CN108037246A - 一种干式特气尾气处理设备排气口毒气浓度监测装置 - Google Patents

Abstract

一种干式特气尾气处理设备排气口毒气浓度监测装置，包括毒气检测装置(2)、泵(4)和软管(5)和两个钢管接头(1、3)；钢管接头(1、3)分别设置在干式特气尾气处理设备的进气口和排气口处；毒气检测装置(2)的一端经软管(5)连接于干式特气尾气处理设备排气口处的钢管接头(3)，另一端经软管(5)连接于泵(4)；泵(4)一端连接毒气检测装置(2)排气口，另一端连接干式特气尾气处理设备进气口处的钢管接头(1)；启动泵(4)工作，设备排气口处气体样本被抽取，经软管(5)流经毒气检测装置(2)，毒气检测装置(2)检测被抽取气体样本的浓度，然后经泵(4)的气体通路排到设备进气口(1)处。

Description

一种干式特气尾气处理设备排气口毒气浓度监测装置

技术领域

本发明属于干式工艺特气尾气处理技术领域，特别涉及一种尾气处理设备排气口毒气浓度监测装置。

背景技术

在半导体、太阳能光伏、LCD等产品的生产工艺中，会用到大量的、种类繁杂的特殊气体，往往这些气体在在工艺中又不能被完全消耗，剩余部分回收成本太高，如果直接排放，则会对环境造成很大的污染，因此，往往在气体排放前会先经过特气尾气处理设备，将其中的有害成分去除后再排往大气中，而国家对这些气体的排放要求是非常严格的，并有相关的具体排放指标，因此，知道特气尾气处理设备排气口毒气排放浓度是很有必要的。

目前，在干式特气尾气处理设备中，对设备排气口毒气浓度的检测手段主要是通过颜色指示剂的方式得以实现，即在设备排气端安装一个内部装有指示剂的透明视窗，指示剂在遇到特定的气体时，颜色会发生变化，从而判断特气尾气处理设备是否已将相关的气体处理干净。

上述方法有以下几个缺点：

1.指示剂只能判断尾气中含有特定的气体，不能通过颜色变化反应气体的具体浓度；

2.往往设备的使用寿命远远长于指示剂，而指示剂并没有明显的失效标志，往往会造成错误的判断或指示剂的浪费；

3.此种判断方法需肉眼进行判断，即需人工巡视，时效性和准确性非常差。

发明内容

针对现有技术的不足，本发明旨在提供一种干式特气尾气处理设备排气口毒气浓度监测装置，能更实时和更精确地获得设备排气口毒气浓度。

本发明的技术方案是，一种干式特气尾气处理设备排气口毒气浓度监测装置，包括毒气检测装置、泵和软管和两个钢管接头；

所述钢管接头分别设置在干式特气尾气处理设备的进气口和排气口处；

所述毒气检测装置的一端经软管连接于干式特气尾气处理设备排气口处的钢管接头，另一端经软管连接于泵，所述毒气检测装置用于测定流经的气体浓度；

所述泵一端连接毒气检测装置排气口，另一端连接干式特气尾气处理设备进气口处的钢管接头；

启动泵工作，设备排气口处气体样本被抽取，经软管流经毒气检测装置，毒气检测装置检测被抽取气体样本的浓度，然后经泵的气体通路排到设备进气口处，因此，排气后抽取的气体样本最终会重新流回设备进气口再进入到罐体内部，即使检测样本中含有有毒成分也不会直接流出设备，从而造成污染。

进一步的，本发明还包括与毒气检测装置连接的控制器，以接收毒气检测装置检测获得的气体浓度信号。

更进一步的，上述控制器有气体浓度预警和报警设置。

进一步的，上述泵为气动泵，利用气动驱动，无需电源。

进一步的，上述毒气检测装置包括根据气体种类的不同进行切换的传感器。

进一步的，上述软管为透明PVC软管。

与现有技术相比，本发明的益处在于：

1)无需担心颜色指示剂寿命的问题，系统采用的都是机械元器件，更稳定、更可靠并可实现自动化；

2)对系统处理能力的监测更可靠，没有颜色指示剂耗尽或失效等的顾虑；

3)由于采用毒气检测装置实时监测气体浓度，解决了因为环境的改变而影响装置的灵敏性、准确度等重要功能的问题；

4)毒气检测装置将直接将检测到的气体相关参数转化成电信号后反馈到PLC装置，无需人工随时巡视，超标后将会自动发出警报，更及时、更安全；

3)毒气检测装置可以实时显示气体的浓度，直观地与国家规定的环保政令进行对比，同时也可将监测设备的报警输出信号调整到国家环保要求的标准，当浓度高于设置值时，系统就会发出报警指令，让用户实时了解设备处理能力。

附图说明

从下面结合附图对本发明实施例的详细描述中，本发明的这些和/或其它方面和优点将变得更加清楚并更容易理解，其中：

附图1为本发明实施例的装置结构示意图。

具体实施方式

为了使本领域技术人员更好地理解本发明，下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细说明。这里，需要注意的是，在附图中，将相同的附图标记赋予基本上具有相同或类似结构和功能的组成部分，并且将省略关于它们的重复描述。

实施例1

一种干式特气尾气处理设备排气口毒气浓度监测装置，如附图1所示，包括毒气检测装置2、气动泵4和透明PVC软管5和两个钢管接头1、3；

所述钢管接头1、3分别设置在干式特气尾气处理设备的进气口和排气口处；

所述毒气检测装置2的一端经透明PVC软管5连接于干式特气尾气处理设备排气口处的钢管接头3，另一端经透明PVC软管5连接于气动泵4，所述毒气检测装置2根据气体种类的不同进行切换的传感器，用于测定流经的气体浓度；

所述气动泵4一端连接毒气检测装置2排气口，另一端连接干式特气尾气处理设备进气口处的钢管接头1；

启动气动泵4工作，设备排气口处气体样本被抽取，经透明PVC软管5 流经毒气检测装置2，毒气检测装置2检测被抽取气体样本的浓度，然后经气动泵4的气体通路排到设备进气口处。

控制器与毒气检测装置2连接以接收毒气检测装置2检测获得的气体浓度信号；控制器有气体浓度预警和报警设置。

通过气体软管将毒气检测装置2、设备排气口钢管接头3、气动泵4、设备进气口1钢管接头连接起来，实现对设备排气口内目标气体浓度实时监测的目地，当排气口目标气体浓度大于预设值时，控制器会发出预警和报警信号，出现报警提示，提示工作人员需对设备进行维护或是升级。

以上已经描述了本发明的各实施例，上述说明是示例性的，并非穷尽性的，并且也不限于所披露的各实施例。在不偏离所说明的各实施例的范围和精神的情况下，对于本技术领域的普通技术人员来说许多修改和变更都是显而易见的。因此，本发明的保护范围应该以权利要求的保护范围为准。

Claims (6)

1.一种干式特气尾气处理设备排气口毒气浓度监测装置，其特征在于，包括毒气检测装置(2)、泵(4)和软管(5)和两个钢管接头(1、3)；

所述钢管接头(1、3)分别设置在干式特气尾气处理设备的进气口和排气口处；

所述毒气检测装置(2)的一端经软管(5)连接于干式特气尾气处理设备排气口处的钢管接头(3)，另一端经软管(5)连接于泵(4)，所述毒气检测装置(2)用于测定流经的气体浓度；

所述泵(4)一端连接毒气检测装置(2)排气口，另一端连接干式特气尾气处理设备进气口处的钢管接头(1)；

启动泵(4)工作，设备排气口处气体样本被抽取，经软管(5)流经毒气检测装置(2)，毒气检测装置(2)检测被抽取气体样本的浓度，然后经泵(4)的气体通路排到设备进气口处。

2.如权利要求1所述的干式特气尾气处理设备排气口毒气浓度监测装置，其特征在于，还包括与毒气检测装置(2)连接的控制器，以接收毒气检测装置(2)检测获得的气体浓度信号。

3.如权利要求2所述的干式特气尾气处理设备排气口毒气浓度监测装置，其特征在于，所述控制器有气体浓度预警和报警设置。

4.如权利要求1所述的干式特气尾气处理设备排气口毒气浓度监测装置，其特征在于，所述泵(4)为气动泵。

5.如权利要求1所述的干式特气尾气处理设备排气口毒气浓度监测装置，其特征在于，所述毒气检测装置(2)包括根据气体种类的不同进行切换的传感器。

6.如权利要求1所述的干式特气尾气处理设备排气口毒气浓度监测装置，所述软管(5)为透明PVC软管。