CN107799537A - 阵列基板以及显示装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供了一种显示装置，所述显示装置包括层叠设置的阵列基板、显示介质层以及对向基板，所述阵列基板包括基板及设置于所述基板上的多个阵列排列的薄膜晶体管和导线层，所述导线层包括多条用于传输栅极信号的栅极信号线，每一条栅极信号线沿第一方向延伸并且连接沿着所述第一方向设置的数个所述薄膜晶体管，所述栅极信号线的电阻沿着所述栅极信号的传输的方向减小。本发明通过设计一种沿栅极信号传输方向电阻均匀减小的栅极信号线，实现了所述栅极信号线各区域的实际驱动电压与理想驱动电压一致，进而所述显示装置的所述栅极信号线各区域的薄膜晶体管效应一致，从而导致所述显示装置画面闪烁均匀。

Description

阵列基板以及显示装置
技术领域
本发明涉及显示技术领域，特别涉及一种阵列基板以及具有该阵列基板的显示装置。
背景技术
随着显示技术的飞速发展，人们对于显示装置画面品质的要求不断提高，尤其对于显示装置画面闪烁(Flicker)均匀性要求越来越高。
电阻电容(RC)延迟是影像显示装置画面闪烁均匀性的主要因素之一。显示装置中薄膜晶体管阵列基板的栅极信号线受到RC延迟的影响，将产生电信号延迟，进而造成显示装置中某些位置的实际驱动电压与理想驱动电压不一致，即栅极信号线各区域的薄膜晶体管(feedthrough)效应不一致，从而导致显示装置画面闪烁均匀性较差的情况，这严重影响显示装置的画质和人们的用户体验。
发明内容
本发明提供了一种阵列基板以及显示装置，通过设计一种沿栅极信号传输方向电阻均匀减小的栅极信号线，进而阵列基板和显示装置中实际驱动电压与理想驱动电压一致，栅极信号线各区域的薄膜晶体管(feedthrough)效应一致，从而实现画面闪烁(Flicker)的均一性。
本发明提供了一种阵列基板，所述阵列基板包括基板及设置于所述基板上的多个阵列排列的薄膜晶体管和导线层，所述导线层包括多条用于传输栅极信号的栅极信号线，每一条所述栅极信号线沿第一方向延伸并且连接沿着所述第一方向设置的数个所述薄膜晶体管，所述栅极信号线的电阻沿着所述栅极信号的传输的方向减小。
其中，所述栅极信号线的所述电阻均匀减小。
其中，所述栅极信号线的厚度沿着所述栅极信号传输的方向逐渐增大。
其中，所述栅极信号线沿着所述第一方向包括相对的第一端与第二端，所述第一端较所述第二端先接收到所述栅极信号(或者所述栅极信号自所述第一端传输至所述第二端)，所述栅极信号线的所述第一端的厚度为所述栅极信号线的所述第二端的厚度为
其中，所述栅极信号线沿着所述第一方向包括相对的第一端与第二端，所述第一端较所述第二端先接收到所述栅极信号(或者所述栅极信号自所述第一端传输至所述第二端)，所述栅极信号线的所述第一端的厚度为所述栅极信号线的所述第二端的厚度为
其中，所述栅极信号线的第二方向的尺寸沿着所述栅极信号传输的方向逐渐增大，所述第二方向为与所述第一方向垂直的方向。
其中，所述栅极信号线沿着所述第一方向包括相对的第一端与第二端，所述第一端较所述第二端先接收到所述栅极信号(或者所述栅极信号自所述第一端传输至所述第二端)，所述栅极信号线的所述第一端沿着所述第二方向的尺寸为所述栅极信号线的所述第二端沿着所述第二方向的尺寸为
其中，所述栅极信号线的厚度以及第二方向的尺寸均沿着所述栅极信号传输的方向逐渐增大。
本发明提供了一种显示装置，所述显示装置包括层叠设置的阵列基板、显示介质层以及对向基板，所述阵列基板包括基板及设置于所述基板上的多个阵列排列的薄膜晶体管和导线层，所述导线层包括多条用于传输栅极信号的栅极信号线，每一条栅极信号线沿第一方向延伸并且连接沿着所述第一方向设置的数个所述薄膜晶体管，所述栅极信号线的电阻沿着所述栅极信号的传输的方向减小。
其中，所述栅极信号线的厚度和/或第二方向的尺寸沿着所述栅极信号的传输方向逐渐增大，进而导致所述栅极信号线的所述电阻均匀减小；或者，所述栅极信号线的电阻率沿着所述栅极信号的传输方向逐渐减小。
综上所述，本发明导线层中栅极信号线的电阻沿栅极信号传输的方向均匀减小，进而阵列基板和显示装置中实际驱动电压与理想驱动电压一致，导致栅极信号线各区域的薄膜晶体管(feedthrough)效应一致，从而实现画面闪烁(Flicker)的均一性。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本发明实施例提供的阵列基板中半导体层及栅极信号线的结构示意图。
图2是本发明实施例提供的阵列基板结构的俯视示意图。
图3是图1中栅极信号线的结构示意图。
图4是图1中栅极信号线另一种状态的结构示意图。
图5是本发明实施例提供的显示装置的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1、图2，本发明提供了一种阵列基板，所述阵列基板可以是薄膜晶体管阵列基板，或者低温多晶硅薄膜晶体管阵列基板。所述阵列基板包括基板10及设置于所述基板10上的多个阵列排列的薄膜晶体管20和导线层30，所述导线层30包括多条用于传输栅极信号的栅极信号线301，每一条栅极信号线301沿第一方向延伸并且连接沿着所述第一方向设置的数个所述薄膜晶体管20，所述栅极信号线301的电阻沿着所述栅极信号的传输的方向减小。在本实施例中，所述栅极信号线301的厚度沿着所述栅极信号传输的方向逐渐增大，进而导致所述栅极信号线301的所述电阻沿着所述栅极信号传输的方向均匀减小。进一步地，所述第一方向为所述栅极信号传输的方向。
请参阅图3，所述栅极信号线301沿着所述第一方向包括相对的第一端3011与第二端3012，所述第一端3011较所述第二端3012先接收到所述栅极信号，即所述栅极信号自所述第一端3011传输至所述第二端3012，所述栅极信号线301的所述第一端3011的厚度为所述栅极信号线301的所述第二端3012的厚度为
优选的，所述栅极信号线301的所述第一端3011的厚度为所述栅极信号线301的所述第二端3012的厚度为
在本实施例中，通过半色调曝光显影刻蚀工艺使所述栅极信号线301的厚度沿着所述栅极信号传输的方向均匀增大，进而使所述栅极信号线301的所述电阻均匀减小。具体为，在刻蚀所述导线层30非保留区域时，将所述导线层30保留区域沿厚度方向的尺寸逐步推减直至将所述保留区域刻穿，进而使更多的栅极信号线301裸露出来，从而形成了厚度不一致的所述栅极信号线301。其有益效果在于：所述栅极信号线301的厚度沿着所述栅极信号传输的方向均匀增大，进而导致所述栅极信号线301的电阻沿着所述栅极信号传输的方向均匀减小，所述栅极信号线301的各区域实际驱动电压与理想驱动电压一致，使位于所述栅极信号线301输出端的所述薄膜晶体管效应和远离所述栅极信号线301输出端的所述薄膜晶体管效应尽可能保持一致，实现所述阵列基板的所述栅极信号线301各区域的薄膜晶体管效应一致。
进一步地，所述栅极信号线301的材料为钼材。
进一步地，所述薄膜晶体管20包括形成于导线层的栅极、覆盖所述导线层的栅极绝缘层、设于所述栅极绝缘层上的半导体层、设于所述半导体层上的源极/漏极层及覆盖所述源/漏极层的绝缘保护层，所述源/漏极层包括源极及漏极，所述源极与所述漏极间隔设置。
请参阅图4，本发明的第二实施例中，所述栅极信号线301第二方向的尺寸沿着所述栅极信号传输的方向逐渐增大，进而导致所述栅极信号线301的所述电阻沿着所述栅极信号传输的方向均匀减小。进一步地，所述第一方向为所述栅极信号传输的方向，所述第二方向为图4中与所述第一方向垂直的方向。
所述栅极信号线301沿着所述第一方向包括相对的第一端3011与第二端3012，所述第一端3011较所述第二端3012先接收到所述栅极信号，即所述栅极信号自所述第一端3011传输至所述第二端3012，所述栅极信号线301的所述第一端3011第二方向的尺寸为所述栅极信号线301的所述第二端3012第二方向的尺寸为
在本实施例中，通过半色调曝光显影刻蚀工艺使所述栅极信号线301第二方向的尺寸沿着所述栅极信号传输的方向均匀增大，进而使所述栅极信号线301的所述电阻均匀减小。具体为，在刻蚀所述导线层非保留区域时，将所述导线层30保留区域沿第二方向的尺寸逐步推减直至将所述保留区域刻穿，进而使更多的栅极信号线301裸露出来，从而形成了第二方向尺寸不一致的所述栅极信号线301。其有益效果在于：所述栅极信号线301第二方向的尺寸沿着所述栅极信号传输的方向均匀增大，进而导致所述栅极信号线301的电阻沿着所述栅极信号传输的方向均匀减小，所述栅极信号线301的各区域实际驱动电压与理想驱动电压一致，使位于所述栅极信号线301输出端的所述薄膜晶体管效应和远离所述栅极信号线301输出端的所述薄膜晶体管效应尽可能保持一致，实现所述阵列基板的所述栅极信号线301各区域的薄膜晶体管效应一致。
进一步地，所述栅极信号线301的材料为钼材。
进一步地，所述薄膜晶体管20包括形成于导线层的栅极、覆盖所述导线层的栅极绝缘层、设于所述栅极绝缘层上的半导体层、设于所述半导体层上的源极/漏极层及覆盖所述源/漏极层的绝缘保护层，所述源/漏极层包括源极及漏极，所述源极与所述漏极间隔设置。
本发明的第三实施例中，所述栅极信号线301的厚度以及第二方向的尺寸沿着所述栅极信号传输的方向逐渐增大，进而导致所述栅极信号线301的所述电阻沿着所述栅极信号传输的方向均匀减小。进一步地，所述第一方向为所述栅极信号传输的方向，所述第二方向为与所述第一方向垂直的方向。
所述栅极信号线301沿着所述第一方向包括相对的第一端3011与第二端3012，所述第一端3011较所述第二端3012先接收到所述栅极信号，即所述栅极信号自所述第一端3011传输至所述第二端3012，所述栅极信号线301的所述第一端3011的厚度为所述第一端3011第二方向的尺寸为所述栅极信号线301的所述第二端3012的厚度为所述第二端3012第二方向的尺寸为
在本实施例中，通过半色调曝光显影刻蚀工艺使所述栅极信号线301的厚度以及第二方向的尺寸沿着所述栅极信号传输的方向均匀增大，进而使所述栅极信号线301的所述电阻均匀减小。具体为，在刻蚀所述导线层30非保留区域时，将所述导线层30保留区域沿厚度方向以及第二方向的尺寸逐步推减直至将所述保留区域刻穿，进而使更多的栅极信号线301裸露出来，从而形成了厚度与第二方向尺寸不一致的所述栅极信号线301。其有益效果在于：所述栅极信号线301的厚度以及第二方向的尺寸沿着所述栅极信号传输的方向均匀增大，进而导致所述栅极信号线301的电阻沿着所述栅极信号传输的方向均匀减小，所述栅极信号线301的各区域实际驱动电压与理想驱动电压一致，使位于所述栅极信号线301输出端的所述薄膜晶体管效应和远离所述栅极信号线301输出端的所述薄膜晶体管效应尽可能保持一致，实现所述阵列基板的所述栅极信号线301各区域的薄膜晶体管效应一致。
进一步地，所述栅极信号线301的材料为钼材。
进一步地，所述薄膜晶体管20包括形成于导线层的栅极、覆盖所述导线层的栅极绝缘层、设于所述栅极绝缘层上的半导体层、设于所述半导体层上的源极/漏极层及覆盖所述源/漏极层的绝缘保护层，所述源/漏极层包括源极及漏极，所述源极与所述漏极间隔设置。
本发明的第四实施例中，所述栅极信号线301的厚度以及第二方向的尺寸不变，所述栅极信号线301的的电阻率沿着所述栅极信号传输的方向逐渐减小，进而导致所述栅极信号线301的所述电阻均匀减小，实现所述栅极信号线301的各区域实际驱动电压与理想驱动电压一致，进一步实现所述栅极信号线301各区域的薄膜晶体管效应一致。
请参阅图5，本发明还提供了一种显示装置，所述显示装置包括层叠设置的阵列基板、显示介质层40以及对向基板50，所述阵列基板包括基板10及设置于所述基板上的多个阵列排列的薄膜晶体管20和导线层30，所述导线层30包括多条用于传输栅极信号的栅极信号线301，每一条栅极信号线301沿第一方向延伸并且连接沿着所述第一方向设置的数个所述薄膜晶体管20，所述栅极信号线301的电阻沿着所述栅极信号传输的方向减小。
所述栅极信号线301的厚度以及第二方向的尺寸沿着所述栅极信号传输的方向逐渐增大，进而导致所述栅极信号线301的所述电阻均匀减小；或者，所述栅极信号线301的电阻率沿着所述栅极信号的传输方向逐渐减小。
进一步地，所述显示介质层40通过扭转可以控制射出显示屏的光线亮度。所述对向基板50结合所述显示介质层40可以调节三原色的光亮，得到需要的彩色显示。其有益效果在于：所述栅极信号线301的厚度以及第二方向的尺寸沿着所述栅极信号的传输方向均匀增大或者所述栅极信号线301的电阻率沿着所述栅极信号的传输方向逐渐减小，进而导致所述栅极信号线301的电阻沿着所述栅极信号的传输方向均匀减小，实现所述栅极信号线301的各区域实际驱动电压与理想驱动电压一致，进而所述显示装置的所述栅极信号线301各区域的薄膜晶体管效应一致，从而导致所述显示装置画面闪烁(Flicker)均匀。
以上所揭露的仅为本发明较佳实施例而已，当然不能以此来限定本发明之权利范围，本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例的全部或部分流程，并依本发明权利要求所作的等同变化，仍属于发明所涵盖的范围。

Claims (10)

1.一种阵列基板，其特征在于，所述阵列基板包括基板及设置于所述基板上的多个阵列排列的薄膜晶体管和导线层，所述导线层包括多条用于传输栅极信号的栅极信号线，每一条所述栅极信号线沿第一方向延伸并且连接沿着所述第一方向设置的数个所述薄膜晶体管，所述栅极信号线的电阻沿着所述栅极信号的传输的方向减小。
2.根据权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述栅极信号线的所述电阻均匀减小。
3.根据权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述栅极信号线的厚度沿着所述栅极信号传输的方向逐渐增大。
4.根据权利要求3所述的阵列基板，其特征在于，所述栅极信号线沿着所述第一方向包括相对的第一端与第二端，所述第一端较所述第二端先接收到所述栅极信号(或者所述栅极信号自所述第一端传输至所述第二端)，所述栅极信号线的所述第一端的厚度为所述栅极信号线的所述第二端的厚度为
5.根据权利要求3所述的阵列基板，其特征在于，所述栅极信号线沿着所述第一方向包括相对的第一端与第二端，所述第一端较所述第二端先接收到所述栅极信号(或者所述栅极信号自所述第一端传输至所述第二端)，所述栅极信号线的所述第一端的厚度为所述栅极信号线的所述第二端的厚度为
6.根据权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述栅极信号线的第二方向的尺寸沿着所述栅极信号传输的方向逐渐增大，所述第二方向为与所述第一方向垂直的方向。
7.根据权利要求6所述的阵列基板，其特征在于，所述栅极信号线沿着所述第一方向包括相对的第一端与第二端，所述第一端较所述第二端先接收到所述栅极信号(或者所述栅极信号自所述第一端传输至所述第二端)，所述栅极信号线的所述第一端沿着所述第二方向的尺寸为所述栅极信号线的所述第二端沿着所述第二方向的尺寸为
8.根据权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述栅极信号线的厚度以及第二方向的尺寸均沿着所述栅极信号传输的方向逐渐增大。
9.一种显示装置，其特征在于，所述显示装置包括层叠设置的阵列基板、显示介质层以及对向基板，所述阵列基板包括基板及设置于所述基板上的多个阵列排列的薄膜晶体管和导线层，所述导线层包括多条用于传输栅极信号的栅极信号线，每一条栅极信号线沿第一方向延伸并且连接沿着所述第一方向设置的数个所述薄膜晶体管，所述栅极信号线的电阻沿着所述栅极信号的传输的方向减小。
10.根据权利要求9所述的显示装置，其特征在于，所述栅极信号线的厚度和/或第二方向的尺寸沿着所述栅极信号的传输方向逐渐增大，进而导致所述栅极信号线的所述电阻均匀减小；或者，所述栅极信号线的电阻率沿着所述栅极信号的传输方向逐渐减小。
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