CN208562482U - 晶圆光阻及金属剥离工艺金属回收和分类排废装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于晶圆制造技术领域，特别涉及一种晶圆光阻及金属剥离工艺金属回收和分类排废装置。包括一级过滤装置、二级过滤装置及分类排放装置，其中一级过滤装置设置于单元腔体内、且安装在腔体底板上，二级过滤装置设置于单元腔体的外部、且通过第一排放管路与一级过滤装置连接，分类排放装置通过第二排放管路与二级过滤装置连接，实现多种不同性质废液使用不同的排废管路进行分类排放。本实用新型将金属细屑按颗粒等级进行分级回收，大幅提高金属的回收率，分类排放装置可分管路排放不同种类的废液，实现一套排废管路排放多种废液，进而实现了一种金属回收装置用于回收多种金属的可能性，避免资源浪费，降低生产成本。

Description

晶圆光阻及金属剥离工艺金属回收和分类排废装置

技术领域

本实用新型属于晶圆制造技术领域，特别涉及一种晶圆光阻及金属剥离工艺金属回收和分类排废装置。

背景技术

剥离(Lift-Off)工艺用于晶圆上细微金属图形的制作。基片经过涂胶、曝光、显影等不同工艺处理后得到光刻胶掩膜层图形，然后制备金属薄膜，再使用溶剂将掩膜层和形成在掩膜层上的金属薄膜剥离干净，而直接在基片上形成的金属薄膜的则被保留下来得到所需图形。

金属薄膜镀层通常为金、银、铂等难溶贵金属，不同金属使用的剥离溶剂也不相同。经过剥离工艺后，金属薄膜碎屑或残留在单元腔体内，或随溶剂一起进入排废管道，严重时堵塞排废管路，废液外溢，腐蚀元器件，甚至危害人员健康。参杂金属屑的废液难处理，并且流失大量贵金属。现有的金属回收装置结构复杂，回收金属种类单一，金属回收率低，造成资源浪费，增加生产成本。

实用新型内容

针对上述问题，本实用新型的目的在于提供一种晶圆光阻及金属剥离工艺金属回收和分类排废装置，以解决现有剥离技术中金属回收率低，回收金属种类单一的问题。

为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种晶圆光阻及金属剥离工艺金属回收和分类排废装置，包括一级过滤装置、二级过滤装置及分类排放装置，其中一级过滤装置设置于单元腔体内、且安装在腔体底板上，所述二级过滤装置设置于所述单元腔体的外部、且通过第一排放管路与所述一级过滤装置连接，所述分类排放装置通过第二排放管路与所述二级过滤装置连接，用于多种药液的分类排放。

所述一级过滤装置包括防堵上罩、滤网及连接组件，其中滤网设置于所述腔体底板上的排废口内，所述防堵上罩设置于所述滤网的上方、且与所述滤网连接，所述连接组件设置于所述腔体底板的外侧、且与所述排废口连接。

所述滤网的外圆周上设有围板，所述滤网的中心设有连接柱，所述防堵上罩的中心设有凸起，所述防堵上罩通过凸起与所述连接柱螺纹连接，所述防堵上罩与所述围板之间留有环隙。

所述连接组件包括过滤连接块和排废接头，其中过滤连接块与所述腔体底板固定连接，所述排废接头与所述过滤连接块螺纹连接。

所述二级过滤装置包括废液桶及由上至下设置于所述废液桶内的多级过滤盒，所述废液桶的顶部设有废液桶进液口，底部设有与所述第二排放管路连接的废液桶出液口。

所述过滤盒包括由上至下设置的一级过滤盒、二级过滤盒及三级过滤盒，其中二级过滤盒嵌设于三级过滤盒的上端，所述一级过滤盒、二级过滤盒及三级过滤盒的滤网目数依次递增。

所述一级过滤盒包括盒体和过滤网，其中盒体的四周为镂空结构，所述过滤网设置于盒体的内壁上，所述盒体的侧面设有拉手。

所述一级过滤盒的滤网目数为50-90目，所述二级过滤盒的滤网目数为90-150目，所述三级过滤盒的滤网目数为150-250目。

所述废液桶的上部侧面设有单开门，所述废液桶的底部为倒锥形结构；所述废液桶的一侧设有液位计，液位计上安装有低位传感器、高位传感器和上极限位传感器，用于监测废液桶内废液的液位高度。

所述分类排放装置包括排废桶、第三排放管路及排放泵，其中排废桶的一端设有与所述第二排放管路连接的排废桶进液口，另一端设有清洗口，所述清洗口通过堵头封堵，所述排废桶的另一端侧壁上设有多个废液桶排液口，各废液桶排液口分别与一第三排放管路连接，各第三排放管路上均设有排放泵。

本实用新型的优点和有益效果为：

1.本实用新型通过一级、二级过滤装置有效地过滤废液中大部分的金属屑，提高了贵金属的回收率，避免资源浪费，降低生产成本。

2.本实用新型分类排放装置配有多个出口，可以使用一种回收装置回收不同种类金属，并能将不同种类的废液使用不同的排废管路进行分类排放，可以回收再利用，也可以常规排废处理。

3.本实用新型一级过滤装置有多组，有效地过滤了大块的金属薄膜碎片进入排废管道，防止其堵塞管路，确保了人机安全。

4.本实用新型二级过滤装置包含多级过滤盒，每级过滤盒的过滤网目数依次递增，可将不同颗粒等级的金属屑分级进行回收。

5.本实用新型一级过滤盒使用隐形拉手结构，减少了滤盒安装使用空间，增加了滤网有效使用面积，提高了过滤效率。

6.本实用新型每层过滤盒均使用不锈钢滤网制成，其结构简单，安装便利，易于维护，提高了生产效率。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型中一级过滤装置的结构示意图；

图3是本实用新型中二级过滤装置的结构示意图；

图4是图3的右视图；

图5是本实用新型中一级过滤盒的结构示意图；

图6是本实用新型中分类排放装置的结构示意图。

图中：1为一级过滤装置，101为防堵上罩，1011为凸起，102为滤网，1021为围板，1022为连接柱，103为环隙，104为单元底板，105为过滤连接块，106为排废接头，2为二级过滤装置，201为废液桶进液口，202为一级过滤盒，2021为盒体，2022为拉手，2023为过滤网，203为二级过滤盒，204为三级过滤盒，205为废液桶出液口，206为打开门，207为废液桶，208为低位传感器，209为高位传感器，210为上极限位传感器，3为分类排放装置，301为排废桶，302为排废桶进液口，303为第二废液桶排液口，304为第一废液桶排液口，305为堵头，4为第一排放泵，5为第二排放泵，6为腔体底板，7为旋转驱动机构，8为晶圆，9为喷嘴，10为第一排放管路，20为第二排放管路，30为第三排放管路。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面结合附图和具体实施例对本实用新型进行详细描述。

如图1所示，本实用新型提供的一种晶圆光阻及金属剥离工艺金属回收和分类排废装置，包括一级过滤装置1、二级过滤装置2及分类排放装置3，其中一级过滤装置1设置于单元腔体内、且安装在腔体底板6上，二级过滤装置2设置于单元腔体的外部、且通过第一排放管路10与一级过滤装置1连接，分类排放装置3通过第二排放管路20与二级过滤装置2连接，用于多种废液的分类排放。

如图2所示，一级过滤装置1包括防堵上罩101、滤网102及连接组件，其中滤网102设置于腔体底板6上的排废口的沉孔内，防堵上罩101设置于滤网102的上方、且与滤网102连接，连接组件设置于腔体底板6的外侧、且与排废口连接，腔体底板6与单元底板104连接。

进一步地，滤网102的外圆周上设有围板1021，滤网102的中心设有连接柱1022，防堵上罩101的中心设有凸起1011，防堵上罩101通过凸起1011与连接柱1022螺纹连接，防堵上罩101与围板1021之间留有环隙103。

连接组件包括过滤连接块105和排废接头106，其中过滤连接块105与腔体底板6固定连接，排废接头106与过滤连接块105螺纹连接。

滤网102浮坐在过滤连接块105上，便于拆卸，滤网102的围板1021距腔体底板6一定高度，可回收大颗粒金属。防堵上罩101与滤网102螺纹连接，且与腔体底板6之间有一定间隙，防堵上罩101与围板1021之间留有环隙103。腔体底板6、滤网102、防堵上罩101之间的高度差可保证废液通过排废接头106进入二级过滤装置2内，而大颗粒金属被过滤在单元腔体内和滤网102内。

如图3-4所示，二级过滤装置2包括废液桶207及由上至下设置于废液桶207内的多级过滤盒，废液桶207的顶部设有多个废液桶进液口201，底部设有与第二排放管路20连接的废液桶出液口205。各废液桶进液口201上安装卡套接头。

过滤盒包括由上至下设置的一级过滤盒202、二级过滤盒203及三级过滤盒204，其中二级过滤盒203嵌设于三级过滤盒204的上端，一级过滤盒202、二级过滤盒203及三级过滤盒204的滤网目数依次递增。

一级过滤盒202为长方体且上端开口，安装于废液桶207内，废液桶207所有废液桶进液口201均设置于一级过滤盒202的有效过滤范围内，确保废液完全经过一级过滤盒202。

如图5所示，一级过滤盒202包括盒体2021和过滤网2023，其中盒体2021的四周为镂空结构，过滤网2023设置于盒体2021的内壁上，盒体2021的侧面设有拉手2022，2022嵌设于盒体2021侧壁上的凹槽内。拉手2022的隐形设计，缩小了过滤盒的安装空间，增加滤网有效使用面积，提高了金属回收效率。

一级过滤盒202的滤网目数为50-90目，二级过滤盒203的滤网目数为90-150目，二级过滤盒203为长方体且上端开口，安装在三级过滤网204内，且在一级过滤网202下方。三级过滤盒204的滤网目数为150-250目，三级过滤盒204为长方体且上端开口，安装在废液桶206内，且在一级过滤盒202下方。二级过滤网203和三级过滤网204使用螺栓固定在废液桶206内。

废液桶207的正面上半部分开口，并安装有单开门206，以便于过滤盒的拆装和维护。废液桶207的底部为倒锥形结构，废液桶出液口205设置于倒锥形结构的底部。

如图6所示，分类排放装置3包括排废桶301、第三排放管路30及排放泵，其中排废桶301的一端设有与第二排放管路20连接的排废桶进液口302，另一端设有清洗口，清洗口通过堵头305封堵，排废桶301的另一端侧壁上设有多个废液桶排液口，各废液桶排液口分别与一第三排放管路30连接，各第三排放管路30上均设有排放泵。

本实用新型的实施例中，排废桶301的另一端侧壁上设有两个废液桶排液口，分别为第一废液桶排液口304和第二废液桶排液口303，第一废液桶排液口304和第二废液桶排液口303上均设有卡套接头。与第一废液桶排液口304和第二废液桶排液口303连接的两个第三排放管路30上分别设有第一排放泵4和第二排放泵5，用于分管路排放不同种类的废液。

废液桶207的一侧设有液位计，液位计上安装有低位传感器208、高位传感器209和上极限位传感器210，用于监测废液桶207内废液的液位高度。高位传感器209的安装高度要低于第一排放泵4和第二排放泵5的出液口高度。

本实用新型的工作原理是：

使用时，旋转驱动机构7带动晶圆8高速旋转，喷嘴9在晶圆8的表面来回扫描进行剥离工艺，在高压溶剂的作用下光刻胶及其上的金属薄膜被剥离下来，随溶剂一同流向腔体单元底部的排废口。腔体单元的腔体底板6上设有多个排废口，每个排废口入口处都安装一个一级过滤装置1，用于剥离工艺后大块金属屑的回收，防止其进入管道，堵塞管路。一级过滤装置安装方式简单，便于拆卸、清洗和维护。排废接头106和废液桶进液口之间通过第一排放管路10连接，混合金属细屑的废液进入废液桶207后，依次经过一级过滤盒202、二级过滤盒203、三级过滤盒204，将废液中的金属细屑按照不同颗粒等级分别进行回收，提高了金属的回收率。当定期收集所回收的金属时，只需打开单开门206，依次取出一级过滤盒202、二级过滤盒203、三级过滤盒204，三个过滤盒内的金属回收完毕后，再依次将三级过滤盒204、二级过滤盒203、一级过滤盒202放回废液桶207内安装好后，即可继续重复使用。金属回收操作简单省时，提高了生产效率。废液桶出液口205与排废桶进液口302之间使用第二排放管20连接。当废液桶207内废液的液位触发高位传感器209时排废泵开始工作，排出废液；当废液桶207内废液的液位降低并触发低位传感器208时，排废泵停止工作。第一废液桶排液口与第一排放泵4之间使用一第三排放管路30连接，实现一种废液的排放。第二废液桶排液口303与第二排废泵5之间使用另一第三排放管路30连接，实现另一种废液的排放。排废桶601上可设置多个出液口，不同种类的废液使用不同出液口和排废管路连接进行分类排放，避免多种废液交叉混合排放发生化学反应产生危险，实现一套排废管路排放多种废液，进而实现一种金属回收装置用于多种金属的回收，节约了生产成本。经过多级过滤的废液里仍含有少量的金属颗粒随管路进入到排废桶301内，静置沉积后残留在排废桶301内，可以将排废桶301拆卸下来，再拆下堵头305对桶内进行清洗。

综上所述，本实用新型提供的一种金属回收和废液分类排放装置，一级过滤装置设置于腔体单元内，用于大块金属回收；二级过滤装置包括一级过滤盒、二级过滤盒和三级过滤盒，用于实现金属细屑分级回收；所述分类排放装置设置有多个出液口，用于实现多种性质废液的分类排放。本实用新型具有多级回收装置，将金属细屑按颗粒等级进行分级回收，大幅提高金属的回收率，分类排放装置可分管路排放不同种类的废液，实现一套排废管路排放多种废液，进而实现了一种金属回收装置回收多种金属的可能性，避免资源浪费，降低生产成本。

以上所述仅为本实用新型的实施方式，并非用于限定本实用新型的保护范围。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换、改进、扩展等，均包含在本实用新型的保护范围内。

Claims (10)

1.一种晶圆光阻及金属剥离工艺金属回收和分类排废装置，其特征在于，包括一级过滤装置(1)、二级过滤装置(2)及分类排放装置(3)，其中一级过滤装置(1)设置于单元腔体内、且安装在腔体底板(6)上，所述二级过滤装置(2)设置于所述单元腔体的外部、且通过第一排放管路(10)与所述一级过滤装置(1)连接，所述分类排放装置(3)通过第二排放管路(20)与所述二级过滤装置(2)连接，用于多种药液的分类排放。

2.根据权利要求1所述的晶圆光阻及金属剥离工艺金属回收和分类排废装置，其特征在于，所述一级过滤装置(1)包括防堵上罩(101)、滤网(102)及连接组件，其中滤网(102)设置于所述腔体底板(6)上的排废口内，所述防堵上罩(101)设置于所述滤网(102)的上方、且与所述滤网(102)连接，所述连接组件设置于所述腔体底板(6)的外侧、且与所述排废口连接。

3.根据权利要求2所述的晶圆光阻及金属剥离工艺金属回收和分类排废装置，其特征在于，所述滤网(102)的外圆周上设有围板(1021)，所述滤网(102)的中心设有连接柱(1022)，所述防堵上罩(101)的中心设有凸起(1011)，所述防堵上罩(101)通过凸起(1011)与所述连接柱(1022)螺纹连接，所述防堵上罩(101)与所述围板(1021)之间留有环隙(103)。

4.根据权利要求2所述的晶圆光阻及金属剥离工艺金属回收和分类排废装置，其特征在于，所述连接组件包括过滤连接块(105)和排废接头(106)，其中过滤连接块(105)与所述腔体底板(6)固定连接，所述排废接头(106)与所述过滤连接块(105)螺纹连接。

5.根据权利要求1所述的晶圆光阻及金属剥离工艺金属回收和分类排废装置，其特征在于，所述二级过滤装置(2)包括废液桶(207)及由上至下设置于所述废液桶(207)内的多级过滤盒，所述废液桶(207)的顶部设有废液桶进液口(201)，底部设有与所述第二排放管路(20)连接的废液桶出液口(205)。

6.根据权利要求5所述的晶圆光阻及金属剥离工艺金属回收和分类排废装置，其特征在于，所述过滤盒包括由上至下设置的一级过滤盒(202)、二级过滤盒(203)及三级过滤盒(204)，其中二级过滤盒(203)嵌设于三级过滤盒(204)的上端，所述一级过滤盒(202)、二级过滤盒(203)及三级过滤盒(204)的滤网目数依次递增。

7.根据权利要求6所述的晶圆光阻及金属剥离工艺金属回收和分类排废装置，其特征在于，所述一级过滤盒(202)包括盒体(2021)和过滤网(2023)，其中盒体(2021)的四周为镂空结构，所述过滤网(2023)设置于盒体(2021)的内壁上，所述盒体(2021)的侧面设有拉手(2022)。

8.根据权利要求6所述的晶圆光阻及金属剥离工艺金属回收和分类排废装置，其特征在于，所述一级过滤盒(202)的滤网目数为50-90目，所述二级过滤盒(203)的滤网目数为90-150目，所述三级过滤盒(204)的滤网目数为150-250目。

9.根据权利要求5所述的晶圆光阻及金属剥离工艺金属回收和分类排废装置，其特征在于，所述分类排放装置(3)包括排废桶(301)、第三排放管路(30)及排放泵，其中排废桶(301)的一端设有与所述第二排放管路(20)连接的排废桶进液口(302)，另一端设有清洗口，所述清洗口通过堵头(305)封堵，所述排废桶(301)的另一端侧壁上设有多个废液桶排液口，各废液桶排液口分别与一第三排放管路(30)连接，各第三排放管路(30)上均设有排放泵。

10.根据权利要求9所述的晶圆光阻及金属剥离工艺金属回收和分类排废装置，其特征在于，所述废液桶(207)的上部侧面设有单开门(206)，所述废液桶(207)的底部为倒锥形结构；所述废液桶(207)的一侧设有液位计，液位计上安装有低位传感器(208)、高位传感器(209)和上极限位传感器(210)，用于监测废液桶(207)内废液的液位高度，所述高位传感器(209)的安装高度要低于所述排放泵的出液口高度。