CN108195292A - 一种位移量测量方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种位移量测量方法，本方法采用的装置包括光谱共聚焦位移传感器、超声测距传感器、检测平台、三维运动平台、控制模块，光谱共聚焦位移传感器和超声测距传感器固定在三维运动平台上，二者检测平面位于同一平面且与检测平台设置被测物体的平面相互平行；以两种不同粒度的运动速度将被测物体移动到探测器测距工作范围内，利用该方法进行微细尺寸样品的位移量检测，具有速度快、精度高、适应性强等优点。
Description
技术领域
本发明涉及光学检测技术领域，特别是涉及一种将超声检测技术结合到光谱共聚焦位移检测技术的位移量测量方法。
背景技术
光谱共聚焦位移检测技术的原理源于经典的共焦显微技术，它是在共焦显微技术的基础上加入了新的光学方法——彩色编码技术，因此扩展了聚焦的深度，解决了共焦显微技术中聚焦深度非常小的问题，使其可以应用在位移测量方面，并保留了共焦显微技术中高信噪比和高分辨率的优点。与目前常用的激光三角法相比，光谱共焦位移传感器具有更高的分辨力，并且光源发射和接收同光路，不会出现激光三角法光路容易被遮挡或者被测目标过于光滑而接收不到目标反射光的情况，对被测目标适应性强。
然而，受限于本身独特的光学系统结构设计，现有的光谱共聚焦位移传感器普遍存在工作范围短的特点，根据不同的规格，其工作范围通常只有0.15~15mm。例如，在先技术中，法国STIL公司的CCS Prima控制器采用的CL-MG系列光学镜头，其工作范围有0.1mm、0.4mm、1.4mm、4.0mm、1.2mm等几个规格；普雷茨特（PRECITEC）公司的CHRocodile 2S系列工作范围只有3~10mm。而且，工作范围越大，传感器的价格越昂贵。因此，工作范围虽然越小其精度较高，但是在实际的使用过程中对操作的要求越复杂。必须借助高精密的运动控制平台，将光谱共聚焦位移传感器的探头缓慢地移动到各规格传感器对应的工作距离上，稍微较大的位移动作就会偏移出工作范围造成无法获得检测数据的问题，需要重新调整运动控制平台使探头处于对应工作距离处，从而大大影响了光谱共聚焦位移传感器的使用效率，尤其是对尺寸微细的样品，进一步提高了其操作的复杂性。
发明内容
本发明的目的在于克服上述在先技术的不足，提供了一种将超声检测技术结合到光谱共聚焦位移检测技术的位移量测量方法，以两种不同粒度的运动速度将被测物体移动到探测器测距工作范围内，利用该方法进行微细尺寸样品的位移量检测，具有速度快、精度高、适应性强等优点。
本发明的技术解决方案如下：
一种位移量测量方法，其特点在于：本方法采用的装置包括光谱共聚焦位移传感器、超声测距传感器、检测平台、三维运动平台、控制模块；所述的光谱共聚焦位移传感器和所述的超声位移探测固定在所述的三维运动平台上，并连接到所述的控制模块；所述的超声位移探测器与所述的光谱共聚焦位移传感器的检测平面位于同一平面，该检测平面与检测平台设置被测物体的平面相互平行；该方法包括以下步骤：
S1：在检测平台上固定好被测物体后，在控制模块上设置光谱共聚焦位移传感器工作距离和传感器工作范围；
S2：在控制模块上设置第一判定系数、第二判定系数、第一运动速度、第二运动速度，其中第一判定系数大于第二判定系数，第一运动速度大于第二运动速度；控制模块自动将S1步骤中设定的工作距离和工作范围的数值相加后，分别乘以第一判定系数和第二判定系数，从而获得第一判定阈值和第二判定阈值；
S3：控制模块发出指令使三维运动平台、光谱共聚焦位移传感器、超声测距传感器工作，同步触发超声测距传感器和三维运动平台；控制模块读取超声测距传感器返回的检测平面到被测物体的距离数据，并将超声测距数据与第一判定阈值进行比较，若距离大于第一判定阈值则进入S4步骤，若超声测距数据小于第一判定阈值则进入S7步骤；
S4：三维运动平台以第一运动速度，将光谱共聚焦位移传感器和超声测距传感器向接近被测物体方向调整；
S5：控制模块读取光谱共聚焦位移传感器的数据，并根据读取的数据判断是否进入了工作范围，判定算法是对光谱共聚焦位移传感器获取的数据计算均方根，若均方根值数值较小则判定为光谱共聚焦位移传感器已进入工作范围，进入S11步骤；若均方根数值较大则判定为光谱共聚焦位移传感器不在工作范围，则进入步骤S6；
S6：三维运动平台以第二运动速度，将光谱共聚焦位移传感器和超声测距传感器向接近被测物体方向调整，再回到步骤S5；
S7：控制模块读取超声测距传感器返回的检测平面到被测物体的距离数据，并将超声测距数据与第二判定阈值进行比较，若距离小于第二判定阈值则进入S8步骤，若超声测距数据大于第二判定阈值则进入S9步骤；
S8：三维运动平台以第一运动速度，将光谱共聚焦位移传感器和超声测距传感器向远离被测物体方向调整，再回到步骤S7；
S9：控制模块读取光谱共聚焦位移传感器的数据，根据读取的数据判断是否进入了工作范围，判定算法是对光谱共聚焦位移传感器获取的数据计算均方根，若均方根值数值较小则判定为光谱共聚焦位移传感器已进入工作范围，进入S11步骤；若均方根数值较大则判定为光谱共聚焦位移传感器不在工作范围，则进入步骤S10；
S10：三维运动平台以第二运动速度，将光谱共聚焦位移传感器和超声测距传感器向远离被测物体方向调整，再回到步骤S9；
S11：以预设运动轨迹进行扫描，控制模块读取光谱共聚焦位移传感器数据并计算获得被测物体的位移量，得到检测结果。
优选地，所述的第一判定系数的取值范围为0.1~0.95。
优选地，所述的第二判定系数的取值范围为1.0~2.0。
优选地，所述的第一运动速度数值上是第二运动速度的2.0~10.0倍。
优选地，所述的预设运动轨迹是根据被测物体的外形结构特点而设定的，包括且不局限于Z字型运动轨迹、一字型运动轨迹、圆形运动轨迹。
所述的三维运动平台是由直线电机或步进电机或伺服电机驱动的运动平台，包括X轴、Y轴、Z轴三个方向的运动轴，各轴上分别设置了光栅尺，用于精确控制所述位移平台的运动精度。
所述的控制模块用于对控制所述的三维运动平台、所述的光谱共聚焦位移传感器和所述的超声测距传感器的工作状态，并接收所述的光谱共聚焦位移传感器和所述的超声测距传感器检测到的位移数据信息。
所述的控制模块获取所述的光谱共聚焦位移传感器和所述的超声测距传感器的检测数据后，可以对数据进行处理分析，并根据数据分析结果控制三维运动平台，完成检测后最终输出检测结果。
所述的控制模块发出指令控制所述的三维运动平台分别沿着X轴、Y轴、Z轴方向进行运动，运动过程中，所述的三维运动平台会向所述的控制模块反馈当前的空间位置信息。
本发明至少具有以下有益效果：
（1）提供了一种结合了高精密位移平台、超声测距、光谱共聚焦测距的检测方法，采用了粗放和精细的两种运动模式，可以快速将光谱共聚焦位移传感器移入检测范围；
（2）非接触的检测方式，比传统的缓慢移动传感器进入工作范围才能实现精确检测的手段相比，大大提高了光谱共聚焦位移检测传感器的检测效率，适用性广。
附图说明
图1为本发明的采用的检测装置示意图。
图2为本发明实施例1中的检测示意图。
图3为本发明实施例2中的检测示意图。
图4为本发明测量方法的流程图。
图中各标示名称：1、光谱共聚焦位移传感器；2、超声测距传感器；3、三维运动平台Z轴；4、三维运动平台Y轴；5、三维运动平台X轴；6、被测物体；7、检测平台；101、光谱共聚焦位移传感器最短出射波长；102、光谱共聚焦位移传感器平均出射波长；103、光谱共聚焦位移传感器最远出射波长。
具体实施方式
下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本发明的技术方案，而不能以此来限制本发明的保护范围。
实施例1
本实施例提供了一种位移量测量方法，采用的装置包括光谱共聚焦位移传感器1、超声测距传感器2、检测平台7、三维运动平台、控制模块；所述的光谱共聚焦位移传感器1和所述的超声位移探测2固定在所述的三维运动平台Z轴3上，并连接到所述的控制模块；所述的超声位移探测器2与所述的光谱共聚焦位移传感器1的检测平面位于同一平面，该检测平面与检测平台7设置被测物体6的平面相互平行，如图1所示；本实施例中被测物体6被放置在远离光谱共聚焦位移传感器1而超出工作距离的位置，如图2所示；采用本发明提供的方法进行快速位移测量，如图4所示包括以下步骤：
S1：在检测平台7上固定好被测物体6后，在控制模块上设置光谱共聚焦位移传感器1工作距离w和传感器工作范围r；其中，工作距离w是指光谱共聚焦位移传感器1的探测平面到最短出射波长101聚焦位置的轴向距离；工作范围是指光谱共聚焦位移传感器1发出的最短出射波长101的聚焦位置，到最远出射波长103的聚焦位置的距离，通常尽可能调整三维运动平台Z轴3使得光谱共聚焦位移传感器1的平均出射波长102聚焦将被测物体6表面；
S2：在控制模块上设置第一判定系数、第二判定系数、第一运动速度、第二运动速度，其中第一判定系数大于第二判定系数，第一运动速度大于第二运动速度；控制模块自动将S1步骤中设定的工作距离和工作范围的数值相加后，分别乘以第一判定系数和第二判定系数，从而获得第一判定阈值和第二判定阈值；
S3：控制模块发出指令使三维运动平台、光谱共聚焦位移传感器1、超声测距传感器2工作，通过控制三维运动平台X轴5和三维运动平台Y轴4使得被测物体6位于光谱共聚焦位移传感器1的正下方，并同步触发超声测距传感器2和三维运动平台；控制模块读取超声测距传感器2返回的检测平面到被测物体6的距离数据d，并将超声测距数据与第一判定阈值进行比较，判定距离d大于第一判定阈值；
S4：三维运动平台Z轴3以第一运动速度，将光谱共聚焦位移传感器1和超声测距传感器2向接近被测物体6方向调整；
S5：控制模块读取光谱共聚焦位移传感器1的数据，根据光谱共聚焦位移传感器1反馈的数据计算均方根以判断是否进入了工作范围，若均方根值数值较小则判定为已进入工作范围，进入S7步骤；若均方根数值较大则判定为不在工作范围，则进入步骤S6，；
S6：三维运动平台以第二运动速度，将光谱共聚焦位移传感器1和超声测距传感器2向接近被测物体方向调整，再回到步骤S5；
S7：以预设运动轨迹进行扫描，控制模块读取光谱共聚焦位移传感器1数据并计算获得被测物体6的位移量，得到检测结果。
实施例2
本实施例提供了一种位移量测量方法，采用的装置包括光谱共聚焦位移传感器1、超声测距传感器2、检测平台7、三维运动平台、控制模块；所述的光谱共聚焦位移传感器1和所述的超声位移探测2固定在所述的三维运动平台Z轴3上，并连接到所述的控制模块；所述的超声位移探测器2与所述的光谱共聚焦位移传感器1的检测平面位于同一平面，该检测平面与检测平台7设置被测物体6的平面相互平行，如图1所示；本实施例中被测物体6被放置在特别靠近光谱共聚焦位移传感器1且短于工作距离的位置，如图3所示；采用本发明提供的方法进行快速位移测量，如图4所示包括以下步骤：
S1：在检测平台7上固定好被测物体6后，在控制模块上设置光谱共聚焦位移传感器1工作距离和传感器工作范围；
S2：在控制模块上设置第一判定系数、第二判定系数、第一运动速度、第二运动速度，其中第一判定系数大于第二判定系数，第一运动速度大于第二运动速度；控制模块自动将S1步骤中设定的工作距离和工作范围的数值相加后，分别乘以第一判定系数和第二判定系数，从而获得第一判定阈值和第二判定阈值；
S3：控制模块发出指令使三维运动平台、光谱共聚焦位移传感器1、超声测距传感器2工作，通过控制三维运动平台X轴5和三维运动平台Y轴4使得被测物体6位于光谱共聚焦位移传感器1的正下方，并同步触发超声测距传感器2和三维运动平台；控制模块读取超声测距传感器2返回的检测平面到被测物体6的距离数据，并将超声测距数据与第一判定阈值进行比较，判定距离小于第一判定阈值；
S4：控制模块读取超声测距传感器返回的检测平面到被测物体的距离数据d，并将超声测距数据d与第二判定阈值进行比较，若距离小于第二判定阈值则进入S5步骤，若超声测距数据大于第二判定阈值则进入S6步骤；
S5：三维运动平台Z轴3以第一运动速度，将光谱共聚焦位移传感器1和超声测距传感器2向远离被测物体6方向调整，再回到步骤S4；
S6：控制模块读取光谱共聚焦位移传感器1的数据，根据将数据求均方根判断是否进入工作范围，若均方根值数值较小则判定为已进入工作范围，进入S7步骤；若均方根数值较大则判定为不在工作范围，则进入步骤S8；
S7：三维运动平台以第二运动速度，将光谱共聚焦位移传感器1和超声测距传感器2向远离被测物体方向调整，再回到步骤S9；
S8：以预设运动轨迹进行扫描，控制模块读取光谱共聚焦位移传感器数据并计算获得被测物体的位移量，得到检测结果。
以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。
Claims (8)
1.一种位移量测量方法，其特点在于：本方法采用的装置包括光谱共聚焦位移传感器（1）、超声测距传感器（2）、检测平台（7）、三维运动平台、控制模块；所述的光谱共聚焦位移传感器（1）和所述的超声测距传感器（2）固定在所述的三维运动平台上，二者检测平面位于同一平面且与检测平台（7）设置被测物体（6）的平面相互平行；该方法包括以下步骤：
S1：在检测平台（7）上固定好被测物体（6）后，在控制模块上设置光谱共聚焦位移传感器（1）工作距离和传感器工作范围；
S2：在控制模块上设置第一判定系数、第二判定系数、第一运动速度、第二运动速度，其中第一判定系数大于第二判定系数，第一运动速度大于第二运动速度；控制模块自动将S1步骤中设定的工作距离和工作范围的数值相加后，分别乘以第一判定系数和第二判定系数，从而获得第一判定阈值和第二判定阈值；
S3：控制模块发出指令使三维运动平台、光谱共聚焦位移传感器（1）、超声测距传感器（2）工作，并同步触发超声测距传感器（2）和三维运动平台；控制模块读取超声测距传感器（2）返回的检测平面到被测物体（6）的距离数据，并将超声测距数据与第一判定阈值进行比较，若距离大于第一判定阈值则进入S4步骤，若超声测距数据小于第一判定阈值则进入S7步骤；
S4：三维运动平台以第一运动速度，将光谱共聚焦位移传感器（1）和超声测距传感器（2）向接近被测物体（6）方向调整；
S5：控制模块读取光谱共聚焦位移传感器（1）的数据，并根据读取的数据判断是否进入了工作范围，判定算法是对光谱共聚焦位移传感器（1）获取的数据计算均方根，若均方根值数值较小则判定为光谱共聚焦位移传感器（1）已进入工作范围，进入S11步骤；若均方根数值较大则判定为光谱共聚焦位移传感器（1）不在工作范围，则进入步骤S6；
S6：三维运动平台以第二运动速度，将光谱共聚焦位移传感器（1）和超声测距传感器（2）向接近被测物体（6）方向调整，再回到步骤S5；
S7：控制模块读取超声测距传感器（2）返回的检测平面到被测物体（6）的距离数据，并将超声测距数据与第二判定阈值进行比较，若距离小于第二判定阈值则进入S8步骤，若超声测距数据大于第二判定阈值则进入S9步骤；
S8：三维运动平台以第一运动速度，将光谱共聚焦位移传感器（1）和超声测距传感器（2）向远离被测物体（6）方向调整，再回到步骤S7；
S9：控制模块读取光谱共聚焦位移传感器（1）的数据，根据读取的数据判断是否进入了工作范围，判定算法是对光谱共聚焦位移传感器（1）获取的数据计算均方根，若均方根值数值较小则判定为光谱共聚焦位移传感器（1）已进入工作范围，进入S11步骤；若均方根数值较大则判定为光谱共聚焦位移传感器（1）不在工作范围，则进入步骤S10；
S10：三维运动平台以第二运动速度，将光谱共聚焦位移传感器（1）和超声测距传感器（2）向远离被测物体（6）方向调整，再回到步骤S9；
S11：以预设运动轨迹进行扫描，控制模块读取光谱共聚焦位移传感器（1）数据并计算获得被测物体（6）的位移量，得到检测结果。
2.根据权利要求项1所述的一种位移量测量方法，其特点在于：所述的第一判定系数的取值范围为0.1~0.95。
3.根据权利要求项1所述的一种位移量测量方法，其特点在于：所述的第二判定系数的取值范围为1.0~2.0。
4.根据权利要求项1所述的一种位移量测量方法，其特点在于：所述的第一运动速度数值上是第二运动速度的2.0~10.0倍。
5.根据权利要求项1所述的一种位移量测量方法，其特点在于：所述的三维运动平台是由直线电机或步进电机或伺服电机驱动的运动平台，包括X轴（5）、Y轴（4）、Z轴（3）三个方向的运动轴，各轴上分别设置了光栅尺，用于精确控制所述位移平台的运动精度。
6.根据权利要求项1所述的一种位移量测量方法，其特点在于：所述的控制模块用于对控制所述的三维运动平台、所述的光谱共聚焦位移传感器（1）和所述的超声测距传感器（2）的工作状态，并接收所述的光谱共聚焦位移传感器（1）和所述的超声测距传感器（2）检测到的位移数据信息。
7.根据权利要求项1所述的一种位移量测量方法，其特点在于：所述的控制模块获取所述的光谱共聚焦位移传感器（1）和所述的超声测距传感器（2）的检测数据后，可以对数据进行处理分析，并根据数据分析结果控制三维运动平台，完成检测后最终输出检测结果。
8.根据权利要求项1所述的一种位移量测量方法，其特点在于：所述的控制模块发出指令控制所述的三维运动平台分别沿着X轴、Y轴、Z轴方向进行运动，运动过程中，所述的三维运动平台会向所述的控制模块反馈当前的空间位置信息。
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| CN (1) | CN108195292B (zh) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109682310A (zh) * | 2019-03-06 | 2019-04-26 | 深圳佰视特光电科技有限公司 | 厚度平面度段差检测装置、系统及方法 |
| CN111922765A (zh) * | 2020-08-14 | 2020-11-13 | 上海交通大学 | 基于光谱共聚焦位移传感器的自动对刀系统及方法 |
| WO2022062057A1 (zh) * | 2020-09-27 | 2022-03-31 | 苏州康代智能科技股份有限公司 | 自动调节景深的运动控制装置及自动光学检测机 |
Citations (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN201456866U (zh) * | 2009-06-12 | 2010-05-12 | 武汉众泰数码光电设备有限公司 | 激光雕刻切割机自动实时调焦装置 |
| CN101770065A (zh) * | 2010-01-12 | 2010-07-07 | 广东工业大学 | 基于多平台的超精密自动对焦系统及其实现方法 |
| CN101839700A (zh) * | 2010-03-29 | 2010-09-22 | 重庆建设工业(集团)有限责任公司 | 一种非接触式影像测量系统 |
| CN101872059A (zh) * | 2010-06-18 | 2010-10-27 | 南京理工大学 | Otf测试仪的自动调焦系统及其自动调焦方法 |
| CN203375930U (zh) * | 2013-05-03 | 2014-01-01 | 合肥米克光电技术有限公司 | 一种桌面型手动三维影像测量仪 |
| CN103852878A (zh) * | 2014-01-08 | 2014-06-11 | 麦克奥迪实业集团有限公司 | 一种具有实时聚焦的显微切片快速数字扫描装置及其方法 |
| WO2014148309A1 (ja) * | 2013-03-21 | 2014-09-25 | 株式会社 日立メディコ | 移動型ｘ線装置及びその位置決め制御方法 |
| CN104095604A (zh) * | 2013-12-24 | 2014-10-15 | 北京华科创智健康科技股份有限公司 | 工作距离自动连续调节的内窥oct探头 |
| CN104683696A (zh) * | 2015-03-10 | 2015-06-03 | 山东超越数控电子有限公司 | 一种基于超声波测量实现摄像头快速准确自拍的方法 |
| CN104764399A (zh) * | 2014-12-31 | 2015-07-08 | 广东万濠精密仪器股份有限公司 | 可快速对焦的测量仪及其测量方法 |
| CN106767519A (zh) * | 2017-03-13 | 2017-05-31 | 王俊民 | 光谱共焦检测系统及方法 |
-
2018
- 2018-02-02 CN CN201810104643.9A patent/CN108195292B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN201456866U (zh) * | 2009-06-12 | 2010-05-12 | 武汉众泰数码光电设备有限公司 | 激光雕刻切割机自动实时调焦装置 |
| CN101770065A (zh) * | 2010-01-12 | 2010-07-07 | 广东工业大学 | 基于多平台的超精密自动对焦系统及其实现方法 |
| CN101839700A (zh) * | 2010-03-29 | 2010-09-22 | 重庆建设工业(集团)有限责任公司 | 一种非接触式影像测量系统 |
| CN101872059A (zh) * | 2010-06-18 | 2010-10-27 | 南京理工大学 | Otf测试仪的自动调焦系统及其自动调焦方法 |
| WO2014148309A1 (ja) * | 2013-03-21 | 2014-09-25 | 株式会社 日立メディコ | 移動型ｘ線装置及びその位置決め制御方法 |
| CN203375930U (zh) * | 2013-05-03 | 2014-01-01 | 合肥米克光电技术有限公司 | 一种桌面型手动三维影像测量仪 |
| CN104095604A (zh) * | 2013-12-24 | 2014-10-15 | 北京华科创智健康科技股份有限公司 | 工作距离自动连续调节的内窥oct探头 |
| CN103852878A (zh) * | 2014-01-08 | 2014-06-11 | 麦克奥迪实业集团有限公司 | 一种具有实时聚焦的显微切片快速数字扫描装置及其方法 |
| CN104764399A (zh) * | 2014-12-31 | 2015-07-08 | 广东万濠精密仪器股份有限公司 | 可快速对焦的测量仪及其测量方法 |
| CN104683696A (zh) * | 2015-03-10 | 2015-06-03 | 山东超越数控电子有限公司 | 一种基于超声波测量实现摄像头快速准确自拍的方法 |
| CN106767519A (zh) * | 2017-03-13 | 2017-05-31 | 王俊民 | 光谱共焦检测系统及方法 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109682310A (zh) * | 2019-03-06 | 2019-04-26 | 深圳佰视特光电科技有限公司 | 厚度平面度段差检测装置、系统及方法 |
| CN109682310B (zh) * | 2019-03-06 | 2021-02-26 | 深圳佳视德智能科技有限公司 | 厚度平面度段差检测装置、系统及方法 |
| CN111922765A (zh) * | 2020-08-14 | 2020-11-13 | 上海交通大学 | 基于光谱共聚焦位移传感器的自动对刀系统及方法 |
| WO2022062057A1 (zh) * | 2020-09-27 | 2022-03-31 | 苏州康代智能科技股份有限公司 | 自动调节景深的运动控制装置及自动光学检测机 |
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