CN108362751B - 基于硼掺杂金刚石微电极的电化学丙氨酸生物传感器的制备方法及其应用 - Google Patents
基于硼掺杂金刚石微电极的电化学丙氨酸生物传感器的制备方法及其应用 Download PDFInfo
- Publication number
- CN108362751B CN108362751B CN201810062072.7A CN201810062072A CN108362751B CN 108362751 B CN108362751 B CN 108362751B CN 201810062072 A CN201810062072 A CN 201810062072A CN 108362751 B CN108362751 B CN 108362751B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- boron
- doped diamond
- deposition method
- vapor deposition
- microelectrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000010432 diamond Substances 0.000 title claims abstract description 110
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 110
- QNAYBMKLOCPYGJ-REOHCLBHSA-N L-alanine Chemical compound C[C@H](N)C(O)=O QNAYBMKLOCPYGJ-REOHCLBHSA-N 0.000 title claims abstract description 44
- 235000004279 alanine Nutrition 0.000 title claims abstract description 44
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 title claims abstract description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 72
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 42
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 24
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 19
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 19
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims abstract description 18
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims abstract description 18
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 15
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 claims abstract description 14
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 claims abstract description 13
- 238000009501 film coating Methods 0.000 claims abstract description 11
- 239000007888 film coating Substances 0.000 claims abstract description 7
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims abstract description 6
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims abstract description 5
- 230000004048 modification Effects 0.000 claims abstract description 5
- 238000012986 modification Methods 0.000 claims abstract description 5
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 claims abstract description 5
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims abstract description 5
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 65
- 239000000243 solution Substances 0.000 claims description 51
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 42
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 claims description 22
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 18
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 18
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 claims description 12
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 238000004070 electrodeposition Methods 0.000 claims description 11
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 claims description 10
- 239000007853 buffer solution Substances 0.000 claims description 9
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 claims description 9
- 238000009210 therapy by ultrasound Methods 0.000 claims description 9
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 claims description 8
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 8
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 229910019142 PO4 Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 7
- 238000004050 hot filament vapor deposition Methods 0.000 claims description 7
- 238000002513 implantation Methods 0.000 claims description 7
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 claims description 6
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims description 6
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 5
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910000397 disodium phosphate Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 4
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 4
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 4
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims description 3
- 238000007654 immersion Methods 0.000 claims description 3
- 238000007735 ion beam assisted deposition Methods 0.000 claims description 3
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 claims description 3
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims description 3
- VEQPNABPJHWNSG-UHFFFAOYSA-N Nickel(2+) Chemical compound [Ni+2] VEQPNABPJHWNSG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910001453 nickel ion Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 238000005554 pickling Methods 0.000 claims description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 2
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims 1
- 239000008055 phosphate buffer solution Substances 0.000 claims 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 abstract description 13
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 11
- 238000005406 washing Methods 0.000 abstract description 8
- 230000008021 deposition Effects 0.000 abstract description 7
- 239000002253 acid Substances 0.000 abstract 1
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 21
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 9
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 8
- 238000010899 nucleation Methods 0.000 description 8
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 7
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 7
- 238000004506 ultrasonic cleaning Methods 0.000 description 7
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 6
- JKWMSGQKBLHBQQ-UHFFFAOYSA-N diboron trioxide Chemical compound O=BOB=O JKWMSGQKBLHBQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 5
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 4
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 4
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N magnesium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Mg+2] AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000006911 nucleation Effects 0.000 description 4
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 4
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 3
- 238000002039 particle-beam lithography Methods 0.000 description 3
- 239000010452 phosphate Substances 0.000 description 3
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 3
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 3
- 206010021067 Hypopituitarism Diseases 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N Iron oxide Chemical compound [Fe]=O UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052810 boron oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000005587 bubbling Effects 0.000 description 2
- 238000003759 clinical diagnosis Methods 0.000 description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 2
- 238000000609 electron-beam lithography Methods 0.000 description 2
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000011031 large-scale manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000011043 treated quartz Substances 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 206010036297 Postpartum hypopituitarism Diseases 0.000 description 1
- 201000009895 Sheehan syndrome Diseases 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001015 X-ray lithography Methods 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 229960000074 biopharmaceutical Drugs 0.000 description 1
- 239000008280 blood Substances 0.000 description 1
- 210000004369 blood Anatomy 0.000 description 1
- 238000000861 blow drying Methods 0.000 description 1
- -1 boron ion Chemical class 0.000 description 1
- 239000000872 buffer Substances 0.000 description 1
- 238000004587 chromatography analysis Methods 0.000 description 1
- 238000004737 colorimetric analysis Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 238000003745 diagnosis Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000002848 electrochemical method Methods 0.000 description 1
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 1
- 238000004401 flow injection analysis Methods 0.000 description 1
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000015097 nutrients Nutrition 0.000 description 1
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 1
- 238000002203 pretreatment Methods 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- AJSTXXYNEIHPMD-UHFFFAOYSA-N triethyl borate Chemical compound CCOB(OCC)OCC AJSTXXYNEIHPMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WRECIMRULFAWHA-UHFFFAOYSA-N trimethyl borate Chemical compound COB(OC)OC WRECIMRULFAWHA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LTEHWCSSIHAVOQ-UHFFFAOYSA-N tripropyl borate Chemical compound CCCOB(OCCC)OCCC LTEHWCSSIHAVOQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
- G01N27/28—Electrolytic cell components
- G01N27/30—Electrodes, e.g. test electrodes; Half-cells
- G01N27/327—Biochemical electrodes, e.g. electrical or mechanical details for in vitro measurements
- G01N27/3275—Sensing specific biomolecules, e.g. nucleic acid strands, based on an electrode surface reaction
- G01N27/3278—Sensing specific biomolecules, e.g. nucleic acid strands, based on an electrode surface reaction involving nanosized elements, e.g. nanogaps or nanoparticles
Landscapes
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
本发明涉及一种基于硼掺杂金刚石微电极的电化学生物传感器的制备方法及其在检测丙氨酸方面的应用。该方法包括五大步骤:采用气相沉积法在衬底上制备硼掺杂金刚石薄膜;采用物理气相沉积法在硼掺杂金刚石薄膜表面沉积一层金属和/或金属氧化物的薄膜涂层;采用光刻技术在薄膜涂层上制备出电极图形,酸洗后完成掩膜的制作;采用刻蚀技术对硼掺杂金刚石表面进行刻蚀,制作出硼掺杂金刚石微电极;对硼掺杂金刚石微电极进行镍沉积修饰。采用本发明方法制得的电化学生物传感器不仅极大地改善了电极性能,提高了电极灵敏度,还可将其用于探测丙氨酸的浓度,应用前景十分可观。
Description
技术领域
本发明涉及电化学传感器技术领域,具体涉及一种基于硼掺杂金刚石微电极的电化学生物传感器,该微型传感器可以用于探测丙氨酸的浓度。
背景技术
丙氨酸是人体中重要的营养物质。目前临床诊断发现,若血液中缺少丙氨酸,会导致酮性低血糖症、席汉氏综合征及垂体功能减退。因此,精确检测丙氨酸浓度在临床诊断以及生物制药等方面具有十分重要的意义。
目前的一些丙氨酸检测方法主要包括:流动注射法、色谱分析法、原子吸收法以及比色法,然而这些方法都存在着成本高、时间长、不适用于常规的例行检测等问题。新型的电化学传感器分析方法不但解决了以上问题,还具有结构简单、生产成本低、灵敏度高、响应速度快、器件微型化以及使用方便等诸多优势,是一种很有前景的丙氨酸检测诊断手段。
作为一种新型电极材料,硼掺杂金刚石电极具有许多常规电极不可比拟的优异性能,如宽电化学势窗、低背景电流(接近于0)、极好的电化学稳定性及表面不易被污染等,这些优点使其在电化学领域发展迅速。但同时硼掺杂金刚石电极也存在着电催化活性低、表面再造困难、选择性及灵敏性差、难以大规模生产等缺点,从而限制了其应用。因此,能否充分发挥硼掺杂金刚石电极的优点同时避免其缺点,开发一种基于硼掺杂金刚石微电极的电化学丙氨酸生物传感器具有十分重要的意义。
发明内容
本发明的目的在于提供一种基于硼掺杂金刚石微电极的电化学生物传感器的制备方法,包括以下步骤:
(a)通过气相沉积法在衬底上制备硼掺杂金刚石薄膜;
(b)通过物理气相沉积法在硼掺杂金刚石薄膜上制备薄膜涂层;
(c)在薄膜涂层上涂覆光刻胶涂层,然后光刻出电极图案,酸洗后得到掩膜;
(d)在掩膜的保护下,在硼掺杂金刚石表面刻蚀,酸碱处理后清洗吹干,得到硼掺杂金刚石微电极;
(e)在PBS缓冲液和镍离子存在的条件下,通过电化学沉积法对硼掺杂金刚石微电极进行修饰,即得。
进一步的,所述衬底选自P型单晶硅片、N型单晶硅片、石英片中的一种,衬底使用前先放入掺有金刚石微粉的丙酮溶液中超声处理,以便在其表面形成均匀致密的微划痕,然后用丙酮溶液清洗干净。
进一步的,步骤(a)中所述气相沉积法选自离子注入法、热丝化学气相沉积法、微波等离子体化学气相沉积法、直流等离子体喷射化学气相沉积法中的一种,步骤(b)所述物理气相沉积法选自蒸发法、溅射法、离子镀法、反应蒸发沉积法、离子束辅助沉积法、离子团束沉积法、等离子体沉浸式离子沉积法中的一种,步骤(c)中所述光刻方法为光学光刻、电子束光刻、聚焦粒子束光刻、移相掩膜、X射线光刻中的一种,步骤(d)采用的刻蚀方法为氧或氩的等离子体刻蚀、反应离子刻蚀、反应离子束刻蚀中的一种。
进一步的,热丝化学气相沉积法或微波等离子体化学气相沉积法或直流等离子体喷射化学气相沉积法的工艺参数为:衬底温度800-1000℃,沉积气压0.1-30kPa,沉积时间3-7h,硼掺杂浓度B/C为200-20000ppm,离子注入法的工艺参数为:离子注入能量100-1000keV,注入剂量1010-1016cm-2,注入深度1μm-500μm,离子注入完成后的样品在800-2000℃下退火0.2-3h。
进一步的,步骤(b)所述薄膜涂层成分为金属或金属氧化物或两者以任意比混合形成的混合物,具体包括铜、铝、铁、钛、镍、钨、氧化锌、氧化镁、氧化铁等。
进一步的,步骤(c)所述电极图案包括条形、梳形、齿形、叉指形。
进一步的,所述硼掺杂金刚石薄膜的厚度为(0.1-500)μm,所述薄膜涂层的厚度为3nm-100μm,所述电极图案的线宽为3nm-1mm。
进一步的,步骤(e)中硼掺杂金刚石微电极的修饰过程具体如下:以pH在4-6.8的NaH2PO4/Na2HPO4磷酸盐(PBS)缓冲液为底液,以(0.1-10)mmol/L的Ni(NO3)2溶液为电解液,通过电化学沉积法在硼掺杂金刚石微电极表面固定纳米多孔镍(NP-Ni)。
上述基于硼掺杂金刚石微电极的电化学生物传感器用于探测丙氨酸的应用。
进一步的,该丙氨酸电化学生物传感器的灵敏度范围为1-100μAmM-1cm-2,检测限范围为10-3-10-1μM。
与现有技术相比,本发明的有益效果为:
(1)采用光刻技术与刻蚀技术相结合的工艺,实现了对硼掺杂金刚石薄膜的微纳加工,优化了加工工艺,精简了步骤,克服了硼掺杂金刚石薄膜加工困难、加工精度差的缺点,最高精度可以达到纳米级,有利于硼掺杂金刚石微电极的大规模生产制造和实际推广应用;
(2)通过电化学的方法对硼掺杂金刚石微电极进行表面修饰,赋予其电极功能,不仅增大了电极的比表面积,还提高了电极的选择性和灵敏度,并且避免了表面材料修饰带来的稳定性低、重复性差等缺点;
(3)制备得到的硼掺杂金刚石微电极可以作为电化学生物传感器,用于检测丙氨酸及其浓度,灵敏度和检测范围较好。
附图说明
图1为本发明制备方法过程示意图。
图2为本发明实施例4制备的硼掺杂金刚石叉指电极。
其中,1-衬底,2-制备硼掺杂金刚石薄膜,3-制备薄膜涂层,4-涂覆光刻胶,5-光刻,6-制备金属掩膜,7-刻蚀硼掺杂金刚石薄膜,8-腐蚀金属掩膜。
具体实施方式
为使本领域普通技术人员充分理解本发明的技术方案和有益效果,以下结合具体实施例进行进一步说明。
实施例1
一种基于硼掺杂金刚石微电极的电化学丙氨酸生物微传感器的制作方法,具体步骤如下:
(1)将作为衬底的P型单晶硅片放入掺有金刚石微粉的丙酮溶液中超声处理5min,待衬底表面形成均匀致密的微划痕后再将其放入丙酮溶液中超声清洗3min。此过程称为衬底的预处理。
(2)将处理后的P型单晶硅片放入热丝化学气相沉积系统中,热丝温度控制在2000-3000℃,衬底温度控制在800℃,灯丝与基片距离维持在4mm。在CH4和H2氛围中进行形核,CH4浓度为7%(体积分数),气压保持在2kPa,形核时间控制在7min。生长过程中以丙酮与乙醇混合溶液作为碳源以三氧化二硼作为硼源(B/C=10000ppm),将三氧化二硼先溶入乙醇中后再与丙酮混合,经氢气鼓泡带入到反应腔中,生长气压维持在2kPa,沉积5h。反应结束后,得到表面沉积有一层硼掺杂金刚石薄膜的单晶Si片,其中硼掺杂金刚石薄膜的厚度为18μm。
(3)采用磁控溅射镀膜机在硼掺杂金刚石薄膜上溅射一层8μm厚的Cu膜,在其表面涂覆光刻胶涂层后用光学光刻法在薄膜表面制备出齿形微电极,线宽设定为20μm。采用稀盐酸对多余的金属进行溶解,清洗后制备出金属掩膜。
(4)采用等离子刻蚀机在氧等离子体的氛围中对硼掺杂金刚石薄膜进行刻蚀,制备出微图形;
(5)用稀盐酸溶液、氢氧化钠溶液和水依次对薄膜表面进行洗涤,吹干得到硼掺杂金刚石齿形微电极。
(6)以pH=5的NaH2PO4/Na2HPO4磷酸盐(PBS)缓冲液为底液,以浓度为2.8mmol/L的Ni(NO3)2溶液为电解液,通过电化学沉积法在硼掺杂金刚石微电极表面固定NP-Ni后,即制得丙氨酸生物微传感器。
由此制得的丙氨酸生物微传感器的灵敏度为50μAmM-1cm-2,检测限为5×10-3μM,在0.1-6μM范围内,响应电流与丙氨酸浓度呈现出良好的线性关系。
实施例2
一种基于硼掺杂金刚石微电极的电化学丙氨酸生物微传感器的制作方法,具体步骤如下:
(1)将作为衬底的N型单晶硅片放入掺有金刚石微粉的丙酮溶液中超声处理10min,待衬底表面形成均匀致密的微划痕后将其放入丙酮溶液中超声清洗5min。
(2)将处理后的N型单晶硅片放入微波等离子体化学气相沉积系统中,衬底温度控制在900℃。在CH4和H2氛围中进行形核,CH4浓度为6%,气压保持在1kPa,形核时间控制在8min。生长过程中以甲烷作为碳源以乙硼烷作为硼源(B/C=1000ppm),生长气压维持在2kPa,沉积6h。反应结束后,得到表面沉积有一层硼掺杂金刚石薄膜的单晶Si片,其中硼掺杂金刚石薄膜的厚度为30μm。
(3)采用蒸发法在硼掺杂金刚石薄膜上蒸发一层10μm的Al膜,在其表面涂覆光刻胶涂层后用电子束光刻法在薄膜表面制备出条形微电极,线宽设定为10μm。采用稀盐酸对多余的金属进行溶解,清洗后制备出金属掩膜。
(4)采用ECR刻蚀技术在氩等离子体的氛围中对硼掺杂金刚石薄膜进行刻蚀,制备出微图形。
(5)用稀盐酸溶液、氢氧化钠溶液和水依次对薄膜表面进行洗涤,吹干得到硼掺杂金刚石条形微电极。
(6)以pH=6的NaH2PO4/Na2HPO4磷酸盐(PBS)缓冲液为底液,以浓度为2.7mmol/L的Ni(NO3)2溶液为电解液,通过电化学沉积法在硼掺杂金刚石微电极表面固定NP-Ni后即制得丙氨酸微传感器。
由此制备的丙氨酸生物微传感器的灵敏度为60μAmM-1cm-2,检测限为4.5×10-2μM,在1-9.5μM范围内,响应电流与丙氨酸浓度呈现出良好的线性关系。
实施例3
一种基于硼掺杂金刚石微电极的电化学丙氨酸生物微传感器的制作方法,具体步骤如下:
(1)将作为衬底的石英片放入掺有金刚石微粉的丙酮溶液中超声处理10min,待衬底表面形成均匀致密的微划痕后将其放入丙酮溶液中超声清洗4min。
(2)将处理后的石英片放入直流等离子体喷射化学气相沉积系统中,气体比例为H2:Ar:CH4=2000:1500:50,单位为sccm(mL/min)。以氧化硼放入真空腔体中进行挥发作为硼源(B/C=4300ppm),气压保持在5kPa。衬底温度为900℃,生长时间3h。反应结束,得到表面沉积有一层硼掺杂金刚石薄膜的石英片,其中硼掺杂金刚石薄膜的厚度为10μm。
(3)采用离子束辅助沉积法在硼掺杂金刚石薄膜上沉积一层9μm的氧化镁薄膜,在其表面涂覆光刻胶涂层后用X射线光刻法在薄膜表面制备出梳形电极微图形,线宽设定为15μm,采用稀盐酸对多余的氧化镁进行溶解,清洗后制备出氧化镁掩膜。
(4)采用微波等离子体刻蚀技术在Ar/H2氛围中对硼掺杂金刚石薄膜进行刻蚀,制备出微图形。
(5)用稀盐酸溶液、氢氧化钠溶液和水依次对薄膜表面进行洗涤,吹干得到硼掺杂金刚石梳形微电极。
(6)以pH=5.5的PBS缓冲液为底液,以浓度为2.5mmol/L的Ni(NO3)2溶液为电解液,通过电化学沉积法在硼掺杂金刚石微电极表面固定NP-Ni后,即制得丙氨酸生物微传感器。
由此制得的丙氨酸生物微传感器的灵敏度为50μAmM-1cm-2,检测限为4.5×10-2μM,在2-9.5μM范围内,响应电流与丙氨酸浓度呈现出良好的线性关系。
实施例4
一种基于硼掺杂金刚石微电极的电化学丙氨酸生物微传感器的制作方法,具体步骤如下:
(1)将作为衬底的P型单晶硅片放入掺有金刚石微粉的丙酮溶液中超声处理10min,待衬底表面形成均匀致密的微划痕后将其放入丙酮溶液中超声清洗4min。
(2)采用微波等离子体化学气相沉积方法制备出以P型单晶硅片为衬底的厚度为50μm的多晶金刚石,将样品清洗后注入硼硼离子注入能量400ke V,注入剂量5×1014cm-2,深度1.5μm。为消除注入损伤并使杂质电激活,样品在1450℃温度下退火1.5h,在P型单晶硅片衬底上制得了一层厚度为1.5μm的硼掺杂金刚石薄膜。
(3)采用离子镀的方法在硼掺杂金刚石薄膜表面沉积一层厚度为50μm的氧化铁-铁-钛复合膜,在其表面涂覆光刻胶涂层后用聚焦粒子束光刻技术在薄膜表面制备出齿形电极微图形,线宽设定为300μm。采用稀硝酸对多余涂层进行溶解,清洗后制备出氧化铁-铁-钛复合膜掩膜。
(4)采用反应离子束刻蚀技术在Ar氛围内对硼掺杂金刚石薄膜进行刻蚀,制备出微图形。
(5)用稀盐酸溶液、氢氧化钠溶液和水依次对薄膜表面进行洗涤,吹干得到硼掺杂金刚石梳叉指形微电极。
(6)以pH=5.8的PBS缓冲液为底液,以浓度为5mmol/L的Ni(NO3)2溶液为电解液,通过电化学沉积法在硼掺杂金刚石微电极表面固定NP-Ni后,即制得丙氨酸生物微传感器。
由此制得的丙氨酸生物微传感器的灵敏度为60μAmM-1cm-2,检测限为4×10-2μM,在0.1-8μM范围内,响应电流与丙氨酸浓度呈现出良好的线性关系。
实施例5
一种基于硼掺杂金刚石微电极的电化学丙氨酸生物微传感器的制作方法,具体步骤如下:
(1)将作为衬底的N型单晶硅片放入掺有金刚石微粉的丙酮溶液中超声处理5min,待衬底表面形成均匀致密的微划痕后将其放入丙酮溶液中超声清洗3min。
(2)将处理后的P型单晶硅片放入热丝化学气相沉积系统中,热丝温度控制在2000-3000℃,衬底温度控制在850℃,灯丝与基片距离维持在10mm。在CH4和H2氛围中进行形核,CH4浓度为7%,气压保持在1kPa,形核时间控制在15min。生长过程中以丙酮与乙醇混合溶液作为碳源,以硼酸三甲酯、硼酸三乙酯、硼酸三丙酯混合液作为硼源(B/C=1200ppm),将硼源与碳源混合,经氢气鼓泡带入到反应腔中,生长气压维持在1kPa,沉积6h。反应结束,得到表面沉积有一层硼掺杂金刚石薄膜的单晶Si片,其中硼掺杂金刚石薄膜的厚度为25μm。
(3)采用反应蒸发沉积在硼掺杂金刚石薄膜上沉积一层30μm的氧化锌膜,在其表面涂覆光刻胶涂层后用光学光刻法在薄膜表面制备出齿形微电极,线宽设定为100微米。采用稀盐酸对多余的金属进行溶解,清洗后制备出金属掩膜。
(4)采用聚焦粒子束光刻技术在氧等离子体的氛围中对硼掺杂金刚石薄膜进行刻蚀,制备出微图形。
(5)用稀盐酸溶液、氢氧化钠溶液和水依次对薄膜表面进行洗涤,吹干得到硼掺杂金刚石齿形微电极。
(6)以pH=5.7的PBS缓冲液为底液,以浓度为2.9mmol/L的Ni(NO3)2溶液为电解液,通过电化学沉积法在硼掺杂金刚石微电极表面固定NP-Ni后,即制得丙氨酸生物微传感器。
由此制得的丙氨酸生物微传感器的灵敏度为70μAmM-1cm-2,检测限为6×10-2μM,在0.5-9μM范围内,响应电流与丙氨酸浓度呈现出良好的线性关系。
实施例6
一种基于硼掺杂金刚石微电极的电化学丙氨酸生物微传感器的制作方法,具体步骤如下:
(1)将作为衬底的石英片放入掺有金刚石微粉的丙酮溶液中超声处理15min,待衬底表面形成均匀致密的微划痕后将其放入丙酮溶液中超声清洗8min。
(2)将处理后的石英片放入直流等离子体喷射化学气相沉积系统中,气体比例为H2:Ar:CH4=2000:1500:50,单位为sccm。以氧化硼放入真空腔体中进行挥发作为硼源(B/C=2000ppm),气压保持在5kPa。衬底温度为900℃,生长时间4h。反应结束,得到表面沉积有一层有硼掺杂金刚石薄膜的石英片,硼掺杂金刚石薄膜的厚度为17.5μm。
(3)采用离子团束沉积法在硼掺杂金刚石薄膜上沉积一层55μm的金属镍薄膜,在其表面涂覆光刻胶涂层后用移相掩膜法在薄膜表面制备出梳形电极微图形,线宽设定为600μm。采用稀盐酸对多余的金属镍进行溶解,清洗后制备出金属镍掩膜。
(4)采用微波等离子体刻蚀技术在Ar/H2氛围中对硼掺杂金刚石薄膜进行刻蚀,制备出微图形。
(5)用稀盐酸溶液、氢氧化钠溶液和水依次对薄膜表面进行洗涤,吹干得到硼掺杂金刚石梳形微电极。
(6)以pH=5.7的PBS缓冲液为底液,以浓度为2.9mmol/L的Ni(NO3)2溶液为电解液,通过电化学沉积法在硼掺杂金刚石微电极表面固定NP-Ni后,即制得丙氨酸生物微传感器。
由此制得的丙氨酸生物微传感器的灵敏度为60μAmM-1cm-2,检测限为4.5×10-3μM,在1-8μM范围内,响应电流与丙氨酸浓度呈现出良好的线性关系。
实施例7
一种基于硼掺杂金刚石微电极的电化学丙氨酸生物微传感器微传感器的制作方法,具体步骤如下:
(1)将作为衬底的P型单晶硅片放入掺有金刚石微粉的丙酮溶液中超声处理5min,待衬底表面形成均匀致密的微划痕后将其放入丙酮溶液中超声清洗3min。
(2)将处理后的P型单晶硅片放入热丝化学气相沉积系统中,热丝温度控制在2000-3000℃,衬底温度控制在950℃,灯丝与基片距离维持在8mm。在CH4和H2氛围中进行形核,CH4浓度为8%,气压保持在3kPa,形核时间控制在7min。生长过程中以甲烷作为碳源以乙硼烷作为硼源(B/C=2500ppm),生长气压维持在3kPa,沉积5h。反应结束,得到表面沉积有一层硼掺杂金刚石薄膜的单晶Si片,其中硼掺杂金刚石薄膜的厚度为25μm。
(3)采用等离子体沉浸式离子沉积技术在硼掺杂金刚石薄膜上溅射一层65μm的Cu金属钨膜,在其表面涂覆光刻胶涂层后用光学光刻法在薄膜表面制备出齿形微电极,线宽设定为35微米。采用稀盐酸对多余的金属进行溶解,清洗后制备出金属钨掩膜。
(4)采用微波等离子体刻蚀技术在Ar/H2氛围中对硼掺杂金刚石薄膜进行刻蚀,制备出微图形。
(5)用稀盐酸溶液、氢氧化钠溶液和水依次对薄膜表面进行洗涤,吹干得到硼掺杂金刚石齿形微电极。
(6)以pH=6.2的PBS缓冲液为底液,以浓度为3mmol/L的Ni(NO3)2溶液为电解液,通过电化学沉积法在硼掺杂金刚石微电极表面固定NP-Ni后,即制得丙氨酸生物微传感器。
由此制得的丙氨酸生物微传感器的灵敏度为40μAmM-1cm-2,检测限为4.5×10-1μM,在1-9.5μM范围内,响应电流与丙氨酸浓度呈现出良好的线性关系。
Claims (4)
1.一种基于硼掺杂金刚石微电极的电化学生物传感器的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
(a)通过气相沉积法在衬底上制备硼掺杂金刚石薄膜;
(b)通过物理气相沉积法在硼掺杂金刚石薄膜上制备薄膜涂层;
(c)在薄膜涂层上涂覆光刻胶涂层,然后光刻出电极图案,酸洗后得到掩膜;
(d)在掩膜的保护下,在硼掺杂金刚石表面刻蚀得到硼掺杂金刚石微电极;
(e)在PBS缓冲液和镍离子存在的条件下,通过电化学沉积法对硼掺杂金刚石微电极进行修饰即得;
其中步骤(a)所述衬底选自P型单晶硅片、N型单晶硅片、石英片中的一种,衬底使用前先放入掺有金刚石微粉的丙酮溶液中超声处理,待其表面形成均匀致密的微划痕后用丙酮溶液清洗干净;所述气相沉积法选自离子注入法、热丝化学气相沉积法、微波等离子体化学气相沉积法、直流等离子体喷射化学气相沉积法中的一种,其中热丝化学气相沉积法或微波等离子体化学气相沉积法或直流等离子体喷射化学气相沉积法的工艺参数为:衬底温度800-1000℃,沉积气压0.1-30kPa,沉积时间3-7h,硼掺杂浓度B/C为200-20000ppm,离子注入法的工艺参数为:离子注入能量100-1000keV,注入剂量 1010-1016cm-2,注入深度 1μm -500μm,离子注入完成后的样品在 800-2000℃下退火0.2-3h;
步骤(b)所述物理气相沉积法选自蒸发法、溅射法、离子镀法、反应蒸发沉积法、离子束辅助沉积法、离子团束沉积法、等离子体沉浸式离子沉积法中的一种,所述薄膜涂层成分为金属或金属氧化物或两者以任意比混合形成的混合物;
步骤(c)采用的光刻方法为光学光刻、电子束光刻、聚焦粒子束光刻、移相掩膜、X射线光刻中的一种;
步骤(d)采用的刻蚀方法为氧或氩的等离子体刻蚀、反应离子刻蚀、反应离子束刻蚀中的一种;
步骤(e)中硼掺杂金刚石微电极的修饰过程具体如下:以pH=4-6.8的NaH2PO4/Na2HPO4磷酸盐缓冲液为底液,以0.1-10mmol/L的Ni(NO3)2溶液为电解液,通过电化学沉积法在硼掺杂金刚石微电极表面固定纳米多孔镍;
所述硼掺杂金刚石薄膜的厚度为0.1-500μm,所述薄膜涂层的厚度为3nm-100μm,所述电极图案的线宽为3nm-1mm。
2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:步骤(c)所述电极图案包括条形、梳形、齿形、叉指形。
3.权利要求1-2任一项所述制备方法得到的基于硼掺杂金刚石微电极的电化学生物传感器用于探测丙氨酸的应用。
4.根据权利要求3所述的基于硼掺杂金刚石微电极的电化学生物传感器的应用,其特征在于:该电化学生物传感器的灵敏度范围为1-100μAmM-1cm-2,检测限范围为10-3-10-1μM。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201810062072.7A CN108362751B (zh) | 2018-01-23 | 2018-01-23 | 基于硼掺杂金刚石微电极的电化学丙氨酸生物传感器的制备方法及其应用 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201810062072.7A CN108362751B (zh) | 2018-01-23 | 2018-01-23 | 基于硼掺杂金刚石微电极的电化学丙氨酸生物传感器的制备方法及其应用 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN108362751A CN108362751A (zh) | 2018-08-03 |
CN108362751B true CN108362751B (zh) | 2020-10-23 |
Family
ID=63006539
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201810062072.7A Expired - Fee Related CN108362751B (zh) | 2018-01-23 | 2018-01-23 | 基于硼掺杂金刚石微电极的电化学丙氨酸生物传感器的制备方法及其应用 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN108362751B (zh) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110596212B (zh) * | 2019-10-23 | 2022-08-02 | 吉林大学 | 一种用于检测盐酸克伦特罗的复合结构传感器的制备方法 |
CN111005010B (zh) * | 2019-12-18 | 2021-05-25 | 昆明理工大学 | 一种纳米金刚石金属化薄膜的制备方法、产品及应用 |
TW202137942A (zh) * | 2020-04-14 | 2021-10-16 | 國立中正大學 | 用於辨別癌細胞部位及病變程度的生物感測晶片及方法 |
CN111948266B (zh) * | 2020-08-18 | 2022-03-22 | 中国地质大学(北京) | 自支撑硼掺杂金刚石电化学传感器及制备方法 |
CN113125536B (zh) * | 2021-03-31 | 2023-06-27 | 吉林大学 | 一种用于检测苯胺的电化学传感器电极材料的制备方法 |
CN114014771B (zh) * | 2021-06-30 | 2023-12-12 | 安徽华恒生物科技股份有限公司 | 一种超高纯度的氨基酸及其制备方法和其应用 |
CN113777142A (zh) * | 2021-09-15 | 2021-12-10 | 湖南新锋科技有限公司 | 一种碳材料/金属修饰的掺杂金刚石颗粒集成传感器及其制备方法和应用 |
CN114107943A (zh) * | 2021-09-30 | 2022-03-01 | 宁波铭瑞中兴电子科技有限公司 | 一种基于掺硼金刚石薄膜的电导率传感器及其制备方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101859704A (zh) * | 2010-05-26 | 2010-10-13 | 上海大学 | 一种高温、高功率场效应晶体管的制备方法 |
CN103221811A (zh) * | 2010-04-16 | 2013-07-24 | 第六元素有限公司 | 金刚石微电极 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SG177021A1 (en) * | 2010-06-16 | 2012-01-30 | Univ Nanyang Tech | Micoelectrode array sensor for detection of heavy metals in aqueous solutions |
-
2018
- 2018-01-23 CN CN201810062072.7A patent/CN108362751B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103221811A (zh) * | 2010-04-16 | 2013-07-24 | 第六元素有限公司 | 金刚石微电极 |
CN101859704A (zh) * | 2010-05-26 | 2010-10-13 | 上海大学 | 一种高温、高功率场效应晶体管的制备方法 |
Non-Patent Citations (3)
Title |
---|
低残余应力HFCVD硼掺杂金刚石薄膜的制备与图形化研究;赵天奇 等;《金刚石与磨料磨具工程》;20170228;第37卷(第1期);第29-33页 * |
基于纳米Ni-掺硼金刚石电极的电化学生物传感器研究;戴玮;《中国博士学位论文全文数据库(信息科技辑)》;20171115(第11期);第3.2.1节 * |
硼掺杂金刚石微电极;高成耀 等;《化学通报》;20081231(第12期);第912-917页 * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN108362751A (zh) | 2018-08-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN108362751B (zh) | 基于硼掺杂金刚石微电极的电化学丙氨酸生物传感器的制备方法及其应用 | |
WO2020042535A1 (zh) | 一种燃料电池金属双极板用导电耐蚀涂层 | |
US20110308942A1 (en) | Microelectrode array sensor for detection of heavy metals in aqueous solutions | |
CN102127751A (zh) | 一种柱状阵列结构硼掺杂金刚石微纳米材料及其制备方法 | |
CN106129422B (zh) | 提高燃料电池金属双极板表面镀层致密和耐腐蚀的方法 | |
CN104962876A (zh) | 石墨表面掺硼金刚石薄膜材料及其制备方法 | |
CN110527974A (zh) | 一种原子层沉积LiPON固态电解质薄膜的制备方法 | |
JP6339976B2 (ja) | 炭素微小電極の製造方法 | |
CN110316726B (zh) | 石墨烯纳米线薄膜及其制备方法、以及薄膜晶体管阵列 | |
JP4513093B2 (ja) | 電気化学測定用炭素電極及びその製造方法 | |
JP2000314714A (ja) | 電極及びその製造方法及び該電極を用いた電気化学センサー | |
CN105347345A (zh) | 一种硅微纳米结构的制备方法 | |
JP2012084460A (ja) | プロトン伝導体薄膜の作製方法 | |
Aschauer et al. | Surface characterization of thin-film platinum electrodes for biosensors by means of cyclic voltammetry and laser SNMS | |
Smirnov et al. | Vertically aligned carbon nanotubes for microelectrode arrays applications | |
CN110967384A (zh) | 一种超低浓度双氧水传感器透明电极的简便制备方法 | |
JP7293413B1 (ja) | 電極用積層構造体および電極用積層構造体の製造方法 | |
CN108231432A (zh) | 一种改善超级电容器自放电的方法 | |
KR101602628B1 (ko) | 원자층 증착법을 이용한 나노선의 제조 방법 | |
CN112458432B (zh) | 一种原子层沉积技术生长NbxC薄膜的方法 | |
US20220098736A1 (en) | Atomic layer deposition of lithium boron comprising nanocomposite solid electrolytes | |
CN109896499B (zh) | 一种陶瓷微结构石墨烯气体传感器及其制造方法 | |
CN112028077B (zh) | 一种在硅纳米线及其阵列中形成裂纹的方法 | |
CN114808024B (zh) | 一种Si/MoS2光电催化固氮电极材料及其制备方法 | |
JPH08293484A (ja) | プラズマ処理方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20201023 |