CN108214456A - 搬运系统、搬运装置和模块 - Google Patents

搬运系统、搬运装置和模块 Download PDF

Info

Publication number
CN108214456A
CN108214456A CN201711294886.5A CN201711294886A CN108214456A CN 108214456 A CN108214456 A CN 108214456A CN 201711294886 A CN201711294886 A CN 201711294886A CN 108214456 A CN108214456 A CN 108214456A
Authority
CN
China
Prior art keywords
power cord
motor
drive control
power
control part
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201711294886.5A
Other languages
English (en)
Other versions
CN108214456B (zh
Inventor
井川智英
阪口雄也
山田敬也
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Daihen Corp
Original Assignee
Daihen Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Daihen Corp filed Critical Daihen Corp
Publication of CN108214456A publication Critical patent/CN108214456A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN108214456B publication Critical patent/CN108214456B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J19/00Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
    • B25J19/0025Means for supplying energy to the end effector
    • B25J19/0029Means for supplying energy to the end effector arranged within the different robot elements
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67276Production flow monitoring, e.g. for increasing throughput
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00Programme-controlled manipulators
    • B25J9/0009Constructional details, e.g. manipulator supports, bases
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J13/00Controls for manipulators
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J13/00Controls for manipulators
    • B25J13/08Controls for manipulators by means of sensing devices, e.g. viewing or touching devices
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J15/00Gripping heads and other end effectors
    • B25J15/02Gripping heads and other end effectors servo-actuated
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J19/00Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00Programme-controlled manipulators
    • B25J9/08Programme-controlled manipulators characterised by modular constructions
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00Programme-controlled manipulators
    • B25J9/10Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements
    • B25J9/12Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements electric
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00Programme-controlled manipulators
    • B25J9/16Programme controls
    • B25J9/1679Programme controls characterised by the tasks executed
    • B25J9/1682Dual arm manipulator; Coordination of several manipulators
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/74Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
    • B65G47/90Devices for picking-up and depositing articles or materials
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/74Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
    • B65G47/90Devices for picking-up and depositing articles or materials
    • B65G47/904Devices for picking-up and depositing articles or materials provided with rotary movements only
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/74Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
    • B65G47/90Devices for picking-up and depositing articles or materials
    • B65G47/905Control arrangements
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00Programme-control systems
    • G05B19/02Programme-control systems electric
    • G05B19/18Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67259Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H01L21/67742Mechanical parts of transfer devices
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00Program-control systems
    • G05B2219/30Nc systems
    • G05B2219/45Nc applications
    • G05B2219/45031Manufacturing semiconductor wafers

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Human Computer Interaction (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Manipulator (AREA)
  • Container Filling Or Packaging Operations (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

搬运系统具有:具有搬运工件的臂机构的搬运装置、在向该搬运装置供给电力的同时控制搬运装置的动作的控制装置、和将控制装置和搬运装置连接的电源电缆。控制装置使用电源电缆接收发送用于控制搬运装置的信号。搬运装置具有用于驱动自身装置的多个马达、将从控制装置供给的电力给予多个马达而将该马达驱动的多个驱动控制部、和将多个驱动控制部连接的内部电源线。多个驱动控制部使用电源电缆和上述内部电源线在与控制装置之间接收发送上述信号,根据该信号驱动上述马达。

Description

搬运系统、搬运装置和模块
技术领域
本发明涉及搬运工件的搬运系统和搬运装置以及构成该搬运装置的模块。
背景技术
存在以下搬运系统,其具有:用手保持板状的工件来搬运的搬运装置、和控制该搬运装置的动作的控制装置。搬运装置具有使基座升降、使臂机构的关节旋转的多个马达、驱动部、各种传感器。搬运装置和控制装置通过用于将电力供给至马达的主电源线、接收发送用于控制各马达的旋转的信号的通信线、接收发送各种传感器的信号的信号线等多根电线连接。
专利文献1中公开了马达控制系统,其具有与通用的DC电源连接的控制器和马达,控制器通过电力线通信控制马达的动作。
另外,专利文献2中公开了马达控制系统,其通过用通用的配线系统供给马达驱动用的电流和控制信号,从而能够削减线束和连接器。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开2011-259535号公报
专利文献2:日本特开2003-319693号公报
发明内容
发明要解决的课题
但是,现有的搬运系统为使用许多电线将搬运装置的各种传感器和驱动部与控制装置连接的构成,因此在根据所要求的规格追加了传感器等的情况下,在配索设计、制造工时上都需要时间,具有制造成本增大的问题。
本发明的目的在于提供搬运系统、搬运装置和模块,其无论构成搬运装置的马达、驱动控制部和传感器的多少,都能够减少搬运装置内部的配索设计所需的时间和制造工时。
用于解决课题的手段
本发明的搬运系统具有:搬运装置,其具有保持工件的手,具有可旋转地支承于基座的臂机构;控制装置,其在向该搬运装置供给电力的同时控制上述搬运装置的动作;和电源电缆,其将该控制装置和上述搬运装置连接,上述控制装置具有使用上述电源电缆接收发送用于控制上述搬运装置的信号的通信部,上述搬运装置具有:用于驱动自身装置的多个马达、将从上述控制装置供给的电力给予上述多个马达而将该马达驱动的多个驱动控制部、和将上述多个驱动控制部连接并传送从上述控制装置供给的电力的内部电源线,用上述电源电缆将一个上述驱动控制部与上述控制装置连接,各驱动控制部使用上述电源电缆和上述内部电源线,在上述控制装置和其他上述驱动控制部之间接收发送上述信号,根据该信号将上述马达驱动。
控制装置使用电源电缆向搬运装置供给电力。另外,控制装置使用电源电缆接收发送用于控制搬运装置的动作的信号。至少一个驱动控制部通过用电源电缆所供给的电力工作,用该电源电缆接收发送信号,根据接收的信号驱动马达。用内部电源线将多个驱动控制部连接,其他驱动控制部利用经由上述一个驱动控制部所供给的电力工作,经由该一个驱动控制部接收发送信号,根据接收的信号驱动马达。
因此,无论构成搬运装置的马达和驱动控制部的多少,都能够减少将搬运装置和控制装置连接的电线的根数。因此,能够减少搬运装置内部的配索设计所需的时间和制造工时。因此,可以用短的缴纳期制造对应于特殊的要求规格的搬运系统。另外,对于驱动部位的追加、传感器附加等要求也可以灵活地应对。进而,通过减少配置于搬运装置内部的电线的根数,能够避免可动部中的断线这样的不利情形。
再有,内部电源线和电源电缆未必意味着在壳体的内部和外部配索。内部电源线为通过将多个驱动控制部连接而构成搬运装置的驱动控制电路系的电源线。电源电缆为将该驱动控制电路系和控制装置连接的电源线。例如,在构成搬运装置的基座的壳体中容纳控制装置和电源电缆的构成也包含在本发明中。
另外,优选如下构成:上述电源电缆包含:传送用于驱动上述马达的电力的第1电源线、和传送用于使上述驱动控制部工作的电力的第2电源线,上述内部电源线包含:传送用于驱动上述马达的电力的第3电源线、和传送用于使上述驱动控制部工作的电力的第4电源线,上述控制装置和上述驱动控制部使用上述第2电源线和上述第4电源线来接收发送上述信号。
搬运装置和控制装置通过传送用于驱动马达的电力的第1电源线和用于使驱动控制部工作的第2电源线连接。同样地,搬运装置内部的各驱动控制部通过第3电源线和第4电源线连接。控制装置和多个驱动控制部使用第2电源线和第4电源线来接收发送信号。
因此,即使在停止了用于驱动马达的电力的供给的状态下,控制装置和多个驱动控制部也能够接收发送所需的信号。例如,在关闭马达的电源的状态下,监视各种传感器的信号成为可能。
进而,优选如下构成:上述驱动控制部具有驱动电路基板,其具有连接上述第1电源线或上述第3电源线的多个第1电源端子,将各第1电源端子电连接;通信电路基板,其具有连接上述第2电源线或上述第4电源线的多个第2电源端子,将各第2电源端子电连接。
驱动电路基板具有多个第1电源端子。因此,能够将多个其他驱动电路基板或控制装置连接至一个驱动电路基板。同样地,通信电路基板具有多个第2电源端子。因此,能够将多个其他通信电路基板或控制装置连接至一个通信电路基板。
因此,能够在控制装置中将多个驱动控制部串联地或串并联地连接,能够减少将控制装置与多个驱动控制部连接的内部电源线的根数。
进而,优选如下构成:上述多个驱动控制部用上述内部电源线串联地连接。
由于将多个驱动控制部用内部电源线串联连接,因此能够简化搬运装置内部的配线,能够减少配索设计所需的时间和制造工时。
进而,优选如下构成:使多个上述驱动电路基板和上述通信电路基板分别通用化。
使多个驱动电路基板通用化。另外,使多个通信电路基板通用化。因此,能够削减零件的种类。
进而,优选如下构成:各驱动控制部具有的上述第1电源端子为相同形状,各驱动控制部具有的上述第2电源端子为相同形状。
各驱动控制部的第1电源端子为彼此相同的形状。另外,各驱动控制部的第2电源端子为彼此相同的形状。因此,能够使驱动电路基板和通信电路基板通用化,能够减少搬运装置的制造成本。
进而,优选如下构成:上述搬运装置具有用于控制上述搬运装置的传感器,上述驱动控制部使用上述内部电源线和上述电源电缆将从上述传感器输出的信号发送至上述控制装置。
控制装置能够使用内部电源线和电源电缆接收从设置于搬运装置的传感器输出的信号。因此,不需要传感器用的信号线,能够简化搬运装置内部的配线,能够减少配索设计所需的时间和制造工时,优选该构成。
进而,优选如下构成:上述多个马达包含使上述臂机构升降的马达。
不需要使臂机构升降的马达专用的电源线和信号线。因此,能够简化搬运装置内部的配线,能够减少配索设计所需的时间和制造工时。
进而,优选如下构成:上述多个马达包含使上述手相对于上述基座回旋的马达。
不需要相对于基座使手回旋的马达专用的电源线和信号线。因此,能够简化搬运装置内部的配线,能够减少配索设计所需的时间和制造工时。
进而,优选如下构成:上述多个马达包含将上述臂机构驱动的马达。
不需要将臂机构驱动的马达专用的电源线和信号线。因此,能够简化搬运装置内部的配线,能够减少配索设计所需的时间和制造工时。
进而,优选如下构成:上述多个马达包含相对于上述臂机构使上述手旋转的马达。
不需要相对于臂机构使手旋转的马达专用的电源线和信号线。因此,能够简化搬运装置内部的配线,能够减少配索设计所需的时间和制造工时。
进而,优选如下构成:具有用于控制上述搬运装置的传感器;上述多个马达包含使上述臂机构升降的马达、使上述手相对于上述基座回旋的马达、驱动上述臂机构的马达和相对于上述臂机构使上述手旋转的马达中的至少一个;上述电源电缆包含传送用于驱动上述马达的电力的第1电源线和传送用于使上述驱动控制部工作的电力的第2电源线;上述内部电源线包含传送用于驱动上述马达的电力的第3电源线和传送用于使上述驱动控制部工作的电力的第4电源线;上述多个驱动控制部具有:具有将上述第1电源线或上述第3电源线连接的多个第1电源端子、使各第1电源端子电连接的驱动电路基板,和具有将上述第2电源线或上述第4电源线连接的多个第2电源端子、使各第2电源端子电连接的通信电路基板;使多个上述驱动电路基板和上述通信电路基板分别通用化,各驱动控制部具有的上述第1电源端子为相同形状,各驱动控制部具有的上述第2电源端子为相同形状;上述控制装置和上述一个驱动控制部使用上述第2电源线接收发送用于控制上述搬运装置的信号和从上述传感器输出的信号;上述多个驱动控制部用上述内部电源线串联地连接,使用上述第4电源线接收发送用于控制上述搬运装置的信号和从上述传感器输出的信号。
采用上述构成,能够发挥上述各作用效果,减少搬运装置的配索设计所需的时间和制造工时。
本发明的搬运装置是具有保持工件的手、具有可旋转地支承于基座的臂机构的搬运装置,具有:用于驱动自身装置的多个马达、将从外部的控制装置供给的电力给予上述多个马达而将该马达驱动的多个驱动控制部、和连接上述多个驱动控制部并传送从上述控制装置供给的电力的内部电源线,各驱动控制部使用上述内部电源线将从上述控制装置给予的信号在与其他上述驱动控制部之间接收发送,将与该信号相符的电力供给至上述马达。
无论构成搬运装置的马达和驱动控制部的多少,都能够减少连接搬运装置和控制装置的电线的根数。因此,能够减少搬运装置内部的配索设计所需的时间和制造工时。
另外,搬运装置优选如下构成,其具有用于控制自身装置的传感器;上述多个马达包含使上述臂机构升降的马达、使上述手相对于上述基座回旋的马达、驱动上述臂机构的马达和相对于上述臂机构使上述手旋转的马达中的至少一个;上述内部电源线包含传送用于驱动上述马达的电力的第3电源线和传送用于使上述驱动控制部工作的电力的第4电源线;上述多个驱动控制部具有:具有多个第1电源端子、使各第1电源端子电连接的驱动电路基板,多个第1电源端子将连接自身装置至上述控制装置、传送用于驱动上述马达的电力的第1电源线或上述第3电源线连接;和具有多个第2电源端子、将各第2电源端子电连接的通信电路基板,多个第2电源端子将连接自身装置至上述控制装置、传送用于使上述驱动控制部工作的电力的第2电源线或上述第4电源线连接,使多个上述驱动电路基板和上述通信电路基板分别通用化,各驱动控制部具有的上述第1电源端子为相同形状,各驱动控制部具有的上述第2电源端子为相同形状,上述多个驱动控制部用上述内部电源线串联地连接,使用上述第4电源线接收发送用于控制自身装置的信号和从上述传感器输出的信号。
采用上述构成,能够发挥上述各作用效果,减少搬运装置的配索设计所需的时间和制造工时。
本发明的模块具有:驱动控制部,其将从外部的控制装置供给的电力给予用于驱动搬运装置的马达而将该马达驱动,搬运装置具有保持工件的手,具有可旋转地支承于基座的臂机构;和将传送从上述控制装置供给的电力的内部电源线连接的多个电源端子,将上述多个电源端子电连接,上述驱动控制部使用上述内部电源线在上述控制装置和外部的其他模块之间接收发送用于控制上述搬运装置的动作的信号,将与该信号相符的电力供给至上述马达。
通过将模块设置于搬运装置、用内部电源线将该模块与其他模块连接的简单的工序就能够组装搬运装置。
另外,优选如下构成:上述多个电源端子包含:连接第1电源线或第3电源线的多个第1电源端子,第1电源线将自身装置连接至上述控制装置,传送用于驱动上述马达的电力,第3电源线将自身装置连接至其他模块,传送用于驱动上述马达的电力;连接第2电源线或第4电源线的多个第2电源端子,第2电源线将自身装置连接至上述控制装置,传送用于使上述驱动控制部工作的电力,第4电源线将自身装置连接至另一模块,传送用于使上述驱动控制部工作的电力,还具有设置了上述多个第1电源端子的驱动电路基板和设置了上述多个第2电源端子的通信电路基板,上述多个第1电源端子为相同形状并且电连接,上述多个第2电源端子为相同形状并且电连接。
采用上述构成,能够发挥上述各作用效果,减少搬运装置的配索设计所需的时间和制造工时。
再有,可将上述的各构成或各构成的一部分任意地组合来构成搬运系统、搬运装置和模块。
发明的效果
根据本发明,无论构成搬运装置的马达、驱动控制部和传感器的多少,都能够减少搬运装置内部的配索设计所需的时间和制造工时。
附图说明
图1为表示实施方式1的搬运系统的示意图。
图2为表示实施方式1的搬运系统的方块图。
图3为示意地表示升降模块的驱动控制部的斜视图。
图4为示意地表示升降模块的驱动控制部的斜视图。
图5为表示各模块的配置姿态的示意图。
图6为表示控制装置和驱动控制部的处理步骤的流程图。
图7为表示实施方式2的搬运系统的方块图。
图8为表示实施方式3的搬运系统的方块图。
具体实施方式
以下基于表示其实施方式的附图对本发明详述。
(实施方式1)
图1为表示实施方式1的搬运系统的示意图,图2为表示实施方式1的搬运系统的方块图。搬运系统具有:搬运装置1、在向搬运装置1供给电力的同时控制该搬运装置1的动作的控制装置2、和将搬运装置1和控制装置2连接的电源电缆3。搬运装置1例如为搬运机器人。
实施方式1的搬运系统可通过将功能集约于搬运装置1的每个驱动轴的模块构成的单元组合而容易地组装,通过将各模块进行雏菊链连接,从而可以灵活地应对单元的追加和客户要求。
搬运装置1具有设置于规定部位的基座11、一端部可旋转地支承于基座11的第1臂机构12和第2臂机构13、和各自可旋转地支承于第1臂机构12和第2臂机构13的另一端的第1手14和第2手15。
基座11例如为柱状,使纵向方向成为铅直地设置于规定部位。基座11具有:四棱柱状部分;和从该四棱柱状部分的上端面突出、可上下移动和旋转的圆柱状部分。在圆柱状部分的上端面支承着第1臂机构12和第2臂机构13。在基座11的四棱柱状部分设置有使圆柱状部分与第1臂机构12和第2臂机构13一起升降的未图示的升降机构、和使圆柱状部分回旋的回旋机构。升降机构例如为滚珠丝杠机构。回旋机构为齿轮机构。
在上述圆柱状部分的上端面以中心轴成为基座11的纵向方向的方式设置有2根第1轴作为用于将第1臂机构12和第2臂机构13支承于上端面的轴。
第1臂机构12为使用同一方向的旋转轴将多个臂相互可旋转地连结而成的联动机构。第1臂机构12例如具有板状的下部臂和上部臂。将下部臂的一端侧用第1轴可旋转地支承于基座11。在下部臂的另一端侧设置有中心轴的方向与第1轴大致相同的第2轴,将上部臂的一端侧用第2轴可旋转地支承于下部臂的另一端侧。下部臂和上部臂能够相对于基座11各自独立地旋转。
这样构成的第1臂机构12的下部臂和上部臂通过在与基座11的设置面大致平行的平面上相互旋转,从而能够相对于基座11进退。第2臂机构13与第1臂机构12同样。
第1手14和第2手15例如在平面视时为大致形状相同的U字板状,具有安装于上部臂的基部和在相对于基座11的设置面大致平行的方向上从该基部突出为两叉的板状的2个指部。另外,在第1手14和第2手15中设置有保持工件的未图示的保持部。保持部例如为真空卡盘、夹持工件的边缘的边缘夹持卡盘等。再有,对第1手14和第2手15的形状并无特别限定,可以是不同的形状。在第1臂机构12的上部臂的另一端侧设置有中心轴的方向与第1轴大致相同的第1手轴,将第1手14的基部用第1手轴可旋转地支承于上部臂的另一端侧。同样地,第2手15可旋转地支承于第2臂机构13的上部臂的另一端部。
这样构成的第1手14和第2手15可与第1臂机构12和第2臂机构13一起在与基座11的设置面大致平行的平面上进行旋转。
搬运装置1如图2中所示那样,具有:使基座11升降的升降模块4、相对于基座11使第1手14和第2手15回旋的回旋模块5、驱动第1臂机构12的第1臂模块6、和驱动第2臂机构13的第2臂模块7。
升降模块4与使基座11升降的滚珠丝杠机构一起构成升降单元,回旋模块5与使基座11旋转的齿轮机构一起构成回旋单元。另外,第1臂模块6和第2臂模块7与第1臂机构12和第2臂机构13一起分别构成第1臂单元和第2臂单元。升降模块4、回旋模块5、第1臂模块6和第2臂模块7用内部电源线8串联连接。
制造者通过将各单元适当地组合,用内部电源线8将各模块连接,从而能够组装搬运装置1。
应予说明,各模块未必与对应的单元配置在同一壳体内。例如,构成第1臂模块6的驱动控制部61、制动器62和马达63没有配置在第1臂机构12内而配置于基座11的圆柱状部分,将构成第1臂模块6的传感器64、65配置在第1臂机构12内。这种情况下,将马达63的输出经由机械的传送机构传送至第1臂机构12。
同样地,构成第2臂模块7的驱动控制部71、制动器72和马达73没有配置于第2臂机构13内而配置于基座11的圆柱状部分,将构成第2臂模块7的传感器74、75配置在第2臂机构13内。
当然,并不限定于此,能够根据搬运装置1的构造来配置于适当的位置。
升降模块4具有:用于将滚珠丝杠机构驱动而使基座11升降的马达43、通过外力使基座11不升降地将该马达43的旋转机构固定的制动器42、各种传感器44、45、与控制装置2进行通信并且将从该控制装置2供给的电力给予马达43而将其驱动的驱动控制部41。驱动控制部41根据需要收进传感器44等的信号。
传感器44例如为用于限制升降范围的传感器,在基座11的圆柱部分到达了升降范围的界限时输出信号。另外,连接至驱动控制部41的并不限定于传感器类,可根据需要将空压设备等任意的设备连接至驱动控制部41。再有,制动器42、各种传感器44、45可根据需要设置。
回旋模块5具有:用于通过使基座11的圆柱部分与第1臂机构12和第2臂机构13一起旋转而使第1手14和第2手15回旋的马达53、将该马达53的旋转机构固定的制动器52、各种传感器54、55、和将从控制装置2供给的电力给予马达53而将其驱动的驱动控制部51。传感器54例如为用于限制回旋范围的传感器。再有,制动器52、各种传感器54、55可根据需要设置。
第1臂模块6具有:用于使第1臂机构12的关节旋转的马达63、将该马达63的旋转机构固定的制动器62、各种传感器64、65、和将从控制装置2供给的电力给予马达63而将其驱动的驱动控制部61。传感器64为用于限制第1臂机构12的移动范围的传感器,传感器65为检测保持在第1手14中的工件的工件传感器。再有,传感器64、65为连接至驱动控制部61的设备的一例,也可将控制工件的吸附保持的电磁阀等任意的设备连接至驱动控制部61。再有,制动器62、各种传感器64、65可根据需要设置。
第2臂模块7具有:用于使第2臂机构13的关节旋转的马达73、将该马达73的旋转机构固定的制动器72、各种传感器74、75、和将从控制装置2供给的电力给予马达73而将其驱动的驱动控制部71。传感器74为用于限制第2臂机构13的移动范围的传感器,传感器75为检测保持在第2手15中的工件的传感器。再有,制动器72、各种传感器74、75可根据需要设置。
控制装置2具有控制自身装置的各部的动作的控制部21。控制部21是具有CPU(Central Processing Unit)、ROM(Read Only Memory)、RAM(Random Access Memory)、输入输出接口等的微型计算机,将电源部22和通信部23连接至控制部21。
控制部21利用通信部23接收发送为了控制搬运装置1的动作所需的信号。具体地,控制部21利用通信部23向搬运装置1发送用于控制各模块的马达43、53、63、73的旋转的信号。另外,经由通信部23接收从搬运装置1发送的信号,基于接收的该信号来认识搬运装置1的状态。
电源部22具有:向各模块的马达43、53、63、73输出电力的主电源22a、和输出用于使各驱动控制部41、51、61、71工作的电力的控制电源22b。电源电缆3具有:传送用于将马达43、53、63、73驱动的电力的第1电源线3a、和传送用于使驱动控制部41、51、61、71工作的电力的第2电源线3b。从主电源22a输出的电力通过第1电源线3a被供给至搬运装置1,从控制电源22b输出的电力通过通信部23和第2电源线3b被供给至搬运装置1。
控制装置2也可配置在与搬运装置1相同的壳体内。这种情况下,在与搬运装置1相同的壳体内设置电源电缆3。
将通信部23连接至电源部22的控制电源22b。通信部23通过调制从控制部21给予的信号并重叠于从控制电源22b输出的电力,从而将该信号向搬运装置1进行电力线发送。另外,通信部23对从搬运装置1使用第2电源线3b经电力线发送的信号检波,将经检波的信号给予控制部21。从搬运装置1发送的信号是例如表示各种传感器44、45…的检测结果的信号。通信部23进行的电力线通信例如为使用了2~30MHz的高速PLC(Power LineCommunication)。
对电源部22与各驱动控制部41、51、61、71的连接关系的详细情况进行说明。
将电源部22经由通信部23用电源电缆3连接至升降模块4的驱动控制部41,将驱动控制部41用内部电源线8连接至回旋模块5的驱动控制部51。内部电源线8与电源电缆3同样地,如图5中所示那样具有:传送用于驱动马达43、53、63、73的电力的第3电源线8a、和传送用于使驱动控制部41、51、61、71工作的电力的第4电源线8b。将其他驱动控制部51、61、71之间连接的内部电源线8也是同样的构成。驱动控制部41利用从电源部22供给的电力工作。另外,将从电源部22供给的电力经由驱动控制部41和内部电源线8供给至相邻的驱动控制部51。
将驱动控制部51用内部电源线8连接至升降模块4的驱动控制部41和第1臂模块6的驱动控制部61。驱动控制部51利用经由升降模块4的驱动控制部41从电源部22供给的电力工作。另外,将从电源部22供给的电力经由驱动控制部41、51和内部电源线8供给至驱动控制部61。
将驱动控制部61用内部电源线8连接至回旋模块5的驱动控制部51和第2臂模块7的驱动控制部71。驱动控制部61利用经由回旋模块5的驱动控制部51从电源部22供给的电力工作。另外,将从电源部22供给的电力经由驱动控制部41、51、61和内部电源线8供给至驱动控制部71。
将驱动控制部71用内部电源线8连接至第1臂模块6的驱动控制部61。驱动控制部71利用经由第1臂模块6的驱动控制部61从电源部22供给的电力工作。
这样将多个的驱动控制部41、51、61、71用内部电源线8串联地连接。
另外,各驱动控制部41、51、61、71使用第4电源线8b对用于控制搬运装置1的信号进行电力线通信。各驱动控制部41、51、61、71例如通过使用了2~30MHz的高速PLC接收发送信号。具体地,各驱动控制部41、51、61、71将电力成分阻断,对从搬运装置1经电力线发送的信号进行分波,对该信号进行检波,将与经检波的信号相符的电力供给至各马达43、53、63、73。另外,各驱动控制部41、51、61、71通过调制表示各传感器44、45…的检测结果的信号使其重叠,从而将该信号向控制装置2进行电力线发送。进而,在各驱动控制部41、51、61、71中分配有用于标识各驱动控制部41、51、61、71的标识符。控制部21能够使用标识符与各驱动控制部41、51、61、71分别地进行通信。
图3和图4为示意地表示升降模块4的驱动控制部41的斜视图。升降模块4具有:配置了用于驱动马达43的电路元件的驱动电路基板47、配置了用于进行信号的接收发送和马达43的控制的电路元件的通信电路基板48、和支承驱动电路基板47和通信电路基板48的支承体46。支承体46为金属制的L字板,具有形成与驱动电路基板47大致相同尺寸的矩形状的支承板、和从支承板的短边部形成为大致直角、用于将支承体46固定于所需部位的固定板。
驱动电路基板47和通信电路基板48被支承体46支承。具体地,驱动电路基板47以与支承板具有间隙地对置的方式用设置于四角的4根柱体49a支承于支承板。另外,通信电路基板48以与驱动电路基板47具有间隙地对置的方式用设置于四角的4根柱体49b支承于支承板。
驱动电路基板47为矩形状,在一长边侧设置有将第1电源线3a和第3电源线8a的任一个连接的2个第1电源端子47a、47b。本实施方式的情况下,一个第1电源端子47a连接与控制装置2连接的第1电源线3a的一端部,另一第1电源端子47b连接着第3电源线8a的一端部。将第1电源端子47a、47b电连接,用第1电源线3a供给而输入第1电源端子47a的电力从第1电源端子47b通过第3电源线8a向驱动控制部51供给。另外,用第1电源线3a供给而输入第1电源端子47a的电力经由后述的马达端子48e供给至马达43,以这种方式构成。
通信电路基板48为与驱动电路基板47同样的矩形状,在一长边侧设置有将第2电源线3b和第4电源线8b的任一个连接的2个第2电源端子48a、48b。即,第1电源端子47a、47b和第2电源端子48a、48b设置于相同的一长边侧。
将第2电源端子48a、48b电连接,用第2电源线3b供给而输入第2电源端子48a的电力从第2电源端子48b通过第4电源线8b向驱动控制部51供给。
另外,在通信电路基板48的一长边侧设置有用于设定该驱动控制部41、51、61、71的标识符的拨号盘式开关48c。
进而,如图4中所示那样,在通信电路基板48的另一长边侧设置有连接制动器42的制动器端子48d、连接马达43的马达端子48E、连接传感器44、45的2个出入端子48f、48g。
其他的回旋模块5、第1臂模块6、第2臂模块7的构成与升降模块4同样,具有驱动电路基板、通信电路基板和支承体。与升降模块4同样地在该驱动电路基板设置有2个第1电源端子,在该通信电路基板设置有2个第2电源端子。各驱动控制部41、51、61、71具有的第1电源端子为相同形状。另外,各驱动控制部41、51、61、71具有的第2电源端子也为相同形状。因此,在各单元中能够使各驱动控制部41、51、61、71通用化。
图5为表示各模块的配置姿态的示意图。升降模块4以长边成为纵向的方式固定于基座11的棱柱状部分的下部。回旋模块5以长边成为纵向的姿势固定于基座11的圆柱状部分的下部。将升降模块4和回旋模块5连接的内部电源线8沿着基座11的四棱柱状部分的角和边配置。另外,第1臂模块6和第2臂模块7以长边成为横向的姿势固定于基座11的圆柱状部分的内部。
图6为表示控制装置2和驱动控制部41、51、61、71的处理步骤的流程图。依次对控制装置2和搬运装置1的处理内容进行说明。控制装置2的控制部21向搬运装置1通过第2电源线3b和第4电源线8b将同期处理信号发送至各驱动控制部41、51、61、71(步骤S11)。另外,控制部21通过第2电源线3b和第4电源线8b将要求第1手14和第2手15的位置信息的位置指令发送至各驱动控制部41、51、61、71(步骤S12),接受根据位置指令从搬运装置1发送的位置信息(步骤S13)。
用虚线包围的步骤S12和步骤S13的处理对于各驱动控制部41、51、61、71执行。本实施方式中,对于驱动控制部41执行步骤S12和步骤S13的处理。具体地,控制装置2将要求包含与升降模块4对应的标识符、表示马达43的旋转角度的位置信息的位置指令通过第2电源线3b和第4电源线8b发送至搬运装置1。而且,控制部21接收从驱动控制部41发送的位置信息。以下同样地,控制部21对于驱动控制部51、61、71执行步骤S12和步骤S13的处理。控制部21将要求包含与回旋模块5、第1臂模块6和第2臂模块7分别对应的标识符、表示各马达53、63、73的旋转角度的位置信息的位置指令发送至搬运装置1,接收从各驱动控制部51、61、71发送的位置信息。控制部21基于接收的位置信息能够认识现在的第1手14和第2手15的位置和姿势。
接下来,控制部21通过第2电源线3b和第4电源线8b将使第1手14和第2手15从现在的位置移动至特定的位置的控制信号发送至各驱动控制部41、51、61、71(步骤S14)。具体地,控制装置2通过第2电源线3b和第4电源线8b将包含与升降模块4对应的标识符、用于控制马达43的旋转的控制信号向搬运装置1发送。同样地,控制装置2将包含与回旋模块5、第1臂模块6和第2臂模块7分别对应的标识符、用于控制各马达53、63、73的旋转的控制信号向搬运装置1发送。
以下对搬运装置1侧的处理进行说明。各驱动控制部41、51、61、71接收从控制装置2发送的各种信号(步骤S15),判定接收的信号是否为同期处理信号(步骤S16)。在判定为同期处理信号的情况下(步骤S16:YES),各驱动控制部41、51、61、71用同期处理信号执行同期处理(步骤S17)。
在判定为不是同期处理信号的情况下(步骤S16:NO),判定信号中所含的标识符是否与自身的标识符一致(步骤S18)。在判定标识符不一致的情况下(步骤S18:NO),驱动控制部41、51、61、71结束处理。
在判定为标识符一致的情况下(步骤S18:YES),驱动控制部41、51、61、71判定接收的信号是否为控制信号(步骤S19)。在判定为控制信号的情况下(步骤S19:YES),驱动控制部41、51、61、71给予与接收的控制信号相符的电力,使马达43、53、63、73旋转(步骤S20)。通过各马达43、53、63、73的驱动处理,将第1手14和第2手15移动到所指示的位置。
在步骤S19中判定接收的信号不是控制信号的情况下(步骤S19:NO),即,判定接收的信号是位置指令的情况下,驱动控制部41、51、61、71从设置于搬运装置1的各马达43、53、63、73的编码器取得表示驱动部位的位置的位置信息(步骤S21)。在搬运装置1的各马达43、53、63、73分别设置有检测旋转角度的编码器,各编码器将表示检测的旋转角度的信息输出至各驱动控制部41、51、61、71。驱动控制部41、51、61、71取得从编码器取得的位置信息。然后,驱动控制部41、51、61、71将取得的表示位置的位置信息通过第4电源线8b和第2电源线3b电力线发送至控制装置2(步骤S22)。再有,控制装置2在步骤S13中接收在步骤S22中从搬运装置1发送的位置信息。
以上的处理例示了使第1手14和第2手15移动的处理,但控制装置2对于搬运装置1的其他控制也能够同样地进行控制。即,控制装置2能够通过电源电缆3和内部电源线8在与驱动控制部41、51、61、71之间接收发送包含各模块的标识符的各种信号,控制搬运装置1的动作。
采用这样构成的搬运系统和搬运装置1以及各种模块,通过在每个驱动轴将包含功能集约的模块的单元组合,从而能够容易地制造具有所需的功能的搬运装置1,能够减少搬运装置1内部的配索设计所需的时间和制造工时。
因此,用短的缴纳期制造与特殊的要求规格对应的搬运系统成为可能。另外,对于驱动部位的追加、传感器附加等要求也可以灵活地应对。进而,通过减少在搬运装置1的内部配置的电线的根数,能够避免可动部中的断线这样的不利情形。
另外,搬运装置1和控制装置2由于是使用第2电源线3b和第4电源线8b来接收发送控制信号的构成,因此控制装置2能够在使向马达43、53、63、73的供电停止的状态下监视各种传感器44、45…。
应予说明,实施方式中,对于1个驱动控制部连接1个马达,但也能够对于1个驱动控制部连接2个以上的马达来控制。有时根据模块结构,对于1个驱动控制部连接2个马达为宜,这样构成也是可以的。
进而,能够将构成搬运装置1的各种模块的驱动控制部41、51、61、71串联地或并联地连接,能够减少内部电源线8的根数。
进而,由于至少使各驱动控制部41、51、61、71通用化,因此在追加具有驱动控制部的任意的单元时,只通过设计同样的驱动控制部,用内部电源线8将该驱动控制部连接至驱动控制部41、51、61、71,就能够组装所需的搬运装置。
进而,由于使各驱动控制部41、51、61、71的构成通用化,因此能够减少搬运装置的制造成本。
进而,由于使用第2电源线3b和第4电源线8b接收发送各种传感器44、45…的信号,因此不需要传感器用的信号线,能够简化搬运装置1内部的配线,能够减少配索设计所需的时间和制造工时。
(实施方式2)
实施方式2的搬运系统在进一步具有反转轴模块9的方面与实施方式1不同,因此以下主要对于上述不同点进行说明,在对应的部位标注同样的附图标记,省略详细的说明。
图7为表示实施方式2的搬运系统的方框图。本实施方式2的搬运系统与实施方式1同样地,具有搬运装置1和控制装置2。搬运装置1具有使构成第2臂机构13的前端臂的长轴方向成为旋转中心而使第2手15旋转的反转轴模块9。反转轴模块9与其他模块同样地,具有驱动控制部91、制动器92、马达93和各种传感器94、95。
将驱动控制部91用内部电源线8连接至第2臂模块7的驱动控制部71。即,将驱动控制部91对于各模块的驱动控制部41、51、61、71串联地连接。驱动控制部91使用经由第2臂模块7的驱动控制部71从电源部22供给的电力工作。
另外,驱动控制部91使用第4电源线8b对用于控制搬运装置1的信号进行电力线通信。另外,驱动控制部91通过对表示各传感器94、95的检测结果的信号进行调制使其重叠,从而将该信号向控制装置2进行电力线发送。
采用这样构成的搬运系统,只通过用内部电源线8将反转轴模块9的驱动控制部91串联连接至第2臂模块7的驱动控制部71,就能够追加地将反转轴模块9追加至搬运装置1。
(实施方式3)
实施方式3的搬运系统在进一步具有旋转模块10的方面、具有多个电源连接器的方面与实施方式1不同,因此以下主要对于上述不同点进行说明,在对应的部位标注同样的附图标记,省略详细的说明。
图8为表示实施方式3的搬运系统的方块图。本实施方式3的搬运系统与实施方式1同样地具有搬运装置1和控制装置2。另外,搬运系统还具有旋转模块10。旋转模块10例如构成使进行半导体晶片这样的工件的定中心和缺口的对位的调准器的平台旋转的单元。控制装置2具有2组将主电源22a和控制电源22b输出的电源连接器。将搬运装置1连接至一个电源连接器,将旋转模块10用电源电缆3连接至另一电源连接器。
旋转模块10与其他模块同样地具有驱动控制部101、制动器102、马达103和各种传感器104、105。
将驱动控制部101用电源电缆3连接至控制装置2的通信部23和电源部22。将控制装置2与旋转模块10连接的电源电缆3与实施方式1同样地包含第1电源线3a和第2电源线3b。驱动控制部101使用经由通信部23从电源部22供给的电力工作。
另外,驱动控制部101使用第4电源线8b对用于控制调准器的旋转机构的动作的信号进行电力线通信。另外,驱动控制部71通过调制表示各传感器104、105的检测结果的信号并使其重叠,从而将该信号向控制装置2进行电力线发送。
采用这样构成的搬运系统,能够将不同的系统的模块分别多支路连接至控制装置2具有的多个电源输出端子。例如,在控制装置2中能够将构成搬运装置1的多个模块串联连接而成的系统与包含旋转模块10的系统并联地连接。
此次公开的实施方式在所有的方面都是例示,应理解为并无限制。本发明的范围并不是上述的含义而由专利权利要求表示,意在包含与专利权利要求均等的含义和范围内的所有的变形。
附图标记的说明
1 搬运装置
2 控制装置
3 电源电缆
3a 第1电源线
3b 第2电源线
4 升降模块
5 回旋模块
6 第1臂模块
7 第2臂模块
8 内部电源线
8a 第3电源线
8b 第4电源线
9 反转轴模块
10 旋转模块
11 基座
12 第1臂机构
13 第2臂机构
14 第1手
15 第2手
41、51、61、71、91、101 驱动控制部
42、52、62、72、92、102 制动器
43、53、63、73、93、103 马达
44、45、54、64、74、94、104、105 传感器
21 控制部
22 电源部
22a 主电源
22b 控制电源
23 通信部
46 支承体
47 驱动电路基板
48 通信电路基板

Claims (16)

1.搬运系统,该搬运系统具有:搬运装置,其具有保持工件的手,具有可旋转地支承于基座的臂机构;控制装置,其在向该搬运装置供给电力的同时控制所述搬运装置的动作;和电源电缆,其将该控制装置和所述搬运装置连接,
所述控制装置具有使用所述电源电缆接收发送用于控制所述搬运装置的信号的通信部,
所述搬运装置具有:用于驱动自身装置的多个马达、将从所述控制装置供给的电力给予所述多个马达而将该马达驱动的多个驱动控制部、和将所述多个驱动控制部连接并传送从所述控制装置供给的电力的内部电源线,
用所述电源电缆将一个所述驱动控制部与所述控制装置连接,
各驱动控制部使用所述电源电缆和所述内部电源线,在所述控制装置和其他所述驱动控制部之间接收发送所述信号,根据该信号将所述马达驱动。
2.根据权利要求1所述的搬运系统,其中,
所述电源电缆包含:传送用于驱动所述马达的电力的第1电源线、和传送用于使所述驱动控制部工作的电力的第2电源线,
所述内部电源线包含:传送用于驱动所述马达的电力的第3电源线、和传送用于使所述驱动控制部工作的电力的第4电源线,
所述控制装置和所述驱动控制部使用所述第2电源线和所述第4电源线来接收发送所述信号。
3.根据权利要求2所述的搬运系统,其中,所述驱动控制部具有:
驱动电路基板,其具有连接所述第1电源线或所述第3电源线的多个第1电源端子,将各第1电源端子电连接;
通信电路基板,其具有连接所述第2电源线或所述第4电源线的多个第2电源端子,将各第2电源端子电连接。
4.根据权利要求3所述的搬运系统,其中,所述多个驱动控制部用所述内部电源线串联地连接。
5.根据权利要求3所述的搬运系统,其中,使多个所述驱动电路基板和所述通信电路基板分别通用化。
6.根据权利要求3所述的搬运系统,其中,各驱动控制部具有的所述第1电源端子为相同形状,各驱动控制部具有的所述第2电源端子为相同形状。
7.根据权利要求1所述的搬运系统,其中,所述搬运装置具有用于控制所述搬运装置的传感器,所述驱动控制部使用所述内部电源线和所述电源电缆将从所述传感器输出的信号发送至所述控制装置。
8.根据权利要求1所述的搬运系统,其中,所述多个马达包含使所述臂机构升降的马达。
9.根据权利要求1所述的搬运系统,其中,所述多个马达包含使所述手相对于所述基座回旋的马达。
10.根据权利要求1所述的搬运系统,其中,所述多个马达包含将所述臂机构驱动的马达。
11.根据权利要求1所述的搬运系统,其中,所述多个马达包含使所述手相对于所述臂机构旋转的马达。
12.根据权利要求1所述的搬运系统,其中,
具有用于控制所述搬运装置的传感器,
所述多个马达包含使所述臂机构升降的马达、使所述手相对于所述基座回旋的马达、驱动所述臂机构的马达和相对于所述臂机构使所述手旋转的马达中的至少一个,
所述电源电缆包含传送用于驱动所述马达的电力的第1电源线和传送用于使所述驱动控制部工作的电力的第2电源线,
所述内部电源线包含传送用于驱动所述马达的电力的第3电源线和传送用于使所述驱动控制部工作的电力的第4电源线,
所述多个驱动控制部具有:具有将所述第1电源线或所述第3电源线连接的多个第1电源端子、使各第1电源端子电连接的驱动电路基板;和具有将所述第2电源线或所述第4电源线连接的多个第2电源端子、使各第2电源端子电连接的通信电路基板,
使多个所述驱动电路基板和所述通信电路基板分别通用化,各驱动控制部具有的所述第1电源端子为相同形状,各驱动控制部具有的所述第2电源端子为相同形状,
所述控制装置和所述一个驱动控制部使用所述第2电源线接收发送用于控制所述搬运装置的信号和从所述传感器输出的信号,
所述多个驱动控制部用所述内部电源线串联地连接,使用所述第4电源线接收发送用于控制所述搬运装置的信号和从所述传感器输出的信号。
13.搬运装置,是具有保持工件的手、具有可旋转地支承于基座的臂机构的搬运装置,
具有:用于驱动自身装置的多个马达、将从外部的控制装置供给的电力给予所述多个马达而将该马达驱动的多个驱动控制部、和连接所述多个驱动控制部并传送从所述控制装置供给的电力的内部电源线,
各驱动控制部使用所述内部电源线在与其他所述驱动控制部之间接收发送从所述控制装置给予的信号,将与该信号相符的电力供给至所述马达。
14.根据权利要求13所述的搬运装置,具有用于控制自身装置的传感器,
所述多个马达包含使所述臂机构升降的马达、使所述手相对于所述基座回旋的马达、驱动所述臂机构的马达和相对于所述臂机构使所述手旋转的马达中的至少一个,
所述内部电源线包含传送用于驱动所述马达的电力的第3电源线和传送用于使所述驱动控制部工作的电力的第4电源线,
所述多个驱动控制部具有:具有多个第1电源端子、使各第1电源端子电连接的驱动电路基板,多个第1电源端子将连接自身装置至所述控制装置、传送用于驱动所述马达的电力的第1电源线或所述第3电源线连接;和具有多个第2电源端子、将各第2电源端子电连接的通信电路基板,多个第2电源端子将连接自身装置至所述控制装置、传送用于使所述驱动控制部工作的电力的第2电源线或所述第4电源线连接,
使多个所述驱动电路基板和所述通信电路基板分别通用化,各驱动控制部具有的所述第1电源端子为相同形状,各驱动控制部具有的所述第2电源端子为相同形状,
所述多个驱动控制部用所述内部电源线串联地连接,使用所述第4电源线接收发送用于控制自身装置的信号和从所述传感器输出的信号。
15.模块,具有:驱动控制部,其将从外部的控制装置供给的电力给予用于驱动搬运装置的马达而将该马达驱动,搬运装置具有保持工件的手,具有可旋转地支承于基座的臂机构;和将传送从所述控制装置供给的电力的内部电源线连接的多个电源端子,
将所述多个电源端子电连接,
所述驱动控制部使用所述内部电源线在所述控制装置和外部的其他模块之间接收发送用于控制所述搬运装置的动作的信号,将与该信号相符的电力供给至所述马达。
16.根据权利要求15所述的模块,其中,
所述多个电源端子包含:连接第1电源线或第3电源线的多个第1电源端子,第1电源线将自身装置连接至所述控制装置,传送用于驱动所述马达的电力,第3电源线将自身装置连接至其他模块,传送用于驱动所述马达的电力;连接第2电源线或第4电源线的多个第2电源端子,第2电源线将自身装置连接至所述控制装置,传送用于使所述驱动控制部工作的电力,第4电源线将自身装置连接至其他模块,传送用于使所述驱动控制部工作的电力,
还具有设置了所述多个第1电源端子的驱动电路基板和设置了所述多个第2电源端子的通信电路基板,
所述多个第1电源端子为相同形状并且电连接,所述多个第2电源端子为相同形状并且电连接。
CN201711294886.5A 2016-12-09 2017-12-08 搬运系统、搬运装置和模块 Active CN108214456B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016239882A JP6722099B2 (ja) 2016-12-09 2016-12-09 搬送システム
JP2016-239882 2016-12-09

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN108214456A true CN108214456A (zh) 2018-06-29
CN108214456B CN108214456B (zh) 2022-08-23

Family

ID=62487642

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201711294886.5A Active CN108214456B (zh) 2016-12-09 2017-12-08 搬运系统、搬运装置和模块

Country Status (5)

Country Link
US (1) US10695918B2 (zh)
JP (1) JP6722099B2 (zh)
KR (1) KR102441451B1 (zh)
CN (1) CN108214456B (zh)
TW (1) TWI755458B (zh)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102482505B1 (ko) 2018-06-11 2022-12-30 주식회사 엘지화학 탄소 나노튜브 분산액 및 이의 제조방법
JP7143364B2 (ja) * 2020-05-15 2022-09-28 株式会社Cygames 方法、プログラム、及び電子装置

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4990839A (en) * 1988-12-09 1991-02-05 Schonlau William J Modular robotic system
CN1408514A (zh) * 2001-10-01 2003-04-09 日本伺服株式会社 多关节机器人及其臂装置
WO2010090360A1 (ko) * 2009-02-05 2010-08-12 한국기계연구원 모듈형 로봇 구동부의 구조
US20140379129A1 (en) * 2013-06-24 2014-12-25 Redwood Robotics, Inc. Modular Reconfigurable Workcell for Quick Connection of Peripherals
US20160114491A1 (en) * 2014-09-25 2016-04-28 Hiwin Technologies Corp. Wrist structure for an articulated robotic arm
CN105775732A (zh) * 2016-05-04 2016-07-20 成都贝森伟任科技有限责任公司 移动方便的自动抓取机
US20160339590A1 (en) * 2015-05-21 2016-11-24 GM Global Technology Operations LLC Robotic system with reconfigurable end-effector assembly

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5669749A (en) * 1994-11-14 1997-09-23 International Business Machines Corporation Movable flexible ribbon cable and support band assembly
JP2002301684A (ja) * 2001-04-03 2002-10-15 Sony Corp 脚式移動ロボット並びに脚式移動ロボットのための情報伝達装置
JP2003319693A (ja) 2002-04-23 2003-11-07 Mitsubishi Heavy Ind Ltd モータ制御システム
JP2004297564A (ja) * 2003-03-27 2004-10-21 Gifu Univ 省電線通信方式
JP2005144610A (ja) * 2003-11-17 2005-06-09 Fanuc Ltd センサケーブル配線処理構造
JP2007110355A (ja) * 2005-10-13 2007-04-26 Canon Inc データ通信装置及び画像形成装置
US20090128080A1 (en) * 2007-11-16 2009-05-21 Padauk Technology Co. System and method for controlling multiple servo motors
JP2011259535A (ja) 2010-06-07 2011-12-22 Yaskawa Electric Corp モータ制御システム
KR20130010183A (ko) * 2011-07-18 2013-01-28 대우조선해양 주식회사 전력선 통신을 이용한 로봇 시스템
EP2946891B1 (en) * 2013-01-17 2019-03-06 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. Industrial robot
JP6041697B2 (ja) * 2013-02-15 2016-12-14 三菱重工業株式会社 制御装置及び産業機械
KR102061693B1 (ko) * 2013-10-07 2020-01-02 삼성전자주식회사 액추에이터 유닛, 이를 포함한 로봇 및 감속기 장치
JP2015093329A (ja) * 2013-11-08 2015-05-18 三菱重工業株式会社 マニピュレータ
JP2016083716A (ja) * 2014-10-24 2016-05-19 セイコーエプソン株式会社 ロボット
JP2017024094A (ja) * 2015-07-17 2017-02-02 セイコーエプソン株式会社 ロボットシステムおよびケーブル
JP6692078B2 (ja) * 2016-02-19 2020-05-13 パナソニックIpマネジメント株式会社 電動装置
JP2018001315A (ja) * 2016-06-29 2018-01-11 セイコーエプソン株式会社 ロボット、制御装置およびロボットシステム
JP2018051708A (ja) * 2016-09-30 2018-04-05 セイコーエプソン株式会社 水平多関節型ロボット

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4990839A (en) * 1988-12-09 1991-02-05 Schonlau William J Modular robotic system
CN1408514A (zh) * 2001-10-01 2003-04-09 日本伺服株式会社 多关节机器人及其臂装置
WO2010090360A1 (ko) * 2009-02-05 2010-08-12 한국기계연구원 모듈형 로봇 구동부의 구조
US20140379129A1 (en) * 2013-06-24 2014-12-25 Redwood Robotics, Inc. Modular Reconfigurable Workcell for Quick Connection of Peripherals
US20160114491A1 (en) * 2014-09-25 2016-04-28 Hiwin Technologies Corp. Wrist structure for an articulated robotic arm
US20160339590A1 (en) * 2015-05-21 2016-11-24 GM Global Technology Operations LLC Robotic system with reconfigurable end-effector assembly
CN105775732A (zh) * 2016-05-04 2016-07-20 成都贝森伟任科技有限责任公司 移动方便的自动抓取机

Also Published As

Publication number Publication date
JP2018094656A (ja) 2018-06-21
JP6722099B2 (ja) 2020-07-15
TW201832883A (zh) 2018-09-16
KR102441451B1 (ko) 2022-09-07
US10695918B2 (en) 2020-06-30
KR20180066857A (ko) 2018-06-19
TWI755458B (zh) 2022-02-21
US20180161993A1 (en) 2018-06-14
CN108214456B (zh) 2022-08-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6791291B2 (en) Multi-joint type industrial robot and arm unit thereof
CN102133701B (zh) 生产系统
WO2011135961A1 (ja) 統括制御装置および、統括制御方法
CN108214456A (zh) 搬运系统、搬运装置和模块
JP2005046966A (ja) 生産システム
CN205111421U (zh) 手臂机器人
CN104787577A (zh) 电机定子整形送料装置
CN114269511A (zh) 在机床控制单元和电子部件之间传输能量和信号的传输装置和方法
CN107505917A (zh) 伺服驱动器及伺服系统
CN203919063U (zh) 机器人系统
CN108002031A (zh) 一种上下料装置
CN105499979A (zh) 用于组装车辆部件的多工位组装设备
CN203945368U (zh) 机械手装置
JP6873592B2 (ja) 操作部材及び産業機械システム
CN109396861A (zh) 一种制动钳壳体数控加工生产线
CN106762437B (zh) 用于控制机械装配的自动控制系统
CN1229051A (zh) 晶片盒移送系统及方法
CN108247639A (zh) 一种双连杆柔性机械臂
CN206824976U (zh) 多工位多轴流水cnc加工中心
CN112313047B (zh) 机器人控制系统
KR102622516B1 (ko) 운송 시스템용 에너지 공급 모듈, 기능 유닛, 시스템, 용도 및 배열체
CN103818727A (zh) 机器人系统
CN104733361B (zh) 半导体芯片生产设备的机械手传送装置
JP2018095521A (ja) 加工システム、加工方法及びロボットシステム
CN108062903A (zh) 一种打磨工艺教学设备

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant