CN108079661A - 一种剥离工艺后金属回收装置 - Google Patents

Abstract

一种剥离工艺后金属回收装置，涉及一种金属回收方法，包括一级过滤装置和二级过滤装置，所述的一级过滤装置和所述的二级过滤装置连通，所述的一级过滤装置包括一级过滤罐，所述的一级过滤罐内设置有一级过滤网，所述的二级过滤装置包括二级过滤罐，所述的二级过滤罐内设置有外层滤盒，所述的外层过滤盒内嵌套有内层过滤盒，所述的二级过滤罐底部倾斜设置，所述的二级过滤罐底部高处设置有排液口。与现有技术相比，本发明的有益效果是：本发明具有两级过滤装置，通过过滤和沉淀处理能收集溶解液中绝大多数的金属颗粒和细屑，过滤后的溶液能直接回收利用或者通过常规的无害化处理，解决了以往金属回收工艺需要大量化学药剂的问题。

Description

一种剥离工艺后金属回收装置

技术领域

本发明涉及一种金属回收方法，尤其是一种光刻剥离工艺后金属回收方法。

背景技术

光刻胶是微电子技术中微细图形加工的关键材料之一，特别是近年来大规模和超大规模集成电路的发展，更是大大促进了光刻胶的研究开发和应用。剥离工艺（Lift-off）是首先在衬底上涂胶并光刻，然后再制备金属薄膜，在有光刻胶的地方，金属薄膜形成在光刻胶上，而没有光刻胶的地方，金属薄膜就直接形成在衬底上。当使用溶剂去除衬底上的光刻胶时，不需要的金属就随着光刻胶的溶解而脱落在溶剂中，而直接形成在衬底上的金属部分则保留下来形成图形。剥离通常用于铂、金、硅化物和难熔金属的图形化。

剥离工艺结束后，剩余的溶解液不仅含有大量的铂、金等贵金属，溶液本身还难以进行分解净化。为了降低成本以及保护环境，通常需要将这些贵金属回收重新利用。现有的回收方法主要采用化学与物理结合的手段，这种回收方法不仅成本高，而且在回收中会产生大量难以处理的污染物，对环境非常不友好，处理这些溶液还需要高昂的成本，往往回收完贵金属后也得不偿失。

发明内容

本发明针对现有技术中的不足，提供了一种剥离工艺后金属回收装置，本发明具有两级过滤装置，通过过滤和沉淀处理能收集溶解液中绝大多数的金属颗粒和细屑，过滤后的溶液能直接回收利用或者通过常规的无害化处理，解决了以往金属回收工艺需要大量化学药剂的问题。

为了解决上述技术问题，本发明通过下述技术方案得以解决：一种剥离工艺后金属回收装置，包括一级过滤装置和二级过滤装置，所述的一级过滤装置和所述的二级过滤装置连通，所述的一级过滤装置包括一级过滤罐，所述的一级过滤罐内设置有一级过滤网，所述的二级过滤装置包括二级过滤罐，所述的二级过滤罐内设置有外层滤盒，所述的外层过滤盒内嵌套有内层过滤盒，所述的二级过滤罐底部倾斜设置，所述的二级过滤罐底部高处设置有排液口。

上述技术方案中，优选的，所述的一级过滤网为桶型，所述的一级过滤网顶部具有开口。

上述技术方案中，优选的，所述的一级过滤罐上连接有进液口和出液口，所述的出液口低于所述的进液口，所述的出液口位置与所述一级过滤网对应。

上述技术方案中，优选的，所述的一级过滤罐上设置有可开启的上盖，，所述的上盖位于所述一级过滤网正上方。

上述技术方案中，优选的，所述的一级过滤网在所述的一级过滤罐内是可拆卸安装的。

上述技术方案中，优选的，所述的进液口通过进液接口法兰与所述一级过滤罐连接，所述的出液口通过出液接口法兰与所述一级过滤罐连接，所述的进液口与所述的进液接口法兰之间设置有进液密封卡箍，所述的出液口与所述的出液接口法兰之间设置有出液密封卡箍。

上述技术方案中，优选的，所述的上盖与所述的一级过滤罐之间设置有上盖密封卡箍。

上述技术方案中，优选的，所述的二级过滤罐底部最低处设置有备用排液口。

上述技术方案中，优选的，所述的二级过滤罐上设置有二级进液口，所述的二级进液口连通所述的内层过滤盒。

上述技术方案中，优选的，所述的二级过滤罐顶部还设置有活动盖板。

上述技术方案中，优选的，所述的排液口处于所述二级过滤罐底部最高处。

上述技术方案中，优选的，所述的二级过滤罐上还设置有液位检测装置。

上述技术方案中，优选的，所述的二级过滤罐上还设置有备用进液口，所述的备用进液口连通所述的内层过滤盒。

上述技术方案中，优选的，所述的外层滤盒和所述的内层过滤盒在所述的二级过滤罐内为可拆卸的。

本发明是一种光刻剥离工艺后回收溶解液中金属的装置。相比以往工艺，本申请采用纯物理过滤方法，具有两级过滤装置，其中第一级为纯过滤装置，第二级为过滤与沉淀结合装置。第一级中的一级过滤网采用筒状过滤网，溶解液从筒状过滤网进入然后浸出到一级过滤罐内，在一级过滤网内就能过滤掉体积较大的金属薄膜。第二级的过滤装置采用嵌套的过滤盒结构进行过滤，经过一级过滤网的溶解液首先会进入内层过滤盒，然后从内层过滤盒浸出的溶解液会进入外层过滤盒，然后再过滤到二级过滤罐。二级过滤罐底部为斜面，在重力的作用下，细小的金属碎屑会沉淀在二级过滤罐底部低处，在二级过滤罐底部高处设置排液口，纯净的溶解液就能从排液口排出，进行回收利用或者无害化处理。处于二级过滤罐底部低处的金属碎屑可以定期的进行回收清理。这样通过滤过加沉淀的措施可以回收溶解液中绝大多数的金属颗粒和细屑，同时无需添加任何化学物质，不仅能回收金属，还能让溶解液回收利用。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：本发明具有两级过滤装置，通过过滤和沉淀处理能收集溶解液中绝大多数的金属颗粒和细屑，过滤后的溶液能直接回收利用或者通过常规的无害化处理，解决了以往金属回收工艺需要大量化学药剂的问题。

附图说明

图1是本发明过滤系统示意图。

图2是本发明一级过滤装置示意图。

图3是本发明二级过滤装置示意图。

具体实施方式

下面结合附图与具体实施方式对本发明作进一步详细描述。

实施例1，如图1至图3所示， 一种剥离工艺后金属回收装置，包括一级过滤装置2和二级过滤装置3。所述的一级过滤装置2包括一级过滤罐21，所述的一级过滤罐21内设置有一级过滤网22，所述的一级过滤网22为桶型，所述的一级过滤网22顶部具有开口。所述的一级过滤罐21上设置有可开启的上盖23，所述的上盖23位于所述一级过滤网22正上方。所述的一级过滤罐21上连接有进液口27和出液口26，所述的出液口26低于所述的进液口27，所述的出液口26位置与所述一级过滤网22对应，一般而言与一级过滤网22上部。所述的进液口27通过进液接口法兰25与所述一级过滤罐21连接，所述的出液口26通过出液接口法兰24与所述一级过滤罐连接21。所述的进液口27与所述的进液接口法兰25之间设置有进液密封卡箍42，所述的出液口26与所述的出液接口法兰24之间设置有出液密封卡箍41。所述的上盖23与所述的一级过滤罐21之间设置有上盖密封卡箍43。通过打开上盖23就能将一级过滤网22取出进行更换。

所述的二级过滤装置3包括二级过滤罐31，所述的二级过滤罐31内设置有外层滤盒32，所述的外层过滤盒32内嵌套有内层过滤盒33，所述的二级过滤罐31底部倾斜设置，所述的二级过滤罐31底部高处设置有排液口35。一般而言排液口35处于所述二级过滤罐31底部最高处。所述的二级过滤罐31底部最低处设置有备用排液口36。所述的二级过滤罐31上设置有二级进液口34，所述的二级进液口34连通所述的内层过滤盒33。所述的二级过滤罐41上还设置有备用进液口39，所述的备用进液口39连通所述的内层过滤盒33。所述的二级过滤罐31上还设置有液位检测装置37。所述的二级过滤罐31顶部还设置有活动盖板38，通过活动盖板38可以更换外层过滤盒32和内层过滤盒33。

使用时，溶解液从去胶剥离1先进入到一级过滤装置2，溶解液从进液口27滴入到一级过滤网22内，然后溶解液从一级过滤网22浸出到一级过滤罐21与一级过滤网22之间的缝隙，当溶解液的量到达一定程度后，则会从出液口26流出，一级过滤装置2的出液口26与二级过滤装置3的二级进液口34或备用进液口39连通。一级过滤网22的滤网目数根据实际工况进行选择，大颗粒的金属残渣会遗留在一级过滤网22内，取出更换一级过滤网22只需要打开上盖23，如果一级过滤装置2整体使用年限到期或者使用状况不佳，可以通过打开进液密封卡箍42和出液密封卡箍41整体跟换一级过滤装置2。

随后溶解液通过二级进液口34进入二级过滤罐31的内层过滤盒33，随后进一步过滤的溶解液再进入外层过滤盒32。经过外层过滤盒32过滤的溶解液进入二级过滤罐31内，此时的溶解液大部分金属杂质已经过滤，只剩下非常细小的金属细屑。内层过滤盒33和外层过滤盒32的滤网目数根据实际工况进行选择，一般情况下大多数金属残渣会遗留在内层过滤盒33和外层过滤盒32内。取出更换内层过滤盒33和外层过滤盒32只需要打开活动盖板38即可。流入到二级过滤罐31的溶解液中细小的金属细屑在重力的作用下会逐渐沉淀，堆积在二级过滤罐31底部，因此二级过滤罐31底部为倾斜设置，细小的金属细屑会沉浸在最低处，此时处于底部最高处的液体已经达到二次使用标准，可以通过排液口35进行回收利用或者无害化处理后排出。在底部最低处还设置备用排液口36，平时处于关闭状态，定期打开备用排液口36，清理掉金属残留物。当需要彻底排空储液罐时，还可以使用备用排液口36进行排液。

Claims (10)

1.一种剥离工艺后金属回收装置，包括一级过滤装置和二级过滤装置，所述的一级过滤装置和所述的二级过滤装置连通，其特征为，所述的一级过滤装置包括一级过滤罐，所述的一级过滤罐内设置有一级过滤网，所述的二级过滤装置包括二级过滤罐，所述的二级过滤罐内设置有外层滤盒，所述的外层过滤盒内嵌套有内层过滤盒，所述的二级过滤罐底部倾斜设置，所述的二级过滤罐底部高处设置有排液口。

2.根据权利要求1所述的一种剥离工艺后金属回收装置，其特征为，所述的一级过滤网为桶型，所述的一级过滤网顶部具有开口。

3.根据权利要求2所述的一种剥离工艺后金属回收装置，其特征为，所述的一级过滤罐上连接有进液口和出液口，所述的出液口低于所述的进液口，所述的出液口位置与所述一级过滤网对应。

4.根据权利要求2所述的一种剥离工艺后金属回收装置，其特征为，所述的一级过滤罐上设置有可开启的上盖，，所述的上盖位于所述一级过滤网正上方。

5.根据权利要求4所述的一种剥离工艺后金属回收装置，其特征为，所述的一级过滤网在所述的一级过滤罐内是可拆卸安装的。

6.根据权利要求3所述的一种剥离工艺后金属回收装置，其特征为，所述的进液口通过进液接口法兰与所述一级过滤罐连接，所述的出液口通过出液接口法兰与所述一级过滤罐连接，所述的进液口与所述的进液接口法兰之间设置有进液密封卡箍，所述的出液口与所述的出液接口法兰之间设置有出液密封卡箍。

7.根据权利要求1所述的一种剥离工艺后金属回收装置，其特征为，所述的二级过滤罐底部最低处设置有备用排液口。

8.根据权利要求1所述的一种剥离工艺后金属回收装置，其特征为，所述的二级过滤罐上设置有二级进液口，所述的二级进液口连通所述的内层过滤盒。

9.根据权利要求1所述的一种剥离工艺后金属回收装置，其特征为，所述的排液口处于所述二级过滤罐底部最高处。

10.根据权利要求1所述的一种剥离工艺后金属回收装置，其特征为，所述的外层过滤盒和所述的内层过滤盒在所述的二级过滤罐内为可拆卸的。