CN107699850A - 适用有机发光二极管蒸镀制程的光罩结构 - Google Patents

适用有机发光二极管蒸镀制程的光罩结构 Download PDF

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CN107699850A CN201610704928.7A CN201610704928A CN107699850A CN 107699850 A CN107699850 A CN 107699850A CN 201610704928 A CN201610704928 A CN 201610704928A CN 107699850 A CN107699850 A CN 107699850A
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陈文山
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Abstract

一种适用有机发光二极管蒸镀制程的光罩结构，包含有一光罩本体以及四对位记号组，所述四对位记号组分别对应四个影像捕获设备且分别包含一主要记号以及一辅助记号，各辅助记号与各主要记号分别设置在所述光罩本体上，各辅助对位记号邻近对应的所述主要记号且与对应的所述主要对位记号间定义一参考线，各参考线的长度的公差小于一长度精度值，所述参考线与由两所述主要记号所定义的一侧边间所夹的角度的公差小于一角度精度值。

Description

适用有机发光二极管蒸镀制程的光罩结构
技术领域
本发明涉及一种光罩结构，特别涉及一种适用在有机发光二极管制程并可用以校正影像撷取模块的定位精度的光罩结构。
背景技术
在有机发光二极管的蒸镀制程中，主要是将具有开口的光罩设置在基板前方，以使汽化后的发光分子通过光罩上的开口附着在基板上，为使发光分子能够准确地附着在基板上，光罩与基板间的对位精度需要达到1微米(μm)。当欲使用影像撷取模块进行光罩与基板间的对位时，由于影像撷取模块与蒸镀机台间具有组装误差(即影像撷取模块的各影像捕获设备的设置位置以及方位并不对称)，使得光罩与基板间的对位精度无法达到要求，进而造成产品良率降低，制造成本攀升。
发明内容
因此，本发明的目的在于提供一种适用在有机发光二极管蒸镀制程并可用以校正一影像撷取模块的定位精度的光罩结构，以解决上述问题。
为达到上述目的，本发明公开一种光罩结构，包含有一光罩本体、一第一对位记号组、一第二对位记号组、一第三对位记号组以及一第四对位记号组，所述第一对位记号组对应一影像撷取模块的一第一影像捕获设备且包含一第一主要记号以及一第一辅助记号，所述第一主要记号设置在所述光罩本体上，所述第一辅助记号设置在所述光罩本体上并邻近所述第一主要记号，所述第二对位记号组包含一第二主要记号，所述第二主要记号设置在所述光罩本体上，所述第三对位记号组包含一第三主要记号，所述第三主要记号设置在所述光罩本体上，所述第四对位记号组包含一第四主要记号，所述第四主要记号设置在所述光罩本体上，所述第一主要对位记号与所述第二主要对位记号间定义一第一侧边，所述第二主要对位记号与所述第三主要对位记号间定义一第二侧边，所述第三主要对位记号与所述第四主要对位记号间定义一第三侧边，所述第四主要对位记号与所述第一主要对位记号间定义一第四侧边，所述第一辅助对位记号与所述第一主要对位记号间定义一第一参考线，所述第一参考线与所述第四侧边间形成一第一角度，所述第一参考线的长度的公差小于一长度精度值，所述第一角度的公差小于一角度精度值。
根据本发明其中之一实施例，所述第一主要记号与所述第一辅助记号分别为两圆形记号，所述第一主要记号具有一第一主要圆心以及一第一主要直径，所述第一辅助记号具有一第一辅助圆心以及一第一辅助直径，所述第一参考线是由所述第一主要圆心与所述第一辅助圆心所定义所述第一主要直径的长度的公差与所述第一辅助直径的长度的公差均小于所述第一长度经度值。
根据本发明其中之一实施例，所述第一主要记号为一圆形记号，所述第一辅助记号为一正方形记号，所述第一主要记号具有一第一主要圆心以及一第一主要直径，所述第一辅助记号具有一第一辅助中心以及一第一辅助边长，所述第一参考线是由所述第一主要圆心与所述第一辅助中心所定义，所述第一主要直径的长度的公差与所述第一辅助边长的长度的公差均小于所述第一长度经度值。
根据本发明其中之一实施例，所述第二对位记号组对应所述影像撷取模块的一第二影像撷取模块且还包含有一第二辅助记号，所述第二辅助记号设置在所述光罩本体上并邻近所述第二主要记号，所述第二辅助对位记号与所述第二主要对位记号间定义一第二参考线，所述第二参考线与所述第二侧边间形成一第二角度，所述第二参考线的长度的公差小于所述长度精度值，所述第二角度的公差小于所述角度精度值。
根据本发明其中之一实施例，所述第二主要记号与所述第二辅助记号分别为两圆形记号，所述第二主要记号具有一第二主要圆心以及一第二主要直径，所述第二辅助记号具有一第二辅助圆心以及一第二辅助直径，所述第二参考线是由所述第二主要圆心与所述第二辅助圆心所定义，所述第二主要直径的长度的公差与所述第二辅助直径的长度的公差均小于所述第一长度经度值。
根据本发明其中之一实施例，所述第二主要记号为一圆形记号，所述第二辅助记号为一正方形记号，所述第二主要记号具有一第二主要圆心以及一第二主要直径，所述第二辅助记号具有一第二辅助中心以及一第二辅助边长，所述第二参考线是由所述第二主要圆心与所述第二辅助中心所定义，所述第二主要直径的长度的公差与所述第二辅助边长的长度的公差均小于所述第一长度经度值。
根据本发明其中之一实施例，所述第三对位记号组对应所述影像撷取模块的一第三影像撷取模块且还包含有一第三辅助记号，所述第二辅助记号设置在所述光罩本体上并邻近所述第三主要记号，所述第三辅助对位记号与所述第三主要对位记号间定义一第三参考线，所述第三参考线与所述第二侧边间形成一第三角度，所述第三参考线的长度的公差小于所述长度精度值，所述第三角度的公差小于所述角度精度值。
根据本发明其中之一实施例，所述第三主要记号与所述第三辅助记号分别为两圆形记号，所述第三主要记号具有一第三主要圆心以及一第三主要直径，所述第三辅助记号具有一第三辅助圆心以及一第三辅助直径，所述第三参考线是由所述第三主要圆心与所述第三辅助圆心所定义，所述第三主要直径的长度的公差与所述第三辅助直径的长度的公差均小于所述第一长度经度值。
根据本发明其中之一实施例，所述第三主要记号为一圆形记号，所述第三辅助记号为一正方形记号，所述第三主要记号具有一第三主要圆心以及一第三主要直径，所述第三辅助记号具有一第三辅助中心以及一第三辅助边长，所述第三参考线是由所述第三主要圆心与所述第三辅助中心所定义，所述第三主要直径的长度的公差与所述第三辅助边长的长度的公差均小于所述第一长度经度值。
根据本发明其中之一实施例，所述第四对位记号组对应所述影像撷取模块的一第四影像撷取模块且还包含有一第四辅助记号，所述第四辅助记号设置在所述光罩本体上并邻近所述第四主要记号，所述第四辅助对位记号与所述第四主要对位记号间定义一第四参考线，所述第四参考线与所述第四侧边间形成一第四角度，所述第四参考线的长度的公差小于所述长度精度值，所述第四角度的公差小于所述角度精度值。
根据本发明其中之一实施例，所述第四主要记号与所述第四辅助记号分别为两圆形记号，所述第四主要记号具有一第四主要圆心以及一第四主要直径，所述第四辅助记号具有一第四辅助圆心以及一第四辅助直径，所述第四参考线是由所述第四主要圆心与所述第四辅助圆心所定义，所述第四主要直径的长度的公差与所述第四辅助直径的长度的公差均小于所述第一长度经度值。
根据本发明其中之一实施例，所述第四主要记号为一圆形记号，所述第四辅助记号为一正方形记号，所述第四主要记号具有一第四主要圆心以及一第四主要直径，所述第四辅助记号具有一第四辅助中心以及一第四辅助边长，所述第四参考线是由所述第四主要圆心与所述第四辅助中心所定义，所述第四主要直径的长度的公差与所述第四辅助边长的长度的公差均小于所述第一长度经度值。
根据本发明其中之一实施例，所述第一主要对位记号、所述第二主要对位记号、所述第三主要对位记号、所述第四主要对位记号、第一辅助对位记号、所述第二辅助对位记号、所述第三辅助对位记号与所述第四辅助对位记号分别以蚀刻的方式形成在所述光罩本体上。
根据本发明其中之一实施例，所述第一角度、所述第二角度、所述第三角度与所述第四角度均呈90度。
综上所述，本发明的光罩结构利用所述第一辅助对位记号、所述第二辅助对位记号、所述第三辅助对位记号与所述第四辅助对位记号来判断所述第一影像捕获设备、所述第二影像捕获设备、所述第三影像捕获设备与所述第四影像捕获设备相对于所述光罩结构的位置以及角度，以快速地且精准地校正所述第一影像捕获设备、所述第二影像捕获设备、所述第三影像捕获设备与所述第四影像捕获设备，进而提升利用所述第一影像捕获设备、所述第二影像捕获设备、所述第三影像捕获设备与所述第四影像捕获设备来对位光罩结构与基板的精度。有关本发明的前述及其他技术内容、特点与功效，在以下配合参考附图实施例的详细说明中，将可清楚的呈现。
附图说明
图1为本发明第一实施例机台的示意图。
图2为本发明第一实施例光罩结构的示意图。
图3为本发明第一实施例机台在校正影像撷取模块时的示意图。
图4为本发明第一实施例第一影像捕获设备所撷取的影像的示意图。
图5为本发明第一实施例第二影像捕获设备所撷取的影像的示意图。
图6为本发明第一实施例第三影像捕获设备所撷取的影像的示意图。
图7为本发明第一实施例第四影像捕获设备所撷取的影像的示意图。
图8为本发明第二实施例光罩结构的示意图。
其中，附图标记说明如下：
1 机台
11 壳体
12 腔室
13 影像撷取模块
14 控制模块
2、2’ 光罩结构
20 光罩本体
200 开口
21 第一对位记号组
211 第一主要记号
212、212’ 第一辅助记号
22 第二对位记号组
221 第二主要记号
222、222’ 第二辅助记号
23 第三对位记号组
231 第三主要记号
232、232’ 第三辅助记号
24 第四对位记号组
241 第四主要记号
242、242’ 第四辅助记号
3 基板
4 发光分子
L1 第一侧边
L2 第二侧边
L3 第三侧边
L4 第四侧边
M1 第一参考线
M2 第二参考线
M3 第三参考线
M4 第四参考线
OM1 第一主要圆心
OM2 第二主要圆心
OM3 第三主要圆心
OM4 第四主要圆心
DM1 第一主要直径
DM2 第二主要直径
DM3 第三主要直径
DM4 第四主要直径
OA1 第一辅助圆心
OA2 第二辅助圆心
OA3 第三辅助圆心
OA4 第四辅助圆心
OA1’ 第一辅助中心
OA2’ 第二辅助中心
OA3’ 第三辅助中心
OA4’ 第四辅助中心
DA1 第一辅助直径
DA2 第二辅助直径
DA3 第三辅助直径
DA4 第四辅助直径
DA1’ 第一辅助边长
DA2’ 第二辅助边长
DA3’ 第三辅助边长
DA4’ 第四辅助边长
θ1 第一角度
θ2 第二角度
θ3 第三角度
θ4 第四角度
(M1x,M1y)、(M2x,M2y)、(M3x,M3y)、(M4x,M4y)、(A1x,A1y)、(A2x,A2y)、(A3x,A3y)、(A4x,A4y)坐标
具体实施方式
以下实施例中所提到的方向用语，例如：上、下、左、右、前或后等，仅是参考附加附图的方向。因此，使用的方向用语是用来说明并非用来限制本发明。请参阅图1，图1为本发明第一实施例一机台1的示意图。机台1是利用一光罩结构2将一发光分子4蒸镀于一基板3，机台1包含有一壳体11、一腔室12、一影像撷取模块13以及一控制模块14，腔室12形成在壳体11内，用以容置光罩结构2与基板3，影像撷取模块13包含有一第一影像捕获设备131、一第二影像捕获设备132、一第三影像捕获设备133以及一第四影像捕获设备134。第一影像捕获设备131、第二影像捕获设备132、第三影像捕获设备133以及第四影像捕获设备134分别安装在壳体11上，用以进行光罩结构2与基板3的对位，控制模块14耦接于第一影像捕获设备131、第二影像捕获设备132、第三影像捕获设备133与第四影像捕获设备134，且用以校正第一影像捕获设备131、第二影像捕获设备132、第三影像捕获设备133与第四影像捕获设备134。在本实施例中，机台1是用在蒸镀有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode,OLED)，且第一影像捕获设备131、第二影像捕获设备132、第三影像捕获设备133以及第四影像捕获设备134分别设置在壳体11的四个角落，而本发明不局限在此。
请参阅图2，图2为本发明第一实施例光罩结构2的示意图。光罩结构2包含有一光罩本体20、一第一对位记号组21、一第二对位记号组22、一第三对位记号组23以及一第四对位记号组24，光罩本体20上形成有至少一开口200，以使发光分子4穿过开口200附着在基板3上，第一对位记号组21包含一第一主要记号211以及一第一辅助记号212，第一主要记号211设置在光罩本体20上，第一辅助记号212设置在光罩本体20上并邻近第一主要记号211，第二对位记号组22包含一第二主要记号221以及一第二辅助记号222，第二主要记号221设置在光罩本体20上，第二辅助记号222设置在光罩本体20上并邻近第二主要记号221，第三对位记号组23包含一第三主要记号231以及一第三辅助记号232，第三主要记号231设置在光罩本体20上，第三辅助记号232设置在光罩本体20上并邻近第三主要记号231，第四对位记号组24包含一第四主要记号241以及一第四辅助记号242，第四主要记号241设置在光罩本体20上，第四辅助记号242设置在光罩本体20上并邻近第四主要记号241。在本实施例中，第一主要对位记号211、第二主要对位记号221、第三主要对位记号231、第四主要对位记号241、第一辅助对位记号212、第二辅助对位记号222、第三辅助对位记号232与第四辅助对位记号242分别以蚀刻的方式形成在光罩本体20上。
第一主要对位记号211与第二主要对位记号221间定义一第一侧边L1，第二主要对位记号221与第三主要对位记号231间定义一第二侧边L2，第三主要对位记号231与第四主要对位记号241间定义一第三侧边L3，第四主要对位记号241与第一主要对位记号211间定义一第四侧边L4，第一辅助对位记号212与第一主要对位记号211间定义一第一参考线M1，第二辅助对位记号222与第二主要对位记号221间定义一第二参考线M2，第三辅助对位记号232与第三主要对位记号231间定义一第三参考线M3，第四辅助对位记号242与第四主要对位记号241间定义一第四参考线M4。
此实施例中，第一主要对位记号211、第二主要对位记号221、第三主要对位记号231、第四主要对位记号241、第一辅助对位记号212、第二辅助对位记号222、第三辅助对位记号232与第四辅助对位记号242为圆形记号。因此，第一主要对位记号211具有一第一主要圆心OM1以及一第一主要直径DM1，第一辅助对位记号212具有一第一辅助圆心OA1以及一第一辅助直径DA1，第二主要对位记号221具有一第二主要圆心OM2以及一第二主要直径DM2，第二辅助对位记号222具有一第二辅助圆心OA2以及一第二辅助直径DA2，第三主要对位记号231具有一第三主要圆心OM3以及一第三主要直径DM3，第三辅助对位记号232具有一第三辅助圆心OA3以及一第三辅助直径DA3，第四主要对位记号241具有一第四主要圆心OM4以及一第四主要直径DM4，第四辅助对位记号242具有一第四辅助圆心OA4以及一第四辅助直径DA4。第一主要圆心OM1与第一辅助圆心OA1间定义第一参考线M1，第一参考线M1与第四侧边L4间形成一第一角度θ1，第一角度θ1呈90度，第二主要圆心OM2与第二辅助圆心OA2间定义第二参考线M2，第二参考线M2与第二侧边L2间形成一第二角度θ2，第二角度θ2呈90度，第三主要圆心OM3与第三辅助圆心OA3间定义第三参考线M3，第三参考线M3与第二侧边L2间形成一第三角度θ3，第三角度θ3呈90度，第四主要圆心OM4与第四辅助圆心OA4间定义第四参考线M4，第四参考线M4与第四侧边L4间形成一第四角度θ4，第四角度θ4呈90度，而本发明不局限在此实施例。
值得注意的是，第一参考线M1、第二参考线M2、第三参考线M3、第四参考线M4、第一主要直径DM1、第二主要直径DM2、第三主要直径DM3、第四主要直径DM4、第一辅助直径DA1、第二辅助直径DA2、第三辅助直径DA3与第四辅助直径DA4的长度的公差小于一长度精度值，第一参考线M1与第四侧边L4间所夹的角度的公差小于一角度精度值，而在本实施例中，为达到有机发光二极管的蒸镀制程所要求的精度(例如为1微米)，所述长度精度值为±0.0005公厘，且所述角度精度值±0.00015度。
请参阅图3，图3为本发明第一实施例机台100在校正影像撷取模块13时的示意图。如图3所示，当欲校正影像撷取模块13时，首先将光罩结构2先放置在腔室12内，让第一对位记号组21、第二对位记号组22、第三对位记号组23与第四对位记号组24分别对应第一影像捕获设备131、第二影像捕获设备132、第三影像捕获设备133与第四影像捕获设备134，接着，控制模块104控制第一影像捕获设备131、第二影像捕获设备132、第三影像捕获设备133与第四影像捕获设备134分别撷取相对应的影像。在本实施例中，第一对位记号组21的第一主要对位记号211与第一辅助对位记号212间的距离(即第一参考线M1的线长)可优选地位在第一影像捕获设备131的视野范围的四分之一内，第二对位记号组22的第二主要对位记号221与第二辅助对位记号222间的距离(即第二参考线M2的线长)可优选地位在第二影像捕获设备132的视野范围的四分之一内，第三对位记号组23的第三主要对位记号231与第三辅助对位记号232间的距离(即第三参考线M3的线长)可优选地位在第三影像捕获设备133的视野范围的四分之一内，第四对位记号组24的第四主要对位记号241与第四辅助对位记号242间的距离(即第四参考线M4的线长)可优选地位在第四影像捕获设备134的视野范围的四分之一内，而本发明不局限在此。
请参阅图4至图7，图4为本发明第一实施例第一影像捕获设备131所撷取的影像的示意图，图5为本发明第一实施例第二影像捕获设备132所撷取的影像的示意图，图6为本发明第一实施例第三影像捕获设备133所撷取的影像的示意图，图7为本发明第一实施例第四影像捕获设备134所撷取的影像的示意图。如图4至图7所示，第一主要对位记号211的第一主要圆心OM1与第一辅助对位记号212的第一辅助圆心OA1相对于第一影像捕获设备131所撷取的影像的坐标分别为(M1x,M1y)与(A1x,A1y)，第二主要对位记号221的第二主要圆心OM2与第二辅助对位记号222的第二辅助圆心OA2相对于第二影像捕获设备132所撷取的影像的坐标分别为(M2x,M2y)与(A2x,A2y)，第三主要对位记号231的第三主要圆心OM3与第三辅助对位记号232的第三辅助圆心OA3相对于第三影像捕获设备133所撷取的影像的坐标分别为(M3x,M3y)与(A3x,A3y)，第四主要对位记号241的第四主要圆心OM4与第四辅助对位记号242的第四辅助圆心OA4相对于第四影像捕获设备134所撷取的影像的坐标分别为(M4x,M4y)与(A4x,A4y)，控制模块14依据上述坐标分别调整第一影像捕获设备131、第二影像捕获设备132、第三影像捕获设备133、第四影像捕获设备134的位置以及角度，以完成影像捕获设备相对于光罩结构2的校正。
请参阅图8，图8为本发明第二实施例一光罩结构2’的示意图。与前述实施例光罩结构2不同的是，光罩结构2’的一第一辅助对位记号212’、一第二辅助对位记号222’、一第三辅助对位记号232’与一第四辅助对位记号242’为正方形记号，而非圆形记号。第一辅助对位记号212’具有一第一辅助中心OA1’以及一第一辅助边长DA1’，第二辅助对位记号222’具有一第二辅助中心OA2’以及一第二辅助边长DA2’，第三辅助对位记号232’具有一第三辅助中心OA3’以及一第三辅助边长DA3’，第四辅助对位记号242’具有一第四辅助中心OA4’以及一第四辅助边长DA4’，第一主要圆心OM1与第一辅助中心OA1’间定义第一参考线M1，第二主要圆心OM2与第二辅助中心OA2’间定义第二参考线M2，第三主要圆心OM3与第三辅助中心OA3’间定义第三参考线M3，第四主要圆心OM4与第四辅助中心OA4’间定义第四参考线M4，第一辅助边长DA1’、第二辅助边长DA2’、第三辅助边长DA3’与第四辅助边长DA4’的长度的公差为±0.0005公厘。而在本实施例与前述实施例中具有相同标号的组件具有相同结构与功能，在此不再赘述。
相较于现有技术，本发明的光罩结构利用所述第一辅助对位记号、所述第二辅助对位记号、所述第三辅助对位记号与所述第四辅助对位记号来判断所述第一影像捕获设备、所述第二影像捕获设备、所述第三影像捕获设备与所述第四影像捕获设备相对于所述光罩结构的位置以及角度，以快速地且精准地校正所述第一影像捕获设备、所述第二影像捕获设备、所述第三影像捕获设备与所述第四影像捕获设备，进而提升利用所述第一影像捕获设备、所述第二影像捕获设备、所述第三影像捕获设备与所述第四影像捕获设备来对位光罩结构与基板的精度。
以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (14)

1.一种适用有机发光二极管蒸镀制程的光罩结构，其特征在于，包含有：
一光罩本体；
一第一对位记号组，对应一影像撷取模块的一第一影像捕获设备且包含：
一第一主要记号，设置在所述光罩本体上；以及
一第一辅助记号，设置在所述光罩本体上并邻近所述第一主要记号；
一第二对位记号组，包含一第二主要记号，所述第二主要记号设置在所述光罩本体上；
一第三对位记号组，包含一第三主要记号，所述第三主要记号设置在所述光罩本体上；以及
一第四对位记号组，包含一第四主要记号，所述第四主要记号设置在所述光罩本体上；
其中，所述第一主要对位记号与所述第二主要对位记号间定义一第一侧边，所述第二主要对位记号与所述第三主要对位记号间定义一第二侧边，所述第三主要对位记号与所述第四主要对位记号间定义一第三侧边，所述第四主要对位记号与所述第一主要对位记号间定义一第四侧边，所述第一辅助对位记号与所述第一主要对位记号间定义一第一参考线，所述第一参考线与所述第四侧边间形成一第一角度，所述第一参考线的长度的公差小于一长度精度值，所述第一角度的公差小于一角度精度值。
2.如权利要求1所述的光罩结构，其特征在于，所述第一主要记号与所述第一辅助记号分别为两圆形记号，所述第一主要记号具有一第一主要圆心以及一第一主要直径，所述第一辅助记号具有一第一辅助圆心以及一第一辅助直径，所述第一参考线是由所述第一主要圆心与所述第一辅助圆心所定义，所述第一主要直径的长度的公差与所述第一辅助直径的长度的公差均小于所述第一长度经度值。
3.如权利要求1所述的光罩结构，其特征在于，所述第一主要记号为一圆形记号，所述第一辅助记号为一正方形记号，所述第一主要记号具有一第一主要圆心以及一第一主要直径，所述第一辅助记号具有一第一辅助中心以及一第一辅助边长，所述第一参考线是由所述第一主要圆心与所述第一辅助中心所定义，所述第一主要直径的长度的公差与所述第一辅助边长的长度的公差均小于所述第一长度经度值。
4.如权利要求1所述的光罩结构，其特征在于，所述第二对位记号组对应所述影像撷取模块的一第二影像撷取模块且还包含有一第二辅助记号，所述第二辅助记号设置在所述光罩本体上并邻近所述第二主要记号，所述第二辅助对位记号与所述第二主要对位记号间定义一第二参考线，所述第二参考线与所述第二侧边间形成一第二角度，所述第二参考线的长度的公差小于所述长度精度值，所述第二角度的公差小于所述角度精度值。
5.如权利要求4所述的光罩结构，其特征在于，所述第二主要记号与所述第二辅助记号分别为两圆形记号，所述第二主要记号具有一第二主要圆心以及一第二主要直径，所述第二辅助记号具有一第二辅助圆心以及一第二辅助直径，所述第二参考线是由所述第二主要圆心与所述第二辅助圆心所定义，所述第二主要直径的长度的公差与所述第二辅助直径的长度的公差均小于所述第一长度经度值。
6.如权利要求4所述的光罩结构，其特征在于，所述第二主要记号为一圆形记号，所述第二辅助记号为一正方形记号，所述第二主要记号具有一第二主要圆心以及一第二主要直径，所述第二辅助记号具有一第二辅助中心以及一第二辅助边长，所述第二参考线是由所述第二主要圆心与所述第二辅助中心所定义，所述第二主要直径的长度的公差与所述第二辅助边长的长度的公差均小于所述第一长度经度值。
7.如权利要求4所述的光罩结构，其特征在于，所述第三对位记号组对应所述影像撷取模块的一第三影像撷取模块且还包含有一第三辅助记号，所述第三辅助记号设置在所述光罩本体上并邻近所述第三主要记号，所述第三辅助对位记号与所述第三主要对位记号间定义一第三参考线，所述第三参考线与所述第二侧边间形成一第三角度，所述第三参考线的长度的公差小于所述长度精度值，所述第三角度的公差小于所述角度精度值。
8.如权利要求7所述的光罩结构，其特征在于，所述第三主要记号与所述第三辅助记号分别为两圆形记号，所述第三主要记号具有一第三主要圆心以及一第三主要直径，所述第三辅助记号具有一第三辅助圆心以及一第三辅助直径，所述第三参考线是由所述第三主要圆心与所述第三辅助圆心所定义，所述第三主要直径的长度的公差与所述第三辅助直径的长度的公差均小于所述第一长度经度值。
9.如权利要求7所述的光罩结构，其特征在于，所述第三主要记号为一圆形记号，所述第三辅助记号为一正方形记号，所述第三主要记号具有一第三主要圆心以及一第三主要直径，所述第三辅助记号具有一第三辅助中心以及一第三辅助边长，所述第三参考线是由所述第三主要圆心与所述第三辅助中心所定义，所述第三主要直径的长度的公差与所述第三辅助边长的长度的公差均小于所述第一长度经度值。
10.如权利要求7所述的光罩结构，其特征在于，所述第四对位记号组对应所述影像撷取模块的一第四影像撷取模块且还包含有一第四辅助记号，所述第四辅助记号设置在所述光罩本体上并邻近所述第四主要记号，所述第四辅助对位记号与所述第四主要对位记号间定义一第四参考线，所述第四参考线与所述第四侧边间形成一第四角度，所述第四参考线的长度的公差小于所述长度精度值，所述第四角度的公差小于所述角度精度值。
11.如权利要求10所述的光罩结构，其特征在于，所述第四主要记号与所述第四辅助记号分别为两圆形记号，所述第四主要记号具有一第四主要圆心以及一第四主要直径，所述第四辅助记号具有一第四辅助圆心以及一第四辅助直径，所述第四参考线是由所述第四主要圆心与所述第四辅助圆心所定义，所述第四主要直径的长度的公差与所述第四辅助直径的长度的公差均小于所述第一长度经度值。
12.如权利要求10所述的光罩结构，其特征在于，所述第四主要记号为一圆形记号，所述第四辅助记号为一正方形记号，所述第四主要记号具有一第四主要圆心以及一第四主要直径，所述第四辅助记号具有一第四辅助中心以及一第四辅助边长，所述第四参考线是由所述第四主要圆心与所述第四辅助中心所定义，所述第四主要直径的长度的公差与所述第四辅助边长的长度的公差均小于所述第一长度经度值。
13.如权利要求10所述的光罩，其特征在于，所述第一主要对位记号、所述第二主要对位记号、所述第三主要对位记号、所述第四主要对位记号、第一辅助对位记号、所述第二辅助对位记号、所述第三辅助对位记号与所述第四辅助对位记号分别以蚀刻的方式形成在所述光罩本体上。
14.如权利要求10所述的光罩，其特征在于，所述第一角度、所述第二角度、所述第三角度与所述第四角度均呈90度。
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