CN108242511B - 大面积簇射头组件 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种大面积簇射头组件，其特征在于具备：背衬板，具备在腔室的上部；以及簇射头，具备在所述背衬板的下部而向基板供给气体；且所述簇射头以可实现热膨胀的方式连接到所述背衬板。本发明的大面积簇射头组件在将大型化或大面积化的簇射头连接到背衬板的情况下，可不下垂而牢固地连接，并且可容许因热膨胀引起的体积变化。

Description

大面积簇射头组件
技术领域
本发明涉及一种使用于薄膜沉积装置的大面积簇射头组件。
背景技术
最近，平面显示器广泛地用作包括个人携带终端在内的电视(Television，TV)或电脑的显示器等，这种平面显示器的种类繁多，有液晶显示器(Liquid Crystal Display，LCD)、等离子显示面板(Plasma Display Panel，PDP)及有机发光二极管(Organic LightEmitting Diodes，OLED)等。其中，称为有机发光二极管的OLED是指利用当电流流入到荧光性有机化合物时发光的电致发光现象自行发光的“自发光型有机物质”。OLED可在低电压下驱动，可制成较薄的薄型，具有宽广的视角与迅速的响应速度，因此作为可替代现有的LCD的下一代显示装置而受到青睐。
这种OLED的制造制程大致有图案(Pattern)形成制程、有机薄膜沉积制程、封装(encapsulation)制程以及贴合沉积有有机薄膜的基板与经由封装制程的基板的粘着制程等。
另一方面，作为沉积制程中的一种的化学气相沉积制程(Chemical VaporDeposition Process)为如下制程：将作为通过外部的高频电源等离子化而具有高能量的沉积物质的处理气体沉积到基板上。用以执行这种沉积制程的通常的化学气相沉积装置具备：腔室，具有在上表面装载(Loading)基板的基座；背衬板，设置到腔室内而发挥电极作用；以及簇射头，设置到背衬板的下部而发挥气体流入口的作用。
远离背衬板特定距离而配置这种簇射头，以便与背衬板之间形成相隔空间部。在簇射头的表面形成有微小尺寸的多个贯通孔。这种簇射头为了保持沉积到基板上的沉积膜的均匀度而实质上与装载有基板的基座并排配置，也适当地调节与基座的间隔。
根据这种构成，当进行沉积制程时，在处理气体从腔室的上部通过背衬板而注入到下方后，通过相隔空间部扩散，之后通过形成在簇射头的多个贯通孔而喷出，由此可在基板上形成沉积膜。
图10是表示以往技术的背衬板10与簇射头30的连接构造。如图10所示，簇射头30通过螺栓20而连接到背衬板10。然而，最近平面显示器呈大型化、大面积化的趋势，因此簇射头30也同样大面积化。
然而，在沉积制程中，簇射头30加热成相对较高的温度，由此进行热膨胀。在此情况下，大面积化的簇射头30因热膨胀引起的体积变化大于以往的簇射头。此时，如果像以往技术一样利用螺栓20等将簇射头30牢固地连接到背衬板10，则无法补偿簇射头30因热膨胀引起的体积变化，因此在热膨胀时，会导致簇射头30破损或损伤。
发明内容
[发明欲解决的课题]
本发明为了解决如上所述的问题，目的在于提供一种不使大型化或大面积化的簇射头下垂而牢固地连接到背衬板，并且可容许因热膨胀引起的体积变化的大面积簇射头组件及具备其的薄膜沉积装置。
[解决课题的手段]
通过一种大面积簇射头组件达成如上所述的本发明的目的，所述大面积簇射头组件具备：背衬板，具备在腔室的上部；以及簇射头，具备在所述背衬板的下部而向基板供给气体，且所述簇射头以可实现热膨胀的方式连接到所述背衬板。
在此情况下，所述大面积簇射头组件可具备沿所述簇射头的边缘上表面向上部延伸的延伸部，在所述背衬板具备连接部，所述连接部供所述延伸部插入而以可实现热膨胀的方式连接，支撑所述簇射头。
另外，所述连接部可在所述背衬板的侧面方向连接所述延伸部与所述背衬板。
例如，所述连接部可具备：槽部，供所述延伸部插入，具有相对大于所述延伸部的内部体积，以使所述延伸部可因所述簇射头的热膨胀而移动；以及支撑部，其端部贯通所述背衬板的侧壁而固定到所述延伸部，支撑所述延伸部以使所述延伸部可移动。
另外，所述连接部可具备：开口部，供所述延伸部贯通，相对大于所述延伸部，以使所述延伸部可因所述簇射头的热膨胀而移动；以及支撑部，其端部贯通所述背衬板的侧壁而固定到所述延伸部，支撑所述延伸部以使所述延伸部可移动。
在此情况下，所述支撑部可具备：第一支撑部，沿垂直于所述延伸部的方向紧固而导引所述延伸部因热膨胀引起的体积变化；以及第二支撑部，以预先确定的角度紧固到所述延伸部而防止所述簇射头下垂。
另外，所述支撑部可包括螺杆或螺栓，在其端部形成螺纹，贯通所述背衬板的侧壁而紧固到所述延伸部。
另一方面，所述支撑部可在其端部具备球形或曲线形的头部，在所述延伸部形成插入空间，所述插入空间的体积相对大于所述头部以供所述头部插入。
进而，所述支撑部能够以所述簇射头的中央部为中心而配置成放射状。
另一方面，可对所述背衬板施加射频(Radio Frequency，RF)电源，在所述簇射头的中央部还具备固定部，所述固定部连接所述背衬板与所述簇射头而支撑所述簇射头，将施加在所述背衬板的RF电源传输到所述簇射头。
另外，可对贯通所述开口部的所述延伸部施加RF电源。
另一方面，所述连接部还可具备间隔调节单元，所述间隔调节单元可调节所述簇射头与所述基板之间的间隔。
在此情况下，所述间隔调节单元可包括螺杆或螺丝，贯通所述簇射头的下表面而紧固到所述背衬板。
[发明的效果]
根据具有上述构成的本发明，在将大型化或大面积化的簇射头连接到背衬板的情况下，可不下垂而牢固地连接，并且可容许因热膨胀引起的体积变化。
附图说明
图1是表示本发明的一实施例的大面积簇射头组件的立体图。
图2是表示图1中的背衬板的下表面的俯视图。
图3是沿图1的“III-III”线观察的侧剖面图。
图4是沿图1的“IV-IV”线观察的横剖面图。
图5是表示支撑部的其他实施例的图。
图6是表示本发明的其他实施例的大面积簇射头组件的立体图。
图7是图6的分解立体图。
图8是沿图6的“VIII-VIII”线观察的侧剖面图。
图9是沿图6的“IX-IX”线观察的横剖面图。
图10是表示以往技术的簇射头与背衬板的连接构造的图。
具体实施方式
以下，参照附图，详细地对本发明的实施例的大面积簇射头组件进行说明。
图1是表示本发明的一实施例的大面积簇射头组件2000的立体图。
参照图1，所述大面积簇射头组件2000具备：背衬板2100，具备在腔室(未图示)的上部；以及簇射头2300，具备在所述背衬板2100的下部而向基板(未图示)供给处理气体；且所述簇射头2300以可实现热膨胀的方式连接到所述背衬板2100。
所述簇射头2300因大面积化而重量增加，因此重要的是不下垂而连接到所述背衬板2100。另外，所述簇射头2300在沉积制程中加热成高温，因此需以可实现因热膨胀引起的体积变化的方式连接到所述背衬板2100。
为此，所述大面积簇射头组件2000具备沿所述簇射头2300的边缘上表面向上部延伸的延伸部2310A、2310B、2310C、2310D，在所述背衬板2100具备连接部2200，所述连接部2200供所述延伸部2310A、2310B、2310C、2310D插入而以可实现热膨胀的方式连接，支撑所述簇射头2300(参照图3)
图2是表示图1中的所述背衬板2100的下表面的图。
参照图1及图2，所述连接部2200在所述背衬板2100的侧面方向连接所述延伸部2310A、2310B、2310C、2310D与所述背衬板2100。即，本实施例的大面积簇射头组件2000在将所述簇射头2300连接到所述背衬板2100的情况下，以可补偿因热膨胀引起的体积变化的方式连接。在考虑到这个方面时，在所述背衬板2100的侧面方向紧固所述连接部2200的情况较为有利，而并非像以往一样从下部向上部沿垂直方向紧固。以下，具体地进行说明。
所述连接部2200具备：槽部2110A、2110B、2110C、2110D，供所述延伸部2310A、2310B、2310C、2310D插入，具有相对大于所述延伸部2310A、2310B、2310C、2310D的内部体积，以可使所述延伸部2310A、2310B、2310C、2310D因所述簇射头2300的热膨胀而移动；以及支撑部2190、2192、2194，其端部贯通所述背衬板2100的侧壁2102(参照图3)而固定到所述延伸部2310A、2310B、2310C、2310D，支撑所述延伸部2310A、2310B、2310C、2310D以使其可移动。支撑部可以被分成第一支撑部2190和第二支撑部2192、2194。
所述簇射头2300具备沿边缘按照预先确定的高度延伸形成的延伸部2310A、2310B、2310C、2310D。如图所示，所述延伸部2310A、2310B、2310C、2310D可沿所述簇射头2300的边缘形成多个而向上部延伸形成。在所述延伸部2310A、2310B、2310C、2310D形成紧固所述第一支撑部2190、第二支撑部2192和2194的第一紧固孔2330。
所述延伸部2310A、2310B、2310C、2310D分别插入连接到形成在所述背衬板2100的下表面的槽部2110A、2110B、2110C、2110D。此时，所述延伸部2310A、2310B、2310C、2310D以如下方式连接到所述槽部2110A、2110B、2110C、2110D：在所述簇射头2300热膨胀的情况下，可实现因热膨胀引起的移动。
图3是图1的大面积簇射头组件2000的侧剖面图，表示所述延伸部2310C与槽部2110C的连接构造。
参照图3，所述簇射头2300的延伸部2310C分别插入到形成在所述背衬板2100的下表面的槽部2110C。此时，所述第一支撑部2190贯通形成在所述背衬板2100的侧壁2102的第一贯通孔2130，紧固到形成在所述延伸部2310C的第一紧固孔2330而将所述簇射头2300固定到所述背衬板2100。
所述第一支撑部2190可由螺栓或螺杆等形成，此时，如图3所示，仅在所述第一支撑部2190的端部形成螺纹2191而贯通所述背衬板2100的第一贯通孔2130来紧固到所述延伸部2310C。
即，所述第一支撑部2190并非紧固到形成在所述背衬板2100的侧壁2102的第一贯通孔2130，而仅是贯通穿过，其紧固到形成在所述延伸部2310C的第一紧固孔2330。因此，所述第一支撑部2190支承所述簇射头2300的重量而连接到所述背衬板2100，进而连接所述延伸部2310C以使其可移动。
即，在所述簇射头2300热膨胀而所述延伸部2310C移动的情况下，所述第一支撑部2190呈未紧固到所述第一贯通孔2130的状态，因此所述延伸部2310C可在所述槽部2110C的内侧移动。
在此情况下，能够以相对大于所述延伸部2310C的体积的方式形成所述槽部2110C的内部体积。即，可较所述延伸部2310C的体积更大地形成所述槽部2110C的内部体积，以便提供可供所述延伸部2310C移动的充裕空间。
例如，如图3所示，在所述簇射头2300的延伸部2310C分别插入到形成在所述背衬板2100的下表面的槽部2110C的情况下，在所述延伸部2310C的外侧面与所述槽部2110C的内侧面之间形成如第一相隔距离d1的特定的充裕空间。因此，在所述簇射头2300热膨胀而所述延伸部2310C移动的情况下，可在形成在所述槽部2110C的内侧的充裕空间内移动。
另外，所述第一支撑部2190的端部呈紧固在所述延伸部2310C的状态，因此在为了进行维护而从腔室分离本实施例的大面积簇射头组件2000并翻转的情况下，可防止所述簇射头2300从所述背衬板2100分离。
在所述图3的说明中，仅对一个延伸部2310C与槽部2110C进行说明，但这种说明也可应用到其他延伸部2310A、2310B、2310D及槽部2110A、2110B、2110D。
另一方面，在本实施例中，对所述背衬板2100施加RF电源，在所述簇射头2300的中央部还具备固定部2120，所述固定部2120连接所述背衬板2100与所述簇射头2300而支撑所述簇射头2300，将施加在所述背衬板2100的RF电源传输到所述簇射头2300。
所述固定部2120连接所述簇射头2300的中央部与所述背衬板2100而防止所述簇射头2300的中央部下垂。此时，在所述簇射头2300热膨胀的情况下，所述簇射头2300的中央部因热膨胀引起的变形相对微弱，因此可像以往一样利用螺栓等紧固所述固定部2120。
另一方面，本实施例的所述背衬板2100与簇射头2300的连接部2200可具备间隔调节单元2196，所述间隔调节单元2196可调节所述簇射头2300与下方的基板之间的间隔。
所述间隔调节单元2196可包括螺杆等螺丝。此时，所述间隔调节单元2196贯通所述簇射头2300的下表面而紧固到所述背衬板2100的侧壁2102。
具体而言，沿垂直于所述背衬板2100的侧壁2102的下端部的方向形成第二紧固孔2101，在所述簇射头2300形成第二贯通孔2301。即，所述间隔调节单元2196贯通所述第二贯通孔2301而仅紧固连接到所述第二紧固孔2101。在此情况下，所述第二贯通孔2301可像图中所示一样以具有广于间隔调节单元2196的内部空间的方式沿水平方向形成为长孔形态，以便可实现所述簇射头2300因热膨胀引起的体积变化。由此，在所述簇射头2300热膨胀的情况下，也可因所述第二贯通孔2301的内部充裕空间而不与所述间隔调节单元2196干涉地实现体积变化。
另一方面，在为了将所述间隔调节单元2196紧固到所述第二紧固孔2101而拧紧的情况下，通过所述间隔调节单元2196而所述簇射头2300向上侧移动。此时，所述背衬板2100的侧壁2102的下端面2103与所述簇射头2300的上端面2302相隔预先确定的间隔，在所述延伸部2310C的上端面与所述槽部2110C的顶板之间形成如第二相隔距离d2的充裕空间。因此，所述簇射头2300可不与所述背衬板2100干涉而上升。如果放松所述间隔调节单元2196，则所述簇射头2300下降。
因此，通过拧紧或放松所述间隔调节单元2196的动作，可使所述簇射头2300与基板之间的距离变窄，相反地，也可使所述距离变宽。
此时，供所述第一支撑部2190插入的所述背衬板2100的第一贯通孔2130可形成为长孔形态，以便可实现通过所述间隔调节单元2196进行的间隔调节。另外，在如图3的构造中，由所述第一支撑部2190与所述间隔调节单元2196分散支撑所述簇射头2300的重量，因此可稳定地支撑所述簇射头2300。
参照图1及图4，所述第一贯通孔2130沿垂直方向形成为较长地延伸的长孔形态。因此，在使所述间隔调节单元2196旋转的情况下，以可沿长孔形态的第一贯通孔2130上下移动特定长度的方式构成所述第一支撑部2190和第二支撑部2192、2194。
因此，在设置安装有本发明的大面积簇射头组件的薄膜沉积装置的情况下，可通过调节所述间隔调节单元2196而调节所述簇射头2300与基板之间的距离。进而，在长期使用所述薄膜沉积装置后需重新调整所述簇射头2300与基板之间的距离的情况下，可通过调节所述间隔调节单元2196而容易地实现间隔调节。
另一方面，在所述簇射头2300在沉积制程中因高温而热膨胀的情况下，以所述簇射头2300的中央部为中心而大致变形成放射状。因此，优选为沿所述簇射头2300的热膨胀方向配置所述第一支撑部2190和第二支撑部2192、2194。
图4是所述大面积簇射头组件2000的横剖面图。为了便于说明，在图4中，对将一个延伸部2310C连接到一个槽部2110C的支撑部进行说明。
在所述第一支撑部2190与第二支撑部2192、2194将所述延伸部2310C以可移动的方式连接到所述槽部2110C的情况下，以所述簇射头2300的中央部C为中心而配置成放射状。
例如，沿从所述簇射头2300的中央部C沿半径方向延伸成放射状的假想线配置所述第一支撑部2190与第二支撑部2192、2194。因此，在所述簇射头2300因热膨胀而以所述中央部C为中心变形成放射状的情况下，可防止所述延伸部2310C因所述第一支撑部2190与第二支撑部2192、2194而破损或变形。
另一方面，所述第一支撑部2190与第二支撑部2192、2194在所述簇射头2300热膨胀的情况下，一并发挥导引因热膨胀引起的体积变化的作用与防止所述簇射头2300下垂的作用，但主要作用存在差异。
即，对所述第一支撑部2190与第二支撑部2192、2194进行说明，所述第一支撑部2190是沿垂直于所述延伸部2310C的方向紧固，所述第二支撑部2192、2194是以预先确定的角度紧固到所述延伸部2310C。因此，可以说所述第一支撑部2190的主要作用为在所述簇射头2300热膨胀的情况下导引因热膨胀引起的体积变化，且可以说所述第二支撑部2192、2194的作用为防止所述簇射头2300下垂。
在上述说明中，仅对将一个延伸部2310C连接到一个槽部2110C的第一支撑部2190和第二支撑部2192、2194进行了说明，但并不限定于此，也可相同地形成将其余延伸部2310A、2310B、2310D连接到槽部2110A、2110B、2110D的支撑部的构成。
另一方面，在所述簇射头2300因热膨胀而变形的情况下，沿横向及纵向均可变形。因此，当在所述延伸部2310A、2310B、2310C、2310D的外侧面与所述槽部2110A、2110B、2110C、2110D的内侧面之间形成相隔距离时，可连同第三相隔距离d3一并形成第四相隔距离d4。因此，在一个延伸部在一个槽部内进行因热膨胀引起的移动的情况下，沿纵向及横向均可移动。
图5是表示支撑部的其他实施例的图。
在上述实施例的情况下，簇射头通过支撑部而连接到背衬板，以便可补偿簇射头因热膨胀引起的体积变化。此时，所述支撑部呈如下构造：构成为螺杆等形态而螺杆的螺纹紧固到簇射头的延伸部。在此情况下，在簇射头发生因热膨胀引起的体积变化的情况下，应力会集中到紧固有所述螺杆的螺纹的区域，所述应力会导致螺杆和/或簇射头的延伸部变形或破损。进而，在簇射头不仅沿水平方向热膨胀，而且也沿垂直方向热膨胀的情况下，上述实施例不易补偿垂直方向的体积变化。以下，对可解决这种问题的连接构造进行说明。
参照图5，本实施例的支撑部3190在其端部具备球形或曲线形的头部3192。进而，在所述簇射头2300的延伸部2310C的第一紧固孔2330形成插入空间2332，所述插入空间2332的内部体积相对大于所述头部3192以供所述头部3192插入。
因此，本实施例以可在所述延伸部2310C的第一紧固孔2330内部的插入空间2332实现特定的移动的方式配置所述支撑部3190的头部3192。其结果，在所述簇射头2300沿水平方向或垂直方向中的任一方向热膨胀的情况下，所述延伸部2310C与支撑部3190均可补偿因热膨胀引起的体积变化。
在此情况下，间隔调节单元2196、第二贯通孔2301、第二紧固孔2101、长孔形态的第一贯通孔2130与上述实施例相似，因此省略重复的说明。
另一方面，图5的支撑部的构成不仅可应用到上述实施例，而且也可应用到下文叙述的实施例。
图6是表示本发明的其他实施例的大面积簇射头组件1000的结合立体图，图7是图6的分解立体图。
参照图6及图7，所述大面积簇射头组件1000具备：背衬板100，具备在腔室(未图示)的上部；以及簇射头300，具备在所述背衬板100的下部而向基板(未图示)供给处理气体；且所述簇射头300以可实现热膨胀的方式连接到所述背衬板100。
为此，所述大面积簇射头组件1000具备沿所述簇射头300的边缘上表面向上部延伸的延伸部310A、310B、310C、310D，在所述背衬板100具备连接部200，所述连接部200供所述延伸部310A、310B、310C、310D插入而以可实现热膨胀的方式连接，支撑所述簇射头300(参照图8)。
所述连接部200具备：开口部110A、110B、110C、110D，供所述延伸部310A、310B、310C、310D贯通，相对大于所述延伸部310A、310B、310C、310D，以可使所述延伸部310A、310B、310C、310D因所述簇射头300的热膨胀而移动；以及支撑部190、192、194，其端部贯通所述背衬板100的侧壁102(参照图8)而固定到所述延伸部310A、310B、310C、310D，支撑所述延伸部310A、310B、310C、310D以使其可移动。支撑部可以被分成第一支撑部190和第二支撑部192、194。
所述簇射头300具备沿边缘按照预先确定的高度延伸形成的延伸部310A、310B、310C、310D。如图所示，所述延伸部310A、310B、310C、310D可沿所述簇射头300的边缘形成多个而向上部延伸形成。在所述延伸部310A、310B、310C、310D形成紧固所述第一支撑部190和第二支撑部192、194的第三紧固孔330。
所述延伸部310A、310B、310C、310D分别插入连接到沿垂直方向贯通所述背衬板100而形成的开口部110A、110B、110C、110D。此时，所述延伸部310A、310B、310C、310D以如下方式连接到所述开口部110A、110B、110C、110D：在所述簇射头300热膨胀的情况下，可实现因热膨胀引起的移动。
图8是图6的大面积簇射头组件1000的侧剖面图，表示所述延伸部310C与开口部110C的连接构造。
参照图8，所述簇射头300的延伸部310C分别插入到所述背衬板100的开口部110C。此时，所述第一支撑部190贯通形成在所述背衬板100的侧壁102的第三贯通孔130，紧固到形成在所述延伸部310C的第三紧固孔330而将所述簇射头300固定到所述背衬板100。
所述第一支撑部190可由螺栓或螺杆等形成，此时，如图8所示，可仅在所述支撑部190的端部形成螺纹191。即，所述第一支撑部190并非紧固到形成在所述背衬板100的侧壁102的第三贯通孔130，而仅是贯通穿过，其紧固到形成在所述延伸部310C的第三紧固部330。因此，所述第一支撑部190支承所述簇射头300的重量而连接到所述背衬板100，进而连接所述延伸部310C以使其可移动。
在此情况下，能够以相对大于所述延伸部310C的体积的方式形成所述开口部110C。即，可较所述延伸部310C的体积更大地形成所述开口部110C，以便可提供可供所述延伸部310C移动的充裕空间。
例如，如图8所示，在所述簇射头300的延伸部310C分别插入在所述背衬板100的开口部110C的情况下，在所述延伸部310C的外侧面与所述开口部110C的内侧面之间形成如第五相隔距离d5的特定的充裕空间。因此，在所述簇射头100热膨胀而所述延伸部310C移动的情况下，可在所述开口部110C的充裕空间之间移动。
另一方面，与上述实施例不同，本实施例直接对所述簇射头300施加RF电源，而并非对所述背衬板100施加RF电源。
具体而言，直接对贯通所述开口部110A、110C的所述延伸部310A、310C的末端部施加RF电源。在此情况下，与上述实施例不同，不经由所述背衬板100而直接对所述簇射头300施加RF电源，因此RF电源的传输效率相对变高。另外，通过所述延伸部310A、310C的末端部的端面进行供给，因此可更有效率地供给RF电源。
另一方面，在本实施例的情况下，也可具备间隔调节单元196。
具体而言，沿垂直于所述背衬板100的侧壁102的下端部的方向形成第四紧固孔101，在所述簇射头300形成第四贯通孔301。即，所述间隔调节单元196贯通所述第四贯通孔301而仅紧固连接到所述第四紧固孔101。在此情况下，所述第四贯通孔301可像图中所示一样以具有广于间隔调节单元196的内部空间的方式沿水平方向形成为长孔形态，以便可实现所述簇射头300因热膨胀引起的体积变化。由此，在所述簇射头300热膨胀的情况下，也可通过所述第四贯通孔301的内部充裕空间而不与所述间隔调节单元196干涉地实现体积变化。
另一方面，在为了将所述间隔调节单元196紧固到所述第四紧固孔101而拧紧的情况下，所述簇射头300因所述间隔调节单元196而向上侧移动。此时，所述背衬板100的侧壁102的下端面103与所述簇射头300的上端面302相隔预先确定的间隔。因此，所述簇射头300可不与所述背衬板100干涉而上升。如果放松所述间隔调节单元196，则所述簇射头300下降。
因此，通过拧紧或放松所述间隔调节单元196的动作，可使所述簇射头300与基板之间的距离变窄，相反地，也可使上述距离变宽。
另外，供所述第一支撑部190插入的所述背衬板100的第三贯通孔130可形成为长孔形态，以便可实现通过所述间隔调节单元196进行的间隔调节。
进而，沿所述簇射头300的热膨胀方向配置所述第一支撑部190的情况与上述实施例相似。
图9是所述大面积簇射头组件1000的横剖面图。为了便于说明，在图9中，仅对将一个延伸部310C连接到一个开口部110C的第一支撑部190和第二支撑部192、194进行说明。
参照图9，在所述第一支撑部190和第二支撑部192、194将所述延伸部310C以可移动的方式连接到所述开口部110C的情况下，以所述簇射头300的中央部C为中心而配置成放射状。
例如，沿从所述簇射头300的中央部C沿半径方向延伸成放射状的假想线配置所述第一支撑部190与第二支撑部192、194。因此，在所述簇射头300因热膨胀而以所述中央部C为中心变形成放射状的情况下，可防止所述延伸部310C因所述第一支撑部190与第二支撑部192、194而破损或变形。
另一方面，所述第一支撑部190与第二支撑部192、194在所述簇射头300热膨胀的情况下，一并发挥导引因热膨胀引起的体积变化的作用与防止所述簇射头300下垂的作用，但主要作用存在差异。
即，对所述第一支撑部190与第二支撑部192、194进行说明，第一支撑部190是沿垂直于所述延伸部310C的方向紧固，所述第二支撑部192、194是以预先确定的角度紧固到所述延伸部310C。因此，可以说所述第一支撑部190的主要作用为在所述簇射头300热膨胀的情况下导引因热膨胀引起的体积变化，且可以说所述第二支撑部192、194的作用为防止所述簇射头300下垂。
在上述说明中，仅对将一个延伸部310C连接到一个开口部110C的第一支撑部190与第二支撑部192、194进行了说明，但并不限定于此，也可相同地形成将其余延伸部310A、310B、310D连接到开口部110A、110B、110D的支撑部的构成。
另一方面，在所述簇射头300因热膨胀而变形的情况下，沿横向及纵向均可变形。因此，当在所述延伸部310A、310B、310C、310D的外侧面与所述开口部110A、110B、110C、110D的内侧面之间形成相隔距离时，可连同第六相隔距离d6一并形成第七相隔距离d7。因此，在一个延伸部在一个开口部内进行因热膨胀引起的移动的情况下，沿纵向及横向均可移动。
以上，参照本发明的优选实施例进行了说明，但本技术领域的技术人员可在不脱离随附的权利要求中所记载的本发明的思想及领域的范围内，对本发明实施各种修正及变更。因此，如果变形的实施基本上包括本发明的权利要求中的构成要素，则应视为均包括在本发明的技术范畴内。

Claims (9)

1.一种大面积簇射头组件，其特征在于，包括：
背衬板，具备在腔室的上部；
簇射头，具备在所述背衬板的下部而向基板供给气体，且所述簇射头以可实现热膨胀的方式连接到所述背衬板；以及
连接部，连接所述簇射头与所述背衬板，其中
所述簇射头具备沿所述簇射头的上表面边缘向上延伸的延伸部，所述延伸部插入所述连接部，并且以可实现热膨胀的方式连接所述连接部，以支撑所述簇射头，所述连接部包括：
供所述延伸部插入的槽部或开口部，所述槽部或开口部的容积大于所述延伸部的尺寸，以容纳所述延伸部并允许所述簇射头的热膨胀；以及
支撑部，具备未固定于所述背衬板的侧壁的端部，并且所述端部贯通所述背衬板的所述侧壁而固定到所述延伸部，以支撑所述延伸部。
2.根据权利要求1所述的大面积簇射头组件，其特征在于，
所述支撑部具备：第一支撑部，沿垂直于所述延伸部的方向紧固而导引所述延伸部因热膨胀引起的体积变化；以及第二支撑部，以预先确定的角度紧固到所述延伸部而防止所述簇射头下垂。
3.根据权利要求1所述的大面积簇射头组件，其特征在于，
所述支撑部包括螺杆或螺栓，在其端部形成螺纹，贯通所述背衬板的侧壁而紧固到所述延伸部。
4.根据权利要求1所述的大面积簇射头组件，其特征在于，
所述支撑部在其端部具备球形或曲线形的头部，在所述延伸部形成插入空间，所述插入空间的体积相对大于所述头部以供所述头部插入。
5.根据权利要求1所述的大面积簇射头组件，其特征在于，
所述支撑部以所述簇射头的中央部为中心而配置成放射状。
6.根据权利要求1所述的大面积簇射头组件，其特征在于，
对所述背衬板施加射频电源，
在所述簇射头的中央部还具备固定部，所述固定部连接所述背衬板与所述簇射头而支撑所述簇射头，将施加在所述背衬板的所述射频电源传输到所述簇射头。
7.根据权利要求1所述的大面积簇射头组件，其特征在于，
对贯通所述开口部的所述延伸部施加射频电源。
8.根据权利要求1所述的大面积簇射头组件，其特征在于，
所述连接部还具备间隔调节单元，所述间隔调节单元可调节所述簇射头与所述基板之间的间隔。
9.根据权利要求8所述的大面积簇射头组件，其特征在于，
所述间隔调节单元包括螺杆或螺丝，贯通所述簇射头的下表面而紧固到所述背衬板。
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