CN107775828A - 一种金刚线切割硅叠工艺 - Google Patents
一种金刚线切割硅叠工艺 Download PDFInfo
- Publication number
- CN107775828A CN107775828A CN201711047306.2A CN201711047306A CN107775828A CN 107775828 A CN107775828 A CN 107775828A CN 201711047306 A CN201711047306 A CN 201711047306A CN 107775828 A CN107775828 A CN 107775828A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- cutting
- silicon
- aluminium platform
- diamond wire
- folds
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/04—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools
- B28D5/045—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools by cutting with wires or closed-loop blades
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B27/00—Other grinding machines or devices
- B24B27/06—Grinders for cutting-off
- B24B27/0633—Grinders for cutting-off using a cutting wire
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B55/00—Safety devices for grinding or polishing machines; Accessories fitted to grinding or polishing machines for keeping tools or parts of the machine in good working condition
- B24B55/02—Equipment for cooling the grinding surfaces, e.g. devices for feeding coolant
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B55/00—Safety devices for grinding or polishing machines; Accessories fitted to grinding or polishing machines for keeping tools or parts of the machine in good working condition
- B24B55/06—Dust extraction equipment on grinding or polishing machines
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
- B28D5/0076—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material for removing dust, e.g. by spraying liquids; for lubricating, cooling or cleaning tool or work
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Processing And Handling Of Plastics And Other Materials For Molding In General (AREA)
Abstract
本发明涉及一种金刚线切割硅叠工艺,它包括如下步骤:手动旋转主轴,在三滑车间卷绕金刚线;把纯水倒进切断机水箱内;(3)铝台接着;(4)固定切割;(5)确认切断结束后,将纯水泵转换为旁路,按顺序关闭切断机各电源开关,松开铝台锁紧装置,取下铝台;(6)将铝台置于接着热板,待接着剂熔化后将表面硅块卸至烧杯中,交下道工序清洗。优点是设计合理,切割速度可以快2—3倍,提升了机器生产率;不使用昂贵且难以处理的切削油砂浆,环保安全无后顾之忧;金刚线切割槽距小,每叠硅块出率达6500只,高于砂浆切割约12%,单叠耗材远远降低,解决现有砂浆切割硅叠切割效率低、废油排放环境负荷大等主要问题。
Description
技术领域
本发明涉及高压二极管硅叠切断工序,具体涉及一种金刚线切割硅叠工艺。
背景技术
目前硅叠切割采用不锈钢线-砂浆切割工艺。将粘着硅叠的铝台固定在切断机工作架上,利用切断机中电机的正反转以及翘翘板式联杆的上下运动,使不锈钢丝象拉锯一样反复进行往返运动,带动砂浆中的悬浮磨粒来切割硅叠。
砂浆切割缺点:①砂浆是切削油和金钢砂的混合液,废弃切削油排放量大,环保安全难以达到相关要求。砂浆切割生产效率较低,每叠切断时长达3小时,已成为制约我司生产线产能扩量的瓶颈。③砂浆切割中使用Φ0.12mm 不锈钢线,切口槽距达0.18mm,每叠硅块出率仅5800只,切割成本高。
发明内容
为解决上述问题,本发明提出一种金刚线切割硅叠工艺,设计合理,切割速度可以快2—3倍,提升了机器生产率;不使用昂贵且难以处理的切削油砂浆,环保安全无后顾之忧;金刚线切割槽距小,每叠硅块出率达6500只,高于砂浆切割约12%,单叠耗材远远降低,解决现有砂浆切割硅叠切割效率低、废油排放环境负荷大等主要问题。
本发明提供如下技术方案:
一种金刚线切割硅叠工艺,它包括如下步骤:
(1)手动旋转主轴,在三滑车间卷绕金刚线,在金刚线卷绕上5~10根(槽)时,上升滑座,确认金刚线能顺利进入滑车沟槽,继续卷绕,卷毕后,启动切断机,空转3~8分钟,确认金刚线张力均匀,张力不均匀时,应追加空转后,重新确认。
(2)把纯水倒进切断机水箱内,液量约为水箱体积的4/5(3±0.3)L。
(3)闭合接着热板开关,并将接着热板的数字控温仪上的温度设定在160℃,使接着热板升温,待热板恒温后, 将接着铝台、玻璃板及硅叠置于接着热板上加热2~3(min),分别在铝台中央部分涂上接着剂,涂抹面积与待处理硅叠的端面面积相当,用不锈钢镊子将加热后的玻璃板搬上接着铝台,用压块压玻璃板,使之与铝台表面接着,再在玻璃板中央均匀涂上相当待处理硅叠端面面积的接着剂,在硅叠上也均匀涂上接着剂,用不锈钢小镊子将硅叠搬上玻璃板,再用钳子将接着好的铝台移到冷却板上,将适用的侧面玻璃条挟在接着端面与抵压板之间,用套筒、起子拧紧螺帽。
(4)用锁紧装置把接着好的铝台固定在工作架上,升降工作架,确认铝台两侧玻璃不与两侧滑车相碰,脱下升降台上的拉杆挂钩,让拉杆徐徐上升至铝台,两侧玻璃条与金刚线轻轻接触时放手,再按顺序开启切断机,进行切割,同时在打开纯水泵以及纯水阀,调节纯水流量计至规定值。
(5)确认切断结束后,将纯水泵转换为旁路,按顺序关闭切断机各电源开关,松开铝台锁紧装置,取下铝台。
(6) 将铝台置于接着热板,待接着剂熔化后将表面硅块卸至烧杯中,交下道工序清洗。
在步骤(1)中所述金刚线为Φ0.08mm,特点是在母线表面镀有金刚石粉。
所述金刚线切割槽距为0.12mm。
所述在步骤(4)中所述切断机上设置有翘板,在切断过程中,跷板的摆动次数为45±5次/min。
本发明优点是,设计合理,采用金刚线往返运动直接切割硅叠,并切割过程中利用纯水冷却金刚线同时冲洗附着于金刚线上的硅屑异物,切割速度可以快2—3倍,提升了机器生产率,不使用昂贵且难以处理的切削油砂浆,环保安全无后顾之忧;金刚线切割槽距小,每叠硅块出率达6500只,高于砂浆切割约12%,单叠耗材远远降低,解决现有砂浆切割硅叠切割效率低、废油排放环境负荷大等主要问题。
具体实施方式
一种金刚线切割硅叠工艺,它包括如下步骤:
(1)手动旋转主轴,在三滑车间卷绕金刚线,在金刚线卷绕上5~10根(槽)时,上升滑座,确认金刚线能顺利进入滑车沟槽,继续卷绕,卷毕后,启动切断机,空转3~8分钟,确认金刚线张力均匀,张力不均匀时,应追加空转后,重新确认。
(2)把纯水倒进切断机水箱内,液量约为水箱体积的4/5(3±0.3)L。
(3)闭合接着热板开关,并将接着热板的数字控温仪上的温度设定在160℃,使接着热板升温,待热板恒温后, 将接着铝台、玻璃板及硅叠置于接着热板上加热2~3(min),分别在铝台中央部分涂上接着剂,涂抹面积与待处理硅叠的端面面积相当,用不锈钢镊子将加热后的玻璃板搬上接着铝台,用压块压玻璃板,使之与铝台表面接着,再在玻璃板中央均匀涂上相当待处理硅叠端面面积的接着剂,在硅叠上也均匀涂上接着剂,用不锈钢小镊子将硅叠搬上玻璃板,再用钳子将接着好的铝台移到冷却板上,将适用的侧面玻璃条挟在接着端面与抵压板之间,用套筒、起子拧紧螺帽。
(4)用锁紧装置把接着好的铝台固定在工作架上,升降工作架,确认铝台两侧玻璃不与两侧滑车相碰,脱下升降台上的拉杆挂钩,让拉杆徐徐上升至铝台,两侧玻璃条与金刚线轻轻接触时放手,再按顺序开启切断机,进行切割,同时在打开纯水泵以及纯水阀,调节纯水流量计至规定值。
(5)确认切断结束后,将纯水泵转换为旁路,按顺序关闭切断机各电源开关,松开铝台锁紧装置,取下铝台。
(6) 将铝台置于接着热板,待接着剂熔化后将表面硅块卸至烧杯中,交下道工序清洗。
在步骤(1)中所述金刚线为Φ0.08mm,特点是在母线表面镀有金刚石粉。
所述金刚线切割槽距为0.12mm。
所述在步骤(4)中所述切断机上设置有翘板,在切断过程中,跷板的摆动次数为45±5次/min。
本发明优点是,设计合理,采用金刚线往返运动直接切割硅叠,并切割过程中利用纯水冷却金刚线同时冲洗附着于金刚线上的硅屑异物,切割速度可以快2—3倍,提升了机器生产率,不使用昂贵且难以处理的切削油砂浆,环保安全无后顾之忧;金刚线切割槽距小,每叠硅块出率达6500只,高于砂浆切割约12%,单叠耗材远远降低,解决现有砂浆切割硅叠切割效率低、废油排放环境负荷大等主要问题。
Claims (4)
1.一种金刚线切割硅叠工艺,其特征在于,它包括如下步骤:
(1)手动旋转主轴,在三滑车间卷绕金刚线,在金刚线卷绕上5~10根(槽)时,上升滑座,确认金刚线能顺利进入滑车沟槽,继续卷绕,卷毕后,启动切断机,空转3~8分钟,确认金刚线张力均匀,张力不均匀时,应追加空转后,重新确认;
(2)把纯水倒进切断机水箱内,液量约为水箱体积的4/5(3±0.3)L;
(3)闭合接着热板开关,并将接着热板的数字控温仪上的温度设定在160℃,使接着热板升温,待热板恒温后, 将接着铝台、玻璃板及硅叠置于接着热板上加热2~3(min),分别在铝台中央部分涂上接着剂,涂抹面积与待处理硅叠的端面面积相当,用不锈钢镊子将加热后的玻璃板搬上接着铝台,用压块压玻璃板,使之与铝台表面接着,再在玻璃板中央均匀涂上相当待处理硅叠端面面积的接着剂,在硅叠上也均匀涂上接着剂,用不锈钢小镊子将硅叠搬上玻璃板,再用钳子将接着好的铝台移到冷却板上,将适用的侧面玻璃条挟在接着端面与抵压板之间,用套筒、起子拧紧螺帽;
(4)用锁紧装置把接着好的铝台固定在工作架上,升降工作架,确认铝台两侧玻璃不与两侧滑车相碰,脱下升降台上的拉杆挂钩,让拉杆徐徐上升至铝台,两侧玻璃条与金刚线轻轻接触时放手,再按顺序开启切断机,进行切割,同时在打开纯水泵以及纯水阀,调节纯水流量计至规定值;
(5)确认切断结束后,将纯水泵转换为旁路,按顺序关闭切断机各电源开关,松开铝台锁紧装置,取下铝台;
(6)将铝台置于接着热板,待接着剂熔化后将表面硅块卸至烧杯中,交下道工序清洗。
2.根据权利要求1所述的一种金刚线切割硅叠工艺,其特征是在步骤(1)中所述金刚线为Φ0.08mm,特点是在母线表面镀有金刚石粉。
3.根据权利要求2所述的一种金刚线切割硅叠工艺,其特征是所述金刚线切割槽距为0.12mm。
4.根据权利要求1所述的一种金刚线切割硅叠工艺,其特征是所述在步骤(4)中所述切断机上设置有翘板,在切断过程中,跷板的摆动次数为45±5次/min。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201711047306.2A CN107775828B (zh) | 2017-10-31 | 2017-10-31 | 一种金刚线切割硅叠工艺 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201711047306.2A CN107775828B (zh) | 2017-10-31 | 2017-10-31 | 一种金刚线切割硅叠工艺 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN107775828A true CN107775828A (zh) | 2018-03-09 |
CN107775828B CN107775828B (zh) | 2019-04-12 |
Family
ID=61432243
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201711047306.2A Active CN107775828B (zh) | 2017-10-31 | 2017-10-31 | 一种金刚线切割硅叠工艺 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN107775828B (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11389991B2 (en) * | 2017-04-04 | 2022-07-19 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | Method for slicing workpiece |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101474830A (zh) * | 2008-12-11 | 2009-07-08 | 江苏海尚新能源材料有限公司 | 太阳能级6寸单晶硅片切割工艺方法 |
CN101927533A (zh) * | 2010-08-19 | 2010-12-29 | 英利能源(中国)有限公司 | 单晶棒破方方法 |
KR20140094103A (ko) * | 2013-01-21 | 2014-07-30 | 주식회사 엘지실트론 | 잉곳 절단 장치 |
JP2016203319A (ja) * | 2015-04-24 | 2016-12-08 | 株式会社安永 | ワイヤソー及び該ワイヤソーを使用し、ワークから複数のスライス品を製造する製造方法 |
CN106217665A (zh) * | 2016-08-12 | 2016-12-14 | 上海申和热磁电子有限公司 | 一种超细钢线切割超薄硅片的方法 |
CN106696104A (zh) * | 2016-12-16 | 2017-05-24 | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 | 粘棒方法及切割铸造多晶硅棒的方法 |
CN106738395A (zh) * | 2016-12-14 | 2017-05-31 | 扬州荣德新能源科技有限公司 | 一种晶体硅的线切割的方法 |
CN107160576A (zh) * | 2017-07-10 | 2017-09-15 | 杨凌美畅新材料有限公司 | 一种超高效电镀金刚线快速切割硅片的方法 |
-
2017
- 2017-10-31 CN CN201711047306.2A patent/CN107775828B/zh active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101474830A (zh) * | 2008-12-11 | 2009-07-08 | 江苏海尚新能源材料有限公司 | 太阳能级6寸单晶硅片切割工艺方法 |
CN101927533A (zh) * | 2010-08-19 | 2010-12-29 | 英利能源(中国)有限公司 | 单晶棒破方方法 |
KR20140094103A (ko) * | 2013-01-21 | 2014-07-30 | 주식회사 엘지실트론 | 잉곳 절단 장치 |
JP2016203319A (ja) * | 2015-04-24 | 2016-12-08 | 株式会社安永 | ワイヤソー及び該ワイヤソーを使用し、ワークから複数のスライス品を製造する製造方法 |
CN106217665A (zh) * | 2016-08-12 | 2016-12-14 | 上海申和热磁电子有限公司 | 一种超细钢线切割超薄硅片的方法 |
CN106738395A (zh) * | 2016-12-14 | 2017-05-31 | 扬州荣德新能源科技有限公司 | 一种晶体硅的线切割的方法 |
CN106696104A (zh) * | 2016-12-16 | 2017-05-24 | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 | 粘棒方法及切割铸造多晶硅棒的方法 |
CN107160576A (zh) * | 2017-07-10 | 2017-09-15 | 杨凌美畅新材料有限公司 | 一种超高效电镀金刚线快速切割硅片的方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11389991B2 (en) * | 2017-04-04 | 2022-07-19 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | Method for slicing workpiece |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN107775828B (zh) | 2019-04-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN109759741B (zh) | 一种超声辅助钎焊用钎焊粉及钎焊方法 | |
CN105108257B (zh) | 一种过渡液相辅助固相连接方法 | |
CN107747119A (zh) | 一种用晶体硅的金刚线切割废料制备晶体硅的方法 | |
JP2011121049A (ja) | シリコン再生利用システム及びシリコン再生利用方法 | |
CN107775828A (zh) | 一种金刚线切割硅叠工艺 | |
CN102676982B (zh) | TiN/Al复合涂层的快速原位制备方法 | |
CN102121077A (zh) | 一种键合金丝及其制备方法 | |
CN103447668A (zh) | 一种弥散铜的焊接方法 | |
CN102092002B (zh) | 单晶硅片液体抛光方法 | |
CN112453393A (zh) | 一种等离子体电解沉积制备微细磁性磨料的方法 | |
JP2010070425A (ja) | シリコンの再生方法 | |
CN106541339B (zh) | 一种立方氮化硼堆积磨料的制备工艺 | |
CN106992127B (zh) | 一种极少产生焊料表面悬浮氧化物颗粒的共晶贴片方法 | |
CN109265016A (zh) | 一种gg5材质3d玻璃返工方法 | |
CN210702821U (zh) | 一种制作汽车制动冲压件具有固定结构的金属切割设备 | |
CN105214899A (zh) | 一种晶片的液态蜡旋蜡装置和上蜡方法 | |
CN104319193A (zh) | 快速熔断器生产工艺 | |
CN103978191A (zh) | 一种掺杂纳米颗粒的细晶镁合金制备方法 | |
TW200946452A (en) | Silicon regenerating method | |
CN102145382A (zh) | 铝质螺纹孔加工基材的铝碳化硅基板的制备方法 | |
CN105132724A (zh) | 一种超重力辅助铝热还原法自蔓延制备钛铝合金的方法 | |
CN205253469U (zh) | 一种晶片的液态蜡旋蜡装置 | |
CN107722624A (zh) | 一种轻型绝缘导热配电柜 | |
CN102825212A (zh) | 加压聚结脱除熔模铸造模料中水分和固体杂质的方法及装置 | |
CN110479989B (zh) | 一种耐高温钛合金铸件的加工方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant | ||
TR01 | Transfer of patent right | ||
TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20210831 Address after: 226503 No. 82, Zhongshan West Road, Rucheng street, Rugao City, Nantong City, Jiangsu Province Patentee after: Jiangsu Gaoxin Electronics Co.,Ltd. Address before: 226500 No.82, Zhongshan West Road, Rucheng, Rugao, Nantong, Jiangsu Province Patentee before: NANTONG GAOXIN ELECTRONICS Co.,Ltd. |