CN107994128B - 显示装置、显示面板及其制作方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种显示装置、显示面板及其制作方法，所述显示面板包括器件层，还包括依次叠置在所述器件层上的第一阻隔层、缓冲层以及第二阻隔层，所述缓冲层包括至少两种不同的金属有机物或所述至少两种不同的金属有机物的混合物，其中，所述至少两种不同的金属有机物相互之间不反应。本发明的显示面板可以提高封装薄膜相邻层之间的附着力，避免封装薄膜相邻层彼此剥离；提高抵抗TFE应力的能力，防止封装薄膜破裂；多种反应物同时反应，提高生产效率。
Description
技术领域
本发明涉及显示技术领域，特别是涉及一种显示装置、显示面板及其制作方法。
背景技术
OLED显示技术较之当前主流的液晶显示技术，具有对比度高、色域广、柔性、轻薄、节能等突出优点。近年来OLED显示技术逐渐在智能手机和平板电脑等移动设备、智能手表等柔性可穿戴设备、大尺寸曲面电视、白光照明等领域普及，发展势头强劲。
OLED器件因具有较多的优点，在显示领域有着光明的前景。但是，OLED器件中用于形成金属阴极的活泼金属对空气中的水汽和氧气非常敏感，非常容易与渗透进来的水汽发生反应，影响电荷的注入。另外，渗透进来的水汽和氧气还会与有机材料发生化学反应，这些反应是引起OLED器件性能下降、OLED器件寿命缩短的主要因素。因此，封装技术对OLED器件非常重要。目前，OLED器件有多种封装方式，例如：薄膜封装(Thin Film Encapsulation，简称TFE)、玻盖(Glass)封装方式和玻璃粉(Frit)封装方式。其中，最常用的是薄膜封装方式，即采用CVD或ALD等技术沉积透明薄膜对OLED器件进行封装，该封装方式具有工艺简单，能保持封装对象的轻、薄结构特性。
ALD(原子层沉积法)技术是柔性AMOLED薄膜封装技术的关键技术之一。当前主要有两大类：(1)反应物依次从基板一侧注入，均匀流过基板表面，每种反应物之间通氮气隔离。所有气体从基板另一侧排气。一个Cycle(沉积循环)沉积一个厚度稳定的薄层，根据需求的厚度设置Cycle数量。(2)反应物依次从各自喷嘴喷出，经过基板表面并由排气口抽出，每个cycle包括以及隔绝下一cycle的氮气pulse构成。基板或喷嘴左右均匀移动，实现反应物依次从基板表面流过，形成一个Cycle，沉积一个厚度稳定的薄层，根据需求的厚度设置Cycle数量。
目前，最常见的薄膜封装采用无机金属层/有机缓冲层/无机金属层交替的方式，无机材料用于阻隔水氧，有机材料用于有效的覆盖颗粒物以及缓冲弯曲、折叠过程中的应力。利用原子层沉积法(ALD)制备氧化铝(Al2O3)、氧化锆(ZrO2)薄膜。其反应式为：
金属前驱体+有机基团前驱体＝金属有机物(缓冲层)
金属前驱体+氧化前驱体＝金属氧化物(阻隔层)
但是这种模式存在以下缺点：由于有机层消除TFE应力的能力有限，容易造成TFE破损，后续封装薄膜各层的制备工艺需要隔离进行，生产效率低下。
发明内容
本发明主要解决的技术问题是提供一种显示装置、显示面板及其制作方法，能够提高封装薄膜对抵抗应力的能力、提高生产效率。
为解决上述技术问题，本发明采用一个技术方案是：提供一种基于有机发光二极管OLED的显示面板，所述显示面板包括器件层，还包括依次叠置在所述器件层上的第一阻隔层、缓冲层以及第二阻隔层，所述缓冲层包括至少两种不同的金属有机物，其中，所述至少两种不同的金属有机物相互之间不反应。
为解决上述技术问题，本发明采用的第二个技术方案是：提供一种基于有机发光二极管OLED的显示装置，所述显示装置包括器件层，还包括依次叠置在所述器件层上的第一阻隔层、缓冲层以及第二阻隔层，所述缓冲层包括至少两种不同的金属有机物或所述至少两种不同的金属有机物的混合物，其中，所述至少两种不同的金属有机物相互之间不反应。
为解决上述技术问题，本发明采用的第三个技术方案是：提供一种有机发光二极管OLED的制作方法，所述制作方法包括：制备器件层；在所述器件层依次形成第一阻隔层、缓冲层以及第二阻隔层；其中，所述缓冲层包括至少两种不同的金属有机物或所述至少两种不同的金属有机物的混合物，且，所述至少两种不同的金属有机物相互之间不反应。
本发明的有益效果是：与现有技术相比，本发明的封装薄膜包括至少两种不同的金属有机物或至少两种不同的金属有机物的混合物，可以提高封装薄膜相邻层之间的附着力，避免封装薄膜相邻层彼此剥离；提高抵抗TFE应力的能力，防止封装薄膜破裂；多种反应物同时反应，提高生产效率。
附图说明
图1是本发明显示面板第一实施例的结构示意图；
图2是本发明显示面板第二实施例的结构示意图；
图3是本发明显示面板制作方法一实施例的流程示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，均属于本发明保护的范围。
本发明提供一种基于有机发光二极管OLED的显示面板，该显示面板包括器件层，还包括依次叠置在所述器件层上的第一阻隔层、缓冲层以及第二阻隔层，所述缓冲层包括至少两种不同的金属有机物或所述至少两种不同的金属有机物的混合物，其中，所述至少两种不同的金属有机物相互之间不反应。
为了清楚说明上述显示面板的具体结构，参阅图1，图1是本发明显示面板第一实施例的结构示意图。
如图1所示，本实施方式中的显示面板包括器件层10，还包括依次叠置在器件层10上的第一阻隔层11、缓冲层12以及第二阻隔层13。
第一阻隔层11和第二阻隔层13的金属氧化物可以是Al2O3、TiO2、ZrO2等。缓冲层12包括第一金属有机物和第二金属有机物，这两种不同的金属有机物相互之间不反应。在其他实施方式中，缓冲层12也可以包括3种或3种以上的不同的金属有机物，本发明对此均不作限定。
其中，缓冲层12与第一阻隔层11接触的部分和第一阻隔层11的金属元素相同，缓冲层12与第二阻隔层13接触的部分和第二阻隔层13的金属元素相同。由于同一金属的有机物和氧化物之间的界面接触较佳，附着力较强，本实施方式中，封装薄膜的相邻层中的金属元素相同可以有效的防止封装薄膜的相邻层局部剥离。
在一个可选的实施方式中，继续参阅图1，缓冲层12包括第一金属有机物层121和第二金属有机物层126，第一金属有机物层121与第一阻隔层11接触，第一金属有机物层121包括与第一阻隔层11相同的第一金属元素；第二金属有机物层126与第二阻隔层13接触，第二金属有机物层126包括与第二阻隔层13相同的第二金属元素。
第一金属有机物层121和第二金属有机物层126之间还包括依次叠置的第三金属有机物层122、第四金属有机物层123、第五金属有机物层124、第六金属有机物层125。第一金属有机物层121、第四金属有机物层123和第六金属有机物层125的材料相同，且厚度从第一阻隔层11到第二阻隔层13的方向逐渐减小；第三金属有机物层122、第五金属有机物层124和第二金属有机物层126的材料相同，且厚度从第一阻隔层11到第二阻隔层13的方向逐渐增大。例如，ALD(原子层沉积法)技术中，一个Cycle(沉积循环)沉积一个厚度稳定的薄层，根据需求的厚度设置Cycle数量，将第一金属有机物层121的Cycle数量设置为30、第三金属有机物层122的Cycle数量设置为10、第四金属有机物层123的Cycle数量设置为20、第五金属有机物层124的Cycle数量设置为20、第六金属有机物层125的Cycle数量设置为10、第二金属有机物层126的Cycle数量设置为30。
在本实施方式中，第一金属元素和第二金属元素在阻隔层之间交替分布，每组相邻的第一金属元素所在层和第二金属元素所在层总厚度相同。在其他实施方式中，每组相邻的第一金属元素所在层和第二金属所在层总厚度也可以不相同。
在其他实施方式中，阻隔层的数量也可以是3个或者以上，阻隔层之间还可以包括2个、3个、4个、5个或更多的缓冲层部分，Cycle数量的设置根据实际情况决定，本发明对此均不作限定。
上述显示面板可以被用于各类显示装置中。
通过上述方式，本实施方式的封装薄膜包括至少两种不同的金属有机物或至少两种不同的金属有机物的混合物，可以提高封装薄膜相邻层之间的附着力，避免封装薄膜相邻层彼此剥离；提高抵抗TFE应力的能力，防止封装薄膜破裂。
另外，本发明还能使多种反应物同时反应，提高生产效率。
在另一个实施方式中，参阅图2，图2是本发明显示面板第二实施例的结构示意图。
如图2所示，该显示面板包括器件层20，还包括依次叠置在器件层20上的第一阻隔层21、缓冲层22以及第二阻隔层23。第一阻隔层21和第二阻隔层23的金属氧化物可以是Al2O3、TiO2、ZrO2等。缓冲层22包括两种不同的金属有机物的混合物，这两种不同的金属有机物相互之间不反应。在其他实施方式中，缓冲层12也可以包括3种或3种以上的不同的金属有机物，本发明对此均不作限定。
其中，缓冲层22与第一阻隔层21接触的部分和第一阻隔层21的金属元素相同，缓冲层22与第二阻隔层23接触的部分和第二阻隔层23的金属元素相同。由于同一金属的有机物和氧化物之间的界面接触较佳，附着力较强，本实施方式中，封装薄膜的相邻层中的金属元素相同可以有效的防止封装薄膜的相邻层局部剥离。
在一个可选的实施方式中，继续参阅图2，缓冲层22包括第一金属有机物层221和第二金属有机物层224，第一金属有机物层221与第一阻隔层21接触，第一金属有机物层221包括与第一阻隔层21相同的第一金属元素；第二金属有机物层224与第二阻隔层23接触，第二金属有机物层224包括与第二阻隔层23相同的第二金属元素。
第一金属有机物层221和第二金属有机物层224之间还包括依次叠置的第一金属有机物混合层222和第二金属有机物混合层223。第一金属有机物层221的材料为第一金属有机物，第二金属有机物层224的材料为第二金属有机物，第一金属有机物混合层222和第二金属有机物混合层223为第一金属有机物和第二金属有机物的混合物，但两种金属有机物在第一金属有机物混合层222和第二金属有机物混合层223中所占的比例不同，从第一金属有机物层221到第二金属有机物层224的方向，第一金属有机物所占比例逐渐降低，第二金属有机物所占比例逐渐增大。例如，第一金属有机物混合层222中，第一金属有机物所占比例为60％，第二金属有机物所占比例为40％；第二金属有机物混合层223中，第一有机物所占比例为40％，第二有机物所占比例为60％。在其他实施方式中，第一金属有机物层221和第二金属有机物层224之间还可以包括3个、4个、5个或更多的金属有机物混合层，但是金属有机物混合层在第一金属有机物层221到第二金属有机物层224的方向上，第一金属有机物的所占比例逐渐减少，第二金属有机物的所占比例逐渐增大。
在本实施方式中，金属有机物层和金属有机物混合层的厚度相同，且金属有机物所占的总比例相同。在其他实施方式中，金属有机物层和金属有机物混合层厚度也可以不相同，金属有机物所占的总比例也不相同。
需要说明的是，缓冲层中混合物的制备反应式为：
第一金属前驱体+有机基团前驱体＝第一金属有机物
第二金属前驱体+有机基团前驱体＝第二金属有机物
也就是说，在制备金属有机物混合层的时候需要同时加入两种不同的金属前驱体，因此，本发明中金属有机物混合层所用的两种不同的金属前驱体不能发生反应。由于可以同时制备两种金属有机物，大大提高了生产效率。
在其他实施方式中，阻隔层的数量也可以是3个或者以上，阻隔层之间还可以包括2个、3个或更多的缓冲层部分，各种金属有机物所占比例根据实际情况决定，本发明对此均不作限定。
本发明的有益效果是：与现有技术相比，本发明的封装薄膜包括至少两种不同的金属有机物或至少两种不同的金属有机物的混合物，可以提高封装薄膜相邻层之间的附着力，避免封装薄膜相邻层彼此剥离；提高抵抗TFE应力的能力，防止封装薄膜破裂；多种反应物同时反应，提高生产效率。
上述显示面板可以被用于各类显示装置中。
参阅图3，图3是本发明显示面板制作方法一实施例的流程示意图。如图3所示，该显示面板制作方法的步骤包括：
301：制备器件层。
按照现有技术制备器件层即可，本发明对此不再赘述。
302：在器件层依次形成第一阻隔层、缓冲层以及第二阻隔层；其中，缓冲层包括至少两种不同的金属有机物或至少两种不同的金属有机物的混合物，且，至少两种不同的金属有机物相互之间不反应。
在一个实施方式中，在器件层上形成第一阻隔层；按照预设顺序，依次通入形成至少两种不同的金属有机物的原料，在第一阻隔层上形成相互交替分布的构成缓冲层的至少两种不同的金属有机物层；其中，与第一阻隔层相邻接触的金属有机物层包括与第一阻隔层相同的金属元素，与第二阻隔层相邻接触的金属有机物层包括与第二阻隔层相同的金属元素。缓冲层包括第一金属有机物层和第二金属有机物层，第一金属有机物层与第一阻隔层相邻接触，第二金属有机物层与第二阻隔层相邻接触，未与第一阻隔层以及第二阻隔层接触的部分缓冲层为第一金属有机物层与第二金属有机物层交替分布而构成。第一金属有机物层与第二金属有机物层交替分布而构成的部分缓冲层中，从第一阻隔层到第二阻隔层的方向，第一金属有机物层的厚度逐渐降低，第二金属有机物层的厚度逐渐增大。
优选地，首先通入制备第一阻隔层的原料制备第一阻隔层，反应式为：
第一金属前驱体+氧化前驱体＝第一金属氧化物(第一阻隔层)
通入制备第一金属有机物层的原料制备第一金属有机物层，一个Cycle(沉积循环)沉积一个厚度稳定的薄层，根据需求的厚度设置Cycle数量，将第一金属有机物层的Cycle数量设置为30，反应式为：
第一金属前驱体+有机基团前驱体＝第一金属有机物(第一金属有机物层)
通入制备第二金属有机物层的原料制备第二金属有机物层，将第二金属有机物层的Cycle数量设置为10，反应式为：
第二金属前驱体+有机基团前驱体＝第二金属有机物(第二金属有机物层)
通入制备第一金属有机物层的原料制备第一金属有机物层，将第一金属有机物层的Cycle数量设置为20；
通入制备第二金属有机物层的原料制备第二金属有机物层，将第二金属有机物层的Cycle数量设置为20；
通入制备第一金属有机物层的原料制备第一金属有机物层，将第一金属有机物层的Cycle数量设置为10；
通入制备第二金属有机物层的原料制备第二金属有机物层，将第二金属有机物层的Cycle数量设置为30；
通入制备第二阻隔层的原料制备第二阻隔层，反应式为：
第二金属前驱体+氧化前驱体＝第二金属氧化物(第二阻隔层)
需要说明的是，以上只是举例说明，在其他实施方式中，阻隔层的数量也可以是3个或者以上，阻隔层之间还可以包括2个、3个、4个、5个或更多的缓冲层，但是缓冲层中与阻隔层接触部分的金属元素与接触的阻隔层中的金属元素相同，Cycle数量设置根据实际情况决定，本发明对此均不作限定。
在另一个实施方式中，在器件层上形成第一阻隔层；按照预设比例，同时通入形成至少两种不同的金属有机物的原料，在第一阻隔层上形成构成缓冲层的至少两种不同的金属有机物的混合物；其中，与第一阻隔层相邻接触的金属有机物包括与第一阻隔层相同的金属元素，与第二阻隔层相邻接触的金属有机物包括与第二阻隔层相同的金属元素。缓冲层包括第一金属有机物层和第二金属有机物层，第一金属有机物层与第一阻隔层相邻接触，第二金属有机物层与第二阻隔层相邻接触，未与第一阻隔层以及第二阻隔层接触的部分缓冲层为第一金属有机物与第二金属有机物的混合物。第一金属有机物与第二金属有机物的混合物组成的缓冲层中，从第一阻隔层到第二阻隔层的方向，第一金属有机物层的所占比例逐渐降低，第二金属有机物层的所占比例逐渐增大。
优选地，首先通入制备第一阻隔层的原料制备第一阻隔层，反应式为：
第一金属前驱体+氧化前驱体＝第一金属氧化物(第一阻隔层)
通入制备第一金属有机物层的原料制备第一金属有机物层，反应式为：
第一金属前驱体+有机基团前驱体＝第一金属有机物(第一金属有机物层)
通入制备第一金属有机物混合层的原料制备第一金属有机物混合层，其中，原料配比需要满足使第一金属有机物混合层的混合物中，第一金属有机物所占比例为60％，第二金属有机物所占比例为40％，反应式为：
第一金属前驱体+有机基团前驱体＝第一金属有机物
第二金属前驱体+有机基团前驱体＝第二金属有机物
需要说明的是，第一金属前驱体和第二金属前驱体不能发生反应。
通入制备第二金属有机物混合层的原料制备第二金属有机物混合层，其中，原料配比需要满足使第二金属有机物混合层的混合物中，第一金属有机物所占比例为40％，第二金属有机物所占比例为60％，反应式同第一金属有机物混合层；
通入制备第二金属有机物层的原料制备第二金属有机物层，反应式为；
第二金属前驱体+有机基团前驱体＝第二金属有机物(第二金属有机物层)
通入制备第二阻隔层的原料制备第二阻隔层，反应式为：
第二金属前驱体+氧化前驱体＝第二金属氧化物(第二阻隔层)
在本实施方式中，金属有机物层和金属有机物混合层的厚度相同，且有机物的总比例相同。在其他实施方式中，金属有机物层和金属有机物混合层厚度也可以不相同，金属有机物的总比例也不相同。
在其他实施方式中，阻隔层的数量也可以是3个或者以上，阻隔层之间还可以包括2个、3个或更多的缓冲层部分，各种金属有机物所占比例根据实际情况决定，本发明对此均不作限定。
以上所述仅为本发明的实施方式，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围内。
Claims (8)
1.一种基于有机发光二极管OLED的显示面板，其特征在于，所述显示面板包括器件层，还包括依次叠置在所述器件层上的第一阻隔层、缓冲层以及第二阻隔层，所述缓冲层包括至少两种不同的金属有机物，其中，所述至少两种不同的金属有机物相互之间不反应；
其中，与所述第一阻隔层相邻接触的部分缓冲层包括与所述第一阻隔层相同的金属元素，与所述第二阻隔层相邻接触的部分缓冲层包括与所述第二阻隔层相同的金属元素。
2.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述缓冲层包括第一金属有机物层和第二金属有机物层，所述第一金属有机物层与所述第一阻隔层相邻接触，所述第二金属有机物层与所述第二阻隔层相邻接触，未与所述第一阻隔层以及所述第二阻隔层接触的部分缓冲层为所述第一金属有机物层与所述第二金属有机物层交替分布而构成。
3.根据权利要求2所述的显示面板，其特征在于，所述第一金属有机物层与所述第二金属有机物层交替分布而构成的部分缓冲层中，从所述第一阻隔层到所述第二阻隔层的方向，所述第一金属有机物层的厚度逐渐降低，所述第二金属有机物层的厚度逐渐增大。
4.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述缓冲层包括第一金属有机物层和第二金属有机物层，所述第一金属有机物层与所述第一阻隔层相邻接触，所述第二金属有机物层与所述第二阻隔层相邻接触，未与所述第一阻隔层以及所述第二阻隔层接触的部分缓冲层为第一金属有机物与第二金属有机物的混合物。
5.根据权利要求4所述的显示面板，其特征在于，所述第一金属有机物与第二金属有机物的混合物组成的缓冲层中，从所述第一阻隔层到所述第二阻隔层的方向，所述第一金属有机物层的所占比例逐渐降低，所述第二金属有机物层的所占比例逐渐增大。
6.一种基于有机发光二极管OLED的显示装置，其特征在于，所述显示装置包括权利要求1～5任一项所述的显示面板。
7.一种有机发光二极管OLED的制作方法，其特征在于，所述制作方法包括：
制备器件层；
在所述器件层依次形成第一阻隔层、缓冲层以及第二阻隔层；其中，所述缓冲层包括至少两种不同的金属有机物，且，所述至少两种不同的金属有机物相互之间不反应；
其中，所述在所述器件层依次形成第一阻隔层、缓冲层以及第二阻隔层的步骤具体包括：
在所述器件层上形成第一阻隔层；
按照预设顺序，依次通入形成所述至少两种不同的金属有机物的原料，在所述第一阻隔层上形成相互交替分布的构成所述缓冲层的至少两种不同的金属有机物层；
其中，与所述第一阻隔层相邻接触的金属有机物层包括与所述第一阻隔层相同的金属元素，与所述第二阻隔层相邻接触的金属有机物层包括与所述第二阻隔层相同的金属元素。
8.根据权利要求7所述的制作方法，其特征在于，所述在所述器件层依次形成第一阻隔层、缓冲层以及第二阻隔层的步骤具体包括：
在所述器件层上形成第一阻隔层；
按照预设比例，同时通入形成所述至少两种不同的金属有机物的原料，在所述第一阻隔层上形成构成所述缓冲层的至少两种不同的金属有机物的混合物；
其中，与所述第一阻隔层相邻接触的金属有机物包括与所述第一阻隔层相同的金属元素，与所述第二阻隔层相邻接触的金属有机物包括与所述第二阻隔层相同的金属元素。
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