CN107731988B - 一种led扩晶机 - Google Patents
一种led扩晶机 Download PDFInfo
- Publication number
- CN107731988B CN107731988B CN201711146452.0A CN201711146452A CN107731988B CN 107731988 B CN107731988 B CN 107731988B CN 201711146452 A CN201711146452 A CN 201711146452A CN 107731988 B CN107731988 B CN 107731988B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- plate
- rod
- base
- pressing plate
- edge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims abstract description 84
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims abstract description 13
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 4
- 210000004907 gland Anatomy 0.000 claims description 4
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 claims description 4
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 claims description 2
- 239000004033 plastic Substances 0.000 claims description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 abstract description 44
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000002035 prolonged effect Effects 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/48—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
- H01L33/483—Containers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67253—Process monitoring, e.g. flow or thickness monitoring
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2933/00—Details relating to devices covered by the group H01L33/00 but not provided for in its subgroups
- H01L2933/0008—Processes
- H01L2933/0033—Processes relating to semiconductor body packages
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
本发明公开了一种LED扩晶机,包括基座、内压圈、外压圈和限位机构,基座的上端设置有下压板,下压板的边缘铰接有上压板,下压板与上压板之间设置有锁紧机构,上压板与下压板的中部对应设置有圆孔,基座上设置有圆形扩晶盘,扩晶盘连接有第一气缸并,扩晶盘内部设置有加热装置,扩晶盘上表面的边缘环绕设置有阶梯,内压圈的内圈与阶梯相配合,基座上还设置有立柱,立柱的顶端连接有固定板,压盖的边缘设置有刀刃,限位机构包括支撑杆,设置在支撑杆顶端的限位板,下压板连接有安装板,锁紧机构包括四杆机构和压块。本发明的一种LED扩晶机,具有结构简单,生产效率高,可以精准控制晶片扩张程度等优点。
Description
技术领域
本发明涉及一种LED生产领域,尤其涉及一种一种LED扩晶机。
背景技术
现有技术中,在LED晶片的生产过程中,LED晶粒的检测和分选是一道十分重要的工序,为了易于对LED晶粒的检测和分选,必须对LED晶圆的载体——晶片膜进行扩张,使得贴在晶片膜上已经切割好的晶粒均匀扩张,LED一种LED扩晶机应需而生。
扩晶装置是组成一种LED扩晶机的一部分,现有的扩晶装置包括上压膜板、下压膜板、圆形扩晶盘和压盖,其中上膜压板与下压膜板具有相互对应的圆形窗口。在扩晶时,通过驱动装置驱动扩晶盘向上运动,从而拉伸晶片膜,使得晶片膜上的晶片扩张,驱动装置通常采用第一气缸,并通过手动控制按钮进行对第一气缸的运动行程调节,这使得每次扩晶时,第一气缸的运动行程不能保持一致,从而使得晶片扩张的程度不一致,从而对晶粒的检测和分选造成了一定的影响,并且在扩晶完成后,需要将晶片膜边缘多余的边料进行切除,但是现有的都是采用手工切除,切除效率和质量较低,并且用于锁紧上压板与下压板的锁紧结构复杂,操作非常不便。
发明内容
本发明旨在解决上述所提及的技术问题,提供一种结构简单,生产效率高,可以精准控制晶片扩张程度的一种LED扩晶机。
本发明是通过以下的技术方案实现的:一种LED扩晶机,包括基座、内压圈、外压圈和限位机构,基座的上端设置有下压板,下压板的边缘铰接有上压板,下压板与上压板之间设置有锁紧机构,上压板与下压板的中部对应设置有圆孔,基座上设置有可穿过圆孔的圆形扩晶盘,扩晶盘的下表面连接有第一气缸并通过第一气缸驱动其上下运动,扩晶盘内部设置有加热装置,扩晶盘上表面的边缘环绕设置有阶梯,内压圈的内圈与阶梯相配合,外压圈的内圈与内压圈的外圈相配合,基座上还设置有立柱,立柱的顶端连接有固定板,固定板上通过第二气缸连接有与外压圈外圈配合的压盖,压盖的边缘环绕设置有刀刃,限位机构包括竖直设置在基座上的支撑杆,以及水平可转动设置在支撑杆顶端的限位板,下压板的边缘延伸有安装板,锁紧机构包括一四杆机构,四杆机构包括固定设置在安装板上的支承座、与支承座铰接的连接杆和从动杆,以及与连接杆和从动杆铰接的主动杆,从动杆上连接有一悬臂,悬臂上设置有压块,主动杆上设置有用于驱动其运动的把手。
优选地,所述阶梯的边缘设置有倒圆角。
优选地,所述基座与下压板通过连接柱固定连接。
优选地,所述下压板呈方形设置,连接柱设置有四根,分别与下压板下表面的四个对角处固定连接。
优选地,所述支撑杆为可伸缩调节的杆体。
优选地,所述扩晶盘下表面的中部设置有凸台,凸台中部设置有螺纹连接孔,第一气缸包括缸体以及与缸体滑动配合的活塞杆,活塞杆与扩晶盘连接的一端设置有与螺纹连接孔配合的螺纹连接部。
优选地,所述基座上倾斜设置有对上压板进行支撑限位的支撑柱。
优选地,所述扩晶盘、上压板和下压板均为不锈钢制成。
有益效果是:与现有技术相比,本发明的一种LED扩晶机通过上压板和下压板将晶片膜进行固定后,转动限位板至扩晶盘的正上方,当扩晶盘向上运动至与限位板接触时,停止扩晶盘的运动,这样使得扩晶盘进行扩晶操作时,可以确保每次对晶片膜的拉伸程度相同,从而保证晶片扩张的程度一致,并且限位板在定位完成后,可以转动至扩晶盘的侧部,从而不会影响下次扩晶操作中晶片膜的装夹,通过第二气缸驱动压盖向下运动与外压圈的外圈配合,通过设置在压盖边缘的刀刃将晶片膜多余的边料一次性切除,切除效率高,切口平整,通过采用四杆机构驱动压块对上压板和下压板进行锁紧,结构简单,操作方便。
附图说明
以下结合附图对本发明的具体实施方式作进一步的详细说明,其中:
图1为本发明的一种LED扩晶机的结构示意图;
图2为图1中的锁紧装置的结构示意图。
具体实施方式
如图1和图2所示,一种LED扩晶机,包括基座1、内压圈2、外压圈3和限位机构4,基座1的上端设置有下压板5,下压板5的边缘铰接有上压板6,下压板5与上压板6之间设置有锁紧机构,上压板6与下压板5的中部对应设置有圆孔7,基座1上设置有可穿过圆孔7的圆形扩晶盘8,扩晶盘8的下表面连接有第一气缸9并通过第一气缸9驱动其上下运动,扩晶盘8内部设置有加热装置,扩晶盘8上表面的边缘环绕设置有阶梯10,内压圈2的内圈与阶梯10相配合,外压圈3的内圈与内压圈2的外圈相配合,基座1上还设置有立柱17,立柱17的顶端连接有固定板18,固定板18上通过第二气缸19连接有与外压圈3外圈配合的压盖20,压盖20的边缘环绕设置有刀刃21,刀刃21为弹性塑料制成,在在压盖20与外压圈3盖合时,刀刃21向上翻起,当刀刃21移动至外压圈3的下方时,刀刃21水平朝向外压圈3内伸出,限位机构4包括竖直设置在基座1上的支撑杆11,以及水平可转动设置在支撑杆11顶端的限位板12,下压板5的边缘延伸有安装板22,锁紧机构30包括一四杆机构,四杆机构包括固定设置在安装板22上的支承座23、与支承座23铰接的连接杆24和从动杆25,以及与连接杆24和从动杆25铰接的主动杆26,从动杆25上连接有一悬臂27,悬臂27上设置有压块28,主动杆26上设置有用于驱动其运动的把手29。在使用时,先将内压圈2预设在扩晶盘8的阶梯10上,驱动扩晶盘8运动至下压板5的圆孔7内,然后将晶片膜铺设在下压板5上,此时扩晶盘8的上表面可以对晶片膜起到支撑作用,从而使得晶片膜在铺设时更平整,铺设好后,将上压板6与下压板5盖合并锁紧,从而实现晶片膜的装夹固定,然后转动限位板12至扩晶盘8的正上方,当第一气缸9驱动扩晶盘8向上运动至与限位板12接触时,控制第一气缸9使扩晶盘8停止运动,这样使得扩晶盘8进行扩晶操作时,可以确保每次对晶片膜的拉伸程度相同,从而保证晶片扩张的程度一致,并且限位板12在定位完成后,可以转动至扩晶盘8的侧部,然后将外压圈3套装在内压圈2上,在进行下一次的晶片膜的装夹时,限位板12可以进行360度转动,不会对工人的操作造成阻挡,通过第二气缸19驱动压盖20向下运动与外压圈3的外圈配合,通过设置在压盖20边缘的刀刃21将晶片膜多余的边料一次性切除,切除效率高,切口平整,锁紧时,可以通过把手29驱动主动杆26转动,从而带动从动杆25转动,使得设置在从动杆25上的压块28朝向或背向上压板6运动,从而将上压板6与下压板5锁紧,结构简单,操作方便。
阶梯10的边缘可以设置有倒圆角13,这样可以防止对晶片膜造成损伤。
基座1与下压板5可以通过连接柱14固定连接。进一步的,下压板5可以呈方形设置,连接柱14设置有四根,分别与下压板5下表面的四个对角处固定连接,这样可以使得下压板5的安装更加稳定,并且下压板5与基座1之间可以构造成用于安装第一气缸9的间隙,安装结构设置更加合理,结构紧凑。
支撑杆11可以为可伸缩调节的杆体,这样可以调节限位板12设置的高度,实现对扩晶盘8不同高度的限位,从而实现对晶片膜不同扩晶程度的加工。
扩晶盘8下表面的中部可以设置有凸台15,凸台15中部设置有螺纹连接孔,第一气缸9包括缸体以及与缸体滑动配合的活塞杆,活塞杆与扩晶盘8连接的一端设置有与螺纹连接孔配合的螺纹连接部,采用螺纹连接的方式,使得扩晶盘8的拆装更加方便快捷。
基座1上可以倾斜设置有对上压板6进行支撑限位的支撑柱16,支撑柱16的设置可以使得上压板6打开时,对上压板6起到支撑的作用,并对上压板6起到限位,防止上压板6继续绕铰接点转动。
扩晶盘8、上压板6和下压板5可以均为不锈钢制成,这样可以避免发生腐蚀,从而提高其使用寿命,并且采用不锈钢制成的扩晶盘8,可以提高热传导效率。
以上实施例仅用以说明本发明的技术方案而并非对其进行限制,凡未脱离本发明精神和范围的任何修改或者等同替换,其均应涵盖在本发明技术方案的范围内。
Claims (7)
1.一种LED扩晶机,其特征在于,包括基座(1)、内压圈(2)、外压圈(3)和限位机构(4),基座(1)的上端设置有下压板(5),下压板(5)的边缘铰接有上压板(6),下压板(5)与上压板(6)之间设置有锁紧机构,上压板(6)与下压板(5)的中部对应设置有圆孔(7),基座(1)上设置有可穿过圆孔(7)的圆形扩晶盘(8),扩晶盘(8)的下表面连接有第一气缸(9)并通过第一气缸(9)驱动其上下运动,扩晶盘(8)内部设置有加热装置,扩晶盘(8)上表面的边缘环绕设置有阶梯(10),内压圈(2)的内圈与阶梯(10)相配合,外压圈(3)的内圈与内压圈(2)的外圈相配合,基座(1)上还设置有立柱(17),立柱(17)的顶端连接有固定板(18),固定板(18)上通过第二气缸(19)连接有与外压圈(3)外圈配合的压盖(20),压盖(20)的边缘环绕设置有刀刃(21),刀刃(21)为弹性塑料制成,限位机构(4)包括竖直设置在基座(1)上的支撑杆(11),以及水平可转动设置在支撑杆(11)顶端的限位板(12),所述支撑杆(11)为可伸缩调节的杆体,下压板(5)的边缘延伸有安装板(22),锁紧机构(30)包括一四杆机构,四杆机构包括固定设置在安装板(22)上的支承座(23)、与支承座(23)铰接的连接杆(24)和从动杆(25),以及与连接杆(24)和从动杆(25)铰接的主动杆(26),从动杆(25)上连接有一悬臂(27),悬臂(27)上设置有压块(28),主动杆(26)上设置有用于驱动其运动的把手(29)。
2.根据权利要求1所述的一种LED扩晶机,其特征在于,所述阶梯(10)的边缘设置有倒圆角(13)。
3.根据权利要求1所述的一种LED扩晶机,其特征在于,所述基座(1)与下压板(5)通过连接柱(14)固定连接。
4.根据权利要求3所述的一种LED扩晶机,其特征在于,所述下压板(5)呈方形设置,连接柱(14)设置有四根,分别与下压板(5)下表面的四个对角处固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种LED扩晶机,其特征在于,所述扩晶盘(8)下表面的中部设置有凸台(15),凸台(15)中部设置有螺纹连接孔,第一气缸(9)包括缸体以及与缸体滑动配合的活塞杆,活塞杆与扩晶盘(8)连接的一端设置有与螺纹连接孔配合的螺纹连接部。
6.根据权利要求1所述的一种LED扩晶机,其特征在于,所述基座(1)上倾斜设置有对上压板(6)进行支撑限位的支撑柱(16)。
7.根据权利要求1所述的一种LED扩晶机,其特征在于,所述扩晶盘(8)、上压板(6)和下压板(5)均为不锈钢制成。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201711146452.0A CN107731988B (zh) | 2017-11-17 | 2017-11-17 | 一种led扩晶机 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201711146452.0A CN107731988B (zh) | 2017-11-17 | 2017-11-17 | 一种led扩晶机 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN107731988A CN107731988A (zh) | 2018-02-23 |
CN107731988B true CN107731988B (zh) | 2024-06-04 |
Family
ID=61217110
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201711146452.0A Active CN107731988B (zh) | 2017-11-17 | 2017-11-17 | 一种led扩晶机 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN107731988B (zh) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109087872A (zh) * | 2018-08-04 | 2018-12-25 | 戴先富 | Led扩晶机 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010080462A (ja) * | 2008-09-23 | 2010-04-08 | Hitachi High-Tech Instruments Co Ltd | 部品実装装置 |
CN203895484U (zh) * | 2014-06-04 | 2014-10-22 | 深圳市晶台股份有限公司 | 一种led扩晶机切膜装置 |
KR101559043B1 (ko) * | 2014-04-15 | 2015-10-08 | 팸텍주식회사 | 웨이퍼 다이 익스팬딩 장치 |
CN205376555U (zh) * | 2016-01-29 | 2016-07-06 | 江门市亮美电子有限公司 | 一种led扩晶机 |
WO2017135518A1 (ko) * | 2016-02-05 | 2017-08-10 | 주식회사 이오테크닉스 | 웨이퍼 정렬 장치 및 웨이퍼 이송 장치 |
CN210349792U (zh) * | 2019-10-28 | 2020-04-17 | 连云港光鼎电子有限公司 | 一种应用于led晶片扩晶的装置 |
-
2017
- 2017-11-17 CN CN201711146452.0A patent/CN107731988B/zh active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010080462A (ja) * | 2008-09-23 | 2010-04-08 | Hitachi High-Tech Instruments Co Ltd | 部品実装装置 |
KR101559043B1 (ko) * | 2014-04-15 | 2015-10-08 | 팸텍주식회사 | 웨이퍼 다이 익스팬딩 장치 |
CN203895484U (zh) * | 2014-06-04 | 2014-10-22 | 深圳市晶台股份有限公司 | 一种led扩晶机切膜装置 |
CN205376555U (zh) * | 2016-01-29 | 2016-07-06 | 江门市亮美电子有限公司 | 一种led扩晶机 |
WO2017135518A1 (ko) * | 2016-02-05 | 2017-08-10 | 주식회사 이오테크닉스 | 웨이퍼 정렬 장치 및 웨이퍼 이송 장치 |
CN210349792U (zh) * | 2019-10-28 | 2020-04-17 | 连云港光鼎电子有限公司 | 一种应用于led晶片扩晶的装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN107731988A (zh) | 2018-02-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN107749403A (zh) | 一种新型扩晶机 | |
CN213539705U (zh) | 一种建筑模板支撑装置 | |
CN107731988B (zh) | 一种led扩晶机 | |
CN107833851A (zh) | 一种扩晶机 | |
CN112377787B (zh) | 一种吊机显示器安装装置 | |
CN112412011B (zh) | 一种建筑模板用可调支撑架 | |
CN209239438U (zh) | 一种用于装配离合器与驱动盘的设备 | |
CN218448421U (zh) | 一种基站天线安装调节装置 | |
CN208766883U (zh) | 一种高等数学教学用移动式曲线绘制装置 | |
CN211318923U (zh) | 一种液晶屏检测设备用组件 | |
CN109019416A (zh) | 一种可调节角度的便于安装重型玻璃的支架 | |
CN209242361U (zh) | 一种高度可调式托辊装置 | |
CN203401287U (zh) | 一种后视镜轴套自动安装机构 | |
CN107731987A (zh) | 扩晶机 | |
CN219433178U (zh) | 一种隧道施工照明设备 | |
CN211344911U (zh) | 一种角度可调节的led洗墙灯 | |
CN220898392U (zh) | 一种翻转组合式相框 | |
CN212527781U (zh) | 一种自动翻面定位自动化机械夹具 | |
CN210677876U (zh) | 一种修边辅助支架 | |
CN221164065U (zh) | 一种储液袋支撑结构 | |
CN209801030U (zh) | 一种可调节角度的无线通信与智能安全监测装置 | |
CN211738865U (zh) | 一种高度可调便于检修的景观路灯 | |
CN214034317U (zh) | 一种吊顶反支撑装置 | |
CN220680522U (zh) | 一种照明部件定向机构及照明器具制造设备 | |
CN219229129U (zh) | 一种角度可调节的服装设计用案板 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |