CN108064119A - 一种集成光电子器件制造用蚀刻装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种集成光电子器件制造用蚀刻装置，其结构包括机架、输送架、高压喷淋头、蚀刻开关、加热板台、废液收容筒、废液酸碱中和结构，输送架机械连接于机架的上端表面后部，高压喷淋头活动连接于机架的上端表面中间处且其垂直贯穿入机架的内部空腔内，加热板台活动连接于机架的内部空腔中右处，废液收容筒活动连接于高压喷淋头的左端表面，废液酸碱中和结构活动连接于机架的内部空腔中下处，本发明在对集成光电子器件进行蚀刻操作的过程中，可以对设备的蚀刻喷淋废液进行一定的酸碱中和处理，防止废液中的酸对设备造成腐蚀，也避免酸性蒸汽对使用者的身体健康造成一定的伤害，减少设备的维护成本，有效提高了设备的可靠性能。
Description
技术领域
本发明是一种集成光电子器件制造用蚀刻装置，属于领域。
背景技术
印刷电路板生产的基本工序一般包括显影过程、蚀刻过程和退膜过程，显影过程是指采用显影液将膜上未经紫外线辐射的部分溶解，已经紫外线辐射而发生聚合反应的部分保留；蚀刻过程是指采用蚀刻液将印刷电路板上未被保护膜保护而露出的铜蚀刻掉；退膜过程是指将印刷电路板上的保护膜去掉，露出已加工好的线路。随着电子技术的飞速发展，印刷电路板集成度越来越高，印刷电路板的导电线路制作得越来越精细，这要求生产制作印刷电路板时要保证控制严格，减少公差，均匀性要好，传统的蚀刻技术蚀刻不均匀，达不到理想效果，需要一种蚀刻均匀的集成光电子器件制造用蚀刻装置。
但是，现有技术在对集成光电子器件进行蚀刻操作的过程中，虽然均匀性教好，但是无法对设备的蚀刻喷淋废液进行一定的酸碱中和处理，可能导致废液中的酸对设备造成腐蚀，而酸性蒸汽也有可能对使用者的身体健康造成一定的伤害，可靠性能不足。
发明内容
针对现有技术存在的不足，本发明目的是提供一种集成光电子器件制造用蚀刻装置，以解决现有技术在对集成光电子器件进行蚀刻操作的过程中，虽然均匀性教好，但是无法对设备的蚀刻喷淋废液进行一定的酸碱中和处理，可能导致废液中的酸对设备造成腐蚀，而酸性蒸汽也有可能对使用者的身体健康造成一定的伤害，可靠性能不足的问题。
为了实现上述目的，本发明是通过如下的技术方案来实现：一种集成光电子器件制造用蚀刻装置，其结构包括机架、输送架、高压喷淋头、蚀刻开关、加热板台、废液收容筒、废液酸碱中和结构，所述输送架机械连接于机架的上端表面后部，所述高压喷淋头活动连接于机架的上端表面中间处且其垂直贯穿入机架的内部空腔内，所述蚀刻开关固定连接于机架的左端表面上部，所述加热板台活动连接于机架的内部空腔中右处，所述废液收容筒活动连接于高压喷淋头的左端表面，所述废液酸碱中和结构活动连接于机架的内部空腔中下处，所述废液酸碱中和结构由pH检测装置、滑轮连接装置、齿轮传动结构、传动杆结构、转动轮机构、酸碱中和控制装置组成，所述pH检测装置的左半部分垂直连接于废液收容筒的下端表面右部且其贯穿入废液收容筒的内部，其右半部分固定连接于机架的内部空腔右部且其与pH检测装置的左半部分电连接，所述滑轮连接装置的右半部分通过预压螺栓垂直连接于机架的内部右表面最下处，其左半部分活动连接于机架的内部空腔左下处，所述齿轮传动结构活动连接于机架的内部左表面中下处，所述传动杆结构活动连接于齿轮传动结构的上端表面，所述转动轮机构垂直连接于加热板台的左端表面中间处，所述酸碱中和控制装置垂直连接于废液收容筒的下端表面且其贯穿入废液收容筒的内部，所述pH检测装置由pH检测计、pH分析控制器、控制杆、控制转轴、转动架、第一内滑轮组成，所述pH检测计垂直连接于废液收容筒的下端表面右部且其贯穿入废液收容筒的内部，所述pH分析控制器固定连接于机架的内部右表面中上处且其与pH检测计之间通过连接线电连接，所述控制杆垂直连接于pH分析控制器的下端表面中间处且其与pH分析控制器之间电连接，所述控制转轴固定连接于控制杆的前端表面下部，所述转动架活动嵌套于控制转轴的外侧表面且其向控制转轴的下端延伸，所述第一内滑轮活动连接于转动架的内部空腔下部。
进一步的，所述滑轮连接装置由第一滑轮固定架、第一滑轮、第二滑轮固定架、第二滑轮、弹簧结构、活动连接块、第二内滑轮、传动架组成，所述第一滑轮固定架通过预压螺栓垂直连接于机架的内部右表面最下处，所述第一滑轮活动连接于第一滑轮固定架的左端表面，所述第二滑轮固定架垂直连接于机架的内底面中间处，所述第二滑轮活动连接于第二滑轮固定架的上端表面，所述弹簧结构设置有两处且它们垂直连接于机架的内部左表面最下处，所述活动连接块活动连接于弹簧结构的右端表面，所述第二内滑轮活动连接于活动连接块的内部空腔最下处，所述传动架垂直连接于活动连接块的右端表面最上处。
进一步的，所述齿轮传动结构由第一齿轮输入轴、第一齿轮、横向固定架、啮合齿结构、第二齿轮固定架、第二齿轮、第二齿轮输入轴组成，所述第一齿轮输入轴活动贯穿于传动架的内侧表面最右处，所述第一齿轮机械连接于第一齿轮输入轴的外侧表面且其与第一齿轮输入轴呈同心圆结构，所述横向固定架垂直连接于加热板台的左端表面中下处，所述啮合齿结构均匀等距分布于横向固定架的下端表面，所述第二齿轮固定架通过预压螺栓机架的内部左表面中下处，所述第二齿轮活动连接于第二齿轮固定架的右端表面，所述第二齿轮输入轴机械连接于第二齿轮的前端表面中间处且它们之间呈同心圆状态。
进一步的，所述传动杆结构由第三齿轮、第四齿轮、轮齿结构、传动杆组成，所述第三齿轮活动连接于第二齿轮的右端表面，所述第四齿轮活动连接于第三齿轮的右端表面，所述轮齿结构均匀等距分布于第一齿轮、第二齿轮、第三齿轮、第四齿轮的外侧表面边缘处，所述传动杆垂直连接于加热板台的左端表面中间处且其与第四齿轮的上端表面活动连接。
进一步的，所述转动轮机构由转动轮转轴、转动轮、从动轮组成，所述转动轮转轴垂直连接于加热板台的左端表面中上处，所述转动轮活动嵌套于转动轮转轴的外侧表面最左处，所述从动轮机械连接于转动轮的左端表面中间处。
进一步的，所述酸碱中和控制装置由中和剂容置组件、出液口、出液控制阀、过流口、连接框、控制连接柱组成，所述中和剂容置组件垂直连接于废液收容筒的下端表面且其贯穿入废液收容筒的内部，所述出液口固定连接于中和剂容置组件的上端表面中间处且其与中和剂容置组件内部互相贯穿，所述出液控制阀横向贯穿于出液口的内部，所述过流口嵌入于出液控制阀的内侧表面左部，所述连接框固定连接于出液控制阀的右端表面，所述控制连接柱固定连接于连接框的内部空腔中。
进一步的，所述第一内滑轮、第一滑轮、第二滑轮、第二内滑轮的外侧表面皆活动嵌套于有连接绳索，所述第一内滑轮、第一滑轮、第二滑轮、第二内滑轮之间通过连接绳索活动连接，所述第一齿轮、横向固定架通过轮齿结构与啮合齿结构之间的啮合作用活动连接，所述第一齿轮输入轴、第二齿轮输入轴的外侧表面皆活动嵌套于有传动皮带，所述第一齿轮输入轴、第二齿轮输入轴之间通过传动皮带活动连接。
进一步的，所述第二齿轮、第三齿轮、第四齿轮通过轮齿结构之间的啮合作用活动连接，所述转动轮的外侧表面边缘处均匀等距排列有轮齿结构，所述传动杆的外侧表面均匀等距排列有外螺纹，所述第四齿轮、传动杆、转动轮通过轮齿结构与外螺纹之间的啮合作用活动连接，所述从动轮的外侧表面紧密缠绕有连接绳索，所述控制连接柱的外侧表面活动连接有连接绳索，所述从动轮、控制连接柱之间通过连接绳索活动连接。
进一步的，所述pH检测计对废液收容筒内的蚀刻喷淋废液的pH进行检测并将信号传递至pH分析控制器，所述pH分析控制器在酸性过高的情况下通过控制杆控制转动架绕控制转轴向上转动，从而所述第一内滑轮随之向上并带动其外侧表面的连接绳索向上，所述第一滑轮、第二滑轮、第二内滑轮的外侧表面的连接绳索依次被拉动，所述第二内滑轮被向右拉动并带动活动连接块向右移动，所述活动连接块带动传动架、第一齿轮向右沿横向固定架的啮合齿结构进行传动，从而所述第二齿轮在传动皮带的带动下随之传动，所述第三齿轮、第四齿轮在啮合作用下依次进行传动，所述传动杆、转动轮在轮齿结构与外螺纹之间的啮合作用下随之进行传动并带动所述从动轮进行转动，所述从动轮带动其外侧表面的连接绳索进行转动并拉动与之连接的控制连接柱向右，所述控制连接柱带动连接框、出液控制阀向右移动，直至所述过流口与出液口相对应而使得中和剂容置组件内的碱性中和剂流入废液收容筒内。
有益效果
本发明提供一种集成光电子器件制造用蚀刻装置的方案，通过设有废液酸碱中和结构，在对集成光电子器件进行蚀刻操作的过程中，可以对设备的蚀刻喷淋废液进行一定的酸碱中和处理，防止废液中的酸对设备造成腐蚀，也避免酸性蒸汽对使用者的身体健康造成一定的伤害，具体为pH检测计对废液收容筒内的蚀刻喷淋废液的pH进行检测并将信号传递至pH分析控制器，pH分析控制器在酸性过高的情况下通过控制杆控制转动架绕控制转轴向上转动，从而第一内滑轮随之向上并带动其外侧表面的连接绳索向上，第一滑轮、第二滑轮、第二内滑轮的外侧表面的连接绳索依次被拉动，第二内滑轮被向右拉动并带动活动连接块向右移动，活动连接块带动传动架、第一齿轮向右沿横向固定架的啮合齿结构进行传动，从而第二齿轮在传动皮带的带动下随之传动，第三齿轮、第四齿轮在啮合作用下依次进行传动，传动杆、转动轮在轮齿结构与外螺纹之间的啮合作用下随之进行传动并带动从动轮进行转动，从动轮带动其外侧表面的连接绳索进行转动并拉动与之连接的控制连接柱向右，控制连接柱带动连接框、出液控制阀向右移动，直至过流口与出液口相对应而使得中和剂容置组件内的碱性中和剂流入废液收容筒内，减少设备的维护成本，有效提高了设备的可靠性能。
附图说明
通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本发明的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
图1为本发明一种集成光电子器件制造用蚀刻装置的立体结构示意图。
图2为本发明机架的内部平面结构示意图。
图3为本发明废液酸碱中和结构的平面结构示意图。
图4为本发明废液酸碱中和结构的另一工作状态平面结构示意图。
图中：机架-1、输送架-2、高压喷淋头-3、蚀刻开关-4、加热板台-5、废液收容筒-6、废液酸碱中和结构-7、pH检测装置-71、滑轮连接装置-72、齿轮传动结构-73、传动杆结构-74、转动轮机构-75、酸碱中和控制装置-76、pH检测计-711、pH分析控制器-712、控制杆-713、控制转轴-714、转动架-715、第一内滑轮-716、第一滑轮固定架-721、第一滑轮-722、第二滑轮固定架-723、第二滑轮-724、弹簧结构-725、活动连接块-726、第二内滑轮-727、传动架-728、第一齿轮输入轴-731、第一齿轮-732、横向固定架-733、啮合齿结构-734、第二齿轮固定架-735、第二齿轮-736、第二齿轮输入轴-737、第三齿轮-741、第四齿轮-742、轮齿结构-743、传动杆-744、转动轮转轴-751、转动轮-752、从动轮-753、中和剂容置组件-761、出液口-762、出液控制阀-763、过流口-764、连接框-765、控制连接柱-766。
具体实施方式
为使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本发明。
请参阅图1-图4，本发明提供一种集成光电子器件制造用蚀刻装置，其结构包括机架1、输送架2、高压喷淋头3、蚀刻开关4、加热板台5、废液收容筒6、废液酸碱中和结构7，所述输送架2机械连接于机架1的上端表面后部，所述高压喷淋头3活动连接于机架1的上端表面中间处且其垂直贯穿入机架1的内部空腔内，所述蚀刻开关4固定连接于机架1的左端表面上部，所述加热板台5活动连接于机架1的内部空腔中右处，所述废液收容筒6活动连接于高压喷淋头3的左端表面，所述废液酸碱中和结构7活动连接于机架1的内部空腔中下处，所述废液酸碱中和结构7由pH检测装置71、滑轮连接装置72、齿轮传动结构73、传动杆结构74、转动轮机构75、酸碱中和控制装置76组成，所述pH检测装置71的左半部分垂直连接于废液收容筒6的下端表面右部且其贯穿入废液收容筒6的内部，其右半部分固定连接于机架1的内部空腔右部且其与pH检测装置71的左半部分电连接，所述滑轮连接装置72的右半部分通过预压螺栓垂直连接于机架1的内部右表面最下处，其左半部分活动连接于机架1的内部空腔左下处，所述齿轮传动结构73活动连接于机架1的内部左表面中下处，所述传动杆结构74活动连接于齿轮传动结构73的上端表面，所述转动轮机构75垂直连接于加热板台5的左端表面中间处，所述酸碱中和控制装置76垂直连接于废液收容筒6的下端表面且其贯穿入废液收容筒6的内部，所述pH检测装置71由pH检测计711、pH分析控制器712、控制杆713、控制转轴714、转动架715、第一内滑轮716组成，所述pH检测计711垂直连接于废液收容筒6的下端表面右部且其贯穿入废液收容筒6的内部，所述pH分析控制器712固定连接于机架1的内部右表面中上处且其与pH检测计711之间通过连接线电连接，所述控制杆713垂直连接于pH分析控制器712的下端表面中间处且其与pH分析控制器712之间电连接，所述控制转轴714固定连接于控制杆713的前端表面下部，所述转动架715活动嵌套于控制转轴714的外侧表面且其向控制转轴714的下端延伸，所述第一内滑轮716活动连接于转动架715的内部空腔下部，所述滑轮连接装置72由第一滑轮固定架721、第一滑轮722、第二滑轮固定架723、第二滑轮724、弹簧结构725、活动连接块726、第二内滑轮727、传动架728组成，所述第一滑轮固定架721通过预压螺栓垂直连接于机架1的内部右表面最下处，所述第一滑轮722活动连接于第一滑轮固定架721的左端表面，所述第二滑轮固定架723垂直连接于机架1的内底面中间处，所述第二滑轮724活动连接于第二滑轮固定架723的上端表面，所述弹簧结构725设置有两处且它们垂直连接于机架1的内部左表面最下处，所述活动连接块726活动连接于弹簧结构725的右端表面，所述第二内滑轮727活动连接于活动连接块726的内部空腔最下处，所述传动架728垂直连接于活动连接块726的右端表面最上处，所述齿轮传动结构73由第一齿轮输入轴731、第一齿轮732、横向固定架733、啮合齿结构734、第二齿轮固定架735、第二齿轮736、第二齿轮输入轴737组成，所述第一齿轮输入轴731活动贯穿于传动架728的内侧表面最右处，所述第一齿轮732机械连接于第一齿轮输入轴731的外侧表面且其与第一齿轮输入轴731呈同心圆结构，所述横向固定架733垂直连接于加热板台5的左端表面中下处，所述啮合齿结构734均匀等距分布于横向固定架733的下端表面，所述第二齿轮固定架735通过预压螺栓机架1的内部左表面中下处，所述第二齿轮736活动连接于第二齿轮固定架735的右端表面，所述第二齿轮输入轴737机械连接于第二齿轮736的前端表面中间处且它们之间呈同心圆状态，所述传动杆结构74由第三齿轮741、第四齿轮742、轮齿结构743、传动杆744组成，所述第三齿轮741活动连接于第二齿轮736的右端表面，所述第四齿轮742活动连接于第三齿轮741的右端表面，所述轮齿结构743均匀等距分布于第一齿轮732、第二齿轮736、第三齿轮741、第四齿轮742的外侧表面边缘处，所述传动杆744垂直连接于加热板台5的左端表面中间处且其与第四齿轮742的上端表面活动连接，所述转动轮机构75由转动轮转轴751、转动轮752、从动轮753组成，所述转动轮转轴751垂直连接于加热板台5的左端表面中上处，所述转动轮752活动嵌套于转动轮转轴751的外侧表面最左处，所述从动轮753机械连接于转动轮752的左端表面中间处，所述酸碱中和控制装置76由中和剂容置组件761、出液口762、出液控制阀763、过流口764、连接框765、控制连接柱766组成，所述中和剂容置组件761垂直连接于废液收容筒6的下端表面且其贯穿入废液收容筒6的内部，所述出液口762固定连接于中和剂容置组件761的上端表面中间处且其与中和剂容置组件761内部互相贯穿，所述出液控制阀763横向贯穿于出液口762的内部，所述过流口764嵌入于出液控制阀763的内侧表面左部，所述连接框765固定连接于出液控制阀763的右端表面，所述控制连接柱766固定连接于连接框765的内部空腔中，所述第一内滑轮716、第一滑轮722、第二滑轮724、第二内滑轮727的外侧表面皆活动嵌套于有连接绳索，所述第一内滑轮716、第一滑轮722、第二滑轮724、第二内滑轮727之间通过连接绳索活动连接，所述第一齿轮732、横向固定架733通过轮齿结构743与啮合齿结构734之间的啮合作用活动连接，所述第一齿轮输入轴731、第二齿轮输入轴737的外侧表面皆活动嵌套于有传动皮带，所述第一齿轮输入轴731、第二齿轮输入轴737之间通过传动皮带活动连接，所述第二齿轮736、第三齿轮741、第四齿轮742通过轮齿结构743之间的啮合作用活动连接，所述转动轮752的外侧表面边缘处均匀等距排列有轮齿结构743，所述传动杆744的外侧表面均匀等距排列有外螺纹，所述第四齿轮742、传动杆744、转动轮752通过轮齿结构743与外螺纹之间的啮合作用活动连接，所述从动轮753的外侧表面紧密缠绕有连接绳索，所述控制连接柱766的外侧表面活动连接有连接绳索，所述从动轮753、控制连接柱766之间通过连接绳索活动连接，所述pH检测计711对废液收容筒6内的蚀刻喷淋废液的pH进行检测并将信号传递至pH分析控制器712，所述pH分析控制器712在酸性过高的情况下通过控制杆713控制转动架715绕控制转轴714向上转动，从而所述第一内滑轮716随之向上并带动其外侧表面的连接绳索向上，所述第一滑轮722、第二滑轮724、第二内滑轮727的外侧表面的连接绳索依次被拉动，所述第二内滑轮727被向右拉动并带动活动连接块726向右移动，所述活动连接块726带动传动架728、第一齿轮732向右沿横向固定架733的啮合齿结构734进行传动，从而所述第二齿轮736在传动皮带的带动下随之传动，所述第三齿轮741、第四齿轮742在啮合作用下依次进行传动，所述传动杆744、转动轮752在轮齿结构743与外螺纹之间的啮合作用下随之进行传动并带动所述从动轮753进行转动，所述从动轮753带动其外侧表面的连接绳索进行转动并拉动与之连接的控制连接柱766向右，所述控制连接柱766带动连接框765、出液控制阀763向右移动，直至所述过流口764与出液口762相对应而使得中和剂容置组件761内的碱性中和剂流入废液收容筒6内。
本专利所说的pH检测计是一种常用的仪器设备，主要用来精密测量液体介质的酸碱度值，配上相应的离子选择电极也可以测量离子电极电位MV值，pH计被广泛应用于环保、污水处理、科研、制药、发酵、化工、养殖、自来水等领域。该仪器也是食品厂、饮用水厂办QS、HACCP认证中的必备检验设备
使用时，首先检查设备外观是否完好，各部分是否稳固连接，确认设备完好之后，将设备放置在合适的位置，将设备的电源线接入电源，调节设备的输送架2至合适的工作状态，将喷淋液置入设备的高压喷淋头3内，将光电子器件电路板固定于设备的输送架2上，开启设备的蚀刻开关4，pH检测计711对废液收容筒6内的蚀刻喷淋废液的pH进行检测并将信号传递至pH分析控制器712，pH分析控制器712在酸性过高的情况下通过控制杆713控制转动架715绕控制转轴714向上转动，从而第一内滑轮716随之向上并带动其外侧表面的连接绳索向上，第一滑轮722、第二滑轮724、第二内滑轮727的外侧表面的连接绳索依次被拉动，第二内滑轮727被向右拉动并带动活动连接块726向右移动，活动连接块726带动传动架728、第一齿轮732向右沿横向固定架733的啮合齿结构734进行传动，从而第二齿轮736在传动皮带的带动下随之传动，第三齿轮741、第四齿轮742在啮合作用下依次进行传动，传动杆744、转动轮752在轮齿结构743与外螺纹之间的啮合作用下随之进行传动并带动从动轮753进行转动，从动轮753带动其外侧表面的连接绳索进行转动并拉动与之连接的控制连接柱766向右，控制连接柱766带动连接框765、出液控制阀763向右移动，直至过流口764与出液口762相对应而使得中和剂容置组件761内的碱性中和剂流入废液收容筒6内，之后该设备即可开始正常工作。
本发明解决的问题是现有技术在对集成光电子器件进行蚀刻操作的过程中，虽然均匀性教好，但是无法对设备的蚀刻喷淋废液进行一定的酸碱中和处理，可能导致废液中的酸对设备造成腐蚀，而酸性蒸汽也有可能对使用者的身体健康造成一定的伤害，可靠性能不足，本发明通过上述部件的互相组合，通过设有废液酸碱中和结构，在对集成光电子器件进行蚀刻操作的过程中，可以对设备的蚀刻喷淋废液进行一定的酸碱中和处理，防止废液中的酸对设备造成腐蚀，也避免酸性蒸汽对使用者的身体健康造成一定的伤害，具体为pH检测计对废液收容筒内的蚀刻喷淋废液的pH进行检测并将信号传递至pH分析控制器，pH分析控制器在酸性过高的情况下通过控制杆控制转动架绕控制转轴向上转动，从而第一内滑轮随之向上并带动其外侧表面的连接绳索向上，第一滑轮、第二滑轮、第二内滑轮的外侧表面的连接绳索依次被拉动，第二内滑轮被向右拉动并带动活动连接块向右移动，活动连接块带动传动架、第一齿轮向右沿横向固定架的啮合齿结构进行传动，从而第二齿轮在传动皮带的带动下随之传动，第三齿轮、第四齿轮在啮合作用下依次进行传动，传动杆、转动轮在轮齿结构与外螺纹之间的啮合作用下随之进行传动并带动从动轮进行转动，从动轮带动其外侧表面的连接绳索进行转动并拉动与之连接的控制连接柱向右，控制连接柱带动连接框、出液控制阀向右移动，直至过流口与出液口相对应而使得中和剂容置组件内的碱性中和剂流入废液收容筒内，减少设备的维护成本，有效提高了设备的可靠性能。
以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点,对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
Claims (9)
1.一种集成光电子器件制造用蚀刻装置，其结构包括机架(1)、输送架(2)、高压喷淋头(3)、蚀刻开关(4)、加热板台(5)、废液收容筒(6)、废液酸碱中和结构(7)，其特征在于：
所述输送架(2)机械连接于机架(1)的上端表面后部，所述高压喷淋头(3)活动连接于机架(1)的上端表面中间处且其垂直贯穿入机架(1)的内部空腔内，所述蚀刻开关(4)固定连接于机架(1)的左端表面上部，所述加热板台(5)活动连接于机架(1)的内部空腔中右处，所述废液收容筒(6)活动连接于高压喷淋头(3)的左端表面，所述废液酸碱中和结构(7)活动连接于机架(1)的内部空腔中下处；
所述废液酸碱中和结构(7)由pH检测装置(71)、滑轮连接装置(72)、齿轮传动结构(73)、传动杆结构(74)、转动轮机构(75)、酸碱中和控制装置(76)组成，所述pH检测装置(71)的左半部分垂直连接于废液收容筒(6)的下端表面右部且其贯穿入废液收容筒(6)的内部，其右半部分固定连接于机架(1)的内部空腔右部且其与pH检测装置(71)的左半部分电连接，所述滑轮连接装置(72)的右半部分通过预压螺栓垂直连接于机架(1)的内部右表面最下处，其左半部分活动连接于机架(1)的内部空腔左下处，所述齿轮传动结构(73)活动连接于机架(1)的内部左表面中下处，所述传动杆结构(74)活动连接于齿轮传动结构(73)的上端表面，所述转动轮机构(75)垂直连接于加热板台(5)的左端表面中间处，所述酸碱中和控制装置(76)垂直连接于废液收容筒(6)的下端表面且其贯穿入废液收容筒(6)的内部；
所述pH检测装置(71)由pH检测计(711)、pH分析控制器(712)、控制杆(713)、控制转轴(714)、转动架(715)、第一内滑轮(716)组成，所述pH检测计(711)垂直连接于废液收容筒(6)的下端表面右部且其贯穿入废液收容筒(6)的内部，所述pH分析控制器(712)固定连接于机架(1)的内部右表面中上处且其与pH检测计(711)之间通过连接线电连接，所述控制杆(713)垂直连接于pH分析控制器(712)的下端表面中间处且其与pH分析控制器(712)之间电连接，所述控制转轴(714)固定连接于控制杆(713)的前端表面下部，所述转动架(715)活动嵌套于控制转轴(714)的外侧表面且其向控制转轴(714)的下端延伸，所述第一内滑轮(716)活动连接于转动架(715)的内部空腔下部。
2.根据权利要求1所述的一种集成光电子器件制造用蚀刻装置，其特征在于：所述滑轮连接装置(72)由第一滑轮固定架(721)、第一滑轮(722)、第二滑轮固定架(723)、第二滑轮(724)、弹簧结构(725)、活动连接块(726)、第二内滑轮(727)、传动架(728)组成，所述第一滑轮固定架(721)通过预压螺栓垂直连接于机架(1)的内部右表面最下处，所述第一滑轮(722)活动连接于第一滑轮固定架(721)的左端表面，所述第二滑轮固定架(723)垂直连接于机架(1)的内底面中间处，所述第二滑轮(724)活动连接于第二滑轮固定架(723)的上端表面，所述弹簧结构(725)设置有两处且它们垂直连接于机架(1)的内部左表面最下处，所述活动连接块(726)活动连接于弹簧结构(725)的右端表面，所述第二内滑轮(727)活动连接于活动连接块(726)的内部空腔最下处，所述传动架(728)垂直连接于活动连接块(726)的右端表面最上处。
3.根据权利要求1所述的一种集成光电子器件制造用蚀刻装置，其特征在于：所述齿轮传动结构(73)由第一齿轮输入轴(731)、第一齿轮(732)、横向固定架(733)、啮合齿结构(734)、第二齿轮固定架(735)、第二齿轮(736)、第二齿轮输入轴(737)组成，所述第一齿轮输入轴(731)活动贯穿于传动架(728)的内侧表面最右处，所述第一齿轮(732)机械连接于第一齿轮输入轴(731)的外侧表面且其与第一齿轮输入轴(731)呈同心圆结构，所述横向固定架(733)垂直连接于加热板台(5)的左端表面中下处，所述啮合齿结构(734)均匀等距分布于横向固定架(733)的下端表面，所述第二齿轮固定架(735)通过预压螺栓机架(1)的内部左表面中下处，所述第二齿轮(736)活动连接于第二齿轮固定架(735)的右端表面，所述第二齿轮输入轴(737)机械连接于第二齿轮(736)的前端表面中间处且它们之间呈同心圆状态。
4.根据权利要求1所述的一种集成光电子器件制造用蚀刻装置，其特征在于：所述传动杆结构(74)由第三齿轮(741)、第四齿轮(742)、轮齿结构(743)、传动杆(744)组成，所述第三齿轮(741)活动连接于第二齿轮(736)的右端表面，所述第四齿轮(742)活动连接于第三齿轮(741)的右端表面，所述轮齿结构(743)均匀等距分布于第一齿轮(732)、第二齿轮(736)、第三齿轮(741)、第四齿轮(742)的外侧表面边缘处，所述传动杆(744)垂直连接于加热板台(5)的左端表面中间处且其与第四齿轮(742)的上端表面活动连接。
5.根据权利要求1所述的一种集成光电子器件制造用蚀刻装置，其特征在于：所述转动轮机构(75)由转动轮转轴(751)、转动轮(752)、从动轮(753)组成，所述转动轮转轴(751)垂直连接于加热板台(5)的左端表面中上处，所述转动轮(752)活动嵌套于转动轮转轴(751)的外侧表面最左处，所述从动轮(753)机械连接于转动轮(752)的左端表面中间处。
6.根据权利要求1所述的一种集成光电子器件制造用蚀刻装置，其特征在于：所述酸碱中和控制装置(76)由中和剂容置组件(761)、出液口(762)、出液控制阀(763)、过流口(764)、连接框(765)、控制连接柱(766)组成，所述中和剂容置组件(761)垂直连接于废液收容筒(6)的下端表面且其贯穿入废液收容筒(6)的内部，所述出液口(762)固定连接于中和剂容置组件(761)的上端表面中间处且其与中和剂容置组件(761)内部互相贯穿，所述出液控制阀(763)横向贯穿于出液口(762)的内部，所述过流口(764)嵌入于出液控制阀(763)的内侧表面左部，所述连接框(765)固定连接于出液控制阀(763)的右端表面，所述控制连接柱(766)固定连接于连接框(765)的内部空腔中。
7.根据权利要求2所述的一种集成光电子器件制造用蚀刻装置，其特征在于：所述第一内滑轮(716)、第一滑轮(722)、第二滑轮(724)、第二内滑轮(727)的外侧表面皆活动嵌套于有连接绳索，所述第一内滑轮(716)、第一滑轮(722)、第二滑轮(724)、第二内滑轮(727)之间通过连接绳索活动连接，所述第一齿轮(732)、横向固定架(733)通过轮齿结构(743)与啮合齿结构(734)之间的啮合作用活动连接，所述第一齿轮输入轴(731)、第二齿轮输入轴(737)的外侧表面皆活动嵌套于有传动皮带，所述第一齿轮输入轴(731)、第二齿轮输入轴(737)之间通过传动皮带活动连接。
8.根据权利要求3所述的一种集成光电子器件制造用蚀刻装置，其特征在于：所述第二齿轮(736)、第三齿轮(741)、第四齿轮(742)通过轮齿结构(743)之间的啮合作用活动连接，所述转动轮(752)的外侧表面边缘处均匀等距排列有轮齿结构(743)，所述传动杆(744)的外侧表面均匀等距排列有外螺纹，所述第四齿轮(742)、传动杆(744)、转动轮(752)通过轮齿结构(743)与外螺纹之间的啮合作用活动连接，所述从动轮(753)的外侧表面紧密缠绕有连接绳索，所述控制连接柱(766)的外侧表面活动连接有连接绳索，所述从动轮(753)、控制连接柱(766)之间通过连接绳索活动连接。
9.根据权利要求1所述的一种集成光电子器件制造用蚀刻装置，其特征在于：所述pH检测计(711)对废液收容筒(6)内的蚀刻喷淋废液的pH进行检测并将信号传递至pH分析控制器(712)，所述pH分析控制器(712)在酸性过高的情况下通过控制杆(713)控制转动架(715)绕控制转轴(714)向上转动，从而所述第一内滑轮(716)随之向上并带动其外侧表面的连接绳索向上，所述第一滑轮(722)、第二滑轮(724)、第二内滑轮(727)的外侧表面的连接绳索依次被拉动，所述第二内滑轮(727)被向右拉动并带动活动连接块(726)向右移动，所述活动连接块(726)带动传动架(728)、第一齿轮(732)向右沿横向固定架(733)的啮合齿结构(734)进行传动，从而所述第二齿轮(736)在传动皮带的带动下随之传动，所述第三齿轮(741)、第四齿轮(742)在啮合作用下依次进行传动，所述传动杆(744)、转动轮(752)在轮齿结构(743)与外螺纹之间的啮合作用下随之进行传动并带动所述从动轮(753)进行转动，所述从动轮(753)带动其外侧表面的连接绳索进行转动并拉动与之连接的控制连接柱(766)向右，所述控制连接柱(766)带动连接框(765)、出液控制阀(763)向右移动，直至所述过流口(764)与出液口(762)相对应而使得中和剂容置组件(761)内的碱性中和剂流入废液收容筒(6)内。
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