CN107740061A - 一种制备耐腐蚀水晶灯挂件的方法 - Google Patents

一种制备耐腐蚀水晶灯挂件的方法 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种制备耐腐蚀水晶灯挂件的方法，其包括以下步骤：首先第一步，进行清洗成型的水晶灯挂件；然后进行第二步，将已成型的水晶灯挂件1清洗后，放入磁控溅射托盘，然后送入镀膜机；最后一步，进行镀膜，在所述水晶灯挂件表面上由内到外依次将B2O3、氧化锌锡、铜、二氧化钛、SSTOx、Si3N4作为镀膜层。本发明利用制备耐腐蚀水晶灯挂件的方法制成的耐腐蚀水晶灯挂件在使用过程中不易被磨损、划伤，在空气中，表面不易出现被腐蚀的现象。

Description

一种制备耐腐蚀水晶灯挂件的方法
技术领域
本发明涉及一种制备水晶灯挂件的方法，尤其是利用磁控溅射法制备耐腐蚀水晶灯挂件的方法。
背景技术
水晶灯挂件是目前人们喜欢用来与灯搭配使用的装饰品，但是目前市场上的水晶灯挂件在使用过程中，易被磨损、划伤，并且大多数水晶灯挂件在空气中露置一段时间后出现腐蚀的现象，尤其在厨房、洗手间等恶劣环境中更为严重，进而影响水晶灯挂件的美观，同时水晶灯挂件在腐蚀后，表面逐渐堆积尘土污垢，使水晶灯挂件产生的视觉效果变差，带来不良的影响。
发明内容
本发明目的是克服了现有技术的不足，提供一种在镀膜机内，在所述水晶灯挂件表面上由内到外依次将B2O3、氧化锌锡、铜、二氧化钛、SSTOx、Si3N4作为镀膜层的制备耐腐蚀水晶灯挂件的方法。本发明利用制备耐腐蚀水晶灯挂件的方法制成的耐腐蚀水晶灯挂件在使用过程中不易被磨损、划伤，在空气中，表面不易出现被腐蚀的现象。
为了达到上述目的，本发明采用以下方案：
一种制备所述的耐腐蚀水晶灯挂件的方法，包括以下步骤：
(1)清洗成型的水晶灯挂件；
(2)将已成型的水晶灯挂件清洗后，放入磁控溅射托盘，然后送入镀膜机；
(3)在所述水晶灯挂件表面上磁控溅射B2O3层，采用氧气作为反应气体，氩气作为保护气体，用直流电源溅射铋平面靶，氩氧为30～500SCCM：500～800SCCM；
(4)在B2O3层上磁控溅射氧化锌锡层，采用氩气作为保护气体，氧气作为反应气体，用交流电源溅射锌锡靶，氩氧的比为300～500SCCM：500～800SCCM；
(5)在氧化锌锡层上磁控溅射铜层，采用氩气作为反应气体，气体流量为300～500SCCM，用直流电源溅射铜靶。
(6)在铜层上磁控溅射二氧化钛层，采用氩气作为保护气体，氧气作为反应气体，用交流电源溅射钛靶，氩氧的比为：300～500SCCM：500～800SCCM；
(7)在二氧化钛层上磁控溅射SSTOx层，采用氧气作为反应气体，氩气作为保护气体，用直流电源溅射不锈钢平面靶，氩氧比为：300～500SCCM：500～800SCCM；
(8)在SSTOx层上磁控溅射Si3N4层，采用氮气作为反应气体，氩气作为保护气流，用交流电源溅射硅铝靶，氩氧的比为：300～500SCCM：500～800SCCM。
如上所述制备耐腐蚀水晶灯挂件的方法，所述步骤(2)清洗所述成型的水晶灯挂件的步骤是：将所述成型的水晶灯挂件放在丙酮中超声清洗10分钟后，再用乙醇超声清洗10分钟，最后在去离子水中超声清洗10分钟。
如上所述制备耐腐蚀水晶灯挂件的方法，所述步骤(3)磁控溅射B2O3层(21)的厚度为20～30nm。
如上所述制备耐腐蚀水晶灯挂件的方法，所述步骤(4)磁控溅射氧化锌锡层(22)的厚度为30～40nm。
如上所述制备耐腐蚀水晶灯挂件的方法，所述步骤(5)磁控溅射铜层(23)的厚度为5～10nm。
如上所述制备耐腐蚀水晶灯挂件的方法，所述步骤(6)磁控溅射二氧化钛层(24)的厚度为50～60nm。
如上所述制备耐腐蚀水晶灯挂件的方法，所述步骤(7)磁控溅射SSTOx层(25)的厚度为50～60nm。
如上所述制备耐腐蚀水晶灯挂件的方法，所述步骤(8)磁控溅射Si3N4(26)层的厚度为60～100nm。
如上所述制备耐腐蚀水晶灯挂件的方法，所述步骤(3)磁控溅射B2O3层(21)的厚度为25nm。
如上所述制备耐腐蚀水晶灯挂件的方法，所述步骤(8)磁控溅射Si3N4(26)层的厚度为80nm。
与现有技术相比，本发明有如下优点：
1、本发明通过制备耐腐蚀水晶灯挂件的方法，利用B2O3在常温下化学性质稳定，具有耐腐蚀的特点，磁控溅射B2O3作为最内膜层，保护所述耐腐蚀水晶灯挂件不易出现被腐蚀的现象，进而不影响水晶灯挂件的美观。
2、本发明通过制备耐腐蚀水晶灯挂件的方法，还利用Si3N4具有良好的物理性能和抗腐蚀性能，以Si3N4作为最外镀膜层，保护所述水晶灯挂件不易氧化，防止所述水晶灯挂件表面被腐蚀，同时能高所述水晶灯挂件机械耐久性能，防止出现被划伤、磨损的现象。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。
图1是本发明耐腐蚀水晶灯挂件立体图。
图2是本发明耐腐蚀水晶灯挂件表面与各个镀膜层的厚度结构示意图。
具体实施方式
一种制备耐腐蚀水晶灯挂件的方法，其包括以下步骤：
首先第一步，进行清洗成型的水晶灯挂件1，参见图1，其步骤是：将所述成型的水晶灯挂件放在丙酮中超声清洗10分钟后，再用乙醇超声清洗10分钟，最后在去离子水中超声清洗10分钟；
然后进行第二步，将已成型的水晶灯挂件1清洗后，放入磁控溅射托盘，然后送入镀膜机；
最后一步，进行镀膜，如图2，方法如下：
(1)在所述水晶灯挂件表面上磁控溅射B2O3层21，采用氧气作为反应气体，氩气作为保护气体，用直流电源溅射铋平面靶，氩氧的比为300～500SCCM：500～800SCCM；本步骤中氩氧比决定了成膜的质量，因此，优先氩氧的比为300SCCM：500SCCM；
优选的，磁控溅射所述B2O3层21厚度为20～30nm，优选25nm。
(2)在所述B2O3层21上磁控溅射氧化锌锡层22，采用氩气作为保护气体，氧气作为反应气体，用交流电源溅射锌锡靶，氩氧的比为300～500SCCM：500～800SCCM，因此，优先氩氧的比为300SCCM：500SCCM；
优选的，磁控溅射所述铜层23为5～10nm，优选8nm。
(3)在所述氧化锌锡层22上磁控溅射铜层23，采用氩气作为反应气体，气体流量为300～500SCCM，用直流电源溅射铜靶；
优选的，磁控溅射所述铜层23为5～10nm，优选8nm。
(4)在所述铜层23上磁控溅射二氧化钛层24，用氩气作为保护气体，氧气作为反应气体，用交流电源溅射钛靶，氩氧的比为：300～500SCCM：500～800SCCM；本步骤中氩氧比决定了成膜的质量，因此，优先氩氧的比为300SCCM：500SCCM；
优选的，磁控溅射所述二氧化钛层24的厚度为50～60nm，优选55nm。
(5)在所述二氧化钛层24上磁控溅射SSTOx层25，采用氧气作为反应气体，氩气作为保护气体，用直流电源溅射不锈钢平面靶，氩氧比为：300～500SCCM：500～800SCCM，本步骤中氩氧比决定了成膜的质量，因此，优先氩氧的比为300SCCM：500SCCM；
优选的，磁控溅射所述SSTOx层25的厚度为50～60nm，优选60nm。
(6)在所述SSTOx层25上磁控溅射Si3N4层26，采用氮气作为反应气体，氩气作为保护气流，用交流电源溅射硅铝靶，氩氧的比为：300～500SCCM：500～800SCCM；本步骤中氩氧比决定了成膜的质量，因此，优先氩氧的比为300SCCM：500SCCM；
优选的，磁控溅射所述Si3N4层26的厚度为60～100nm，优选80nm。
本发明还公开了一种由制备耐腐蚀水晶灯挂件的方法制成的耐腐蚀水晶灯挂件。
请参见图1、图2，在本具体实施例中，所述耐腐蚀水晶灯挂件，包括水晶灯挂件1，所述水晶灯挂件1表面上由内到外依次相邻地复合有六个膜层，其中第一膜层即最内膜层为B2O3层21，第二膜层为锌锡层22，第三膜层为铜层23，第四膜层为二氧化钛层24，第五膜层为SSTOx层25，第六膜层为Si3N426。在本具体实施例中,所述耐腐蚀水晶灯挂件的形状可以为方形，圆形，锥形，椭圆形，六棱柱状等等，如图1作为所述耐腐蚀水晶灯挂件其中一种形状。
所述第一膜层即最内膜层为B2O3层21，即氧化硼层21。B2O3在常温下化学性质稳定，具有耐腐蚀的特点，因此，磁控溅射B2O3作为最内膜层，保护所述耐腐蚀水晶灯挂件不易在如厨房、洗手间等恶劣环境中出现被腐蚀的现象，进而不影响水晶灯挂件的美观。
所述第二膜层为锌锡层，对耐腐蚀水晶灯挂件具有保护作用。
所述第三膜层为铜层23，为功能层，作为透明黄色提供层，使耐腐蚀水晶灯挂件的外观呈透明黄色。
所述第四膜层为二氧化钛层24。二氧化钛作为镀膜材料，光滑平整，以及对光有着极强的折射、反射作用，因此能够提高复合膜层之间的折光性，并通过反射的作用来调整所述水晶灯挂件的颜色，使所述水晶灯挂件外观上呈现出所述第三膜层铜层作为透明黄色提供层的视觉效果。
所述第五膜层为SSTOx层25。在反应溅射时，提高膜层的折射率，从而提升整合复合膜系的透过率，进而作调节透明黄色颜色层，使耐腐蚀水晶灯挂件呈透明黄色效果。
所述第六膜层Si3N4 26层。Si3N4是一种高硬度材料，具有良好的物理性能和抗腐蚀性能，以Si3N4作为最外镀膜层，一方面保护所述水晶灯挂件不易氧化，防止所述水晶灯挂件表面被腐蚀，另一方面使所述水晶灯挂件的整个复合膜系具有良好的机械耐久性能，以及加强整个复合膜系的物理性能，防止在使用过程中出现被划伤、磨损的现象。
综上对本申请的实施方式作了详细说明，但是本申请不限于上述实施方式。即使其对本申请作出各种变化，则仍落入在本申请的保护范围。

Claims (10)

1.一种制备耐腐蚀水晶灯挂件的方法，其特征在于包括以下步骤：
(1)清洗成型的水晶灯挂件(1)；
(2)将已成型的水晶灯挂件(1)清洗后，放入磁控溅射托盘，然后送入镀膜机；
(3)在所述水晶灯挂件(1)表面上磁控溅射B2O3层(21)，采用氧气作为反应气体，氩气作为保护气体，用直流电源溅射铋平面靶，氩氧为30～500SCCM：500～800SCCM；
(4)在所述B2O3层(21)上磁控溅射氧化锌锡层(22)，采用氩气作为保护气体，氧气作为反应气体，用交流电源溅射锌锡靶，氩氧的比为300～500SCCM：500～800SCCM；
(5)在所述氧化锌锡层(22)上磁控溅射铜层(23)，采用氩气作为反应气体，气体流量为300～500SCCM，用直流电源溅射铜靶。
(6)在所述铜层(23)上磁控溅射二氧化钛层(24)，用氩气作为保护气体，氧气作为反应气体，用交流电源溅射钛靶，氩氧的比为：300-500SCCM：500-800SCCM；
(7)在所述二氧化钛层(26)上磁控溅射SSTOx层(25)，采用氧气作为反应气体，氩气作为保护气体，用直流电源溅射不锈钢平面靶，氩氧比为：300～500SCCM：500～800SCCM；
(8)在所述SSTOx层(25)上磁控溅射Si3N4层(26)，采用氮气作为反应气体，氩气作为保护气流，用交流电源溅射硅铝靶，氩氧的比为：300～500SCCM：500～800SCCM。
2.根据权利要求2制备所述的耐腐蚀水晶灯挂件的方法，其特征在于：所述步骤(2)清洗所述成型的水晶灯挂件的步骤是：将所述成型的水晶灯挂件放在丙酮中超声清洗10分钟后，再用乙醇超声清洗10分钟，最后在去离子水中超声清洗10分钟。
3.根据权利要求1所述制备耐腐蚀水晶灯挂件的方法，其特征在于：所述步骤(3)磁控溅射B2O3层(21)的厚度为20～30nm。
4.根据权利要求1所述制备耐腐蚀水晶灯挂件的方法，其特征在于：所述步骤(4)磁控溅射氧化锌锡层(22)的厚度为30～40nm。
5.根据权利要求1所述制备耐腐蚀水晶灯挂件的方法，其特征在于：所述步骤(5)磁控溅射铜层(23)的厚度为5～10nm。
6.根据权利要求1所述制备耐腐蚀水晶灯挂件的方法，其特征在于：所述步骤(6)磁控溅射二氧化钛层(24)的厚度为50～60nm。
7.根据权利要求1所述制备耐腐蚀水晶灯挂件的方法，其特征在于：所述步骤(7)磁控溅射SSTOx层(25)的厚度为50～60nm。
8.根据权利要求1所述制备耐腐蚀水晶灯挂件的方法，其特征在于：所述步骤(8)磁控溅射Si3N4(26)层的厚度为60～100nm。
9.根据权利要求3所述制备耐腐蚀水晶灯挂件的方法，其特征在于：所述步骤(3)磁控溅射B2O3层(21)的厚度为25nm。
10.根据权利要求8所述制备耐腐蚀水晶灯挂件的方法，其特征在于：所述步骤(8)磁控溅射Si3N4(26)层的厚度为80nm。
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罗明泉等: "《常见有毒和危险化学品手册》", 30 July 1992, 中国轻工业出版社 *

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