CN108339797A - 微电子壳的清洗装置 - Google Patents

微电子壳的清洗装置 Download PDF

Info

Publication number
CN108339797A
CN108339797A CN201711464610.7A CN201711464610A CN108339797A CN 108339797 A CN108339797 A CN 108339797A CN 201711464610 A CN201711464610 A CN 201711464610A CN 108339797 A CN108339797 A CN 108339797A
Authority
CN
China
Prior art keywords
rinse bath
cleaning
rotating cylinder
microelectronics
storehouse
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201711464610.7A
Other languages
English (en)
Inventor
张良柱
倪斐
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nanjing Kang Ao Feng Automation Technology Co Ltd
Original Assignee
Nanjing Kang Ao Feng Automation Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nanjing Kang Ao Feng Automation Technology Co Ltd filed Critical Nanjing Kang Ao Feng Automation Technology Co Ltd
Priority to CN201711464610.7A priority Critical patent/CN108339797A/zh
Publication of CN108339797A publication Critical patent/CN108339797A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
    • B08B3/044—Cleaning involving contact with liquid using agitated containers in which the liquid and articles or material are placed
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
    • B08B3/10—Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
    • B08B3/10—Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration
    • B08B3/12—Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration by sonic or ultrasonic vibrations
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
    • B08B3/10—Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration
    • B08B3/14—Removing waste, e.g. labels, from cleaning liquid; Regenerating cleaning liquids

Landscapes

  • Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)

Abstract

本发明涉及一种微电子壳的清洗装置，包括支架、清洗槽、转筒，清洗槽设置在支架上，清洗槽内设有转筒，转筒由外向内分别设有清洗仓，润滑仓，清洗仓外壁均匀开有若干个孔洞，清洗槽下方设有电机，电机输出端连接转轴，转轴延伸至清洗槽内，转轴与转筒连接，所述清洗槽上端设有进水管，清洗槽内设有温度传感器、加热装置、超声波发生器，清洗槽外侧设有控制器，温度传感器、加热装置分别与控制器连接，所述清洗槽底部连接出水管，出水管下端连接净化装置，净化装置下端连接排水管，本发明解决了清洗装置清洗效果不好的问题，该清洗装置清洗完还能进行润滑。

Description

微电子壳的清洗装置
技术领域
本发明涉及一种清洗装置，尤其涉及一种微电子壳的清洗装置。
背景技术
微电子技术是随着集成电路，尤其是超大型规模集成电路而发展起来的一门新的技术。其发展的理论基础是19世纪末到20世纪30年代期间建立起来的现代物理学。
微电子技术包括系统电路设计、器件物理、工艺技术、材料制备、自动测试以及封装、组装等一系列专门的技术，微电子技术是微电子学中的各项工艺技术的总和。
微电子技术会用到微电子壳，一般的微电子壳的清洗装置清洗效果比较差，而且清洗和润滑需要两个装置。
发明内容
本发明的目的是提供一种微电子壳的清洗装置，该微电子壳的清洗装置解决了清洗装置清洗效果不好的问题，该清洗装置清洗完还能进行润滑。
为了实现上述发明目的，本发明的微电子壳的清洗装置包括支架、清洗槽、转筒，清洗槽设置在支架上，清洗槽内设有转筒，转筒由外向内分别设有清洗仓，润滑仓，清洗仓外壁均匀开有若干个孔洞，清洗槽下方设有电机，电机输出端连接转轴，转轴延伸至清洗槽内，转轴与转筒连接，所述清洗槽上端设有进水管，清洗槽内设有温度传感器、加热装置、超声波发生器，清洗槽外侧设有控制器，温度传感器、加热装置分别与控制器连接，所述清洗槽底部连接出水管，出水管下端连接净化装置，净化装置下端连接排水管。
所述加热装置为加热管。
所述电机为正反转电机。
所述净化装置由上至下依次包括过滤层、分解层、杀菌层。
采用这种微电子壳的清洗装置，具有以下优点：
1、由于清洗槽内设有转筒，清洗槽下方设有电机，电机输出端连接转轴，转轴延伸至清洗槽内，转轴与转筒连接，转筒由外向内分别设有清洗仓，润滑仓，这样在微电子壳清洗时，可以提高清洗效果，而且清洗完后，可以利用转筒进行润滑，操作起来非常方便；
2、由于清洗槽内设有温度传感器、加热装置，温度传感器、加热装置分别与控制器连接，当清洗槽内的清洗液温度高于或低于设定值范围时，由控制器控制加热装置是否工作，这样就能保证清洗液始终保持在最适宜的清洗温度，提高了清洗效果；而且使用了超声波发生器，进一步提高了清洗效果；
3、由于清洗槽底部连接出水管，出水管下端连接净化装置，净化装置下端连接排水管，这样可以对用过的清洗液进行净化处理，避免直接排放污染环境，而且可以净化处理后二次利用。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。
图1是本发明微电子壳的清洗装置的结构示意图。
其中有：1.支架；2.清洗槽；3.转筒；4.电机；5.转轴；6.清洗仓；7.进水管；8.超声波发生器；9.温度传感器；10.加热装置；11.控制器；12.出水管；13.净化装置；13.1.过滤层；13.2.分解层；13.3.杀菌层；14.排水管；15.润滑仓。
具体实施方式
图1所示微电子壳的清洗装置，包括支架、清洗槽、转筒，清洗槽设置在支架上，清洗槽内设有转筒，转筒由外向内分别设有清洗仓，润滑仓，清洗仓外壁均匀开有若干个孔洞，清洗槽下方设有电机，电机输出端连接转轴，转轴延伸至清洗槽内，转轴与转筒连接，所述清洗槽上端设有进水管，清洗槽内设有温度传感器、加热装置、超声波发生器，清洗槽外侧设有控制器，温度传感器、加热装置分别与控制器连接，所述清洗槽底部连接出水管，出水管下端连接净化装置，净化装置下端连接排水管。
所述加热装置为加热管。
所述电机为正反转电机。
所述净化装置由上至下依次包括过滤层、分解层、杀菌层。
当需要清洗时，将微电子壳放置在转筒的清洗仓内，然后启动电机，使转筒转动，当清洗液温度超过或低于设定温度时，温度传感器将温度信号传给控制器，由控制器控制是否启动或关闭加热装置，使清洗液始终保持在最适宜的温度；当硅片清洗完之后，清洗液通过出水管进入到净化装置内进行过滤、分解、杀菌处理，然后通过排水管排出，然后将微电子壳放置在转筒的润滑仓内，再次启动电机，这样减震器在润滑仓内得到了均匀的润滑。
本申请中没有详细说明的技术特征为现有技术。上述实施例仅例示性说明本申请的原理及其功效，而非用于限制本申请。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本申请的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本申请所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本申请的权利要求所涵盖。

Claims (4)

1.一种微电子壳的清洗装置，其特征在于：包括支架、清洗槽、转筒，清洗槽设置在支架上，清洗槽内设有转筒，转筒由外向内分别设有清洗仓，润滑仓，清洗仓外壁均匀开有若干个孔洞，清洗槽下方设有电机，电机输出端连接转轴，转轴延伸至清洗槽内，转轴与转筒连接，所述清洗槽上端设有进水管，清洗槽内设有温度传感器、加热装置、超声波发生器，清洗槽外侧设有控制器，温度传感器、加热装置分别与控制器连接，所述清洗槽底部连接出水管，出水管下端连接净化装置，净化装置下端连接排水管。
2.按照权利要求1所述的微电子壳的清洗装置，其特征在于：所述加热装置为加热管。
3.按照权利要求1所述的微电子壳的清洗装置，其特征在于：所述电机为正反转电机。
4.按照权利要求1所述的微电子壳的清洗装置，其特征在于：所述净化装置由上至下依次包括过滤层、分解层、杀菌层。
CN201711464610.7A 2017-12-28 2017-12-28 微电子壳的清洗装置 Pending CN108339797A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201711464610.7A CN108339797A (zh) 2017-12-28 2017-12-28 微电子壳的清洗装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201711464610.7A CN108339797A (zh) 2017-12-28 2017-12-28 微电子壳的清洗装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN108339797A true CN108339797A (zh) 2018-07-31

Family

ID=62962289

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201711464610.7A Pending CN108339797A (zh) 2017-12-28 2017-12-28 微电子壳的清洗装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN108339797A (zh)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20120001212A (ko) * 2010-06-29 2012-01-04 우먼스월드 주식회사 과일 야채 세척기용 압력조절구조
CN204953432U (zh) * 2015-08-05 2016-01-13 江苏荣马新能源有限公司 环保型硅片清洗装置
CN204953426U (zh) * 2015-08-05 2016-01-13 江苏荣马新能源有限公司 太阳能电池硅片清洗装置
CN205270205U (zh) * 2016-01-16 2016-06-01 中国人民解放军第四军医大学 一种氧气流量计底座的清洗装置
CN107511359A (zh) * 2017-09-29 2017-12-26 谷香梅 环保型硅片清洗装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20120001212A (ko) * 2010-06-29 2012-01-04 우먼스월드 주식회사 과일 야채 세척기용 압력조절구조
CN204953432U (zh) * 2015-08-05 2016-01-13 江苏荣马新能源有限公司 环保型硅片清洗装置
CN204953426U (zh) * 2015-08-05 2016-01-13 江苏荣马新能源有限公司 太阳能电池硅片清洗装置
CN205270205U (zh) * 2016-01-16 2016-06-01 中国人民解放军第四军医大学 一种氧气流量计底座的清洗装置
CN107511359A (zh) * 2017-09-29 2017-12-26 谷香梅 环保型硅片清洗装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20150135778A1 (en) Fully automatic washing machine having a laundry lifting device
CN105088643B (zh) 洗衣机排水控制方法
CN106765924B (zh) 空调器及其清洁控制方法
CN107511359A (zh) 环保型硅片清洗装置
CN204953426U (zh) 太阳能电池硅片清洗装置
CN106733869A (zh) 工件清洗干燥设备
CN104707813A (zh) 一种脱油清洗烘干一体机
CN104088111A (zh) 一种多功能波轮式洗衣机
CN207681090U (zh) 一种汽车零部件清洗设备
CN108042827A (zh) 一种运用刀片切割产生微纳米臭氧气泡水的消毒机
CN106152104A (zh) 用于熨烫和清洁设备中蒸汽发生器的除垢系统
CN108339797A (zh) 微电子壳的清洗装置
CN105312199B (zh) 一种螺丝涂油全自动生产流水线及其工艺
CN109622506A (zh) 一种超声波清洗机
CN103088605A (zh) 一种螺旋排水式单缸无套桶全自动洗衣机
CN107059328B (zh) 一种洗衣机滚筒清洁系统、方法及洗衣机
CN210546728U (zh) 一种多槽式超声波清洗机
CN207073019U (zh) 分层式洗衣机
WO2018054232A1 (zh) 一种带有清洁球的洗衣机及其控制方法
CN204953432U (zh) 环保型硅片清洗装置
CN101439337B (zh) 用于横向清洗电路板的洗涤机及其清洗方法
CN109433727A (zh) 一种新型晶片自动清洗机
CN109663784A (zh) 一种洗干一体机上的冷凝器的清洗方法及洗干一体机
CN207347665U (zh) 一种五金件脱脂装置
CN207628829U (zh) 一种环规清洗机的超声波清洗系统

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
RJ01 Rejection of invention patent application after publication
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20180731