CN108345187A - 显影腔室及其喷淋组件、显影方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种显影腔室及其喷淋组件、显影方法。所述喷淋组件包括喷淋出口、混合腔室、第一输入机构和第二输入机构，所述第一输入机构和第二输入机构分别与混合腔室导通，所述喷淋出口开设于混合腔室的一端，第一输入机构用于通入气体，第二输入机构用于通入显影液，所述混合腔室用于将所述气体和显影液混合成二流体，所述喷淋出口为长条形开口以用于将所述二流体呈水幕形态导出。基于此，本发明能够有利于避免出现显影重叠区域，避免产生显影mura现象。

Description

显影腔室及其喷淋组件、显影方法

技术领域

本发明涉及显示领域，具体涉及曝光显影技术领域，尤其涉及一种显影腔室及其喷淋组件、显影方法。

背景技术

在LCD(Liquid Crystal Display,液晶显示器)的制程中，显影工艺是非常重要的一环。显影工艺是利用显影液对经过曝光的光阻(又称光刻胶)进行处理，从而达到去除部分光阻并形成预定图案的目的。图1是现有技术一实施例的显影腔室的透视结构示意图。结合图1和图2所示，显影腔室(Chamber)10倾斜设置，例如其底面与水平面的夹角为5°，以利于其中的液体(包括显影后的液体)由侧壁的通孔13导出。该显影腔室10中设有间隔设置的多个喷淋组件11，每一喷淋组件11包括一根喷淋管111以及设置于该喷淋管111上的多个喷嘴(Spray Nozzle)112，多根喷淋管111平行间隔设置，待显影基板12被放置于多个喷淋组件11的下方，在待显影基板12沿预定方向(图1中箭头所示方向)移动的过程中，喷嘴112将喷淋管111中的显影液喷淋至待显影基板12上，以对待显影基板12上的经过曝光的光阻进行显影。

在喷淋组件11处于正常运行状态下，每一喷嘴112喷出的显影液呈扇形，且各个喷嘴112所喷出的显影液不重叠，即各个扇形不会发生重叠。但是，请参阅图2，一旦其中一个喷嘴112出现故障，其喷淋而出的显影液则会与其他喷嘴112喷出的显影液发生重叠，出现显影重叠(overlap)区域113，从而产生显影mura(不均匀)现象。

发明内容

有鉴于此，本发明提供一种显影腔室及其喷淋组件、显影方法，有利于避免出现显影重叠区域，避免产生显影mura现象。

本发明一实施例的显影腔室的喷淋组件，包括喷淋出口、混合腔室、第一输入机构和第二输入机构，所述第一输入机构和第二输入机构分别与所述混合腔室导通，所述喷淋出口开设于所述混合腔室的一端，所述第一输入机构用于通入气体，所述第二输入机构用于通入显影液，所述混合腔室用于将所述气体和显影液混合成二流体，所述喷淋出口为长条形开口以用于将所述二流体呈水幕形态导出。

本发明一实施例的显影腔室，包括上述喷淋组件。

本发明一实施例的显影方法，包括：

在显影腔室内将喷淋组件设置于待显影基板的上方，所述喷淋组件包括喷淋出口、混合腔室、第一输入机构和第二输入机构，所述第一输入机构和第二输入机构分别与所述混合腔室导通，所述喷淋出口为长条形开口并开设于所述混合腔室的一端；

通过所述第一输入机构和第二输入机构分别向所述混合腔室通入气体和显影液，以使所述气体和显影液在混合腔室内混合成二流体；

所述喷淋出口将所述二流体呈水幕形态导出至所述待显影基板。

有益效果：本发明设计喷淋组件的开口为长条形开口，显影液和气体混合而成的二流体从该长条形开口导出后呈水幕形态，即显影液以水幕形态喷淋至待显影基板上，一个长条形开口所喷出的显影液取代一根喷淋管上多个喷嘴所喷出的显影液，喷洒的均一性更好，从而有利于避免出现显影重叠区域，避免产生显影mura现象。

附图说明

图1是现有技术一实施例的显影腔室的透视结构示意图；

图2是图1所示的喷淋组件在喷淋时出现显影重叠区域的示意图；

图3是本发明一实施例的喷淋组件的结构示意图；

图4是图3所示喷淋组件的部分结构剖视图；

图5是本发明一实施例的显影方法的流程示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明所提供的各个示例性的实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。在不冲突的情况下，下述各个实施例及其技术特征可以相互组合。并且，本发明全文所采用的方向性术语，例如“上”、“下”等，均是为了更好的描述各个实施例的技术方案，并非用于限制本发明的保护范围。

图3是本发明一实施例的喷淋组件的结构示意图，图4是图3所示喷淋组件的部分结构剖视图。请参阅图3和图4，所述喷淋组件30包括第一输入机构31、第二输入机构32、混合腔室33以及喷淋出口34，所述第一输入机构31和第二输入机构32分别与混合腔室33导通，所述喷淋出口34开设于混合腔室33的一端，例如底部。

第一输入机构31用于向混合腔室33内通入气体，第二输入机构32用于向混合腔室33内通入显影液，气体和显影液在混合腔室33内混合形成二流体40，继而从喷淋出口34中喷淋而出。其中，本实施例可以根据实际需求选择合适的显影液，气体包括但不限于空气。

不同于现有技术，所述喷淋出口34为长条形开口，掺有显影液的二流体40从喷淋出口34喷出时呈水幕形态。本实施例可以根据显影区域的形状设计该水幕的形状，例如沿垂直于所述水幕的方向该水幕的截面为三角形，又例如该水幕喷淋至待显影基板上的形状为扇形。

如图3所示，本实施例的喷淋组件30相当于图1和图2所示的现有技术的一个喷淋组件10，显影液以水幕形态喷淋至待显影基板上，一个长条形开口的喷淋出口34所喷出的显影液取代一根喷淋管111上多个喷嘴112所喷出的显影液，喷洒的均一性更好，从而有利于避免在待显影基板上出现显影重叠区域，避免产生显影mura现象。

在实际应用场景中，该喷淋组件30可以为长条状结构，第一输入机构31、第二输入机构32、混合腔室33以及喷淋出口34内置于该喷淋组件30的壳体内。第一输入机构31可以包括增压机构以及内部中空的管道，该增压机构用于增大所述管道内气体的压强，使得所述气体以高压状态通入所述混合腔室33，有利于气体和显影液混合成二流体40。第二输入机构32可以为内部中空的管道，并且该管道可以采用耐酸碱材质制得，其材质包括但不限于PVC(Polyvinyl chloride,聚氟乙烯)、PE(Polyethylene,聚乙烯)、PP(Polypropylene,聚丙烯)、PFA(Polytetrafluoro ethylene,聚四氟乙烯)。

进一步地，本实施例可以由PLC(Programmable Logic Controller,可编程逻辑控制器)控制第一输入机构31所通入气体和第二输入机构32所通入显影液的速度和总量，以此控制喷淋出口34的喷淋量以及显影液从喷淋出口34喷出的速度。其中，控制显影液从喷淋出口34喷出的速度可以降低显影液对待显影基板边缘的冲击，降低待显影基板出现边缘破片的风险。当然，本实施例也可以通过调整喷淋组件30与待显影基板之间的距离来降低显影液对待显影基板边缘的冲击，具体地，请参阅图2，现有技术一般设置喷嘴112与待显影基板的间距为800nm，其喷嘴112距离待显影基板12较远，显影液喷下时对待显影基板的冲击力较大，而本实施例可以设置喷淋出口34与待显影基板的间距小于或等于100nm，间距缩小，大幅降低了显影液对待显影基板的冲击，显影更加柔和，从而能够极大的减少显影mura的发生。

为了进一步控制喷淋至待显影基板的显影液的量以及适应待显影基板上的显影区域，所述混合腔室33可以在喷淋出口34的两侧设置遮挡机构，所述遮挡机构用于调整喷淋出口34的开口宽度及形状。

本实施例的喷淋组件30还可以包括与混合腔室33连接的传动马达，该传动马达可以驱动混合腔室33移动以调整喷淋出口34的位置，并以此调整喷淋出口34与待显影基板的相对位置。

本发明还提供一实施例的显影腔室，该显影腔室可以包括上述喷淋组件30。例如，多个喷淋组件30间隔设置于该显影腔室的上部，待显影基板设置于多个喷淋组件30的下方，在待显影基板沿预定方向移动的过程中，喷淋出口34将显影液喷淋至待显影基板上，从而对待显影基板上的经过曝光的光阻进行显影处理。于此，所述显影腔室也至少具有与喷淋组件30相同的有益效果。

图5是本发明一实施例的显影方法的流程示意图。请参阅图5，所述显影方法可以包括以下步骤S51～S53。

S51：在显影腔室内将喷淋组件设置于待显影基板的上方，所述喷淋组件包括喷淋出口、混合腔室、第一输入机构和第二输入机构，所述第一输入机构和第二输入机构分别与混合腔室导通，所述喷淋出口为长条形开口并开设于所述混合腔室的一端。

S52：通过第一输入机构和第二输入机构分别向混合腔室通入气体和显影液，以使所述气体和显影液在混合腔室内混合成二流体。

S53：喷淋出口将二流体呈水幕形态导出至待显影基板。

本实施例的显影方法可以基于上述实施例的喷淋组件30，基于此：

鉴于图2所示的现有技术一般设置喷嘴112与待显影基板的间距为800nm，其喷嘴112距离待显影基板12较远，显影液喷下时对待显影基板12的冲击力较大，在步骤S51中，本实施例可以设置喷淋出口与待显影基板的间距小于或等于100nm，间距缩小，从而大幅降低显影液对待显影基板的冲击，显影更加柔和，减少显影mura的发生。

在步骤S52中，本实施例可以向第一输入机构的内部中空的管道通入气体，由增压机构增大所述管道内气体的压强，使得所述气体以高压状态通入混合腔室，有利于气体和显影液混合成二流体。

在步骤S53之前，本实施例可以通过与混合腔室连接的传动马达驱动混合腔室移动以调整喷淋出口的位置，并以此调整喷淋出口与待显影基板的相对位置。以及

在步骤S53中，通过设置于喷淋出口两侧的遮挡机构来调整喷淋出口的开口宽度及形状，本实施例进一步控制喷淋至待显影基板的显影液的量以及适应待显影基板上的显影区域。

由于本实施例的显影方法采用于上述喷淋组件30相同结构的喷淋组件，因此具有与其相同的有益效果。

应理解，以上所述仅为本发明的实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，例如各实施例之间技术特征的相互结合，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围内。

Claims (10)

1.一种喷淋组件，其特征在于，所述喷淋组件包括喷淋出口、混合腔室、第一输入机构和第二输入机构，所述第一输入机构和第二输入机构分别与所述混合腔室导通，所述喷淋出口开设于所述混合腔室的一端，所述第一输入机构用于通入气体，所述第二输入机构用于通入显影液，所述混合腔室用于将所述气体和显影液混合成二流体，所述喷淋出口为长条形开口以用于将所述二流体呈水幕形态导出。

2.根据权利要求1所述的喷淋组件，其特征在于，所述第一输入机构包括增压机构和内部中空的管道，所述增压机构设置于所述管道的一端，所述管道的另一端与所述混合腔室导通。

3.根据权利要求1所述的喷淋组件，其特征在于，所述喷淋组件还包括与所述混合腔室连接的传动马达，所述传动马达用于驱动所述混合腔室移动以调整所述喷淋出口的位置。

4.根据权利要求1所述的喷淋组件，其特征在于，所述混合腔室包括设置于所述喷淋出口两侧的遮挡机构，所述遮挡机构用于调整所述喷淋出口的开口宽度及形状。

5.一种显影腔室，其特征在于，所述显影腔室包括上述权利要求1～4任一项所述的喷淋组件。

6.一种显影方法，其特征在于，所述显影方法包括：

在显影腔室内将喷淋组件设置于待显影基板的上方，所述喷淋组件包括喷淋出口、混合腔室、第一输入机构和第二输入机构，所述第一输入机构和第二输入机构分别与所述混合腔室导通，所述喷淋出口为长条形开口并开设于所述混合腔室的一端；

通过所述第一输入机构和第二输入机构分别向所述混合腔室通入气体和显影液，以使所述气体和显影液在混合腔室内混合成二流体；

所述喷淋出口将所述二流体呈水幕形态导出至所述待显影基板。

7.根据权利要求6所述的显影方法，其特征在于，所述第一输入机构包括增压机构和内部中空的管道，所述增压机构设置于所述管道的一端，所述管道的另一端与所述混合腔室导通，

通过所述第一输入机构向所述混合腔室通入气体，包括：所述增压机构增大所述管道内气体的压强，再将所述气体通入所述混合腔室。

8.根据权利要求6所述的显影方法，其特征在于，所述喷淋出口与所述待显影基板的间距小于或等于100nm。

9.根据权利要求6所述的显影方法，其特征在于，所述喷淋组件还包括与所述混合腔室连接的传动马达，

在所述喷淋出口将所述二流体呈水幕形态导出至所述待显影基板之前，所述方法还包括：

所述传动马达驱动所述混合腔室移动以调整所述喷淋出口的位置。

10.根据权利要求6所述的显影方法，其特征在于，所述混合腔室包括设置于所述喷淋出口两侧的遮挡机构，

所述喷淋出口将所述二流体呈水幕形态导出至所述待显影基板，包括：所述遮挡机构调整所述喷淋出口的开口宽度及形状。