，该液体腔1013通过第二通孔1012与第四管道107连通；该第一开关组件108设置于第一进液管道102、第一出液管道103和第三管道106上，第三管道106通过该第一开关组件108选择性地与第一进液管道102或第一出液管道103连通；该第二开关组件109设置于第二进液管道104、第二出液管道105和第四管道107上，第四管道107通过第二开关组件109选择性与第二进液管道104或第二出液管道105连通；其中，第三管道106和第四管道107中的液体流向一致，其液体流向随第一开关组件108和第二开关组件109的开关状态改变。

具体地，在需要对注射泵101进行清洗时，可以通过控制第一开关组件108和第二开关组件109的开关状态，控制清洗溶剂的流向。例如图1A所示，首先可以控制第一开关组件108处于第一状态，使得第一进液管道102和第三管道106连通，而第一出液管道103和第三管道106断开，控制第二开关组件109处于第二状态，使得第四管道107和第二出液管道105连通，而第四管道107和第二进液管道104断开，从第一进液管道102中注入清洗溶剂，清洗溶剂通过与第三管道106连通的第一通孔1011进入注射泵101的液体腔1013，该清洗溶剂可以溶解液体腔1013内的异物，溶解异物后的清洗溶剂会经过第二通孔1012流出液体腔1013，并经过第四管道107和第二出液管道105流出。其中，该清洗溶剂可以采用容易溶解该异物的液体，例如EEP溶剂等。

然后如图1B所示，可以控制第一开关组件108处于第三状态，使得第一出液管道103和第三管道106连通，而第一进液管道102和第三管道106断开，控制第二开关组件109处于第四状态，使得第四管道107和第二进液管道104连通，而第四管道107和第二出液管道105断开，从第二进液管道104中注入清洗溶剂，清洗溶剂通过与第四管道107连通的第二通孔1012进入注射泵101的液体腔1013，该清洗溶剂可以溶解液体腔1013内的异物，溶解异物后的清洗溶剂会经过第一通孔1011流出液体腔1013，并经过第三管道106和第一出液管道103流出。

在其他应用例中，也可以先控制第一开关组件108处于第三状态，第二开关组件109处于第四状态，然后再控制第一开关组件108处于第一状态，第二开关组件109处于第二状态。

可选地，结合图2所示，该注射泵101包括气缸壁1015、隔膜1016和活塞1014。该气缸壁1015内凹形成第一空腔101A，隔膜1016固定于气缸壁1015，以将该第一空腔101A分隔成液体腔1013和真空腔1017，该隔膜1016在真空腔1017和液体腔1013之间的负压作用下，贴附于活塞1014的表面以随活塞1014往复运动而变形。该气缸壁1015的侧壁形成有该第一通孔1011，该气缸壁1015底部形成有该第二通孔1012。

本实施例中，该注射泵101(如CSP)具有可以往复运动的活塞1014，在对注射泵101进行清洗时，可以控制活塞1014往复运动，对液体腔1013内的液体起到扰流作用，有利于清除沉积的异物，提高清洗效率。

在其他实施例中，该注射泵清洗设备还可以包括清洗溶剂注入装置和废液收集装置等。

本实施例中，注射泵清洗设备利用第一开关组件和第二开关组件控制第三管道和第四管道的液体流向，可以使得注入注射泵内的清洗溶剂进出口在第一通孔和第二通孔之间交替变换，清洗溶剂流向交替变换，从而利用清洗溶剂充分溶解注射泵内的异物，并随清洗溶剂从第一通孔或第二通孔流出注射泵，进而在不需拆卸注射泵的情况下提高注射泵的清洗效果。

如图3所示，本申请注射泵清洗设备第二实施例与本申请注射泵清洗设备第一实施例的结构类似，相同之处不再赘述，不同之处在于，本实施例的注射泵清洗设备20中，第一开关组件108包括第一阀门1081和第二阀门1082，该第一阀门1081一端A1连接第一进液管道102，该第一阀门1081另一端B1连接第三管道106，该第二阀门1082一端A2连接第一出液管道103，该第二阀门1082另一端B2连接第三管道106。

该第二开关组件109包括第三阀门1091和第四阀门1092，该第三阀门1091一端A3连接第二进液管道104，该第三阀门1091另一端B3连接第四管道107，第四阀门1092一端A4连接第二出液管道105，该第四阀门1092另一端B4连接第四管道107。

其中，该第一开关组件108处于第一状态时，该第一阀门1081打开，该第二阀门1082关闭，使得第一进液管道102和第三管道106连通，而第一出液管道103和第三管道106断开；该第二开关组件109处于第二状态时，该第三阀门1091关闭，该第四阀门1092打开，使得该第四管道107和第二出液管道105连通，而第四管道107和第二进液管道104断开。该第一开关组件108处于第三状态时，该第一阀门1081关闭，该第二阀门1082打开，使得第一出液管道103和第三管道106连通，而第一进液管道102和第三管道106断开；该第二开关组件109处于第四状态时，该第三阀门1091打开，该第四阀门1092关闭，使得第四管道107和第二进液管道104连通，而第四管道107和第二出液管道105断开，从而通过控制该第一阀门1081、第二阀门1082、第三阀门1091和第四阀门1092的开关状态可以将进液管道从第一进液管道102变换为第二进液管道104，从而变换进出液口，使得第三管道106和第四管道107的液体流向变换，提高清洗效率。

在其他实施例中，该第一开关组件和第二开关组件也可以采用其他形式的元件，例如三通阀等。

具体如图4所示，本申请注射泵清洗设备第三实施例与本申请注射泵清洗设备第一实施例的结构类似，相同之处不再赘述，不同之处在于，本实施例的注射泵清洗设备30中，第一开关组件108包括第一三通阀1083，该第一三通阀1083包括第一阀口C1、第二阀口D1和第三阀口E1，该第一阀口C1连接第一进液管道102，该第二阀口D1连接第三管道106，该第三阀口E1连接第一出液管道103。

该第二开关组件109包括第二三通阀1093，该第二三通阀1093包括第四阀口C2、第五阀口D2和第六阀口E2，该第四阀口C2连接第二进液管道104，该第五阀口D2连接第二出液管道105，该第六阀口E2连接第四管道107。

其中，该第一开关组件108处于第一状态时，该第一三通阀1083的第一阀口C1和第二阀口D1连通，该第一阀口C1和第三阀口E1断开，使得第一进液管道102和第三管道106连通，而第一出液管道103和第三管道106断开；该第二开关组件109处于第二状态时，该第二三通阀1093的第六阀口E2和第五阀口D2连通，该第六阀口E2和第四阀口C2断开，使得该第四管道107和第二出液管道105连通，而第四管道107和第二进液管道104断开。该第一开关组件108处于第三状态时，该第一三通阀1083的第一阀口C1和第三阀口E1连通，该第一阀口C1和第二阀口D1断开，使得第一出液管道103和第三管道106连通，而第一进液管道102和第三管道106断开；该第二开关组件109处于第四状态时，该第二三通阀1093的第六阀口E2和第四阀口C2连通，该第六阀口E2和第五阀口D2断开，使得第四管道107和第二进液管道104连通，而第四管道107和第二出液管道105断开，从而通过控制该第一三通阀1083和第二三通阀1093的开关状态可以将进液管道从第一进液管道102变换为第二进液管道104，从而变换进出液口，使得第三管道106和第四管道107的液体流向变换，提高清洗效率。

在其他实施例中，该第一开关组件和第二开关组件的元件类型可以相同，也可以不同，例如第一开关组件采用第一阀门和第二阀门的组合，而第二开关组件采用第二三通阀。

为了进一步提高注射泵的清洗效果，避免异物沉积在注射泵的死角，可以在注射泵侧壁形成多个第一通孔。

具体如图5所示，本申请注射泵清洗设备第四实施例与本申请注射泵清洗设备第一实施例的结构类似，相同之处不再赘述，不同之处在于，本实施例的注射泵清洗设备40中，注射泵101的气缸壁1015的侧壁形成有至少两个第一通孔1011，每个第一通孔1011均与第三管道106连通。

其中，该第一通孔1011的数量(如图5所示的两个)和位置可以根据实际需求而定，此处不做具体限定。

例如，结合图6和图7所示，在一个应用例中，注射泵101的气缸壁1015侧壁形成有四个第一通孔1011，分布于气缸壁1015侧壁的四个方向，其中每两个不相邻的第一通孔1011的中心可以处于同一直线上，该直线可以与气缸壁1015的轴线相交，从而使得四个第一通孔1011均匀分布于气缸壁1015侧壁，相对于侧壁只有一个第一通孔1011的情况，多个第一通孔1011可以同时流入或流出液体，使异物不容易堆积在一个角落，有利于提高清洗效果。当然，在其他应用例中，该气缸壁1015侧壁也可以形成有两个、三个或者更多的第一通孔1011，第一通孔1011的位置也可以根据数量和清洗需求确定。

可选地，继续结合图6和7所示，注射泵清洗设备40进一步包括第五管道110，与第三管道106连通，其中，该第五管道110的数量与第一通孔1011的数量一致，每个第一通孔1011通过一条第五管道110与第三管道106连通。

当然，在其他实施例中，该第五管道110的数量也可以比第一通孔1011的数量少一个，其中一个第一通孔1011直接与第三管道106连通，其他第一通孔1011可以通过第五管道110间接与第三管道106连通。

本实施例中，该第一开关组件和第二开关组件的结构可以参考本申请第二或第三实施例的结构，此处不再重复。

如图6和7所示，本申请注射泵101一实施例包括：1015、隔膜1016和活塞1014。该气缸壁1015内凹形成第一空腔101A，隔膜1016固定于气缸壁1015，以将该第一空腔101A分隔成液体腔1013和真空腔1017，该隔膜1016在真空腔1017和液体腔1013之间的负压作用下，贴附于活塞1014的表面以随活塞1014往复运动而变形。该气缸壁1015的侧壁形成有该第一通孔1011，液体腔1013通过第一通孔1011与外界连通，该气缸壁1015底部形成有该第二通孔1012，液体腔1013通过第二通孔1012与外界连通；其中，该第一通孔1011的数量至少为二。

其中，第一通孔1011的数量可以是两个、三个或更多，该第一通孔1011的位置也可以根据第一通孔1011的数量和实际清洗需求设置，此处不做具体限定。

具体地，在一个应用例中，至少两个位于气缸壁1015侧壁的第一通孔1011可以设置其分布位置，例如均匀分布于侧壁同一水平面的不同方向上，使得在清洗该注射泵101时，清洗溶剂从多个第一通孔1011同时流入或同时流出该注射泵101的液体腔1013，再加上活塞1014的往复运动的扰流作用，可以达到充分清洗液体腔1013的效果，降低异物堆积在角落的可能性。

如图8所示，本申请注射泵清洗方法一实施例应用于注射泵清洗设备，该注射泵清洗设备可以参考本申请注射泵清洗设备第一至第四任一实施例或其不冲突的组合所提供的结构，此处不再重复。本实施例的注射泵清洗方法包括：

S11：控制第一开关组件处于第一状态，第二开关组件处于第二状态，以使得第一进液管道和第三管道连通，第一出液管道和第三管道断开，第二出液管道和第四管道连通，第二进液管道和第四管道断开；

S12：向第一进液管道内注入清洗溶剂，以使得清洗溶剂依次流经第三管道、注射泵、第四管道和第二出液管道，以正向清洗注射泵；

S13：控制第一开关组件处于第三状态，第二开关组件处于第四状态，以使得第一出液管道和第三管道连通，第一进液管道和第三管道断开，第二进液管道和第四管道连通，第二出液管道和第四管道断开；

S14：向第二进液管道内注入清洗溶剂，以使得清洗溶剂依次流经第四管道、注射泵、第三管道和第一出液管道，以反向清洗注射泵。

其中，正向和反向清洗的时间可以根据实际需求设置(例如分别为5分钟和6分钟，或者均为5分钟)，此处不做具体限定。

本实施例中步骤可以重复执行，其具体实施过程可以参考本申请注射泵清洗设备第一至第四任一实施例的内容，此次不再重复。

本实施例中，通过控制第一开关组件和第二开关组件的开关状态，可以控制第三管道和第四管道的液体流向，使得注入注射泵内的清洗溶剂进出口在第一通孔和第二通孔之间交替变换，清洗溶剂流向交替变换，从而利用清洗溶剂充分溶解注射泵内的异物，并随清洗溶剂从第一通孔或第二通孔流出注射泵，实现正向和反向清洗注射泵，进而在不需拆卸注射泵的情况下提高注射泵的清洗效果。

以上所述仅为本申请的实施方式，并非因此限制本申请的专利范围，凡是利用本申请说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本申请的专利保护范围内。

Claims (10)

1.一种注射泵清洗设备，其特征在于，包括：注射泵，第一进液管道，第一出液管道、第二进液管道、第二出液管道、第三管道和第四管道，以及第一开关组件和第二开关组件；

所述注射泵侧壁形成有第一通孔，所述注射泵底部形成有第二通孔，所述注射泵内部设置有液体腔，所述液体腔通过所述第一通孔与所述第三管道连通，所述液体腔通过所述第二通孔与所述第四管道连通；

所述第一开关组件设置于所述第一进液管道、所述第一出液管道和所述第三管道上，所述第三管道通过所述第一开关组件选择性地与所述第一进液管道或所述第一出液管道连通；

所述第二开关组件设置于所述第二进液管道、所述第二出液管道和所述第四管道上，所述第四管道通过所述第二开关组件选择性与所述第二进液管道或所述第二出液管道连通；

其中，所述第三管道和所述第四管道中的液体流向一致，所述液体流向随所述第一开关组件和所述第二开关组件的开关状态改变。

2.根据权利要求1所述的注射泵清洗设备，其特征在于，所述第一开关组件包括第一阀门和第二阀门，所述第一阀门一端连接所述第一进液管道，所述第一阀门另一端连接所述第三管道，所述第二阀门一端连接所述第一出液管道，所述第二阀门另一端连接所述第三管道。

3.根据权利要求1所述的注射泵清洗设备，其特征在于，所述第一开关组件包括第一三通阀，所述第一三通阀包括第一阀口、第二阀口和第三阀口，所述第一阀口连接所述第一进液管道，所述第二阀口连接所述第三管道，所述第三阀口连接所述第一出液管道。

4.根据权利要求1所述的注射泵清洗设备，其特征在于，所述第二开关组件包括第三阀门和第四阀门，所述第三阀门一端连接所述第二进液管道，所述第三阀门另一端连接所述第四管道，所述第四阀门一端连接所述第二出液管道，所述第四阀门另一端连接所述第四管道。

5.根据权利要求1所述的注射泵清洗设备，其特征在于，所述第二开关组件包括第二三通阀，所述第二三通阀包括第四阀口、第五阀口和第六阀口，所述第四阀口连接所述第二进液管道，所述第五阀口连接所述第二出液管道，所述第六阀口连接所述第四管道。

6.根据权利要求1-5任一项所述的注射泵清洗设备，其特征在于，所述注射泵包括气缸壁、隔膜和活塞；

所述气缸壁内凹形成第一空腔，所述隔膜固定于所述气缸壁，以将所述第一空腔分隔成所述液体腔和真空腔，所述隔膜贴附于所述活塞的表面以随所述活塞往复运动而变形，所述气缸壁的侧壁形成有所述第一通孔，所述液体腔通过所述第一通孔与所述第三管道连通，所述气缸壁底部形成有第二通孔，所述液体腔通过所述第二通孔与所述第四管道连通。

7.根据权利要求6所述的注射泵清洗设备，其特征在于，所述气缸壁的侧壁形成有至少两个所述第一通孔，每个所述第一通孔均与所述第三管道连通。

8.根据权利要求7所述的注射泵清洗设备，其特征在于，进一步包括与所述第三管道连通的第五管道，每个所述第一通孔通过一所述第五管道与所述第三管道连通。

9.一种注射泵，其特征在于，包括：气缸壁、隔膜和活塞；

所述气缸壁内凹形成第一空腔，所述隔膜固定于所述气缸壁，以将所述第一空腔分隔成液体腔和真空腔，所述隔膜贴附于所述活塞的表面以随所述活塞往复运动而变形，所述气缸壁的侧壁形成有所述第一通孔，所述液体腔通过所述第一通孔与外界连通，所述气缸壁底部形成有第二通孔，所述液体腔通过所述第二通孔与外界连通；

其中，所述第一通孔的数量至少为二。

10.一种注射泵清洗方法，其特征在于，所述注射泵清洗方法应用于如权利要求1-8任一项所述的注射泵清洗设备，所述注射泵清洗方法包括：

控制所述第一开关组件处于第一状态，所述第二开关组件处于第二状态，以使得所述第一进液管道和所述第三管道连通，所述第一出液管道和所述第三管道断开，所述第二出液管道和所述第四管道连通，所述第二进液管道和所述第四管道断开；

向所述第一进液管道内注入清洗溶剂，以使得所述清洗溶剂依次流经所述第三管道、所述注射泵、所述第四管道和所述第二出液管道，以正向清洗所述注射泵；

控制所述第一开关组件处于第三状态，所述第二开关组件处于第四状态，以使得所述第一出液管道和所述第三管道连通，所述第一进液管道和所述第三管道断开，所述第二进液管道和所述第四管道连通，所述第二出液管道和所述第四管道断开；

向所述第二进液管道内注入所述清洗溶剂，以使得所述清洗溶剂依次流经所述第四管道、所述注射泵、所述第三管道和所述第一出液管道，以反向清洗所述注射泵。