CN108214952A - 一种全自动分布式多晶硅开方机及开方方法 - Google Patents
一种全自动分布式多晶硅开方机及开方方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN108214952A CN108214952A CN201711440457.4A CN201711440457A CN108214952A CN 108214952 A CN108214952 A CN 108214952A CN 201711440457 A CN201711440457 A CN 201711440457A CN 108214952 A CN108214952 A CN 108214952A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- cutting
- evolution
- full
- cut surface
- several
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 36
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 title claims abstract description 35
- 238000009412 basement excavation Methods 0.000 title claims abstract description 26
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 26
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims abstract description 105
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 66
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 claims abstract description 49
- 239000010432 diamond Substances 0.000 claims abstract description 49
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 36
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 36
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 35
- 239000004575 stone Substances 0.000 claims description 15
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims description 3
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 2
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000011435 rock Substances 0.000 claims 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 5
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 5
- 229920000297 Rayon Polymers 0.000 description 4
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 4
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 241001391944 Commicarpus scandens Species 0.000 description 1
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 235000013312 flour Nutrition 0.000 description 1
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 1
- 238000003801 milling Methods 0.000 description 1
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 230000001172 regenerating effect Effects 0.000 description 1
- 150000003376 silicon Chemical class 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/04—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools
- B28D5/045—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools by cutting with wires or closed-loop blades
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
- B28D5/0082—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material for supporting, holding, feeding, conveying or discharging work
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Abstract
本发明属于多晶硅开方领域，公开了一种全自动分布式多晶硅开方机及开方方法。该开方机包括机架、第一切割室、起升反转装置和第二切割室；第一切割室包括水平多线切割机构，是单条金刚石切割线由若干个第一导轮张紧、与各个第一导轮对应设置的若干个第一切割轮走线而形成在水平向上相互平行的第一个切割面；第二切割室包括竖直多线切割机构，是单条金刚石切割线由若干个第二导轮张紧、与各个第二导轮对应设置的若干个第二切割轮走线形成在竖直向上相互平行的第二个切割面。该开方机和方法可以用自动化替代了人工操作，提高了开方效率，而且整个工艺能够实现全自动化，使该工艺的工业化生产更为可能。
Description
技术领域
本发明涉及多晶硅开方设备，特别涉及一种全自动分布式多晶硅开方机及开方方法。
背景技术
目前，随着社会对绿色可再生能源利用的重视和开放，光伏太阳能发电领域越来越得到重视和发展。光伏太阳能发电领域中，通常的晶体硅太阳能电池是在高质量硅片上制成的，这种硅片从提拉或浇铸的硅棒后通过多线锯切割而成。现有硅片的制作流程，一般是将单晶硅或多晶硅原料通过开方机进行开方，使得硅棒整体呈类矩形；开方完毕后，对硅棒进行磨面、滚圆及抛光等处理；最后，再采用多线切片机对开方后的硅棒进行切片。
在现有多晶硅锭的开方作业中，开方机的切割室内的线网布局基本均是“井”字形切割，在多晶锭正上方通过导轮将金刚线布成网状，然后对多晶锭自上而下一次性进行切割成所需的小晶柱。该开方方式在开方之前需要粘胶紧固后开始切割，硅棒开方后需脱胶处理，大大降低了开方效率，粘胶、脱胶工序需人工操作；由于从晶锭的正上方进刀，线网的跨度大，造成的线弓就非常大，使得拉线弓的时间加大，从而使得切割效率低下，大跨度的线网又容易在切割表面留下划痕，增加后续工作量；另外，所用的金刚线较细，跨过几十个导轮，往复运动容易造成断线，一旦断线，换线难度大，耗时；由于要布成网状线网，需要金刚线多次换向，这样容易引起金刚线往复运动时切割了导向轮，使得导向轮和金刚石切割线的消耗大大提高，减少了他们的使用寿命，大大的增加了使用成本；因为各个工艺的局限性导致了该工艺无法实现全自动化，限制了该工艺的工业化生产。因此，综上所述，提供一种线网跨度小、金刚线不易断线、减少导向轮和金刚石切割线的消耗的晶硅开方机及开方方法，具有重要意义。
发明内容
为了解决现有技术中的多晶硅开方机及开方工艺需要粘胶和脱胶、存在线网跨度大、金刚线易断线、导向轮数量多、金刚石切割线消耗大以及无法实现全自动化生产的问题，本发明提供了一种全自动分布式多晶硅开方机。
为了解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案：
一种全自动分布式多晶硅开方机，包括机架、第一切割室、起升反转装置和第二切割室，第一切割室和起升反转装置安装在机架横梁上，第二切割室安装在机架底座上；其中，第一切割室包括水平多线切割机构，是单条金刚石切割线由若干个第一导轮张紧、与各个第一导轮对应设置的若干个第一切割轮走线而形成在水平向上相互平行的第一个切割面，该切割面上的金刚石切割线在同一水平面上；第二切割室包括竖直多线切割机构，是单条金刚石切割线由若干个第二导轮张紧、与各个第二导轮对应设置的若干个第二切割轮走线形成在竖直向上相互平行的第二个切割面，该切割面上的金刚石切割线在同一竖直面上。
本发明提供的位于水平多线切割机构两端的其中一个第一切割轮均与伺服驱动电机连接；位于竖直多线切割机构两端的其中一个第二切割轮均与伺服驱动电机连接，伺服电机驱动切割轮转动，保证金刚石切割线的正常运行。
作为优选，第一个切割面上的金刚石切割线之间的线距相等，第二个切割面上的金刚石切割线之间的线距相等。
作为优选，开方机还包括多晶硅的运输机构、机械手装置及周转机构。
采用运输机构将多晶硅运输到第一切割工位，通过气缸夹紧定位多晶硅锭，采用水平多线切割机构对多晶硅进行第一次纵向单向开方；
作为优选，起升反转装置包括安装在机架横梁上的桁架机构、导轨丝杠机构、夹持机构和旋转机构，桁架机构与导轨丝杠机构连接，导轨丝杠机构与夹持机构连接，夹持机构为一直角支架，直角支架的水平支架和竖直之间通过连接轴连接，水平支架与旋转机构连接。
当桁架机构通过导轨导向将直角型支架移动到单条硅碇底部插起，运送到第二切割工位处落下，旋转机构通过旋转气缸或电机，将支架旋转90°将长条硅碇平放，通过夹紧气缸压住硅碇，然后对长条晶锭第二次横向单向开方。
本发明还提供了一种全自动分布式多晶硅开方方法，具体包括以下步骤：
(7.1)采用运输机构将多晶硅运输到第一切割工位，通过气缸夹紧定位多晶硅锭，采用水平多线切割机构对多晶硅进行第一次纵向单向开方；
水平多线切割机构是单条金刚石切割线由若干个第一导轮张紧、与第一导轮对应设置的若干个第一切割轮走线而形成在水平向上相互平行的切割面，该切割面上的金刚石切割线在同一水平面上且金刚石线之间的间距相等；水平多线切割机构两端的一个第一切割轮均与伺服驱动电机连接。
(7.2)用桁架机械手将单向开方完成的硅碇运送到周转工位上，通过翻转机构将第一次开方完成的多条长条形硅碇中的单条硅锭，通过起升翻转机构翻转90°放置到第二切割工位上，
(7.3)通过气缸夹紧定位长条硅碇，采用竖直多线切割机构对单条硅锭进行第二次横向单向开方，然后通过机械手将开方完成的硅碇周转到放料区，依次循环切割；
所述竖直多线切割机构是由单条金刚石切割线由若干个第二导轮张紧、与第二导轮对应设置的若干个第二切割轮走线形成在竖直向上相互平行的第二个切割面，该切割面上的金刚石切割线在同一竖直面上金刚石线之间的间距相等；位于竖直多线切割机构两端的一个第二切割轮均与伺服驱动电机连接。
与现有技术相比，本发明提供的一种全自动分布式多晶硅开方机及开方方法，具有以下技术效果：(1)本发明提供的开方形式为两工位，流水线式开方，为后续的整理机加工工序实现开方-截断-磨抛的机械化操作，大幅度提高效率，减少人工使用成本；(2)线网跨度小，事线弓变小，拉线工的时间减少，提高了开方机的切割效率；(3)小跨度的线网不容易在切割表面留下划痕，减少了后续的工作量；(4)金刚线不需要跨过几十个导轮，不需要往复运动也不容易造成断线；(5)金刚石切割线无需多次换向，导向轮和金刚石切割线的消耗大大减小，增加了它们的使用寿命，减少了使用成本；(6)无需使用粘胶，开方之后也无需进行脱胶处理，用自动化替代了人工操作，提高了开方效率，而且整个工艺能够实现全自动化，使该工艺的工业化生产更为可能。
附图说明
图1为本发明所提供的全自动分布式多晶硅开方机的侧视图；
图2为本发明所提供的全自动分布式多晶硅开方机的俯视图；
图3为本发明所提供的水平多线切割机构的俯视图；
图4为本发明所提供的水平多线切割机构的侧视图；
图5为本发明所提供的竖直多线切割机构的侧视图。
具体实施方式
本发明公开了一种全自动分布式多晶硅开方机及开方方法，本领域技术人员可以借鉴本文内容，适当改进工艺参数或零部件来实现。特别需要指出的是，所有类似的替换和改动对本领域技术人员来说是显而易见的，它们都被视为包括在本发明当中。本发明的方法及应用已经通过较佳实施例进行了描述，相关人员明显能在不脱离本发明内容、精神和范围内对本文所述的方法和应用进行改动或适当变更与个合，来实现和应用本发明技术。
为了使本领域技术人员能够更好的理解本发明，下面结合具体实施方式和附图对本发明作进一步的详细说明。
实施例1
如图1-5所示，一种全自动分布式多晶硅开方机，包括机架、第一切割室3、起升反转装置4、第二切割室5、多晶硅的运输机构10、机械手装置及周转机构11，第一切割室3和起升反转装置4安装在机架1的横梁上，第二切割室5安装在机架1底座上；其中，第一切割室3包括水平多线切割机构，是单条金刚石切割线由若干个第一导轮31张紧、与各个第一导轮对应设置的若干个第一切割轮32走线而形成在水平向上相互平行的第一个切割面，该切割面上的金刚石切割线8在同一水平面上且金刚石切割线之间的线距相等；第二切割室5包括竖直多线切割机构，是单条金刚石切割线由若干个第二导轮51张紧、与各个第二导轮对应设置的若干个第二切割轮52走线形成在竖直向上相互平行的第二个切割面，该切割面上的金刚石切割线8在同一竖直面上且金刚石切割线之间的线距相等；位于水平多线切割机构两端的其中一个第一切割轮均与伺服驱动电机9连接，位于竖直多线切割机构两端的其中一个第二切割轮均与伺服驱动电机9连接；起升反转装置4包括安装在机架1横梁上的桁架机构41、导轨丝杠机构42、夹持机构43和旋转机构44，桁架机构41与导轨丝杠机构42连接，导轨丝杠机构42与夹持机构43连接，夹持机构43为一直角支架，直角支架的水平支架和竖直之间通过连接轴连接，水平支架与旋转机构44连接。
实施例2
(7.1)采用运输机构将多晶硅运输到第一切割工位，通过气缸夹紧定位多晶硅锭，采用水平多线切割机构对多晶硅进行第一次纵向单向开方；
水平多线切割机构是单条金刚石切割线由若干个第一导轮张紧、与第一导轮对应设置的若干个第一切割轮走线而形成在水平向上相互平行的切割面，该切割面上的金刚石切割线在同一水平面上且金刚石线之间的间距相等；位于水平多线切割机构两端的第一个切割轮中的一个切割轮与伺服驱动电机连接。
(7.2)用桁架机械手将单向开方完成的硅碇运送到周转工位上，通过翻转机构将第一次开方完成的多条长条形硅碇中的单条硅锭，通过起升翻转机构翻转90°放置到第二切割工位上，
(7.3)通过气缸夹紧定位长条硅碇，采用竖直多线切割机构对单条硅锭进行第二次横向单向开方，然后通过机械手将开方完成的硅碇周转到放料区，依次循环切割；
所述竖直多线切割机构是由单条金刚石切割线由若干个第二导轮张紧、与第二导轮对应设置的若干个第二切割轮走线形成在竖直向上相互平行的第二个切割面，该切割面上的金刚石切割线在同一竖直面上金刚石线之间的间距相等；位于竖直多线切割机构两端的第二个切割轮个中的一个切割轮与伺服驱动电机连接。
以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。
Claims (9)
1.一种全自动分布式多晶硅开方机，其特征在于，包括机架、第一切割室、起升反转装置和第二切割室，第一切割室和起升反转装置安装在机架横梁上，第二切割室安装在机架底座上；其中，第一切割室包括水平多线切割机构，是单条金刚石切割线由若干个第一导轮张紧、与各个第一导轮对应设置的若干个第一切割轮走线而形成在水平向上相互平行的第一个切割面，该切割面上的金刚石切割线在同一水平面上；第二切割室包括竖直多线切割机构，是单条金刚石切割线由若干个第二导轮张紧、与各个第二导轮对应设置的若干个第二切割轮走线形成在竖直向上相互平行的第二个切割面，该切割面上的金刚石切割线在同一竖直面上。
2.如权利要求1所述的全自动分布式多晶硅开方机，其特征在于，位于水平多线切割机构两端的一个第一切割轮均与伺服驱动电机连接。
3.如权利要求1所述的全自动分布式多晶硅开方机，其特征在于，位于竖直多线切割机构两端的一个第二切割轮均与伺服驱动电机连接。
4.如权利要求1所述的全自动分布式多晶硅开方机，其特征在于，第一个切割面上的金刚石切割线之间的线距相等，第二个切割面上的金刚石切割线之间的线距相等。
5.如权利要求1所述的全自动分布式多晶硅开方机，其特征在于，起升反转装置包括安装在机架横梁上的桁架机构、导轨丝杠机构、夹持机构和旋转机构，桁架机构与导轨丝杠机构连接，导轨丝杠机构与夹持机构连接，夹持机构为一直角支架，直角支架的水平支架和竖直之间通过连接轴连接，水平支架与旋转机构连接。
6.如权利要求1所述的全自动分布式多晶硅开方机，其特征在于，开方机还包括多晶硅的运输机构、机械手装置及周转机构。
7.一种全自动分布式多晶硅开方方法，其特征在于，包括以下具体步骤：
(7.1)采用运输机构将多晶硅运输到第一切割工位，通过气缸夹紧定位多晶硅锭，采用水平多线切割机构对多晶硅进行第一次纵向单向开方；
水平多线切割机构是单条金刚石切割线由若干个第一导轮张紧、与第一导轮对应设置的若干个第一切割轮走线而形成在水平向上相互平行的切割面，该切割面上的金刚石切割线在同一水平面上且金刚石线之间的间距相等；
(7.2)用桁架机械手将单向开方完成的硅碇运送到周转工位上，通过翻转机构将第一次开方完成的多根长条形硅碇中的单条硅锭，通过起升翻转机构翻转90°放置到第二切割工位上，
(7.3)通过气缸夹紧定位长条硅碇，采用竖直多线切割机构对单条硅锭进行第二次横向单向开方，然后通过机械手将开方完成的硅碇周转到放料区，依次循环切割；
所述竖直多线切割机构是由单条金刚石切割线由若干个第二导轮张紧、与第二导轮对应设置的若干个第二切割轮走线形成在竖直向上相互平行的第二个切割面，该切割面上的金刚石切割线在同一竖直面上金刚石线之间的间距相等。
8.如权利要求7所述的全自动分布式多晶硅开方方法，其特征在于，步骤(7.1)中的水平多线切割机构两端的一个第一切割轮均与伺服驱动电机连接。
9.如权利要求7所述的全自动分布式多晶硅开方方法，其特征在于，步骤(7.3)中的竖直多线切割机构两端的一个第二切割轮均与伺服驱动电机连接。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201711440457.4A CN108214952B (zh) | 2017-12-27 | 2017-12-27 | 一种全自动分布式多晶硅开方方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201711440457.4A CN108214952B (zh) | 2017-12-27 | 2017-12-27 | 一种全自动分布式多晶硅开方方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN108214952A true CN108214952A (zh) | 2018-06-29 |
| CN108214952B CN108214952B (zh) | 2024-05-31 |
Family
ID=62648020
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201711440457.4A Active CN108214952B (zh) | 2017-12-27 | 2017-12-27 | 一种全自动分布式多晶硅开方方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN108214952B (zh) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109176198A (zh) * | 2018-10-17 | 2019-01-11 | 江苏英锐半导体有限公司 | 一种用于晶圆流片生产的单晶硅棒磨方处理装置 |
| CN110587452A (zh) * | 2019-09-09 | 2019-12-20 | 上海安稷实业有限公司 | 软性材料单线切割机 |
| CN110587451A (zh) * | 2019-09-09 | 2019-12-20 | 上海安稷实业有限公司 | 支持曲面切割的线锯切割机 |
| CN112026033A (zh) * | 2020-09-17 | 2020-12-04 | 陈小龙 | 一种硅棒切片装置 |
| CN113977022A (zh) * | 2021-11-30 | 2022-01-28 | 唐山博索溯远电子设备有限责任公司 | 一种大线距多线切料装置 |
| CN114953227A (zh) * | 2022-05-27 | 2022-08-30 | 宜昌南玻硅材料有限公司 | 硅锭单线切割装置及布线方法 |
Citations (22)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1056048A (zh) * | 1990-05-01 | 1991-11-13 | 普罗格特-甘布尔公司 | 带有改进折边配置的卫生巾及保持折边于其内的装置 |
| JPH07251397A (ja) * | 1994-03-15 | 1995-10-03 | 正文 ▲ます▼岡 | 豆腐の切断横転装置 |
| US6060157A (en) * | 1994-11-29 | 2000-05-09 | 3M Innovative Properties Company | Transparent decorative article having an etched appearing/prismatic image thereon |
| CN1542949A (zh) * | 1997-10-17 | 2004-11-03 | ������������ʽ���� | 封装基板 |
| CN1735489A (zh) * | 2002-11-22 | 2006-02-15 | 三星钻石工业股份有限公司 | 基板分断系统、基板制造装置、基板切割方法以及基板分断方法 |
| CN1826547A (zh) * | 2003-06-06 | 2006-08-30 | 株式会社尼康 | 光学元件保持装置、镜筒、曝光装置及设备的制造方法 |
| CN101628452A (zh) * | 2009-07-31 | 2010-01-20 | 宁波升日太阳能电源有限公司 | 一种硅片切割方法 |
| CN101817208A (zh) * | 2010-05-24 | 2010-09-01 | 福建省泉州市铭盛机械有限公司 | 纵横向切石装置 |
| CN101939146A (zh) * | 2007-10-17 | 2011-01-05 | 汉斯林格尔设备制造及工艺技术两合股份有限公司 | 用于断开可沿输送通道运动的塑性料带的、包括切口传动装置的装置 |
| CN202517602U (zh) * | 2012-03-29 | 2012-11-07 | 河南华泰建材开发有限公司 | 一种泡沫混凝土保温板自动切割设备 |
| CN203031785U (zh) * | 2012-12-28 | 2013-07-03 | 武汉半岛重工股份有限公司 | 空翻切割机组 |
| CN103203799A (zh) * | 2013-03-04 | 2013-07-17 | 蚌埠爱民汽车服务有限公司五河新型环保建材厂 | 水泥板切割装置 |
| CN103328167A (zh) * | 2010-09-07 | 2013-09-25 | 汉斯－彼得·莱廷格 | 用于将圆形原木制造成梳齿连接的木材产品的方法 |
| CN103909584A (zh) * | 2013-01-04 | 2014-07-09 | 德国太阳能有限公司 | 用于分割硅块的系统和方法 |
| CN204052675U (zh) * | 2014-06-25 | 2014-12-31 | 常景志 | 一种整卷薄板卷料横向和纵向卷桶同步进给送料装置 |
| JP2015084679A (ja) * | 2013-10-29 | 2015-05-07 | 井関農機株式会社 | コンバイン |
| CN204367198U (zh) * | 2014-12-24 | 2015-06-03 | 湖南宇晶机器股份有限公司 | 多线破方切割机 |
| CN105563674A (zh) * | 2016-02-24 | 2016-05-11 | 浙江晶盛机电股份有限公司 | 金刚线多晶硅锭开方机 |
| CN105690582A (zh) * | 2016-02-02 | 2016-06-22 | 上海日进机床有限公司 | 硅锭开方设备及硅锭开方方法 |
| CN106061699A (zh) * | 2014-02-24 | 2016-10-26 | 达里奥·通切利 | 用于将石质材料块切割成平板的多线框架 |
| CN206799429U (zh) * | 2017-05-19 | 2017-12-26 | 郭浩 | 一种用于钢化玻璃表面处理的夹装及自动翻面装置 |
| CN207874598U (zh) * | 2017-12-27 | 2018-09-18 | 青岛高测科技股份有限公司 | 一种全自动分布式多晶硅开方机 |
-
2017
- 2017-12-27 CN CN201711440457.4A patent/CN108214952B/zh active Active
Patent Citations (22)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1056048A (zh) * | 1990-05-01 | 1991-11-13 | 普罗格特-甘布尔公司 | 带有改进折边配置的卫生巾及保持折边于其内的装置 |
| JPH07251397A (ja) * | 1994-03-15 | 1995-10-03 | 正文 ▲ます▼岡 | 豆腐の切断横転装置 |
| US6060157A (en) * | 1994-11-29 | 2000-05-09 | 3M Innovative Properties Company | Transparent decorative article having an etched appearing/prismatic image thereon |
| CN1542949A (zh) * | 1997-10-17 | 2004-11-03 | ������������ʽ���� | 封装基板 |
| CN1735489A (zh) * | 2002-11-22 | 2006-02-15 | 三星钻石工业股份有限公司 | 基板分断系统、基板制造装置、基板切割方法以及基板分断方法 |
| CN1826547A (zh) * | 2003-06-06 | 2006-08-30 | 株式会社尼康 | 光学元件保持装置、镜筒、曝光装置及设备的制造方法 |
| CN101939146A (zh) * | 2007-10-17 | 2011-01-05 | 汉斯林格尔设备制造及工艺技术两合股份有限公司 | 用于断开可沿输送通道运动的塑性料带的、包括切口传动装置的装置 |
| CN101628452A (zh) * | 2009-07-31 | 2010-01-20 | 宁波升日太阳能电源有限公司 | 一种硅片切割方法 |
| CN101817208A (zh) * | 2010-05-24 | 2010-09-01 | 福建省泉州市铭盛机械有限公司 | 纵横向切石装置 |
| CN103328167A (zh) * | 2010-09-07 | 2013-09-25 | 汉斯－彼得·莱廷格 | 用于将圆形原木制造成梳齿连接的木材产品的方法 |
| CN202517602U (zh) * | 2012-03-29 | 2012-11-07 | 河南华泰建材开发有限公司 | 一种泡沫混凝土保温板自动切割设备 |
| CN203031785U (zh) * | 2012-12-28 | 2013-07-03 | 武汉半岛重工股份有限公司 | 空翻切割机组 |
| CN103909584A (zh) * | 2013-01-04 | 2014-07-09 | 德国太阳能有限公司 | 用于分割硅块的系统和方法 |
| CN103203799A (zh) * | 2013-03-04 | 2013-07-17 | 蚌埠爱民汽车服务有限公司五河新型环保建材厂 | 水泥板切割装置 |
| JP2015084679A (ja) * | 2013-10-29 | 2015-05-07 | 井関農機株式会社 | コンバイン |
| CN106061699A (zh) * | 2014-02-24 | 2016-10-26 | 达里奥·通切利 | 用于将石质材料块切割成平板的多线框架 |
| CN204052675U (zh) * | 2014-06-25 | 2014-12-31 | 常景志 | 一种整卷薄板卷料横向和纵向卷桶同步进给送料装置 |
| CN204367198U (zh) * | 2014-12-24 | 2015-06-03 | 湖南宇晶机器股份有限公司 | 多线破方切割机 |
| CN105690582A (zh) * | 2016-02-02 | 2016-06-22 | 上海日进机床有限公司 | 硅锭开方设备及硅锭开方方法 |
| CN105563674A (zh) * | 2016-02-24 | 2016-05-11 | 浙江晶盛机电股份有限公司 | 金刚线多晶硅锭开方机 |
| CN206799429U (zh) * | 2017-05-19 | 2017-12-26 | 郭浩 | 一种用于钢化玻璃表面处理的夹装及自动翻面装置 |
| CN207874598U (zh) * | 2017-12-27 | 2018-09-18 | 青岛高测科技股份有限公司 | 一种全自动分布式多晶硅开方机 |
Non-Patent Citations (2)
| Title |
|---|
| 朱贻杰;: "机床电控装置采用顺控器的几点浅见", 汽车科技, no. 01, 31 December 1980 (1980-12-31), pages 11 - 21 * |
| 王伟;刘成;侯立刚;张健;吴武臣;: "光栅测量系统芯片后端物理设计与实现", 微电子学, no. 04, 20 August 2007 (2007-08-20), pages 123 - 127 * |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109176198A (zh) * | 2018-10-17 | 2019-01-11 | 江苏英锐半导体有限公司 | 一种用于晶圆流片生产的单晶硅棒磨方处理装置 |
| CN110587452A (zh) * | 2019-09-09 | 2019-12-20 | 上海安稷实业有限公司 | 软性材料单线切割机 |
| CN110587451A (zh) * | 2019-09-09 | 2019-12-20 | 上海安稷实业有限公司 | 支持曲面切割的线锯切割机 |
| CN112026033A (zh) * | 2020-09-17 | 2020-12-04 | 陈小龙 | 一种硅棒切片装置 |
| CN113977022A (zh) * | 2021-11-30 | 2022-01-28 | 唐山博索溯远电子设备有限责任公司 | 一种大线距多线切料装置 |
| CN114953227A (zh) * | 2022-05-27 | 2022-08-30 | 宜昌南玻硅材料有限公司 | 硅锭单线切割装置及布线方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN108214952B (zh) | 2024-05-31 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN108214952A (zh) | 一种全自动分布式多晶硅开方机及开方方法 | |
| CN202491318U (zh) | 开方机多线式复合导轮布线机构 | |
| CN103786274B (zh) | 多晶硅锭开方金刚石线锯装置 | |
| CN207224303U (zh) | 一种恒张力双线切割装置 | |
| CN105563674B (zh) | 金刚线多晶硅锭开方机 | |
| CN108714978B (zh) | 一种晶硅切棱磨倒一体机 | |
| CN102049820A (zh) | 多线切割机工作台 | |
| CN204367198U (zh) | 多线破方切割机 | |
| CN105643820B (zh) | 金刚线单晶硅棒切方设备 | |
| CN103434030A (zh) | 一种破方机切割硅锭的方法 | |
| CN203622673U (zh) | 单晶硅棒截断金刚石线锯装置 | |
| CN207874598U (zh) | 一种全自动分布式多晶硅开方机 | |
| CN204566418U (zh) | 数控蓝宝石多工位单线开方机收放线机构 | |
| CN207310296U (zh) | 一种新型钻石切割夹具 | |
| CN204776234U (zh) | 一种用于卫生巾生产线的翻片装置 | |
| CN203110185U (zh) | 用于四导轮多线切割机的清洗切割系统 | |
| CN107263749A (zh) | 一种新型的夹紧工装 | |
| CN203331253U (zh) | 一种金刚石锯条实现多晶硅锭破方切割设备 | |
| CN207874599U (zh) | 一种分段式多晶硅开方机的切割室 | |
| CN107671999A (zh) | 一种自保温砌块流水线用防抖动移动切割机 | |
| CN207172463U (zh) | 单根柔性线锯开方装置 | |
| CN202640588U (zh) | 一种太阳能电池硅片精确定位切割装置 | |
| CN207806789U (zh) | 一种h型钢腹板切割装置 | |
| CN206999351U (zh) | 一种新型的夹紧工装 | |
| CN210969473U (zh) | 一种单刀双棒截断机 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |