CN108169999B - 掩模版及其制备方法、显示面板及其制备方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种掩模版及其制备方法、显示面板及其制备方法,涉及模具制作技术领域,能够解决现有技术制作掩模版时资源浪费严重的问题。本发明的掩模版包括:基础模具单元和至少一个连接构件;在所述基础模具单元包括第一连接区域;层叠设置的所述连接构件包括第二连接区域以及非连接区域,其中,所述基础模具单元与连接构件通过第一连接区域与第二连接区域相连接,所述非连接区域的外形与所述基础模具单元的外形构成所述掩模版所需的目标形状。本发明的掩模版通用于制作常规形状的显示面板以及异形形状的显示面板。

Description

掩模版及其制备方法、显示面板及其制备方法
技术领域
本发明涉及模具制作技术领域,特别是涉及一种掩模版及其制备方法、显示面板及其制备方法。
背景技术
随着技术和潮流的发展,各种电子设备的显示面板也在发生着日新月异的变化,为了满足不同的需求与审美,设备制造商会为一种尺寸的显示面板设计不同的外观,制作出具有不同外形的显示面板。在制作显示面板中的一项重要工艺就是通过蒸镀在显示面板的基板上覆膜,其中需要利用掩模版遮挡住不需要覆膜的位置,以确定覆膜的位置。
由于显示面板的外形不同,对应基板上覆膜的位置也不相同,适用掩模版的形状也不相同。现有的掩模版制作成型后,其遮挡区域是固定不变的,因此一种掩模版只能适用于一种外形的显示面板。而现代设计的更新换代十分迅速,设计出新形状的显示面板后,针对原有显示面板的掩模版就无法再使用,还需要重新开模制作新的掩模版,对资源造成了很大的浪费。并且对于一种尺寸的显示面板而言,每多设计出一种外观,同时就要再单独制作对应形状的掩模版;而显示面板的不同设计之间往往也只存在较小的差异,但仍需要针对这些细小的改变单独为其制作掩模版,十分浪费资源。
发明内容
有鉴于此,本发明提供一种掩模版及其制备方法、显示面板及其制备方法,主要解决的技术问题是现有技术制作掩模版时资源浪费严重的问题。
为达到上述目的,本发明主要提供如下技术方案:
第一方面,本发明提供了一种掩模版,包括:层叠设置的基础模具单元和至少一个连接构件;
在所述基础模具单元包括第一连接区域;
所述连接构件包括第二连接区域以及非连接区域,其中,所述基础模具单元与连接构件通过第一连接区域与第二连接区域相连接,所述非连接区域的外形与所述基础模具单元的外形构成所述掩模版所需的目标形状。
本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。
可选的,所述基础模具单元的边框至少包括第一边框以及与所述第一边框连接的第二边框;
在所述第一边框上表面开设有凹槽,所述凹槽所在的区域为所述第一连接区域,所述凹槽在第一边框延长线方向上的长度小于所述第一边框的长度,宽度等于所述第一边框的宽度,深度小于所述第一边框的厚度;或
所述第一连接区域为开设在所述第一边框与所述第二边框的拐角连接处上表面的凹槽,其中,所述凹槽开设在对应边框上的长度小于所述对应边框的长度,宽度等于边框宽度,深度小于边框的厚度。
可选的,所述基础模具单元与连接构件通过第一连接区域与第二连接区域相连接组成的掩模版的整体厚度与所述基础模具单元的厚度相同。
可选的,所述掩模版还包括:
在所述第一连接区域上设置有第一定位装置;
在所述第二连接区域上设置有第二定位装置,所述第二定位装置用于与所述第一定位装置匹配定位,使得所述基础模具单元的第一连接区域与所述连接构件的第二连接区域相贴合。
可选的,所述掩模版还包括:
所述第一定位装置为定位凸起部,所述定位凸起部设置在所述凹槽内的底面;
所述第二定位装置为匹配所述定位凸起部的通孔,所述通孔贯穿所述连接构件。
可选的,所述第一连接区域与所述第二连接区域的贴合方式为可拆卸连接,至少包括粘接、卡接中的一种。
可选的,所述连接构件的非连接区域的外形由第一侧边与第二侧边组成;
所述第一侧边为所述非连接区域与所述第二连接区域的分界线;
所述第二侧边为具有预置弧度的侧边,其中,将所述第二侧边为内凹弧线的连接构件连接在所述基础模具单元的边框拐角处时,构成具有弧形拐角的掩模版,或者,将所述第二侧边为外凸弧线的连接构件连接在所述基础模具单元的至少一边框中时,构成具有弧形凸起的掩模版。
第二方面,本发明提供了一种掩模版的制备方法,所述方法包括:
在标准掩模版上的第一连接区域进行刻蚀,得到基础模具单元;
采用构图工艺制作具有第二连接区域的连接构件,所述第二连接区域用于与所述第一连接区域相连接;
利用所述第一连接区域与所述第二连接区域将所述连接构件与所述基础模具单元组合成新的掩模版。
本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。
可选的,在标准掩模版上的第一连接区域进行刻蚀包括:
在标准掩模版的至少一个边框上刻蚀出凹槽,所述凹槽所在的区域为所述第一连接区域,所述凹槽在边框延长线方向上的长度小于所述边框的长度,宽度等于所述边框的宽度,深度小于所述边框的深度。
可选的,采用构图工艺制作具有第二连接区域的连接构件包括:
利用曝光刻蚀工艺刻蚀具有预置外形的连接构件,所述基础模具单元与连接构件通过第一连接区域与第二连接区域相连接组成的掩模版的整体厚度与所述基础模具单元的厚度相同,所述预置外形由第二连接区域与非连接区域的外形所构成。
可选的,所述方法还包括:
在所述第一连接区域的预置位置形成定位凸起部,所述定位凸起部与所述基础模具单元同时形成;刻蚀第一定位装置;
在所述第二连接区域的预置位置刻蚀有与所述定位凸起部匹配的贯穿所述连接构件的通孔,所述定位凸起部和所述通孔用于将所述基础模具单元与所述连接构件对位贴合。
第三方面,本发明提供了一种显示面板的制备方法,所述显示面板包括显示基板,所述方法包括:
所述显示基板上形成有第一膜层;
采用如第一方面所述的掩模版对所述第一膜层进行构图工艺,形成第一图形。
第四方面,本发明提供了一种显示装置,包括显示面板,所述显示面板由第三方面所述的显示面板制备方法制成。
借由上述技术方案,本发明技术方案提供的电子纸以及图像显示方法至少具有下列优点:
本发明提供的技术方案中,为了减少制作掩模版时造成的资源浪费,提供了一组掩模版,能够适用于多种形状的显示面板,以增强掩模版的通用性。本发明使用具有多组件的拼接型掩模版代替现有一体成型的异形掩模版,该拼接型的掩模版通过将基础模具单元和不同形状的连接构件层叠连接,就能够组合成不同形状的掩模版;当显示面板更改了形状时,仅需要更换不同的连接构件即可拼接出新显示面板需要的形状,进而组合出适用于新显示面板的掩模版,节省了制作掩模版的资源。此外,越来越多的显示面板被设计成了具有异形形状,例如具有标准圆角形状、多段弧连接形状等。而该异形形状的存在破坏了掩模版整体的对称性,使得在制作掩模版时,很难控制存在异形形状区域的张网拉伸效果,进而增加了制作难度,也易造成一体成型的异形掩模版对于异形区域的精度管控不佳。而单独的基础模具单元和单独的连接构件的制作难度都要低于一体成型的异形掩模版的制作难度,其精度和组合精度都要远远高于一体成型的异形掩模版的精度,因此对于异性形状,拼接型的掩模版的精度要远远高于现有的一体成型掩模版的精度,提高了掩模版自身的精度,从而能够缩小预留边缘的面积、减窄显示面板整体边框的效果;使具有异形形状的区域的边框和正常区域的边框之间能够进行平滑过渡,达到协调美观的效果。
上述说明仅是本发明技术方案的概述,为了能够更清楚了解本发明的技术手段,并可依照说明书的内容予以实施,以下以本发明的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
附图说明
通过阅读下文优选实施方式的详细描述,各种其他的优点和益处对于本领域普通技术人员将变得清楚明了。附图仅用于示出优选实施方式的目的,而并不认为是对本发明的限制。而且在整个附图中,用相同的参考符号表示相同的部件。在附图中:
图1示出了本发明实施例提供的一种掩模版的基础模具单元;
图2示出了本发明实施例提供的一种掩模版的连接构件;
图3示出了本发明实施例提供的另一种掩模版的连接构件;
图4示出了本发明实施例提供的一种基础模具单元和连接构件的拼接效果图;
图5示出了本发明实施例提供的一种具有定位装置的掩模版的基础模具单元;
图6示出了本发明实施例提供的另一种具有定位装置的掩模版的基础模具单元;
图7示出了本发明实施例提供的一种具有定位装置的基础模具单元的剖面图;
图8示出了本发明实施例提供的一种具有定位装置的掩模版的连接构件;
图9示出了本发明实施例提供的另一种具有定位装置的掩模版的连接构件的结构示意图;
图10示出了本发明实施例提供的一种具有定位装置的连接构件的剖面图;
图11示出了本发明实施例提供的一种具有定位装置的基础模具单元和连接构件的拼接效果图;
图12示出了本发明实施例提供的另一种具有定位装置的基础模具单元和连接构件的拼接效果图;
图13示出了本发明实施例提供的一种掩模版的制备方法的流程图;
图14示出了本发明实施例提供的另一种掩模版的制备方法的流程图。
具体实施方式
为更进一步阐述本发明为达成预定发明目的所采取的技术手段及功效,以下结合附图及较佳实施例,对依据本发明提出的掩模版及其制备方法、显示面板及其制备方法其具体实施方式、结构、特征及其功效,详细说明如后。在下述说明中,不同的“一实施例”或“实施例”指的不一定是同一实施例。此外,一或多个实施例中的特定特征、结构、或特点可由任何合适形式组合。
为了解决现有技术制作掩模版时资源浪费严重的问题,本发明实施例提供了一种掩模版,如图1-4所示:
掩模版包括层叠设置的基础模具单元1和至少一个连接构件2,本实施例对该层叠设置中基础模具单元1与连接构件2之间的叠加设置方式,以及连接构件2的叠加数量不作具体限定。如图1所示,基础模具单元1包括第一连接区域11,第一连接区域11是基础模具单元1中与连接构件2相连接的区域。基础模具单元1的边框外形与标准掩模版的边框外形相同,标准掩模版的形状包括长方形、正方形、圆形等具有规整形状的图形。如图2和图3所示,连接构件2包括第二连接区域21和非连接区域22。连接构件2的非连接区域22具有异形形状,在制作连接构件2时是按照目标形状和基础模具单元1的形状差异来确定的非连接区域22的形状,该目标形状是适用于当前显示面板的掩模版的形状。如图2所示,连接构件2的非连接区域22可以是具有弧形凸起的异形形状;如图3所示,其也可以是具有弧形拐角的异形形状。本实施例对非连接区域22的具体外形形状不作具体限定。如图4所示,基础模具单元1与连接构件2通过第一连接区域11与第二连接区域21相连接,使第二区域21与第一区域11重合,非连接区域22裸露在基础模具单元1外,通过该非连接区域22的外形与基础模具单元1的外形构成目标形状,构成适用于当前显示面板的掩模版。具体的,基础模具单元1与连接构件2通过第一连接区域11与第二连接区域21层叠连接,可以是将基础模具单元1作为底层,在基础模具单元1的第一连接区域11上叠放一个对应的连接构件2;也可以是将基础模具单元1作为底层,在第一连接区域11的同一位置上叠加多个连接构件2,由多个连接构件2在该第一连接区域11构成异形形状;还可以是将基础模具单元1作为底层,在第一连接区域11的不同位置上分别叠放一个连接构件2。掩模版的未遮挡区域14是空心区域,其外形根据基础模具单元1和连接构件2拼接后的组合外形而确定。为了让第一连接区域11与第二连接区域21在连接后,保持相对位置不变,可以采用胶粘的方式、卡接的方式或螺纹连接的方式对第一连接区域11和第二连接区域21进行连接。本实施例对该连接方式不作具体限定,但需要说明的是,两者的连接方式为可拆卸连接。
由于掩模版制作工艺的限制,一体成型的异形掩模版相较于多组件的拼接型掩模版,不仅制作难度大,而且其中的异形区域的精度较低下,具体如下表所示:
精度对照表
类型 标准形状区域精度 异形区域精度
一体成型的异形掩模版 ±50um ±100um
独立的异形连接构件 / ±20um
多组件的拼接型掩模版 ±50um 约±55um
对多组件的拼接型掩模版中异形区域精度的具体计算如下:由于连接构件2和基础模具单元1的组合对位精度为±10um,根据组合公差计算多组件的拼接型掩模版中异形区域的精度:
Figure GDA0001567865580000071
由此可知,本实施例的基础模具单元1和连接构件2进行拼接后,组成的掩模版的精度要远远高于一体成型的异形掩模版的精度。
本发明实施例提供的掩模版,为了减少制作掩模版时造成的资源浪费,提供了一组掩模版能够适用于多种形状的显示面板,以增强掩模版的通用性。本发明实施例使用具有多组件的拼接型掩模版代替现有一体成型的异形掩模版,该拼接型的掩模版通过将基础模具单元1和不同形状的连接构件2层叠连接,就能够组合成不同形状的掩模版;当显示面板更改了形状时,仅需要更换不同的连接构件2即可拼接出新显示面板需要的形状,进而组合出适用于新显示面板的掩模版,节省了制作掩模版的资源。此外,由于异形边框对应的掩模版制作难度较高、精度管控不佳,而拼接型的掩模版的精度要远远高于现有的一体成型掩模版的精度,提高了掩模版自身的精度,使具有异形形状的区域的边框和正常区域的边框之间能够进行平滑过渡,达到协调美观的效果。
基于上述实施例,本发明另一实施例进一步提供了另一种掩模版,如图5-13所示:
掩模版包括层叠设置的基础模具单元1和至少一个连接构件2。如图5和图6所示,基础模具单元1具有四个边框,其边框外形与标准掩模版的边框外形相同。如图5所示,第一边框12上表面开设有凹槽,该凹槽所在的区域为第一连接区域11,且该凹槽在第一边框12延长线方向上的长度小于第一边框12的长度,宽度等于第一边框12的宽度,深度小于第一边框12的厚度;或如图6所示,第一边框12与第二边框13连接,第一连接区域11为开设在第一边框12与第二边框13的拐角连接处上表面的凹槽,凹槽开设在第一边框12上的长度小于第一边框12的长度、宽度等于第一边框12的宽度、深度小于第一边框12的厚度,开设在第二边框13上的长度小于第二边框13的长度,宽度等于第二边框13的宽度,深度小于第二边框13的厚度。其中,在第一边框12和第二边框13上的凹槽深度可以相同,也可以不同。
进一步的,第一连接区域11上具有第一定位装置111,第一定位装置111可以是设置在凹槽底面且高度小于等于凹槽的深度的凸起部。如图7所示,第一定位装置111是刻蚀在凹槽内的底面的一个圆柱体,其高度等于凹槽的深度。
如图8和图9所示,连接构件2包括第二连接区域21和非连接区域22。基础模具单元1与连接构件2通过第一连接区域11与第二连接区域21相连接。可采用可拆卸连接作为第一连接区域11与第二连接区域21的贴合方式,以方便对掩模版上连接构件2的拆卸。例如,采用粘接或采用卡接的方式使第一连接区域11与第二连接区域21相贴合。
其中,非连接区域22的外形由第一侧边221与第二侧边222组成;第一侧边221为非连接区域22与第二连接区域21的分界线,第二侧边222为具有预置弧度的侧边,该预置弧度是根据显示面板异形部分的外形设置的。如图8所示,通过第二侧边222形成连接构件2的外凸弧线;如图9所示,通过第二侧边222形成连接构件2的内凹弧线。
进一步的,配合第一连接区域11的第一定位装置111,第二连接区域21上具有第二定位装置211。具体的,如图10所示,第二连接区域21的厚度与凹槽的深度相同,其第二定位装置211为匹配定位凸起部的通孔,该通孔贯穿了连接构件2,以通过通孔的圆心和定位凸起部的圆心的相对位置来确定连接构件2的安装位置。该通孔的半径大于定位凸起部的半径,定位凸起部能够插在通孔中,使第二连接区域21能够全部插入凹槽中,插入后第一连接区域11和第二连接区域21叠加的厚度不会超过基础模具单元1中其他未开设凹槽区域的厚度,避免了造成厚度差,破坏第一连接区域11和第二连接区域21贴合后的整体外形。且定位凸起部的高度和通孔的深度的差值小于第一阈值,定位凸起部的半径和通孔的半径的差值小于第二阈值,该第一阈值和第二阈值均为预置经验值,以避免在匹配定位时,由于定位凸起部的体积远远小于通孔的体积,使定位凸起部在通孔中有较大的活动范围,在受外力影响时容易产生移位,进而造成连接构件2安装错位。
进一步的,对于基础模具单元1和连接构件2的定位装置,也可以在基础模具单元1凹槽内的底面设置定位凸起部,该定位凸起部的高度小于第二连接区域21的厚度;在第二连接区域21中设置匹配该定位凸起部的对位凹陷部,同上述定位凸起部和通孔的设置需求,该对位凹陷部的深度大于等于定位凸起部的凸起高度、且长度和宽度均大于定位凸起部的长度和宽度。并在第二连接区域21的上表面对该对位凹陷部的中心位置进行定位标记。以便根据该定位标记和定位凸起部上表面的中心点的相对位置来确定连接构件2的安装位置。
在安装连接构件2时,定位凸起部能够穿过通孔以确定连接构件2的安装位置。定位凸起部可以设计为圆柱体、正方体、长方体等形状,本实施例不对定位凸起部的形状作具体限定。
当如图8所示的连接构件2连接在如图5所示的基础模具单元1的上边框中时,可以构成如图11所示的具有弧形凸起的掩模板。当图9所示的连接构件2连接在如图6所示的基础模具单元1的边框拐角处时,可以构成如图12所示的具有弧形拐角的掩模板。
本发明实施例提供的掩模版,在基础模具单元1的边框上设置凹槽,将连接构件2安装在该凹槽内,使组装后掩模板的整体厚度与基础模具单元1的厚度相同,以避免因连接构件2增加掩模版的局部阴影。根据显示面板的外形设置的预置弧度,并根据预置弧度制作连接构件2上的内凹弧线或外凸弧线,以利用连接构件2得到符合显示面板需求的具有弧形拐角的掩模板或具有弧形凸起的掩模板。并且为了方便掩模板上组件的拆卸,本实施例采用可拆卸的连接方式作为第一连接区域11与第二连接区域21的贴合方式。同时,为了提高基础模具单元1和连接构件2的组合准确度,本实施例在基础模具单元1和连接构件2上均设置了定位装置,通过两个定位装置的匹配定位,使得第一连接区域11与第二连接区域21能够准确的贴合在一起,避免安装错位。
基于上述实施例,本发明实施例进一步提供了一种掩模板的制备方法,参照图13所示,所述方法包括:
101、在标准掩模板上的第一连接区域11进行刻蚀,得到基础模具单元1。
基础模具单元1具有和标准掩模版相同的外形,因此对标准掩模版进行改造即可形成基础模具单元1。并且,利用标准掩模板制作基础模具单元1,基础模具单元1的精度可以保持与标准掩模板一致,使其精度远远大于一体成型的异形掩模版的精度。在标准掩模板上的第一连接区域11进行刻蚀,得到至少一处能够与连接构件2进行连接的区域。具体的,可以利用刻蚀工艺在标准掩模板中需要开设第一连接区域11的位置上进行光刻腐蚀,腐蚀掉的该位置上的部分掩模版,以在第一连接区域11形成凹槽。
102、采用构图工艺制作具有第二连接区域21的连接构件2,所述第二连接区域21用于与所述第一连接区域11相连接。
预先根据基础模具单元1的第一连接区域11的外形,对连接构件2的第二连接区域21的外形进行构图;根据目标形状与基础模具单元1外形之间存在的差异,对连接构件2的非连接区域22的外形进行构图。在制作连接构件2时,采用构图工艺根据预先的构图制作出连接构件2,使该单独的连接构件2能够具有能够弥补差异的异形形状,并具有能够与基础模具单元1进行层叠连接的连接区域。并且,由于制作工艺的限制,单独制作的连接构件2的精度要远远大于一体成型的异形掩模版的精度。
103、利用所述第一连接区域11与所述第二连接区域21将所述连接构件2与所述基础模具单元1组合成新的掩模板。
第一连接区域11与第二连接区域21进行连接,使连接构件2与基础模具单元1连接在一起,组成具有目标形状的掩模版。当更换了目标形状后,仅需要根据新的目标形状制作新的连接构件2,再将新的连接构件2替换原有的连接构件2,既可配合基础模具单元1组合出新的目标形状。并且,为了第一连接区域11与第二连接区域21在连接后,保持相对位置不变,可以采用胶粘的方式、卡接的方式或螺纹连接的方式使第一连接区域11和第二连接区域21之间贴合在一起。例如,可以利用耐高温胶对将第一连接区域11和第二连接区域21粘贴在一起;该耐高温胶的熔点约为100℃左右,在对掩模版进行蒸镀的过程中其能保持不溶解、不变性。本实施例对该连接方式不作具体限定。
本发明实施例提供的掩模板的制备方法,为了减少制作掩模版时造成的资源浪费,提供了一组能够适用于多种形状的显示面板的掩模版,以增加掩模版的通用性。通过现有的标准掩模板的刻蚀生成基础模具单元1;并刻蚀出具有异形形状并能与基础模具单元1相连接的连接构件2。然后通过基础模具单元1与不同连接构件2的组合即可构成不同形状的掩模版。当显示面板更换了外形后,不再需要针对新外形单独开模制作一体成型的异形掩模版,仅更换新制作的连接构件2即可得到符合不同显示面板需求的掩模版,减少了制作掩模版的材料用量,提高掩模版兼容性的效果。此外,拼接型的掩模版的精度要远远高于现有的一体成型掩模版的精度,其提高了掩模版自身的精度,使具有异形形状的区域的边框和正常区域的边框之间能够进行平滑过渡,达到协调美观的效果。
基于上述实施例,本发明实施例进一步提供了另一种掩模板的制备方法,参照图14所示,所述方法包括:
201、在标准掩模版的至少一个边框上刻蚀出凹槽,所述凹槽所在的区域为所述第一连接区域,所述凹槽在边框延长线方向上的长度小于所述边框的长度,宽度等于所述边框的宽度,深度小于所述边框的深度,以得到基础模具单元1。
为了避免在第二连接区域21和第一连接区域11连接后,增加掩模版的局部阴影,在标准掩模板的边框上刻蚀出凹槽,以便在连接时连接构件2能够插到凹槽中,以减少第一连接区域11和第二连接区域21的叠加厚度。
进一步的,为了方便设置凹槽和连接构件的刻蚀深度数据,可以通过半刻方式来处理标准掩模板上的第一连接区域11。例如,标准掩模板的厚度为200um,在标准掩模板的边框上刻蚀出一个深度为100um、与边框同宽、长度小于边框长度的凹槽,以此获得具有第一连接区域11的基础模具单元1。
进一步的,为了提高基础模具单元1和连接构件2组合时的定位准确度,进一步在形成基础模具单元1时即同时形成定位装置,该定位装置是在第一连接区域11的预置位置形成的定位凸起部,预置位置包括第一连接区域11的底面和侧面,本实施例对该预设位置不作具体限定。该定位凸起部的外形刻蚀成圆柱体、正方体、长方体等形状,本实施例不对该定位凸起部的形状作具体限定。如图8所示,在凹槽的底部形成一高度等于凹槽深度的圆柱体,作为基础模具单元1的定位装置。
202、利用曝光刻蚀工艺刻蚀具有预置外形的连接构件2,所述基础模具单元与连接构件通过第一连接区域与第二连接区域相连接组成的掩模版的整体厚度与所述基础模具单元的厚度相同,预置外形由第二连接区域21与非连接区域22的外形所构成。
在制作了基础模具单元1后,根据基础模具单元1凹槽的深度设置连接构件2的厚度,使第一连接区域与第二连接区域的叠加厚度不会超过基础模具单元的厚度。例如,在通过半刻方式制作了基础模具单元1后,可以根据基础模具单元1边框深度的一半,设置连接构件2的厚度,即连接构件的厚度与凹槽的深度相同,使连接构件2能够完全插入凹槽中。
根据第二连接区域21与非连接区域22的外形构成连接构件2的外形,使连接构件2具有与目标形状相同的异形区域,并具有能够与基础模具单元1进行连接的连接区域。使该连接构件2可以与基础模具单元1相连接,并配合基础模具单元1组合出目标形状。
进一步的,为了配合第一连接区域11的定位凸起部进行匹配定位,在所述第二连接区域21的预置位置刻蚀有与所述定位凸起部匹配的贯穿所述连接构件的通孔,所述定位凸起部和所述通孔用于将所述基础模具单元1与所述连接构件2对位贴合。
具体的,根据定位凸起部的预设位置设置第一连接区域21中开设通孔的预设位置。通孔的外形与定位凸起部的外形相匹配。例如,若定位凸起部为圆柱体,则通孔为半径大于该圆柱体半径的圆柱形通孔;若定位凸起部为正方体,则通孔为直径大于该正方体直径的正方形通孔。如图11所示,该通孔是圆柱形通孔。在基础模具单元1的第一连接区域11与连接构件2的第二连接区域21进行连接时,将通孔的圆心在定位凸起部上的投影与定位凸起部的圆心重合,以此来确定连接构件2在基础模具单元1上的安装位置,进而提高基础模具单元1和连接构件2组合时的定位准确度。
203、利用所述第一连接区域与所述第二连接区域将所述连接构件与所述基础模具单元组合成新的掩模版。
在基础模具单元1的第一连接区域11与连接构件2的第二连接区域21进行连接时,通过定位装置基础模具单元1和连接构件2进行匹配定位,然后根据定位将基础模具单元1和连接构件2层叠连接,以组合成外形符合需求的新掩模版。
本发明实施例提供的掩模板的制备方法,对标准掩模板的边框进行刻蚀形成凹槽,以完成对基础模具单元1的制作;根据显示面板存在的异形和凹槽的形状来刻蚀连接构件2的外形,使连接构件2可以和基础模具单元1通过凹槽连接并构成目标形状。进一步,根据刻蚀出与凹槽同深度的连接构件2,以确保组合后的掩模板的整体厚度与基础模具单元1的厚度相同,避免掩模板上造成局部阴影。进一步,为了在组装掩模版时,组件之间能够进行准确地定位,在第一连接区域11和第二连接区域21中刻蚀了相匹配的定位装置。
本发明另一实施例提供了显示面板的制备方法,该显示面板包括显示基板,在对基板进行蒸镀覆膜前,根据显示面板的需求,对上述实施例的掩模版组件进行组装构成符合需求的掩模版。具体的,先利用真空吸盘一次性将一列的连接构件2水平吸附起来,然后移动到基础模具单元1的第一连接区域11上方,再对连接构件2进行安装定位。使基础模具单元1的第一定位装置111和连接构件2的第二定位装置211的中心位置重合,将连接构件2与基础模具单元1按照定位进行贴合。在贴合完成后还可对组合的掩模版进行精度测量,针对精度较差的连接区域进行单独调整。在所有掩模版的精度符合要求后,将该掩模版放置在基板和蒸镀源之间,对基板进行局部遮挡,使基板在未遮挡区域14上形成第一膜层,即形成第一图形。
进一步的,基础模具单元1和构件水平的贴合方式可以采用耐高温胶贴合,耐高温胶贴合方式对掩模版伤害较小,并且熔点较高,能在蒸镀膜层的过程中确保连接构件2不会脱落。并在需要制作其他形状的显示面板时,对掩模版进行高温加热将胶材融化,即可通过真空吸盘方便地拆卸下连接部件,以便更换其他形状的连接构件。
本发明另一实施例提供了一种显示装置,包括显示面板,能够利用上述实施例的掩模版将显示面板中所有膜层的制作成符合需求的形状,进而制成该显示装置的显示面板。
在上述实施例中,对各个实施例的描述都各有侧重,某个实施例中没有详述的部分,可以参见其他实施例的相关描述。
可以理解的是,上述装置中的相关特征可以相互参考。另外,上述实施例中的“第一”、“第二”等是用于区分各实施例,而并不代表各实施例的优劣。
在此处所提供的说明书中,说明了大量具体细节。然而,能够理解,本发明的实施例可以在没有这些具体细节的情况下实践。在一些实例中,并未详细示出公知的结构和技术,以便不模糊对本说明书的理解。
类似地,应当理解,为了精简本公开并帮助理解各个发明方面中的一个或多个,在上面对本发明的示例性实施例的描述中,本发明的各个特征有时被一起分组到单个实施例、图、或者对其的描述中。然而,并不应将该公开的装置解释成反映如下意图:即所要求保护的本发明要求比在每个权利要求中所明确记载的特征更多的特征。更确切地说,如下面的权利要求书所反映的那样,发明方面在于少于前面公开的单个实施例的所有特征。因此,遵循具体实施方式的权利要求书由此明确地并入该具体实施方式,其中每个权利要求本身都作为本发明的单独实施例。
本领域那些技术人员可以理解,可以对实施例中的装置中的部件进行自适应性地改变并且把它们设置在与该实施例不同的一个或多个装置中。可以把实施例中的部件组合成一个部件,以及此外可以把它们分成多个子部件。除了这样的特征中的至少一些是相互排斥之外,可以采用任何组合对本说明书(包括伴随的权利要求、摘要和附图)中公开的所有特征以及如此公开的任何装置的所有部件进行组合。除非另外明确陈述,本说明书(包括伴随的权利要求、摘要和附图)中公开的每个特征可以由提供相同、等同或相似目的替代特征来代替。
此外,本领域的技术人员能够理解,尽管在此所述的一些实施例包括其它实施例中所包括的某些特征而不是其它特征,但是不同实施例的特征的组合意味着处于本发明的范围之内并且形成不同的实施例。例如,在下面的权利要求书中,所要求保护的实施例的任意之一都可以以任意的组合方式来使用。本发明的各个部件实施例可以以硬件实现,或者以它们的组合实现。
应该注意的是上述实施例对本发明进行说明而不是对本发明进行限制,并且本领域技术人员在不脱离所附权利要求的范围的情况下可设计出替换实施例。在权利要求中,不应将位于括号之间的任何参考符号构造成对权利要求的限制。单词“包含”不排除存在未列在权利要求中的部件或组件。位于部件或组件之前的单词“一”或“一个”不排除存在多个这样的部件或组件。本发明可以借助于包括有若干不同部件的装置来实现。在列举了若干部件的权利要求中,这些部件中的若干个可以是通过同一个部件项来具体体现。单词第一、第二、以及第三等的使用不表示任何顺序。可将这些单词解释为名称。
以上所述,仅是本发明的较佳实施例而已,并非对本发明作任何形式上的限制,依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰,均仍属于本发明技术方案的范围内。

Claims (11)

1.一种掩模版,其特征在于,包括:层叠设置的基础模具单元和至少一个连接构件;
在所述基础模具单元包括第一连接区域;
所述连接构件包括第二连接区域以及非连接区域,其中,所述基础模具单元与连接构件通过第一连接区域与第二连接区域相连接,所述非连接区域的外形与所述基础模具单元的外形构成所述掩模版所需的目标形状,所述基础模具单元的外形是指由所述基础模具单元的中空区域所构成的形状,所述非连接区域与所述中空区域相交叠,所述中空区域为基础模具单元的框架包围的整体空心区域;
所述基础模具单元与连接构件通过第一连接区域与第二连接区域相连接组成的掩模版的整体厚度与所述基础模具单元的厚度相同。
2.根据权利要求1所述的掩模版,其特征在于,所述基础模具单元的边框至少包括第一边框以及与所述第一边框连接的第二边框;
在所述第一边框上表面开设有凹槽,所述凹槽所在的区域为所述第一连接区域,所述凹槽在第一边框延长线方向上的长度小于所述第一边框的长度,宽度等于所述第一边框的宽度,深度小于所述第一边框的厚度;或
所述第一连接区域为开设在所述第一边框与所述第二边框的拐角连接处上表面的凹槽,其中,所述凹槽开设在对应边框上的长度小于所述对应边框的长度,宽度等于所述对应边框的宽度,深度小于所述对应边框的厚度。
3.根据权利要求1-2中任一项所述的掩模版,其特征在于,包括:
在所述第一连接区域上设置有第一定位装置;
在所述第二连接区域上设置有第二定位装置,所述第二定位装置用于与所述第一定位装置匹配定位,使得所述基础模具单元的第一连接区域与所述连接构件的第二连接区域相贴合。
4.根据权利要求3所述的掩模版,其特征在于,包括:
所述第一定位装置为定位凸起部,所述定位凸起部设置在所述凹槽内的底面;
所述第二定位装置为匹配所述定位凸起部的通孔,所述通孔贯穿所述连接构件。
5.根据权利要求3所述的掩模版,其特征在于,所述第一连接区域与所述第二连接区域的贴合方式为可拆卸连接,至少包括粘接、卡接中的一种。
6.根据权利要求1-2中任一项所述的掩模版,其特征在于,所述连接构件的非连接区域的外形由第一侧边与第二侧边组成;
所述第一侧边为所述非连接区域与所述第二连接区域的分界线;
所述第二侧边为具有预置弧度的侧边,其中,将所述第二侧边为内凹弧线的连接构件连接在所述基础模具单元的边框拐角处时,构成具有弧形拐角的掩模版,或者,将所述第二侧边为外凸弧线的连接构件连接在所述基础模具单元的至少一边框中时,构成具有弧形凸起的掩模版。
7.一种掩模版的制备方法,其特征在于,所述方法包括:
在标准掩模版上的第一连接区域进行刻蚀,得到基础模具单元;
采用构图工艺制作具有第二连接区域的连接构件,所述第二连接区域用于与所述第一连接区域相连接;
利用所述第一连接区域与所述第二连接区域将所述连接构件与所述基础模具单元组合成新的掩模版,其中,所述连接构件还包括非连接区域,所述非连接区域的外形与所述基础模具单元的外形构成所述掩模版所需的目标形状,所述基础模具单元的外形是指由所述基础模具单元的中空区域所构成的形状,所述非连接区域与所述中空区域相交叠;
所述采用构图工艺制作具有第二连接区域的连接构件包括:
利用曝光刻蚀工艺刻蚀具有预置外形的连接构件,所述基础模具单元与连接构件通过第一连接区域与第二连接区域相连接组成的掩模版的整体厚度与所述基础模具单元的厚度相同,所述预置外形由第二连接区域与非连接区域的外形所构成。
8.根据权利要求7所述的方法,其特征在于,在标准掩模版上的第一连接区域进行刻蚀包括:
在标准掩模版的至少一个边框上刻蚀出凹槽,所述凹槽所在的区域为所述第一连接区域,所述凹槽在边框延长线方向上的长度小于所述边框的长度,宽度等于所述边框的宽度,深度小于所述边框的深度。
9.根据权利要求7-8中任一项所述的方法,其特征在于,所述方法还包括:
在所述第一连接区域的预置位置形成定位凸起部,所述定位凸起部与所述基础模具单元同时形成;
在所述第二连接区域的预置位置刻蚀有与所述定位凸起部匹配的贯穿所述连接构件的通孔,所述定位凸起部和所述通孔用于将所述基础模具单元与所述连接构件对位贴合。
10.一种显示面板的制备方法,其特征在于,所述显示面板包括显示基板,所述方法包括:
所述显示基板上形成有第一膜层;
采用如权利要求1-6中任一项所述的掩模版对所述第一膜层进行构图工艺,形成第一图形。
11.一种显示装置,其特征在于,包括显示面板,所述显示面板由权利要求10所述的显示面板制备方法制成。
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Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107740065B (zh) * 2017-09-26 2020-03-31 京东方科技集团股份有限公司 一种掩模版及其成膜方法、成膜设备
US11326245B2 (en) * 2018-05-14 2022-05-10 Kunshan Go-Visionox Opto-Electronics Co., Ltd. Masks for fabrication of organic lighting-emitting diode devices
WO2021036067A1 (zh) * 2019-08-28 2021-03-04 京东方科技集团股份有限公司 掩模板及制备方法、精细金属掩模板、掩模装置及使用方法
CN111077724A (zh) * 2019-12-06 2020-04-28 Tcl华星光电技术有限公司 一种掩膜板及显示面板的制作方法
CN113913745A (zh) * 2021-10-29 2022-01-11 合肥维信诺科技有限公司 掩膜板、治具组件及其使用方法
CN115685661A (zh) * 2022-09-21 2023-02-03 惠科股份有限公司 光罩组件及基板的制备方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104536260A (zh) * 2014-12-31 2015-04-22 深圳市华星光电技术有限公司 组合式掩模板及其制作方法
CN105511221A (zh) * 2016-01-05 2016-04-20 京东方科技集团股份有限公司 膜层及其制备方法、基板、显示装置

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002182242A (ja) * 2000-12-14 2002-06-26 Toshiba Corp 液晶表示装置の製造方法
US6729927B2 (en) * 2002-08-01 2004-05-04 Eastman Kodak Company Method and apparatus for making a shadow mask array
JP2004314532A (ja) * 2003-04-18 2004-11-11 Dainippon Printing Co Ltd 組み合わせメタルマスク
CN102841501A (zh) * 2012-09-12 2012-12-26 深圳市华星光电技术有限公司 掩膜及其制造方法
CN103293847A (zh) * 2013-05-29 2013-09-11 北京京东方光电科技有限公司 掩模板以及掩模板的制备方法
CN104846329A (zh) * 2015-04-28 2015-08-19 信利(惠州)智能显示有限公司 一种金属掩膜板结构及其制作方法
CN106125516B (zh) * 2016-08-19 2018-12-18 京东方科技集团股份有限公司 一种曝光方法、基板及曝光装置
CN106544638B (zh) * 2016-12-09 2018-12-18 中国科学院半导体研究所 一种拼装型的掩模板装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104536260A (zh) * 2014-12-31 2015-04-22 深圳市华星光电技术有限公司 组合式掩模板及其制作方法
CN105511221A (zh) * 2016-01-05 2016-04-20 京东方科技集团股份有限公司 膜层及其制备方法、基板、显示装置

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