CN108165934B - 一种蒸镀设备 - Google Patents

Abstract

本发明涉及OLED的蒸镀镀膜技术领域，提供一种蒸镀装置，蒸镀腔顶部下方固定连接第一驱动座，第一驱动座上安装第一驱动装置，第一驱动装置连接支架；支架上设有第二驱动装置，第二驱动装置连接夹具，夹具用于固定待镀膜样品，或固定承载待镀膜样品的框架。该第一、第二驱动装置用于调整样品方向、角度、速度和转动方式。当蒸镀曲面结构样品时，只通过调节转动的角度就可以使曲面各处得到所需的均匀膜结构，无需额外开真空腔，取出样品，翻转样品，重新蒸镀一次或多次等操作。所述蒸镀装置使用方便，降低蒸镀时间和生产成本，提高了生产效率。

Description

一种蒸镀设备

技术领域

本发明涉及蒸镀镀膜技术领域，显示和照明领域，具体涉及一种蒸镀设备。

背景技术

在OLED(有机发光二极管)显示和照明产品制作领域，采用蒸镀技术制作OLED产品是一种相对比较主流的工艺。蒸镀技术主要是利用材料热蒸发的原理，即把有机、无机、和金属材料放进蒸镀设备的蒸发源中加热熔融或升华为气态，材料蒸汽沉积在基板上形成一层层薄膜，制备成OLED器件。

现有的蒸镀设备，样品基板的位置一般水平固定在蒸发源正上方，或水平放置在蒸发源正上方并水平旋转以获得较均匀的沉积薄膜。其工艺只适用于平面基板。在蒸镀曲面显示屏或照明基板时只能用平面基板方法单次固定角度蒸镀，或者多次开真空腔室取出样品基板调节摆放位置，多次蒸镀，这样降低了沉积薄膜的均匀性，从而降低产品良率，或者增加了生产步骤和时间，并增加生产成本。而且有些要求厚度范围很严格薄膜，现有设备根本无法完成，因为多次蒸镀形成的连续曲面膜，连接部分两层叠加，厚度必然高于其他部分。

因此，亟需一种蒸镀装置以解决上述技术问题。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是针对现有技术中存在的上述不足，提供了一种蒸镀装置，用以解决现有蒸镀设备无法适应曲面样品基板的蒸镀，产品制造成本高或无法制造的问题。

为解决上述技术问题，本发明提供一种蒸镀装置，包括蒸镀腔、蒸镀源，所述蒸镀源位于所述蒸镀腔底部；所述蒸镀腔顶部下方固定连接第一驱动座，所述第一驱动座上安装第一驱动装置，所述第一驱动装置连接支架，所述支架上设有第二驱动装置和夹具，所述第二驱动装置连接所述夹具，所述夹具用于夹持样品基板，或固定承载待镀膜样品的框架，所述样品位于所述蒸镀源上方的蒸镀腔内。

进一步优化的，蒸镀腔顶部设有第三驱动装置，所述第三驱动装置连接水平旋转轴，所述第一驱动座固定连接在所述水平旋转轴上。

进一步的，所述蒸镀装置还设有控制终端，所述控制终端连接所述第一驱动装置，所述控制终端用于调控所述第一驱动装置的转动方向、角度和速度。

进一步的，所述控制终端连接所述第二驱动装置，所述控制终端用于调控所述第二驱动装置的转动方向、角度和速度。

进一步的，所述控制终端连接所述第三驱动装置，所述控制终端用于调控所述第三驱动装置的转动方向、角度和速度。

所述第二驱动装置通过可伸缩的连接杆连接所述夹具，以适用于不同大小的样品和框架。

更优的，所述可伸缩的连接杆与所述夹具为可拆卸连接；所述夹具数量为多个，多个夹具的规格不同。可方便调换，适用于固定不同形状规格的样品和框架。

本发明有以下有益效果：

本发明的蒸镀装置，能够在三维坐标系中翻转，灵活调整样品相对于蒸镀源的夹角，可适用于不同形状的曲面蒸镀加工，提高曲面样品镀膜的均匀性和产品良率。本蒸镀装置设有控制终端，控制三轴向驱动装置的转动方向、幅度和速度，实现蒸镀加工角度的精确调整，同时节约了生产时间，降低了生产成本。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本发明的技术方案作进一步具体说明。

图1是本发明实施例的蒸镀装置的主视图；

图2是本发明实施例的蒸镀装置的侧视图；

图3是本发明实施例的蒸镀装置部分立体结构的透视图；

图4是图3的外观结构图；

图5是图3所示结构的立体图；

图6是本图5中的椭圆15所指示部分的放大结构示意图。

具体实施方式

结合图1、图2所示的蒸镀装置，蒸镀源2位于蒸镀腔1底部；蒸镀腔顶部设有第三驱动装置，由于第三驱动装置为常规驱动机构，如驱动齿轮、驱动皮带或转动轴，故图1中虽未示出第三驱动装置，但是不影响本领域技术人员对其理解。第三驱动装置连接垂直安装的旋转轴3，第一驱动座4固定连接在水平旋转轴3上。第一驱动座4上安装第一驱动装置7，所述第一驱动装置7连接支架5。作为一种实施方式，第一驱动装置7包括第一主驱动轮8、第一从驱动轮9和第一皮带10，第一主驱动轮8与第一从驱动轮9通过第一皮带10连接。如图5、图6所示，第一从驱动轮9的轴心上水平方向固定安装驱动杆15，驱动杆15固定连接支架5的中心。

结合图3、图4、5所示，支架5上设有第二驱动装置、可伸缩的连接杆14和夹具6。夹具6用于夹持样品基板，或固定承载待镀膜样品的框架，样品位于所述蒸镀源上方的蒸镀腔内。作为一种实施方式，第二驱动装置包括第二主驱动轮11、第二从驱动轮12和第二皮带13，第二主驱动轮11与第二从驱动轮12通过第二皮带13连接。第二从驱动轮12连接可伸缩的连接杆14，可伸缩的连接杆14连接所述夹具6，以适用于不同大小的样品和框架。

可伸缩的连接杆14与夹具6为可拆卸连接。夹具的数量为多个，多个夹具的规格不同，可方便调换，适用于固定不同形状规格的样品和框架。

蒸镀装置还设有控制终端，控制终端为常规技术手段，包括控制器、通信接口和人机界面；因此虽然附图中未示出其具体结构，但是不影响本领域技术人员对其理解。控制终端连接第一驱动装置，用于调控所述第一驱动装置的转动方向、角度和速度。控制终端连接所述第二驱动装置，用于调控所述第二驱动装置的转动方向、角度和速度。控制终端连接第三驱动装置，用于调控所述第三驱动装置的转动方向、角度和速度。

当样品夹持在夹具6上后，启动蒸镀，蒸镀源2加热使有机材料，或无机材料，或金属材料熔融挥发或升华为气态向上喷射，形成蒸镀云沉积在样品基板上。通过控制终端，手动启动或按设定程序自动控制第三驱动装置，驱动垂直安装的旋转轴3作360度水平旋转，再通过第一驱动座4、支架5、夹具6的传导，带动样品作360度水平旋转。这在X-Y-Z三维坐标系中，即为绕垂直轴Z轴的旋转。

通过控制终端，手动启动或按设定程序自动控制第一驱动装置，则第一主驱动轮8通过第一皮带10带动第一从驱动轮9旋转，通过驱动杆15的传导，带动刚性的支架5绕水平的驱动杆15旋转，这在X-Y-Z三维坐标系中，即为绕水平轴Y轴的旋转。

通过控制终端，手动启动或按设定程序自动控制第二驱动装置，则第二主驱动轮11通过第二皮带13带动第二从驱动轮12旋转，通过连接杆14的传导，带动夹具6旋转，这在X-Y-Z三维坐标系中，即为绕水平轴X轴的旋转。

这样，可以手动或程序控制自动调整样品各个区域相对蒸镀源的喷射方向角度。使曲面样品各个微区域轮流重复滚动蒸镀，使各处蒸镀过程完全相同，从而得到厚度和膜质量均匀的曲面镀膜。由于样品可以连续转动，因此能蒸镀例如圆柱形屏这种曲面样品，而现有技术只能微调样品方向、角度因此是无法做到。进而言之的，对于曲面或多面复杂结构的样品，从用本发明蒸镀，不存在蒸镀死角，且不同区域的镀膜厚度相同，确保了镀膜质量，从而提高良品率。

采用本申请的蒸镀装置，可根据待蒸镀样品的形状，在镀膜过程中调整样品表面各个部位的运动轨迹，使用灵活，方便，应用范围广泛。

最后所应说明的是，以上具体实施方式仅用以说明本发明的技术方案而非限制，尽管参照较佳实施例对本发明进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本发明的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本发明技术方案的精神和范围，其均应涵盖在本发明的权利要求范围当中。

Claims (5)

1.一种蒸镀装置，包括蒸镀腔、蒸镀源，所述蒸镀源位于所述蒸镀腔底部；其特征在于，所述蒸镀腔顶部下方固定连接第一驱动座，所述第一驱动座上安装第一驱动装置，所述第一驱动装置连接支架；

所述支架上设有第二驱动装置和夹具，所述第二驱动装置连接所述夹具，所述夹具用于夹持样品基板，所述样品基板位于所述蒸镀源上方的蒸镀腔内；

所述第二驱动装置包括第二主驱动轮、第二从驱动轮和第二皮带，第二主驱动轮与第二从驱动轮通过第二皮带连接，第二从驱动轮通过可伸缩的连接杆与所述夹具连接；

所述蒸镀装置还设有控制终端，所述控制终端连接所述第二驱动装置，所述控制终端用于调控所述第二驱动装置的转动方向、角度和速度。

2.如权利要求1所述蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀腔顶部设有第三驱动装置，所述第三驱动装置连接水平旋转轴，所述第一驱动座固定连接在所述水平旋转轴上。

3.如权利要求2所述蒸镀装置，其特征在于，所述控制终端连接所述第一驱动装置，所述控制终端用于调控所述第一驱动装置的转动方向、角度和速度。

4.如权利要求3所述蒸镀装置，其特征在于，所述控制终端连接所述第三驱动装置，所述控制终端用于调控所述第三驱动装置的转动方向、角度和速度。

5.如权利要求4所述蒸镀装置，其特征在于，所述可伸缩的连接杆与所述夹具为可拆卸连接；所述夹具数量为多个，多个夹具的规格不同。

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