CN108044818A - 一种树脂金刚线母线的处理方法 - Google Patents

一种树脂金刚线母线的处理方法 Download PDF

Info

Publication number
CN108044818A
CN108044818A CN201711283152.7A CN201711283152A CN108044818A CN 108044818 A CN108044818 A CN 108044818A CN 201711283152 A CN201711283152 A CN 201711283152A CN 108044818 A CN108044818 A CN 108044818A
Authority
CN
China
Prior art keywords
busbar
plasma
resin
diamond wire
plasma jet
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201711283152.7A
Other languages
English (en)
Inventor
万容兵
刘伟
闫本武
杨长剑
赵涛
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
ZHEJIANG RUIYI NEW MATERIAL TECHNOLOGY Co Ltd
Original Assignee
ZHEJIANG RUIYI NEW MATERIAL TECHNOLOGY Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ZHEJIANG RUIYI NEW MATERIAL TECHNOLOGY Co Ltd filed Critical ZHEJIANG RUIYI NEW MATERIAL TECHNOLOGY Co Ltd
Priority to CN201711283152.7A priority Critical patent/CN108044818A/zh
Publication of CN108044818A publication Critical patent/CN108044818A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
    • B28D5/04—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools
    • B28D5/045—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools by cutting with wires or closed-loop blades
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D1/00—Processes for applying liquids or other fluent materials
    • B05D1/02—Processes for applying liquids or other fluent materials performed by spraying
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D3/00—Pretreatment of surfaces to which liquids or other fluent materials are to be applied; After-treatment of applied coatings, e.g. intermediate treating of an applied coating preparatory to subsequent applications of liquids or other fluent materials
    • B05D3/02—Pretreatment of surfaces to which liquids or other fluent materials are to be applied; After-treatment of applied coatings, e.g. intermediate treating of an applied coating preparatory to subsequent applications of liquids or other fluent materials by baking
    • B05D3/0254—After-treatment
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D7/00—Processes, other than flocking, specially adapted for applying liquids or other fluent materials to particular surfaces or for applying particular liquids or other fluent materials
    • B05D7/24—Processes, other than flocking, specially adapted for applying liquids or other fluent materials to particular surfaces or for applying particular liquids or other fluent materials for applying particular liquids or other fluent materials
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B7/00—Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
    • B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material

Abstract

本发明公开了一种树脂金刚线母线的处理方法，包括：将经过清洗的母线放置在等离子体喷射装置中；利用等离子体喷射装置喷射等离子体至母线；将分散有金刚石的树脂浆料涂覆在母线上，并进行固化，得到成品树脂金刚线。本申请公开的上述技术方案，利用等离子体喷射母线而对母线进行预处理，除去母线表面残留的有机物，以对母线进行深度清洁，同时等离子体可以在母线表面引入极性官能团，提高母线的表面自由能、改善湿润性能，以使树脂与母线之间可以进行更好的结合，甚至形成化学键，从而提高树脂金刚线的使用寿命。

Description

一种树脂金刚线母线的处理方法
技术领域
本发明涉及金刚线生产技术领域，更具体地说，涉及一种树脂金刚线母线的处理方法。
背景技术
目前，树脂金刚线因具有制造工艺简单、生产成本低、生产效率高等优点而在硅片切割技术领域中受到越来越多的关注，在对硅片进行切割时，树脂金刚线的切割力是树脂金刚线质量的直观体现，其中，影响切割力的因素有很多，而树脂与树脂金刚线母线(也即母线)之间的结合力是其中的关键因素之一。
在现有技术中，采用酸洗、碱洗、磷化、打磨等方式对母线进行预处理，以增大母线表面的粗糙度，增大树脂涂料与母线之间的接触面积，并通过烘炉固化、收卷等一系列工序使树脂固化在母线上，从而得到成品的树脂金刚线。但是，所得的树脂金刚线中树脂与母线之间采用物理键的方式进行结合，使得树脂与母线之间的结合力比较小，相应地，利用树脂金刚线切割硅片时就会造成树脂和金刚石磨粒脱落，从而造成树脂金刚线寿命降低、硅片切割效率降低、并增加硅片切割成本等问题。
综上所述，现有技术中对树脂金刚线母线进行预处理的技术方案存在树脂与母线之间结合力低的问题。
发明内容
有鉴于此，本发明的目的是提供一种树脂金刚线母线的处理方法，以解决现有技术中对树脂金刚线母线进行预处理的技术方案存在树脂与母线之间结合力低的问题。
为了实现上述目的，本发明提供如下技术方案：
一种树脂金刚线母线的处理方法，包括：
将经过清洗的母线放置在等离子体喷射装置中；
利用所述等离子体喷射装置喷射等离子体至所述母线；
将分散有金刚石的树脂浆料涂覆在所述母线上，并进行固化，得到成品树脂金刚线。
优选的，所述等离子体喷射装置包括围绕所述母线放置的多个等离子体喷嘴。
优选的，所述等离子体喷射装置包括围绕所述母线以180°对称放置的两个所述等离子体喷嘴。
优选的，所述等离子体喷射装置喷射的所述等离子体为低温等离子体。
优选的，所述等离子体喷射装置的功率为0.5-10kW。
优选的，所述母线与所述喷嘴之间的距离为5-20mm。
优选的，所述母线的走线速度为10-100m/min。
优选的，对涂覆浆料后的所述母线进行固化，包括：
对涂覆浆料后的所述母线进行预固化，并对预固化后的树脂金刚线进行收卷，其中，固化温度为150-550℃，固化时间为0.5-5s；
对收卷的所述树脂金刚线进行固化，其中，固化温度为150-300℃，固化时间为8-12h。
本发明提供了一种树脂金刚线母线的处理方法，包括：将经过清洗的母线放置在等离子体喷射装置中；利用等离子体喷射装置喷射等离子体至母线；将分散有金刚石的树脂浆料涂覆在母线上，并进行固化，得到成品树脂金刚线。本申请公开的上述技术方案，利用等离子体喷射母线而对母线进行预处理，除去母线表面残留的有机物，以对母线进行深度清洁，同时等离子体可以在母线表面引入极性官能团，提高母线的表面自由能、改善湿润性能，以使树脂与母线之间可以进行更好的结合，甚至形成化学键，从而提高树脂金刚线的使用寿命。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。
图1为本发明实施例提供的一种树脂金刚线母线的处理方法的流程图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参见图1，其示出了本发明实施例提供的一种树脂金刚线母线的处理方法的流程图，可以包括：
S11：将经过清洗的母线放置在等离子体喷射装置中。
在对母线进行处理的过程中，为了使树脂与母线之间进行更好的结合，则首先需要对母线进行清洗，以保证表面清洁，并且在将母线放入等离子体喷射装置中之前，为了保证喷射质量，还需要将经过清洗的母线吹干。
S12：利用等离子体喷射装置喷射等离子体至母线。
在将母线放入等离子体喷射装置中之后，可以利用等离子体喷射装置所喷射的等离子体来对母线进行处理，此时，喷射至母线的等离子体不仅可以对母线进行深层次的清洁，还可以在母线表面引入大量的极性官能团，提高母线的表面自由能，并改善湿润性。
另外，利用等离子体对母线进行处理，仅改变了母线表面的物理化学性质而对母线的基本性能几乎不造成影响，并且利用等离子体对母线进行处理，可以减少对环境所造成的污染。
S13：将分散有金刚石的树脂浆料涂覆在母线上，并进行固化，得到成品树脂金刚线。
在利用等离子体技术对母线进行处理之后，可以将分散有金刚石的树脂浆料涂覆在母线上，并进行烘炉固化，得到成品树脂金刚线，以使树脂与母线可以进行更好的结合，甚至形成化学键，从而大幅度提高树脂与金刚线之间的结合力，延长树脂金刚线的使用寿命，提高硅片切割的效率，降低硅片切割的成本。
本申请公开的上述技术方案，利用等离子体喷射母线而对母线进行预处理，除去母线表面残留的有机物，以对母线进行深度清洁，同时等离子体可以在母线表面引入极性官能团，提高母线的表面自由能、改善湿润性能，以使树脂与母线之间可以进行更好的结合，甚至形成化学键，从而提高树脂金刚线的使用寿命。
本发明实施例提供的一种树脂金刚线母线的处理方法，等离子体喷射装置可以包括围绕母线放置的多个等离子体喷嘴。
等离子体喷射装置可以包括围绕母线放置的多个等离子体喷嘴，以对母线进行全方位喷射处理，从而使树脂与母线之间所形成的结合力尽可能地均匀，以提高树脂金刚线的使用寿命。
本发明实施例提供的一种树脂金刚线母线的处理方法，等离子体喷射装置可以包括围绕母线以180°对称放置的两个等离子体喷嘴。
考虑到等离子体喷射装置所喷射出的等离子体的直径要大于母线的直径，其中，喷射装置所喷射的等离子体的直径为10-50mm，母线的直径为50-120μm，则等离子体喷射装置可以包括围绕母线以180°对称放置的两个等离子体喷嘴，这样不仅可以在母线表面进行均匀喷射，还可以减少所用的等离子体喷嘴的数量，使处理母线所用的设备变得简单，在一定程度上降低处理母线所需的成本。
本发明实施例提供的一种树脂金刚线母线的处理方法，等离子体喷射装置喷射的等离子体可以为低温等离子体。
等离子体喷射装置所喷射出的等离子体可以为低温等离子体，也即在室温下即可产生的等离子体，这种等离子体易获取，且应用广泛。
本发明实施例提供的一种树脂金刚线母线的处理方法，等离子体喷射装置的功率可以为0.5-10kW。
为了保证所喷射出的等离子体的能量以及具有较好的效果，并为了节省所消耗的电能资源等，则等离子体喷射装置的功率可以为0.5-10kW，当然，也可以根据实际需要进行调整。
本发明实施例提供的一种树脂金刚线母线的处理方法，母线与喷嘴之间的距离可以为5-20mm。
在等离子体喷射过程中，母线与喷嘴之间的距离可以为5-20mm，在这样距离下所得到的处理后的母线的表面自由能比较高，相应地，树脂与母线之间的结合力也比较大。
本发明实施例提供的一种树脂金刚线母线的处理方法，母线的走线速度可以为10-100m/min。
在利用等离子体技术对母线处理的过程中，为了保证树脂与母线之间可以进行较好的结合，则母线的走线速度需要处于10-100m/min范围内。
本发明实施例提供的一种树脂金刚线母线的处理方法，对涂覆浆料后的母线进行固化，可以包括：
对涂覆浆料后的母线进行预固化，并对预固化后的树脂金刚线进行收卷，其中，固化温度为150-550℃，固化时间为0.5-5s；
对收卷的树脂金刚线进行固化，其中，固化温度可以为150-300℃，固化时间可以为8-12h。
为了保证树脂与母线之间形成很好的结合力，则可以对涂覆浆料的母线进行两次固化，第一次为预固化，即对涂覆浆料后的母线进行预固化，其中，固化温度可以在150-550℃之间，固化时间可以在0.5-5s之间，在预固化之后，可以对树脂金刚线进行收卷，并可以对收卷之后的树脂金刚线进行第二次固化，其中，第二次固化的固化温度可以在150-300℃之内，固化时间可以在8-12h之内。
本发明实施例提供的上述技术方案中与现有技术中对应技术方案实现原理一致的部分并未详细说明，以免过多赘述。
对所公开的实施例的上述说明，使本领域技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (8)

1.一种树脂金刚线母线的处理方法，其特征在于，包括：
将经过清洗的母线放置在等离子体喷射装置中；
利用所述等离子体喷射装置喷射等离子体至所述母线；
将分散有金刚石的树脂浆料涂覆在所述母线上，并进行固化，得到成品树脂金刚线。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述等离子体喷射装置包括围绕所述母线放置的多个等离子体喷嘴。
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述等离子体喷射装置包括围绕所述母线以180°对称放置的两个所述等离子体喷嘴。
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述等离子体喷射装置喷射的所述等离子体为低温等离子体。
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述等离子体喷射装置的功率为0.5-10kW。
6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述母线与所述喷嘴之间的距离为5-20mm。
7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述母线的走线速度为10-100m/min。
8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，对涂覆浆料后的所述母线进行固化，包括：
对涂覆浆料后的所述母线进行预固化，并对预固化后的树脂金刚线进行收卷，其中，固化温度为150-550℃，固化时间为0.5-5s；
对收卷的所述树脂金刚线进行固化，其中，固化温度为150-300℃，固化时间为8-12h。
CN201711283152.7A 2017-12-07 2017-12-07 一种树脂金刚线母线的处理方法 Pending CN108044818A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201711283152.7A CN108044818A (zh) 2017-12-07 2017-12-07 一种树脂金刚线母线的处理方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201711283152.7A CN108044818A (zh) 2017-12-07 2017-12-07 一种树脂金刚线母线的处理方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN108044818A true CN108044818A (zh) 2018-05-18

Family

ID=62122789

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201711283152.7A Pending CN108044818A (zh) 2017-12-07 2017-12-07 一种树脂金刚线母线的处理方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN108044818A (zh)

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102658606A (zh) * 2012-05-11 2012-09-12 香港雅诚国际有限公司 树脂金刚线的制作方法
CN104118066A (zh) * 2014-08-29 2014-10-29 河南新大新材料股份有限公司 纳米杂化树脂金刚石线的制造方法
CN105171943A (zh) * 2015-10-12 2015-12-23 浙江瑞翌新材料科技股份有限公司 一种pbo纤维树脂金刚线及其制备方法
CN105524428A (zh) * 2016-02-02 2016-04-27 长沙岱勒新材料科技股份有限公司 一种树脂金刚石线用树脂结合剂、树脂金刚石线及其制备方法
CN105599156A (zh) * 2015-12-28 2016-05-25 盛利维尔（中国）新材料技术有限公司 一种高结合力树脂金刚线的生产方法
CN106273007A (zh) * 2015-05-22 2017-01-04 江苏益林金刚石工具有限公司 一种复合结合剂金刚石线锯的制备方法
CN106826598A (zh) * 2016-12-21 2017-06-13 河南易成新能源股份有限公司 树脂涂层金刚石线及其制备方法

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102658606A (zh) * 2012-05-11 2012-09-12 香港雅诚国际有限公司 树脂金刚线的制作方法
CN104118066A (zh) * 2014-08-29 2014-10-29 河南新大新材料股份有限公司 纳米杂化树脂金刚石线的制造方法
CN106273007A (zh) * 2015-05-22 2017-01-04 江苏益林金刚石工具有限公司 一种复合结合剂金刚石线锯的制备方法
CN105171943A (zh) * 2015-10-12 2015-12-23 浙江瑞翌新材料科技股份有限公司 一种pbo纤维树脂金刚线及其制备方法
CN105599156A (zh) * 2015-12-28 2016-05-25 盛利维尔（中国）新材料技术有限公司 一种高结合力树脂金刚线的生产方法
CN105524428A (zh) * 2016-02-02 2016-04-27 长沙岱勒新材料科技股份有限公司 一种树脂金刚石线用树脂结合剂、树脂金刚石线及其制备方法
CN106826598A (zh) * 2016-12-21 2017-06-13 河南易成新能源股份有限公司 树脂涂层金刚石线及其制备方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN104128294B (zh) 大容积钢质无缝气瓶内喷涂装置及其工艺
JP2013545319A5 (zh)
CN108659257A (zh) 一种高强度、耐磨损的超疏水复合材料及其制备方法
CN102839534A (zh) 碳纤维等离子体处理涂覆纳米石墨烯的表面改性的方法
JP2002369896A (ja) ゴルフボール
CN101738130A (zh) 铜热交换器表面防腐蚀处理工艺
CN108447670A (zh) 一种高速电机用永磁钕铁硼复合磁钢的制备方法
TWI547348B (zh) 化學機械研磨裝置與方法
CN108044818A (zh) 一种树脂金刚线母线的处理方法
CN105742456A (zh) 一种cob封装方法
CN113122795A (zh) 一种半导体用石英的氧化钇涂层的制备方法
CN109232955A (zh) 一种高导热率的石墨烯导热膜及其制备方法
CN101814365B (zh) 一种防止电抗器相间短路的喷涂工艺
EP2104591B1 (en) Process for surface preparation of parts to be coated
CN106835000B (zh) 一种适用于细长零件的超音速火焰喷涂方法
CN208526298U (zh) 喷淋层塔壁防磨结构及脱硫吸收塔
CN113423793B (zh) 用于制造胶粘剂丝的方法和胶粘剂丝
CN107522408A (zh) 一种化妆品瓶的喷涂工艺
CN103715119A (zh) 加湿装置及加湿气体的方法
CN202715635U (zh) 一种钢带表面除鳞装置
CN103611666A (zh) 镀锌焊管表面防锈处理方法
CN109926264A (zh) 一种微管式固体氧化物燃料电池的表面涂层装置
CN109055887A (zh) 一种等离子表面涂层工艺
TWI504448B (zh) 濕式鍍膜方法
CN104078352B (zh) 晶圆清洗方法及晶圆清洗装置

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20180518

WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication